JPS6412369U - - Google Patents

Info

Publication number
JPS6412369U
JPS6412369U JP10748787U JP10748787U JPS6412369U JP S6412369 U JPS6412369 U JP S6412369U JP 10748787 U JP10748787 U JP 10748787U JP 10748787 U JP10748787 U JP 10748787U JP S6412369 U JPS6412369 U JP S6412369U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrodes
electrode
rearward
cylindrical part
disk portion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP10748787U
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0615391Y2 (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP10748787U priority Critical patent/JPH0615391Y2/ja
Publication of JPS6412369U publication Critical patent/JPS6412369U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH0615391Y2 publication Critical patent/JPH0615391Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Particle Accelerators (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一例を示す減速管の縦断面図
、第２図は従来例の減速管の縦断面図、第３図は
原子Ｍに陽子ｍが衝突した前後の速度関係の説明
図、第４図は原子による陽子の散乱に於て前方に
生ずるシヤドウコーンの説明図、第５図はＰＥＬ
Ｓに於て垂直入射散乱を説明するためのＧａＡｓ
結晶表層図、第６図は第５図の入射方向に於ける
ＰＥＬＳの陽子エネルギー損失図、第７図はＰＥ
ＬＳに於て斜入射散乱を説明するためのＧａＡｓ
表層図、第８図は第７図の入射方向に於けるＰＥ
ＬＳの陽子エネルギー損失図、第９図は電子衝突
による陽子エネルギー損失の増加によつて、第１
層、第２層を識別できる事を説明する散乱断面図
、第１０図はＰＥＬＳの原理構成図、第１１図は
陽子のポテンシヤルエネルギー配位図、第１２図
は低散乱角に於ける散乱ビームの説明図、第１３
図は散乱角の違いによるイールドの相違をＡｕ、
Ｓｉについて示すグラフ、第１４図はＰＥＬＳ装
置の実際を示す略斜視図。 Ｆ，Ｇ……フランジ、Ｐ１〜Ｐ７……電極、Ｈ
……絶縁リング、Υ１〜Υ２０……等電位面。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 陽子ビームを加速して高真空中に置かれた試料
    に照射し一定方向に散乱された陽子ビームを減速
    してエネルギーを測定し、試料表面の元素の種類
    、分布を陽子のエネルギー損失から求める事とし
    た表面解析装置に使用される減速管であつて、互
    に分離した適数個の電極Ｐ１，Ｐ２……と、電極
    間を絶縁する絶縁リングＨ，Ｈ、…と、電極Ｐ１
    …と絶縁リングＨ，Ｈ、…の前後端に設けられる
    フランジＧ，Ｈとよりなり、電極のうち、前方の
    ひとつ又は数個の電極は円板部と、円板部に対し
    ビーム走行方向の後方に延びる円筒部とを有し、
    これらの電極につづくひとつの電極は円板部と後
    方に続く円筒部とを有し、肉厚であつて、次の電
    極との間に、斜後方に向う狭い開口を形成してお
    り、これより後方の電極および後フランジＧは同
    電位とし、前方の電極にはそれぞれ電位差を与え
    ている事を特徴とする荷電粒子の減速管。
JP10748787U 1987-07-13 1987-07-13 荷電粒子減速管 Expired - Lifetime JPH0615391Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10748787U JPH0615391Y2 (ja) 1987-07-13 1987-07-13 荷電粒子減速管

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10748787U JPH0615391Y2 (ja) 1987-07-13 1987-07-13 荷電粒子減速管

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6412369U true JPS6412369U (ja) 1989-01-23
JPH0615391Y2 JPH0615391Y2 (ja) 1994-04-20

Family

ID=31341946

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10748787U Expired - Lifetime JPH0615391Y2 (ja) 1987-07-13 1987-07-13 荷電粒子減速管

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0615391Y2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05234698A (ja) * 1992-02-24 1993-09-10 Tokyo Seimitsu Co Ltd 加速管
JPH08241691A (ja) * 1995-03-06 1996-09-17 Natl Res Inst For Metals 減速集束イオンビーム装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05234698A (ja) * 1992-02-24 1993-09-10 Tokyo Seimitsu Co Ltd 加速管
JPH08241691A (ja) * 1995-03-06 1996-09-17 Natl Res Inst For Metals 減速集束イオンビーム装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0615391Y2 (ja) 1994-04-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0488067B1 (en) Ion-scattering spectrometer
JPS6412369U (ja)
JPS6352428B2 (ja)
JP2647102B2 (ja) 粒子ビーム測定装置
JPH0323654Y2 (ja)
JP3133394B2 (ja) パルスビーム発生装置
JPS63106055U (ja)
JPH08184678A (ja) 荷電粒子ビームの寸法測定装置および測定方法
JPS60100349A (ja) ２次電子検出器
JPS5811011Y2 (ja) Ｘ線検出装置
JPH02165038A (ja) 飛行時間型粒子分析装置
JPH0321003Y2 (ja)
JPS5833643Y2 (ja) 質量分析装置におけるイオンビ−ム電流検出装置
JPS6399665U (ja)
Hasselbach Emission Microscopy Measurement of the Lateral Widening of a 20-keV Electron Beam Due to Scattering in Evaporated Films of Aluminum and Germanium
JP3221066B2 (ja) 荷電粒子エネルギーアナライザ
JP2000509543A (ja) 粒子検出装置及び方法
JPS63131059U (ja)
JPS6256885A (ja) 放射線検出装置
STREITENBERGER Toward the development of conduction path anodes for sorting signals from microchannel plates(German thesis)
JPS585275U (ja) 走査電子顕微鏡
JPH03130582U (ja)
Elsener Memorandum: measurement of wake-riding electrons
JPH051156U (ja) 荷電粒子検出器
JPS63238412A (ja) 形状測定方法