JPS6455403U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の第１実施例による位置検出装
置のセンサヘツド及び信号処理部の構成を示すブ
ロツク図、第２図はこの位置検出装置が取付けら
れる工作機のステージ部分の斜視図、第３図ａ，
ｂ，ｃは第１実施例の鏡面体の夫々異なる例を示
す側面図、第４図は第１実施例の各部の動作を示
すタイムチヤート、第５図は第１実施例によるス
テージの移動に対する反射光の変化を示す図、第
６図はステージの位置に対する反射光強度の変化
を示すグラフである。又第７図は本願の第２の実
施例の主要部を示すブロツク図、第８図は第２実
施例の各部の動作を示すタイムチヤートである。 １……ステージ、２……鏡面体、３……センサ
ヘツド、４，５……光電スイツチ、６……信号処
理部、７……光学式位置検出器、１０……オア回
路、１１，３１……ＬＤ駆動回路、１２……レー
ザダイオード、１３……レーザ光源駆動手段、１
４，１６，１７，１９……レンズ、１８……ピン
ホール板、２０，２１……フオトダイオード、２
３……アナログ除算器、２４……Ａ／Ｄ変換器、
２６……ＰＲＯＭ、３０……クロツク発生器、３
２……サンプルホールド回路。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 光学式位置検出器と、 移動体の側面に設けられその中央部が表面より
   傾いた反射斜面を有する鏡面体と、 前記移動体の側面に対向する光学式位置検出器
   の両側に設けられ、前記鏡面体からの反射光に基
   づいて鏡面体の近接を検知する一対の反射型光電
   スイツチと、を具備し、 前記光学式位置検出器は、 レーザ光源と、 前記レーザ光源の光を集束させ所定のビーム径
   の光を前記移動体に照射する光学手段と、 前記鏡面体の反射斜面からの反射光を受光する
   第１の光電変換器と、 少なくとも一方の前記光電スイツチからの移動
   体検知信号に基づいて前記レーザ光源を駆動する
   レーザ光源駆動手段と、 前記第１の光電変換器の出力レベルに基づいて
   前記移動体の位置を検出する信号処理手段と、を
   有するものであることを特徴とする位置検出装置
   。 (2) 前記信号処理手段は、前記光源の光を電気
   信号に変換する第２の光電変換器と、前記第１の
   光電変換器の出力を前記第２の光電変換器の出力
   で除算することによつて正規化する除算器と、前
   記除算器より得られる信号に対応する移動体の位
   置信号を記憶する記憶手段と、を具備し、前記除
   算器の出力に基づいて前記記憶手段より読出され
   た位置信号を出力するものであることを特徴とす
   る実用新案登録請求の範囲第１項記載の位置検出
   装置。