RU92003019A - Способ очистки внутренней поверхности кварцевых изделий - Google Patents
Способ очистки внутренней поверхности кварцевых изделийInfo
- Publication number
- RU92003019A RU92003019A RU92003019/26A RU92003019A RU92003019A RU 92003019 A RU92003019 A RU 92003019A RU 92003019/26 A RU92003019/26 A RU 92003019/26A RU 92003019 A RU92003019 A RU 92003019A RU 92003019 A RU92003019 A RU 92003019A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- cleaning
- plasma
- internal surface
- quartz products
- workpiece
- Prior art date
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims 2
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 claims 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
Claims (1)
- Предложен способ очистки внутренней поверхности кварцевых изделий, который заключается в ионноплазменной обработке этой поверхности. Из состава плазмообразующей смеси исключены фторсодержащие компоненты и устранен контакт электродов, возбуждающих плазму, с обрабатываемым изделием. Плазма подается внутрь обрабатываемого изделия из внешнего источника, формирующего плазменную струю, и содержит только аргон и кислород.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU92003019A RU2061804C1 (ru) | 1992-10-26 | 1992-10-26 | Способ очистки внутренней поверхности кварцевых изделий |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU92003019A RU2061804C1 (ru) | 1992-10-26 | 1992-10-26 | Способ очистки внутренней поверхности кварцевых изделий |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU92003019A true RU92003019A (ru) | 1996-01-27 |
| RU2061804C1 RU2061804C1 (ru) | 1996-06-10 |
Family
ID=20131247
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU92003019A RU2061804C1 (ru) | 1992-10-26 | 1992-10-26 | Способ очистки внутренней поверхности кварцевых изделий |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2061804C1 (ru) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2706978C2 (ru) * | 2018-04-28 | 2019-11-21 | Публичное акционерное общество "Нефтяная компания "Роснефть" (ПАО "НК "Роснефть") | Способ полимерного заводнения в слабосцементированном коллекторе |
-
1992
- 1992-10-26 RU RU92003019A patent/RU2061804C1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| ES2163561T3 (es) | Procedimiento para aumentar la humectabilidad de superficies de articulos. | |
| CA2112103A1 (en) | Methods and Apparatus for Externally Treating a Container with Application of Internal Bias Gas | |
| AU573660B2 (en) | Plasma arc torch | |
| ATE224584T1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur reinigung eines plasmareaktors | |
| EP0638660A3 (en) | Dry cleaning of chambers semiconductor processing. | |
| ATE73961T1 (de) | Vorrichtung zur plasmabehandlung von substraten in einer durch hochfrequenz angeregten plasmaentladung. | |
| ES2117775T3 (es) | Procedimiento y dispositivo de tratamiento con fundente, por via seca, de superficies metalicas antes de la soldadura o estañado. | |
| EP0643151A4 (en) | DEVICE AND SYSTEM FOR ARC PLATING. | |
| KR890001166A (ko) | 표면 처리장치 | |
| ITFI920078A0 (it) | Processo per l'isolamento di fattore ix, fattore x e fattore ii altamente purificati dal complesso protrombinico o dal plasma umana. | |
| EP0641150A4 (en) | TREATMENT DEVICE. | |
| ES2151633T3 (es) | Procedimiento y dispositivo para el decapado de un substrato metalico. | |
| RU92003019A (ru) | Способ очистки внутренней поверхности кварцевых изделий | |
| SE9102378L (sv) | Metod foer diamantbelaeggning med mikrovaagsplasma | |
| EP0431190A4 (en) | Fluid treater and method of stopping the same | |
| ES2084400T3 (es) | Procedimiento para soldar con estaño placas de circuitos impresos. | |
| JPS57201016A (en) | Cleaning method for semiconductor manufacturing apparatus | |
| SE9601109D0 (sv) | A method of bracing and a shielding gas | |
| ATE57362T1 (de) | Vorrichtung zum kontinuierlichen foerdern und drehen von koerpern durch eine bearbeitungskammer. | |
| JPS5615044A (en) | Plasma cleaning method | |
| FI920122A0 (fi) | Foerfarande och anordning foer foerbaettring av ytbelaeggningsanordning. | |
| JPS56110940A (en) | Method for developing and rinsing photoresist | |
| ES2017916B3 (es) | Dispositivo para el tratamiento de superficies de objetos | |
| PT1011956E (pt) | Dispositivo para tratamento corona de superficies de substrato | |
| SU1820787A1 (ru) | Способ плазмохимического удаления фоторезиста с полупроводниковой подложки |