JPS642176U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS642176U JPS642176U JP9706087U JP9706087U JPS642176U JP S642176 U JPS642176 U JP S642176U JP 9706087 U JP9706087 U JP 9706087U JP 9706087 U JP9706087 U JP 9706087U JP S642176 U JPS642176 U JP S642176U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- temperature
- constant
- sample
- circulation path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005494 condensation Effects 0.000 claims description 4
- 238000009833 condensation Methods 0.000 claims description 4
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Description
第１図は、この考案の結露発生装置の一例を示
す断面図、第２図は槽１からの雰囲気循環状態を
示す要部の断面図、第３図は装置の正面図である
。 １……低温恒温槽、２……恒温恒湿槽、３……
試料収納室、４，５……循環路、６，７，８，９
……シヤツター、１０，１１……送風機、１２…
…操作パネル、１３……収納室の出入口、１４…
…扉、１６……断熱壁。
す断面図、第２図は槽１からの雰囲気循環状態を
示す要部の断面図、第３図は装置の正面図である
。 １……低温恒温槽、２……恒温恒湿槽、３……
試料収納室、４，５……循環路、６，７，８，９
……シヤツター、１０，１１……送風機、１２…
…操作パネル、１３……収納室の出入口、１４…
…扉、１６……断熱壁。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 試料の冷却温度に管理される低温恒温槽と
、多湿雰囲気の恒温恒湿槽と、試料収納室と、上
記低温恒温槽と恒温恒湿槽の各々を試料収納室に
接続する槽内雰囲気の循環路と、この循環路の各
槽との連絡口を開閉するシヤツターと、循環路内
に設けた送風機とを具備し、上記試料室内に、上
記２つの槽の内部雰囲気を交互に循環させる如く
構成された試料への結露発生装置。 (2) 上記低温恒温槽と恒温恒湿槽の間に上記試
料収納室が存在し、さらに、この試料収納室の両
側に、各槽との連絡口を上記シヤツターで開閉す
る共通循環路が各々存在し、その共通循環路の一
方に吹込み用の送風機が、他方に吸引用の送風機
が各々設けられていることを特徴とする実用新案
登録請求の範囲第(1)項記載の試料への結露発生
装置。 (3) 上記低温恒温槽の温度、恒温恒湿槽の温度
、湿度、槽内雰囲気の循環時間、シヤツターによ
る循環路の切換え回数の各条件を制御する制御部
と、制御条件を入力する操作パネルが含まれるこ
とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第(1)項
又は第(2)項記載の試料への結露発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9706087U JPS642176U (ja) | 1987-06-23 | 1987-06-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9706087U JPS642176U (ja) | 1987-06-23 | 1987-06-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS642176U true JPS642176U (ja) | 1989-01-09 |
Family
ID=30963589
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9706087U Pending JPS642176U (ja) | 1987-06-23 | 1987-06-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS642176U (ja) |
-
1987
- 1987-06-23 JP JP9706087U patent/JPS642176U/ja active Pending
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