JPS6419103U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6419103U JPS6419103U JP11313587U JP11313587U JPS6419103U JP S6419103 U JPS6419103 U JP S6419103U JP 11313587 U JP11313587 U JP 11313587U JP 11313587 U JP11313587 U JP 11313587U JP S6419103 U JPS6419103 U JP S6419103U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- light reflected
- measured
- reflecting mirror
- irradiated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
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- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例を示す概略構成図、第
２図は光検出器面上に入射する２光線の光路差を
説明するための図面、及び第３図は従来の光学的
測距装置を示す概略構成図である。 １……低コヒーレントな光源、２……ビームス
プリツタ、３……可動鏡、４……測定物、５……
光検出器、６……増幅器、７……最大値検出回路
、８ａ，８ｂ……ビームエクスパンダ、９……多
数の光検出素子を一次元状に配列した一次元アレ
ー光検出器、１０……鏡、１１……第４の経路の
光、１２……第３の経路の光。
２図は光検出器面上に入射する２光線の光路差を
説明するための図面、及び第３図は従来の光学的
測距装置を示す概略構成図である。 １……低コヒーレントな光源、２……ビームス
プリツタ、３……可動鏡、４……測定物、５……
光検出器、６……増幅器、７……最大値検出回路
、８ａ，８ｂ……ビームエクスパンダ、９……多
数の光検出素子を一次元状に配列した一次元アレ
ー光検出器、１０……鏡、１１……第４の経路の
光、１２……第３の経路の光。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 低コヒーレントな光源を使用し、光の干渉
を利用して測定物までの距離を測定する装置にお
いて、ビームスプリツタを用いて前記光源からの
光を反射光と透過光とに分離して一方を測定物に
他方を反射鏡に照射し、前記測定物から反射した
光と前記反射鏡から反射した光とを互いに異なる
入射角で、複数の光検出素子を一次元に配列して
構成された一次元アレー光検出器上に照射して干
渉させ、最も強い干渉を生じた光検出素子の位置
を検出し、該光検出素子の位置を利用して前記測
定物までの距離を測定することを特徴とする光学
的測距装置。 (2) 実用新案登録請求の範囲第１項において、
前記測定物から反射した光と、前記反射鏡で反射
した光とを前記一次元アレー光検出器に照射する
前に、夫々レンズを含むビームエクスパンダを用
いてビーム径を拡大することを特徴とする光学的
測距装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11313587U JPS6419103U (ja) | 1987-07-23 | 1987-07-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11313587U JPS6419103U (ja) | 1987-07-23 | 1987-07-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6419103U true JPS6419103U (ja) | 1989-01-31 |
Family
ID=31352704
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11313587U Pending JPS6419103U (ja) | 1987-07-23 | 1987-07-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6419103U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS524260A (en) * | 1975-06-28 | 1977-01-13 | Canon Inc | Physical factor measuring system |
| JPS6176902A (ja) * | 1984-09-25 | 1986-04-19 | Yamazaki Mazak Corp | 非接触形プロ−ブ |
-
1987
- 1987-07-23 JP JP11313587U patent/JPS6419103U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS524260A (en) * | 1975-06-28 | 1977-01-13 | Canon Inc | Physical factor measuring system |
| JPS6176902A (ja) * | 1984-09-25 | 1986-04-19 | Yamazaki Mazak Corp | 非接触形プロ−ブ |
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