JPS64657B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS64657B2 JPS64657B2 JP13388381A JP13388381A JPS64657B2 JP S64657 B2 JPS64657 B2 JP S64657B2 JP 13388381 A JP13388381 A JP 13388381A JP 13388381 A JP13388381 A JP 13388381A JP S64657 B2 JPS64657 B2 JP S64657B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspected
- scanning
- light
- drive
- pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/952—Inspecting the exterior surface of cylindrical bodies or wires
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、三次元形状物体の表面欠陥検査装
置に係り、特に被検査部品を静止させたままで、
その被検査部品全面の欠陥を検出するための光学
系に関するものである。
置に係り、特に被検査部品を静止させたままで、
その被検査部品全面の欠陥を検出するための光学
系に関するものである。
電気部品に代表されるような小物部品の三次元
表面の表面欠陥を検出する装置への要求は強いも
のがある。このために従来、第１図、第２図に示
すような検査機が用いられていた。
表面の表面欠陥を検出する装置への要求は強いも
のがある。このために従来、第１図、第２図に示
すような検査機が用いられていた。
第１図は被検査部品の軸方向に光を走査させる
方式で、第２図は被検査部品の円周方向に光を走
査させる方式である。すなわち、第１図、第２図
において、１は被検査部品、２は軸方向走査光、
３は光電素子、４は円周方向走査光である。
方式で、第２図は被検査部品の円周方向に光を走
査させる方式である。すなわち、第１図、第２図
において、１は被検査部品、２は軸方向走査光、
３は光電素子、４は円周方向走査光である。
第１図において、光は軸方向に走査され、被検
査部品１の欠陥による反射光変化が光電素子３で
検知される。
査部品１の欠陥による反射光変化が光電素子３で
検知される。
また、第２図においては被検査部品１の円周方
向に光が走査され、反射光が光電素子３で受光さ
れ、第１図の場合と同様に欠陥が抽出できる。
向に光が走査され、反射光が光電素子３で受光さ
れ、第１図の場合と同様に欠陥が抽出できる。
しかしながら、第１図、第２図の場合は、とも
に欠陥検査は一方向のみの走査線下の表面であ
り、被検査部品１の全面を検査しようとすると、
第１図では被検査部品１を回転させ、第２図では
被検査部品１を軸方向に移動させる機構をそれぞ
れ必要とする上に、被検査部品１が小物である場
合、処理数を速くさせる必要性、移動機構の振動
を抑制する必要性、被検査部品１を確実につかむ
必要性等から、機構が複雑、高価になり、実用性
に乏しいのが現状であつた。
に欠陥検査は一方向のみの走査線下の表面であ
り、被検査部品１の全面を検査しようとすると、
第１図では被検査部品１を回転させ、第２図では
被検査部品１を軸方向に移動させる機構をそれぞ
れ必要とする上に、被検査部品１が小物である場
合、処理数を速くさせる必要性、移動機構の振動
を抑制する必要性、被検査部品１を確実につかむ
必要性等から、機構が複雑、高価になり、実用性
に乏しいのが現状であつた。
この発明は、かかる現状に対処するためになさ
れたもので、光を三次元走査させることにより、
被検査部品の移動をさせるための機構を省略した
表面欠陥検査装置を提供するものである。以下、
図面に基づいてこの発明を説明する。
れたもので、光を三次元走査させることにより、
被検査部品の移動をさせるための機構を省略した
表面欠陥検査装置を提供するものである。以下、
図面に基づいてこの発明を説明する。
第３図はこの発明の一実施例を示す光学系の概
略構成図、第４図は第３図の光学系における駆動
鏡のドライブ回路図、第５図は第４図のドライブ
回路中の利得制御信号発生器の出力波形図、第６
図は三次元検査の原理を示す概略図である。な
お、説明の都合上、円筒状の被検査部品１を円形
パターンを用いて検査する場合について説明す
る。
略構成図、第４図は第３図の光学系における駆動
鏡のドライブ回路図、第５図は第４図のドライブ
回路中の利得制御信号発生器の出力波形図、第６
図は三次元検査の原理を示す概略図である。な
お、説明の都合上、円筒状の被検査部品１を円形
パターンを用いて検査する場合について説明す
る。
第３図〜第６図において、５は円筒状内面反射
鏡、６ａ，６ｂは駆動鏡、７ａ，７ｂはAGC（自
動利得制御）回路、８ａ，８ｂはドライブ回路、
９は利得制御信号発生器、１０は前記利得制御信
号発生器９の出力、１１，１２は走査光路、Ｐ，
Ｑはそれぞれ前記被検査部品１の両端である。
鏡、６ａ，６ｂは駆動鏡、７ａ，７ｂはAGC（自
動利得制御）回路、８ａ，８ｂはドライブ回路、
９は利得制御信号発生器、１０は前記利得制御信
号発生器９の出力、１１，１２は走査光路、Ｐ，
Ｑはそれぞれ前記被検査部品１の両端である。
次に、動作について説明する。
第３図において、駆動鏡６ａ，６ｂは駆動軸が
直交して配置され、さらに好ましくは、それぞれ
sinωt，cosωtの駆動波形で各軸のまわりに駆動
されているものとする。このような構成で駆動鏡
６ａ，６ｂによつて入射光が円形に走査され、円
筒状内面反射鏡５で反射の後、被検査部品１上を
円周方向走査をする。
直交して配置され、さらに好ましくは、それぞれ
sinωt，cosωtの駆動波形で各軸のまわりに駆動
されているものとする。このような構成で駆動鏡
６ａ，６ｂによつて入射光が円形に走査され、円
筒状内面反射鏡５で反射の後、被検査部品１上を
円周方向走査をする。
このような状態において、第４図の如く、駆動
鏡６ａ，６ｂを駆動する回路で、入力sinωt，
cosωtの各々がAGC回路７ａ，７ｂに入力され、
各々Ｋ倍の利得が乗じられた後に、ドライブ回路
８ａ，８ｂに入り、各駆動鏡６ａ，６ｂを駆動す
る信号として出力される。
鏡６ａ，６ｂを駆動する回路で、入力sinωt，
cosωtの各々がAGC回路７ａ，７ｂに入力され、
各々Ｋ倍の利得が乗じられた後に、ドライブ回路
８ａ，８ｂに入り、各駆動鏡６ａ，６ｂを駆動す
る信号として出力される。
ここで、AGC回路７ａ，７ｂにおいて乗じら
れる係数Ｋを、利得制御信号発生器９で、第５図
に示すように変化をさせると、ドライブ回路８
ａ，８ｂの出力は最大の振幅変化が第５図に示す
ように変化する正弦波、余弦波をそれぞれ発生さ
せるが、この結果、駆動鏡６ａ，６ｂの最大の振
れ角が変化する。このことは、駆動鏡６ａ，６ｂ
で発生する円形走査パターンの直径が同様の変化
をしていることを意味する。
れる係数Ｋを、利得制御信号発生器９で、第５図
に示すように変化をさせると、ドライブ回路８
ａ，８ｂの出力は最大の振幅変化が第５図に示す
ように変化する正弦波、余弦波をそれぞれ発生さ
せるが、この結果、駆動鏡６ａ，６ｂの最大の振
れ角が変化する。このことは、駆動鏡６ａ，６ｂ
で発生する円形走査パターンの直径が同様の変化
をしていることを意味する。
第６図において、前述したように円形走査パタ
ーンの進行する走査光路が１１から１２へと変化
する。この結果、円筒状内面反射鏡５で反射した
円形走査光は、被検査部品１の表面上Ｐ点からＱ
点へ移動することになる。走査光路１１から１２
に移動するのに合わせて、円筒状内面反射鏡５で
反射して被検査部品１を照射する円形パターンの
位置がＰ点からＱ点に移動することはいうまでも
なく、したがつて、被検査部品１を固定したまま
で、円周方向走査光４を軸方向に移動させる三次
元走査を行うことができ、被検査部品１を移動さ
せる機構を省略した表面欠陥検査装置を実現する
ことができる。
ーンの進行する走査光路が１１から１２へと変化
する。この結果、円筒状内面反射鏡５で反射した
円形走査光は、被検査部品１の表面上Ｐ点からＱ
点へ移動することになる。走査光路１１から１２
に移動するのに合わせて、円筒状内面反射鏡５で
反射して被検査部品１を照射する円形パターンの
位置がＰ点からＱ点に移動することはいうまでも
なく、したがつて、被検査部品１を固定したまま
で、円周方向走査光４を軸方向に移動させる三次
元走査を行うことができ、被検査部品１を移動さ
せる機構を省略した表面欠陥検査装置を実現する
ことができる。
なお、被検査部品１からの反射光の受光手段は
特に限定されるべきものではなく、検査の目的、
要求感度、応答速度等に応じて任意のものが利用
可能である。また、被検査部品１を円筒とし、被
検査部品１を照射するパターンを説明の都合上、
円形で説明したが、被検査部品１の外形状とパタ
ーン形状を合わせ、パターンの振幅を変化させる
ことにより、上述したのと同様の効果が得られる
ことはいうまでもない。
特に限定されるべきものではなく、検査の目的、
要求感度、応答速度等に応じて任意のものが利用
可能である。また、被検査部品１を円筒とし、被
検査部品１を照射するパターンを説明の都合上、
円形で説明したが、被検査部品１の外形状とパタ
ーン形状を合わせ、パターンの振幅を変化させる
ことにより、上述したのと同様の効果が得られる
ことはいうまでもない。
また、円筒状内面反射鏡５は走査光路１１，１
２を変更するという目的をもつているものであ
り、同一の効果をもたらすレンズ、テーパ状円筒
鏡、断面が二次曲線である回転面鏡等の光学部品
で置き替えることも可能である。さらに時間的に
駆動鏡６ａ，６ｂの振幅を変えるための制御出力
は、第５図の形状に限定されるものではなく、任
意の関数とすることが可能である。
２を変更するという目的をもつているものであ
り、同一の効果をもたらすレンズ、テーパ状円筒
鏡、断面が二次曲線である回転面鏡等の光学部品
で置き替えることも可能である。さらに時間的に
駆動鏡６ａ，６ｂの振幅を変えるための制御出力
は、第５図の形状に限定されるものではなく、任
意の関数とすることが可能である。
以上詳細に説明したようにこの発明は、２台の
駆動鏡で発生させた二次元走査パターンの形状を
保つたまま振幅を大きくした相似パターンを発生
し、光偏向手段で被検査部品に照射することによ
り、被検査部品に対する三次元走査をさせるよう
にしたので、被検査部品の移動機構が省略できる
など、実用上大きな利益が得られるものである。
駆動鏡で発生させた二次元走査パターンの形状を
保つたまま振幅を大きくした相似パターンを発生
し、光偏向手段で被検査部品に照射することによ
り、被検査部品に対する三次元走査をさせるよう
にしたので、被検査部品の移動機構が省略できる
など、実用上大きな利益が得られるものである。
第１図は被検査部品の軸方向に光を走査させる
従来の方式を示す概略斜視図、第２図は被検査部
品の円周方向に光を走査させる従来の方式を示す
概略斜視図、第３図はこの発明の一実施例を示す
光学系の概略構成図、第４図は第３図の光学系に
おける駆動鏡のドライブ回路図、第５図は第４図
のドライブ回路中の利得制御信号発生器の出力波
形図、第６図は三次元走査の原理を示す概略図で
ある。 図中、１は被検査部品、３は光電素子、４は円
周方向走査光、５は円筒状内面反射鏡、６ａ，６
ｂは駆動鏡、７ａ，７ｂはAGC回路、８ａ，８
ｂはドライブ回路、９は利得制御信号発生器、１
０は出力、１１，１２は走査光路である。なお、
図中の同一符号は同一または相当部分を示す。
従来の方式を示す概略斜視図、第２図は被検査部
品の円周方向に光を走査させる従来の方式を示す
概略斜視図、第３図はこの発明の一実施例を示す
光学系の概略構成図、第４図は第３図の光学系に
おける駆動鏡のドライブ回路図、第５図は第４図
のドライブ回路中の利得制御信号発生器の出力波
形図、第６図は三次元走査の原理を示す概略図で
ある。 図中、１は被検査部品、３は光電素子、４は円
周方向走査光、５は円筒状内面反射鏡、６ａ，６
ｂは駆動鏡、７ａ，７ｂはAGC回路、８ａ，８
ｂはドライブ回路、９は利得制御信号発生器、１
０は出力、１１，１２は走査光路である。なお、
図中の同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- １ 走査光で被検査部品を照射し、前記被検査部
品からの反射を受けて前記被検査部品の表面欠陥
を検出する装置において、前記走査光を前記被検
査部品の外形形状に相似な走査パターンで走査さ
せる走査手段と、前記走査パターンの大きさを時
間的に変化させる手段と、この時間的に変化した
走査パターンを前記被検査部品に照射する光の三
次光走査手段とを備えたことを特徴とする表面欠
陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13388381A JPS5834346A (ja) | 1981-08-26 | 1981-08-26 | 表面欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13388381A JPS5834346A (ja) | 1981-08-26 | 1981-08-26 | 表面欠陥検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5834346A JPS5834346A (ja) | 1983-02-28 |
| JPS64657B2 true JPS64657B2 (ja) | 1989-01-09 |
Family
ID=15115313
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13388381A Granted JPS5834346A (ja) | 1981-08-26 | 1981-08-26 | 表面欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5834346A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03125838U (ja) * | 1990-03-31 | 1991-12-19 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02152681A (ja) * | 1988-11-25 | 1990-06-12 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | 刷子接点の梱包ケース |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5327087A (en) * | 1976-08-26 | 1978-03-13 | Toshiba Corp | Flaw detector |
-
1981
- 1981-08-26 JP JP13388381A patent/JPS5834346A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03125838U (ja) * | 1990-03-31 | 1991-12-19 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5834346A (ja) | 1983-02-28 |
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