JPS645105U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS645105U JPS645105U JP9841487U JP9841487U JPS645105U JP S645105 U JPS645105 U JP S645105U JP 9841487 U JP9841487 U JP 9841487U JP 9841487 U JP9841487 U JP 9841487U JP S645105 U JPS645105 U JP S645105U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measuring device
- thickness measuring
- film
- film thickness
- pencil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Description
第１図は本考案に係る膜厚測定装置の概略斜視
図であり、第２図はその概略回路図である。第３
図は本考案に係る膜厚測定装置の要部拡大斜視図
である。第４図は従来例の膜厚測定装置の概略斜
視図であり、第５図はその概略回路図である。 １……膜厚測定装置、２……四探針、３……ペ
ンシル状支持体、４……先端部、５……電池、６
……可変抵抗、７……テスター、１２……金属薄
膜、１３……ウエハー。
図であり、第２図はその概略回路図である。第３
図は本考案に係る膜厚測定装置の要部拡大斜視図
である。第４図は従来例の膜厚測定装置の概略斜
視図であり、第５図はその概略回路図である。 １……膜厚測定装置、２……四探針、３……ペ
ンシル状支持体、４……先端部、５……電池、６
……可変抵抗、７……テスター、１２……金属薄
膜、１３……ウエハー。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 四探針法を用いる膜厚測定装置において、 四探針がペンシル状支持体の先端部に配設され
てなり、且つ可撓性を有することを特徴とする膜
厚測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9841487U JPS645105U (ja) | 1987-06-29 | 1987-06-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9841487U JPS645105U (ja) | 1987-06-29 | 1987-06-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS645105U true JPS645105U (ja) | 1989-01-12 |
Family
ID=31324654
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9841487U Pending JPS645105U (ja) | 1987-06-29 | 1987-06-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS645105U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2025073097A (ja) * | 2023-10-25 | 2025-05-12 | ウィズメムズ カンパニー リミテッド | 被検査体の電気的特性をプロービングするプローブカード及びそれを製造する方法 |
-
1987
- 1987-06-29 JP JP9841487U patent/JPS645105U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2025073097A (ja) * | 2023-10-25 | 2025-05-12 | ウィズメムズ カンパニー リミテッド | 被検査体の電気的特性をプロービングするプローブカード及びそれを製造する方法 |
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