JPS6316437U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6316437U JPS6316437U JP1986109680U JP10968086U JPS6316437U JP S6316437 U JPS6316437 U JP S6316437U JP 1986109680 U JP1986109680 U JP 1986109680U JP 10968086 U JP10968086 U JP 10968086U JP S6316437 U JPS6316437 U JP S6316437U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light emitting
- setting device
- gap setting
- print gap
- mask
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図は本考案装置の一部分を断面にした略略
示縦断面図であり、第２図は第１図の線―に
沿うマスク受台の横断面図である。第３図は従来
の密着露光装置の略示縦断面図である。 １０……プリントギヤツプ設定装置、１１……
吸引管、１２……半導体ウエーハの吸着チヤツク
、１３……半導体ウエーハ、１４……露光マスク
、１５……マスクホルダ、１７……投光素子、１
８……受光素子。
示縦断面図であり、第２図は第１図の線―に
沿うマスク受台の横断面図である。第３図は従来
の密着露光装置の略示縦断面図である。 １０……プリントギヤツプ設定装置、１１……
吸引管、１２……半導体ウエーハの吸着チヤツク
、１３……半導体ウエーハ、１４……露光マスク
、１５……マスクホルダ、１７……投光素子、１
８……受光素子。
Claims (1)
- 目合わせ露光機のマスク受台に、投受光素子か
らなるプリントギヤツプ設定装置を固着し、該プ
リントギヤツプ設定装置の投受光経路を、チヤツ
ク上に載置された半導体ウエーハの上面と露光マ
スクの下面の間に位置せしめたことを特徴とする
半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986109680U JPS6316437U (ja) | 1986-07-17 | 1986-07-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986109680U JPS6316437U (ja) | 1986-07-17 | 1986-07-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6316437U true JPS6316437U (ja) | 1988-02-03 |
Family
ID=30987997
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986109680U Pending JPS6316437U (ja) | 1986-07-17 | 1986-07-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6316437U (ja) |
-
1986
- 1986-07-17 JP JP1986109680U patent/JPS6316437U/ja active Pending