JPS6436962U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6436962U JPS6436962U JP13262887U JP13262887U JPS6436962U JP S6436962 U JPS6436962 U JP S6436962U JP 13262887 U JP13262887 U JP 13262887U JP 13262887 U JP13262887 U JP 13262887U JP S6436962 U JPS6436962 U JP S6436962U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- inductively coupled
- mass spectrometer
- coupled plasma
- signal amplification
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims description 5
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 claims description 5
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims description 5
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
第１図は本考案実施例の構成説明図、第２図は
従来例の構成説明図である。 １……プラズマトーチ、３……アルゴンガス供
給源、４ａ……レーザ光源、４ｄ，４ｄ′……試
料台、５……試料、７……高周波誘導結合プラズ
マ、８……ノズル、９……スキマー、１１……フ
オアチヤンバー、１３……センターチヤンバー、
１６……マスフイルタ、１７……リアチヤンバー
、２０……信号処理部、２１……センサ、２２…
…光ガイド穴、２３……信号増幅部、２４……警
報器。
従来例の構成説明図である。 １……プラズマトーチ、３……アルゴンガス供
給源、４ａ……レーザ光源、４ｄ，４ｄ′……試
料台、５……試料、７……高周波誘導結合プラズ
マ、８……ノズル、９……スキマー、１１……フ
オアチヤンバー、１３……センターチヤンバー、
１６……マスフイルタ、１７……リアチヤンバー
、２０……信号処理部、２１……センサ、２２…
…光ガイド穴、２３……信号増幅部、２４……警
報器。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 高周波誘導結合プラズマを用いて試料を励
起し生じたイオンを真空中に導入しイオン光学系
を通して質量分析計検出器に導いて検出すること
により前記試料中の被測定元素を分析する分析計
において、レーザ光源からのレーザ光を試料に照
射して該試料を気化させる試料チヤンバーと、前
記レーザ光を検出するセンサの上に前記試料が位
置するようにして前記試料を保持する試料台と、
前記センサからの光信号を導く光ガイド穴と、該
光ガイド穴を通つて導かれた光信号を検出して増
幅する信号増幅部と、該信号増幅部の出力を受け
て一定の警報を発する警報器とを具備し、前記レ
ーザ光が前記試料を透過して前記試料台に到達す
るような異常状態を事前に前記警報で知らせるよ
うに構成したことを特徴とする高周波誘導結合プ
ラズマ質量分析計。 (2) 前記信号増幅部は、前記光ガイド穴を通つ
て導かれた光信号を検出するフオトダイオードと
該フオトダイオードの出力を増幅する増幅器とか
らなる実用新案登録請求範囲第(1)項記載の高周
波誘導結合プラズマ質量分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13262887U JPH0518843Y2 (ja) | 1987-08-31 | 1987-08-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13262887U JPH0518843Y2 (ja) | 1987-08-31 | 1987-08-31 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6436962U true JPS6436962U (ja) | 1989-03-06 |
| JPH0518843Y2 JPH0518843Y2 (ja) | 1993-05-19 |
Family
ID=31389766
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13262887U Expired - Lifetime JPH0518843Y2 (ja) | 1987-08-31 | 1987-08-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0518843Y2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7615108B2 (en) | 2007-06-11 | 2009-11-10 | Mahle Filter Systems Japan Corp. | Canister |
| US7841321B2 (en) | 2005-01-28 | 2010-11-30 | Aisan Kogyo Kabushiki Kaisha | Canister and method of manufacturing the same |
| US7906078B2 (en) | 2002-06-18 | 2011-03-15 | Osaka Gas Co., Ltd. | Adsorbent of latent-heat storage type for canister and process for producing the same |
-
1987
- 1987-08-31 JP JP13262887U patent/JPH0518843Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7906078B2 (en) | 2002-06-18 | 2011-03-15 | Osaka Gas Co., Ltd. | Adsorbent of latent-heat storage type for canister and process for producing the same |
| US7841321B2 (en) | 2005-01-28 | 2010-11-30 | Aisan Kogyo Kabushiki Kaisha | Canister and method of manufacturing the same |
| US7615108B2 (en) | 2007-06-11 | 2009-11-10 | Mahle Filter Systems Japan Corp. | Canister |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0518843Y2 (ja) | 1993-05-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4300834A (en) | Inductively coupled plasma atomic fluorescence spectrometer | |
| JPS6463843A (en) | Excitation for remote sensor connected with optical fiber and detector | |
| JPS6436962U (ja) | ||
| CA2116821A1 (en) | Improvements in plasma mass spectrometry | |
| US6381014B1 (en) | Device for analyzing gaseous samples | |
| US4128336A (en) | Spectroscopic apparatus and method | |
| Tanaka et al. | Laser ablation/inductively coupled plasma mass spectrometry with aerosol density normalization | |
| JPS6436963U (ja) | ||
| JPS6226757A (ja) | 誘導結合プラズマ質量分析装置 | |
| US5153674A (en) | Semiconductor production control and/or measuring unit | |
| JPS6451259U (ja) | ||
| EP4375643A1 (en) | Apparatus for quantitatively detecting isotopologue of carbon dioxide using dual-photon absorption and spectrometer | |
| JPH01176359U (ja) | ||
| JPH04104449A (ja) | 高周波誘導プラズマ質量分析計 | |
| JP2792140B2 (ja) | 高周波誘導結合プラズマ質量分析計 | |
| JPS54162597A (en) | Laser probe induction coupled plasma emission analyzing apparatus | |
| JPS6451258U (ja) | ||
| JPH05107186A (ja) | 固体発光分光分析装置 | |
| JPS5887446A (ja) | 原子吸光分析用原子化装置 | |
| US20260079114A1 (en) | Laser ablation system with in-chamber fiber optic detection for laser induced breakdown spectroscopy | |
| JP3057184B2 (ja) | プラズマ発生装置 | |
| JPH0316656U (ja) | ||
| JPS56103354A (en) | Emission spectroscopic analysis apparatus | |
| JPS6455554U (ja) | ||
| GB1420044A (en) | Zeeman effect absorption spectrometer |