JPS6433743U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6433743U JPS6433743U JP12776787U JP12776787U JPS6433743U JP S6433743 U JPS6433743 U JP S6433743U JP 12776787 U JP12776787 U JP 12776787U JP 12776787 U JP12776787 U JP 12776787U JP S6433743 U JPS6433743 U JP S6433743U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tray
- semiconductor wafer
- hole
- semiconductor
- gas supply
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案に係る半導体製造装置の部分斜
視図、第２図は、上層トレーの穴の変形例を示し
た平面図である。第３図は従来の連続式常圧ＣＶ
Ｄ装置の一部断面正面図、第４図は第３図のＡ―
Ａ線断面図、第５図は半導体ウエーハを吸着する
ための従来から用いられているベルヌーイチヤツ
クの断面図である。 １……キヤタピラーベルト、５……ガス供給ヘ
ツド、１２……半導体ウエーハ、１６……ベルヌ
ーイチヤツク、１７……トレー、１８……上層ト
レー、１８ａ……孔、１９……下層トレー、１９
ａ……突部。
視図、第２図は、上層トレーの穴の変形例を示し
た平面図である。第３図は従来の連続式常圧ＣＶ
Ｄ装置の一部断面正面図、第４図は第３図のＡ―
Ａ線断面図、第５図は半導体ウエーハを吸着する
ための従来から用いられているベルヌーイチヤツ
クの断面図である。 １……キヤタピラーベルト、５……ガス供給ヘ
ツド、１２……半導体ウエーハ、１６……ベルヌ
ーイチヤツク、１７……トレー、１８……上層ト
レー、１８ａ……孔、１９……下層トレー、１９
ａ……突部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 キヤタピラーベルトに固定したトレー上に載置
されて搬送される加熱状態の半導体ウエーハ上に
、所望のガスを吹き付けるガス供給ヘツドを有す
る装置において、 上記トレーを、半導体ウエーハの載置位置に対
応して、半導体ウエーハよりも若干小径の孔を穿
設した上層トレーと、前記孔と嵌合する突部を配
設した下層トレーとを離合可能に衝合組合せたこ
とを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12776787U JPS6433743U (ja) | 1987-08-21 | 1987-08-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12776787U JPS6433743U (ja) | 1987-08-21 | 1987-08-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6433743U true JPS6433743U (ja) | 1989-03-02 |
Family
ID=31380489
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12776787U Pending JPS6433743U (ja) | 1987-08-21 | 1987-08-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6433743U (ja) |
-
1987
- 1987-08-21 JP JP12776787U patent/JPS6433743U/ja active Pending