KR970077446A - 스크린 프린트 장치의 웨이퍼 고정용 지그 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼의 전극 패드 상에 금속 범프(Bump)를 형성하기 위한 스크린 프린트(Screen Print) 장치 중에서 웨이퍼를 고정·지지하는 지그(Jig)에 관한 것으로서, 웨이퍼에 대한 지그의 고정력이 떨어져 웨이퍼의 흔들림이나 기울어짐이 발생될 경우, 그로 인해 나타나는 스크린 프린트시의 부정확한 스크린 정렬, 금속 페이스트의 불균일 전사, 스크린에 의한 웨이퍼의 손상, 금속 페이스트의 붕괴에 의한 단락 현상 등의 문제점을 해결하기 위하여, 웨이퍼 측면을 지지·고정하고 위치이동이 가능한 지지벽을 포함하는 가이드부를 형성함으로써, 웨이퍼에 대한 고정력을 증가시켜 웨이퍼의 흔들림이나 기울어짐을 방지하고, 균일한 금속 페이스트의 전사를 가능하게 하며, 웨이퍼의 손상을 방지할 뿐만 아니라, 웨이퍼의 직경에 관계없이 범용적으로 사용이 가능하게 하는 것이다.

Description

스크린 프린트 장치의 웨이퍼 고정용 지그
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 실시예에 의한 스크린 프린트 장치의 웨이퍼 고정용 지그 및 웨이퍼가 지그에 공급되는 상태를 나타내는 사시도.

Claims (8)

  1. 웨이퍼의 전극 패드에 금속 범프를 형성하는 스프린 프린트 장치에 있어서, 스크린 프린트 장치에 결합되며 평탄한 상부면을 가지는 지그 몸체와; 상기 지그 몸체에 한개 이상 형성되며 상기 지그 몸체의 상부면 상에 공급되는 웨이퍼를 흡착하기 위한 흡착수단; 상기 지그 몸체의 상부면 가장자리에 형성되는 복수개의 가이더 몸체와, 상기 가이더 몸체와 일체형으로 형성되며 상기 웨이퍼의 측면을 지지하기 위한 지지벽과,상기 가이더 몸체를 상기 지그 몸체 상에 결합하기 위한 체결수단을 가지는 가이더부(Guider部)를 포함하는 스크린 프린트 장치의 웨이퍼 고정용 지그(Jig).
  2. 제1항에 있어서, 상기 가이더부가 상기 지그 몸체의 상부면 양쪽 가장자리에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 스크린 프린트 장치의 웨이퍼 고정용 지그.
  3. 제1항에 있어서, 상기 가이더부가 상기 지그 몸체의 상부면 사방(四方)의 가장자리에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 스크린 프린트 장치의 웨이퍼 고정용 지그.
  4. 제1항에 있어서, 상기 지그 몸체의 상부면으로부터 상기 가이더부의 상부면까지의 높이가 상기 웨이퍼의 두께보다 작은 것을 특징으로 하는 스크린 프린트 장치의 웨이퍼 고정용 지그.
  5. 제1항에 있어서, 상기 가이더부가 상기 지그 몸체 상에서 위치이동이 가능하도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 스크린 프린트 장치의 웨이퍼 고정용 지그.
  6. 제5항에 있어서, 상기 가이더부가 가이더 몸체의 상이 체결수단이 삽입되는 장방향의 체결 홈이 형성되어 있어서, 상기 가이더부가 상기 지그 몸체 상에서 위치이동이 가능하도록 한 것을 특징으로 하는 스크린 프린트 장치의 웨이퍼 고정용 지그.
  7. 제5항에 있어서, 상기 지그 몸체가 상기 가이더부의 위치이동을 인도(引導)하기 위한 가이더 통로가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 스크린 프린트 장치의 웨이퍼 고정용 지그.
  8. 제1항에 있어서, 상기 흡착수단이 진공 흡착 방법을 이용하는 것을 특징으로 하는 스크린 프린트 장치의 웨이퍼 고정용 지그.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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