JPS6424866U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6424866U JPS6424866U JP11952587U JP11952587U JPS6424866U JP S6424866 U JPS6424866 U JP S6424866U JP 11952587 U JP11952587 U JP 11952587U JP 11952587 U JP11952587 U JP 11952587U JP S6424866 U JPS6424866 U JP S6424866U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- position detection
- detection element
- optical position
- film
- resistive film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
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- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 3
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図は本考案の第１の実施例の光位置検出素
子、第２図は本考案の第１の実施例の光位置検出
素子及び位置検出回路ブロツク図、第３図は本考
案の第１の実施例の作用の説明図、第４図は本考
案の第２の実施例の光位置検出素子、第５図は本
考案の第２の実施例の作用の説明図、第６図ない
し第７図は本考案の第３の実施例、第８図ないし
第１０図は従来の光位置検出素子。 ２……基板、３……下部電極、４……孔、５…
…ｎ型ａ―Ｓｉ膜、６……真性ａ―Ｓｉ膜、７…
…ｐ型ａ―Ｓｉ膜、８……分割抵抗膜、９……上
部電極。
子、第２図は本考案の第１の実施例の光位置検出
素子及び位置検出回路ブロツク図、第３図は本考
案の第１の実施例の作用の説明図、第４図は本考
案の第２の実施例の光位置検出素子、第５図は本
考案の第２の実施例の作用の説明図、第６図ない
し第７図は本考案の第３の実施例、第８図ないし
第１０図は従来の光位置検出素子。 ２……基板、３……下部電極、４……孔、５…
…ｎ型ａ―Ｓｉ膜、６……真性ａ―Ｓｉ膜、７…
…ｐ型ａ―Ｓｉ膜、８……分割抵抗膜、９……上
部電極。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 基板上に下部電極と、半導体膜と、分割抵抗膜
と、上部電極が積層されて構成された光位置検出
素子において、 前記分割抵抗膜が環状に形成されたことを特徴
とする光位置検出素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11952587U JPS6424866U (ja) | 1987-08-04 | 1987-08-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11952587U JPS6424866U (ja) | 1987-08-04 | 1987-08-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6424866U true JPS6424866U (ja) | 1989-02-10 |
Family
ID=31364831
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11952587U Pending JPS6424866U (ja) | 1987-08-04 | 1987-08-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6424866U (ja) |
-
1987
- 1987-08-04 JP JP11952587U patent/JPS6424866U/ja active Pending