JPS64346U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS64346U JPS64346U JP9347387U JP9347387U JPS64346U JP S64346 U JPS64346 U JP S64346U JP 9347387 U JP9347387 U JP 9347387U JP 9347387 U JP9347387 U JP 9347387U JP S64346 U JPS64346 U JP S64346U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- semiconductor thin
- region
- conductivity type
- gate electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 230000005669 field effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Description
第１図はこの考案の一実施例に係る電界効果ト
ランジスタの構造を示す断面図、第２図Ａ乃至Ｅ
は第１図に示す電界効果トランジスタの製造工程
を示す断面図、第３図はこの考案の他の実施例に
係る電界効果トランジスタの構造を示す断面図、
第４図は従来の電界効果トランジスタの一構造例
を示す断面図である。 図の主要な部分を表わす符号の説明、２１……
半導体基板、２３……薄膜領域、２５，２９……
ゲート絶縁膜、２７，３１……ゲート電極、３３
……チヤネル領域、３５……ソース領域、３７…
…ドレイン領域。
ランジスタの構造を示す断面図、第２図Ａ乃至Ｅ
は第１図に示す電界効果トランジスタの製造工程
を示す断面図、第３図はこの考案の他の実施例に
係る電界効果トランジスタの構造を示す断面図、
第４図は従来の電界効果トランジスタの一構造例
を示す断面図である。 図の主要な部分を表わす符号の説明、２１……
半導体基板、２３……薄膜領域、２５，２９……
ゲート絶縁膜、２７，３１……ゲート電極、３３
……チヤネル領域、３５……ソース領域、３７…
…ドレイン領域。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 第１導電型の半導体基板に形成された前記半導
体基板と同一導電型の半導体薄膜領域と、 前記半導体薄膜領域の上下に各々ゲート絶縁膜
を介して同一幅で対向するように形成された２つ
のゲート電極と、 前記両ゲート電極にはさまれた前記半導体薄膜
領域に形成されるチヤネル領域の両側の前記半導
体薄膜領域に前記両ゲート電極と対向しないよう
に形成されたソース領域及びドレイン領域と、を
有することを特徴とする電界効果トランジスタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9347387U JPS64346U (ja) | 1987-06-19 | 1987-06-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9347387U JPS64346U (ja) | 1987-06-19 | 1987-06-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS64346U true JPS64346U (ja) | 1989-01-05 |
Family
ID=30956082
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9347387U Pending JPS64346U (ja) | 1987-06-19 | 1987-06-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS64346U (ja) |
-
1987
- 1987-06-19 JP JP9347387U patent/JPS64346U/ja active Pending