JPS6457637U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6457637U JPS6457637U JP15023387U JP15023387U JPS6457637U JP S6457637 U JPS6457637 U JP S6457637U JP 15023387 U JP15023387 U JP 15023387U JP 15023387 U JP15023387 U JP 15023387U JP S6457637 U JPS6457637 U JP S6457637U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crystal
- quartz tube
- substrate
- heat sink
- stopper
- Prior art date
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- Granted
Links
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 5
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図は本考案に係る結晶成長装置の断面図、
第２図Ａ及びＢは従来の結晶成長装置の断面図で
ある。 符号の説明、ａ……アンプル、１……石英管、
２……内部ヒートシンク、３……基板結晶、４…
…基板止め、５……溶着部、６……メルト。
第２図Ａ及びＢは従来の結晶成長装置の断面図で
ある。 符号の説明、ａ……アンプル、１……石英管、
２……内部ヒートシンク、３……基板結晶、４…
…基板止め、５……溶着部、６……メルト。
Claims (1)
- 有底石英管内に棒状の熱伝導率の高い物質から
なる内部ヒートシンクを収納し、この内部ヒート
シンクの上面に基板結晶を当接させる態様で配置
し、この基板結晶を基板止めで保持し、この基板
止めの上端に位置する石英管の溶着部を軟化溶着
して基板結晶を固定した後前記石英管にメルトを
充填して高真空とした後前記石英管の開口部を閉
じて密封した構成とし、上下に温度差が形成され
た溶液により基板結晶上に結晶をエピタキシヤル
成長させることを特徴としてなる半導体結晶の結
晶成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15023387U JPH034028Y2 (ja) | 1987-09-30 | 1987-09-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15023387U JPH034028Y2 (ja) | 1987-09-30 | 1987-09-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6457637U true JPS6457637U (ja) | 1989-04-10 |
| JPH034028Y2 JPH034028Y2 (ja) | 1991-02-01 |
Family
ID=31423190
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15023387U Expired JPH034028Y2 (ja) | 1987-09-30 | 1987-09-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH034028Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-09-30 JP JP15023387U patent/JPH034028Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH034028Y2 (ja) | 1991-02-01 |