JPS6438253U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6438253U JPS6438253U JP1987134803U JP13480387U JPS6438253U JP S6438253 U JPS6438253 U JP S6438253U JP 1987134803 U JP1987134803 U JP 1987134803U JP 13480387 U JP13480387 U JP 13480387U JP S6438253 U JPS6438253 U JP S6438253U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- work holder
- storage tank
- surface plate
- weight adjustment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 6
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 3
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
Description
第１図は本考案のポリシング加工機の実施例を
示す断面図、第２図は第１図の―線断面図、
第３図は本考案の他の実施例を示す断面図である
。 Ｗ…工作物、１０…ポリシング定盤、１３…ワ
ークホルダ、１６…貯溜漕、１５…給排口、３０
…ケーシング、Ｗ…工作物。
示す断面図、第２図は第１図の―線断面図、
第３図は本考案の他の実施例を示す断面図である
。 Ｗ…工作物、１０…ポリシング定盤、１３…ワ
ークホルダ、１６…貯溜漕、１５…給排口、３０
…ケーシング、Ｗ…工作物。
Claims (1)
- 工作物を保持したワークホルダをポリシング定
盤に対して相対回転ならびに相対的接近離間運動
させかつこの工作物と前記ポリシング定盤間に砥
粒を含む加工液を供給して前記工作物の加工を行
うポリシング加工機において、前記ワークホルダ
もしくはこのワークホルダと一体をなすケーシン
グに、重量調整用流体を貯溜する貯溜漕と、この
貯溜漕に対して重量調整用流体を出し入れする給
排口を形成したことを特徴とするポリシング加工
機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987134803U JPS6438253U (ja) | 1987-09-03 | 1987-09-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987134803U JPS6438253U (ja) | 1987-09-03 | 1987-09-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6438253U true JPS6438253U (ja) | 1989-03-07 |
Family
ID=31393879
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987134803U Pending JPS6438253U (ja) | 1987-09-03 | 1987-09-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6438253U (ja) |
-
1987
- 1987-09-03 JP JP1987134803U patent/JPS6438253U/ja active Pending
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