JPS6420723U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6420723U JPS6420723U JP11491287U JP11491287U JPS6420723U JP S6420723 U JPS6420723 U JP S6420723U JP 11491287 U JP11491287 U JP 11491287U JP 11491287 U JP11491287 U JP 11491287U JP S6420723 U JPS6420723 U JP S6420723U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- width
- support jig
- groove
- groove located
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
第１図は本考案に係る支持治具の斜視図、第２
図は第１図の―に沿つて見た部分拡大縦断面
図、第３図及び第４図は本考案の他の実施例を示
す第２図に対応した部分拡大縦断面図、第５図及
び第６図は従来の支持治具を示す第２図に対応し
た部分拡大縦断面図である。 符号の説明、１０…支持治具、１１…上方支持
棒材、１２…下方支持棒材、１３…凹溝、１３ａ
…底面部、１３ｂ，１３ｃ…側面部、１４…支持
台、２０，４０…（従来の）支持治具、３０…ウ
エハー。
図は第１図の―に沿つて見た部分拡大縦断面
図、第３図及び第４図は本考案の他の実施例を示
す第２図に対応した部分拡大縦断面図、第５図及
び第６図は従来の支持治具を示す第２図に対応し
た部分拡大縦断面図である。 符号の説明、１０…支持治具、１１…上方支持
棒材、１２…下方支持棒材、１３…凹溝、１３ａ
…底面部、１３ｂ，１３ｃ…側面部、１４…支持
台、２０，４０…（従来の）支持治具、３０…ウ
エハー。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 半導体素子の材料となるウエハーを支持する凹
溝が多数形成されてなるウエハーの支持治具であ
つて、 下方側に位置する各凹溝は、前記ウエハーの端
面の巾より大きな開口を有し、かつ、その中央部
が順次最深部となる形状に形成されているととも
に、 上方側に位置する各凹溝の底面部の巾が、前記
ウエハーの挿入方向またはその反対方向のいずれ
か少なくとも一方側に拡がつていることを特徴と
するウエハーの支持治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11491287U JPH0644102Y2 (ja) | 1987-07-27 | 1987-07-27 | ウエハ−の支持治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11491287U JPH0644102Y2 (ja) | 1987-07-27 | 1987-07-27 | ウエハ−の支持治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6420723U true JPS6420723U (ja) | 1989-02-01 |
| JPH0644102Y2 JPH0644102Y2 (ja) | 1994-11-14 |
Family
ID=31356087
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11491287U Expired - Lifetime JPH0644102Y2 (ja) | 1987-07-27 | 1987-07-27 | ウエハ−の支持治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0644102Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-07-27 JP JP11491287U patent/JPH0644102Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0644102Y2 (ja) | 1994-11-14 |