SE517341C2 - Integrerad våglängdsmonitor för laserljus - Google Patents
Integrerad våglängdsmonitor för laserljusInfo
- Publication number
- SE517341C2 SE517341C2 SE0000041A SE0000041A SE517341C2 SE 517341 C2 SE517341 C2 SE 517341C2 SE 0000041 A SE0000041 A SE 0000041A SE 0000041 A SE0000041 A SE 0000041A SE 517341 C2 SE517341 C2 SE 517341C2
- Authority
- SE
- Sweden
- Prior art keywords
- wavelength
- interference filter
- sensitive
- detector
- light
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 6
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 claims abstract description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims abstract description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 claims description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims 2
- 238000002789 length control Methods 0.000 claims 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 abstract description 5
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 abstract description 5
- 238000004891 communication Methods 0.000 abstract description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 abstract description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 abstract 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/0014—Monitoring arrangements not otherwise provided for
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
- H10F77/30—Coatings
- H10F77/306—Coatings for devices having potential barriers
- H10F77/331—Coatings for devices having potential barriers for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors
- H10F77/337—Coatings for devices having potential barriers for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors using interference filters, e.g. multilayer dielectric filters
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
- H10F77/95—Circuit arrangements
- H10F77/953—Circuit arrangements for devices having potential barriers
- H10F77/957—Circuit arrangements for devices having potential barriers for position-sensitive photodetectors, e.g. lateral-effect photodiodes or quadrant photodiodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/026—Monolithically integrated components, e.g. waveguides, monitoring photo-detectors, drivers
- H01S5/0262—Photo-diodes, e.g. transceiver devices, bidirectional devices
- H01S5/0264—Photo-diodes, e.g. transceiver devices, bidirectional devices for monitoring the laser-output
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Optical Communication System (AREA)
- Lasers (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
517,¿_341 Även en internationell ansökning WO95/ 20144 visar en optisk våglängds- sensor som består av en kilfonnad Fabry-Perotplatta som uppvisar resonans för olika optiska våglängder tvärs sin bredd och en grupp av detektorer som detekterar den rumsliga dispositionen av resonanstoppar som uppträder. Ännu ett ytterligare dokument US-A-5 305 330 visar ett system som inne- fattar en laserdiod och ett system för att stabilisera laserdiodens våglängd.
Systemet innefattar en stråluppdelare och ett diffraktionsgitter för mätning samt ett antal fotodetektorer.
Alla funna lösningar så långt är ganska komplexa och mer eller mindre svåra att implementera i en standardlaseranordning. En laser med en integrerad våglångdsövervakning skulle emellertid på marknaden vara en attraktiv komponent. Därför finns det ett önskemål om en enkel kompakt integrerad anordning för övervakning av våglängden för en laseranordning.
SAMMANFATTNING En våglângdsmonitor lämplig för integration i en halvledarlasennodul för fiberoptisk kommunikation kan tillverkas på följande sätt: Ett interferens- filter deponeras direkt på en lägeskånslig fotodetektor eller monteras direkt ovanpå detektorn. Detektoranordningen monteras med en vinkel bakom lasem i samma läge som en normal effektövervakningsmonitor. Det elekt- riskt härledda laterala läget för ljus som träffar den lägeskänsliga anord- ningen försedd med interferensfiltret kommer att vara beroende av våglängden för det infallande ljuset och detta härledda läge används för våglängdsövervakningen.
Ett förfarande för att erhålla en våglängdsövervakningsanordning i enlighet med den föreliggande uppfinningen fastställs av det oberoende patentkravet 1 och de beroende patentkraven 2 - 5.' Vidare fastställs en anordning för styrning av våglängden för en laserkälla genom det oberoende patentkravet 6 och ytterligare utföringsformer av anordningen fastställs av de beroende patentkraven 7 - 10. 517 341 3 KORT BESKRIVNING AV RITNINGARNA Uppfinningen tillsammans med ytterligare ändamål och fördelar med denna kan bäst förstås genom hänvisning till följande beskrivning läst tillsammans med de medföljande ritningarna, i vilka: Fig.l illustrerar en typisk utföringsform av en lågeskånslig diod i enlighet med teknikens ståndpunkt, Fig. 2 illustrerar en kombination av en lägeskänslig fotodetektor och ett interferensñlter i enlighet med den föreliggande uppfinningen, Fig. 3 illustrerar, i enlighet med Fig. 1, montering av en integrerad våglängdsmonitor med en vinkel vid ett avstånd från bakfasetten av en laseranordning, samt Fig. 4 illustrerar en linje bildad genom den lägeskånsliga anordningens deponerade filter, varvid läget för denna linje är beroende av våglängden.
DETALJERAD BESKRIVNING I Fig. 1 demonstreras en allmän utföringsform av en lågeskänslig diod. En lågeskänslig diod år en modifikation av en vanlig fotodiod. Genom använd- ning av två frontelektroder 1 och 2 kommer fotoströmmen alstrad genom inkommande ljus 3 att uppdelas mellan frontelektroderna som alstrar strömmarna 11 och 12 i de två frontelektroderna. Ljusets laterala läge x kan då extraheras ur förhållandet mellan de två erhållna strömmarna. Detta utgör grundprincipen för en lägeskänslig detektor normalt hänvisad till som en PSD, för att utnyttjas i den föreliggande tillämpningen.
En våglängdsmonitor i enlighet med den föreliggande uppfinníngen utformas genom en uppfinningsmässig kombination av en lågeskänslig detektor och ett interferensfilter. Följaktligen utgör PSD 10 en fotodetektor från vilken 517 341 Iš. Iå-Ilflïlli 3 Ål både läget liksom intensiteten för infallande ljus kan extraheras. Denna PSD erhålls genom att påföra flertalet elektroder på en fotodioddetektor. Läget och intensiteten härleds sedan från strömmen observerad i respektive elektroder.
I en grundläggande utföringsform demonstrerad i Fig. 2 tillverkas ett interferensfilter ovanpå PSD 10 genom deponering av ett antal skikt av olika optiska transparenta material. I ännu en annan utföringsform tillverkas ett interferensfilter separat och fästs genom bondning därefter på den positionskänsliga detektorskivan 10. Upplösning och väglängdsområde för monitorn kan styras genom distansskiktets tjocklek i interferensfiltret 12.
Filtret kan till exempel i en typisk utföringsfonn skapas som en Fabry- Perotplatta. Genom att använda material med låg termisk utvidgning som distansskikt kan temperaturberoendet minimeras.
I en typisk utföringsform som använder den föreliggande uppfinningen monteras en våglängdsmonitor 13, ord som indikerats ovan, med en vinkel på ett avstånd från bakfasetten för en laser 14 som illustrerats i Fig. 3. Alter- nativt kan något av ljuset från framfasetten riktas mot monitom.
Eftersom endast ljus som infaller vid en specifik vinkel kommer att överföras genom filtret 12 kommer en linje 15, som indikerats i Fig. 4, att formas på den lägeskänsliga detektorn 10, varvid linjens läge är beroende av våglängden. Ur strömmen detekterad av fotodetektorns elektroder kan ljusets våglängd sedan extraheras.
Detektorn är enkel att tillverka med användning av tillgängliga standard- processer. Den föreliggande monitorn kan direkt ersätta effektmonitorn använd i aktuella laserpaket. Kommersiellt producerade lägeskänsliga detektorer hittas till exempel hos SiTek Electro Optics, Partille, Sverige.
Genom att montera komponenten 13 i enlighet med den föreliggande uppfinningen framför en optisk ñber skapas en billig, högtillförlithg 5175341 våglångdsmeter. Genom att använda fler elektroder i den lâgeskänsliga detektorn PSD kunde även en lasers dubbelmoder detekteras. Genom att mäta våglängdssignalen upplöst i» tid kan laserns "kvitter" då enkelt övervakas.
Det kommer att inses av fackmannen att olika modifikationer och ändringar kan göras i den föreliggande uppfinningen utan avsteg från dess omfattning som definieras av de bifogade patentkraven.
Claims (10)
1. Förfarande för att erhålla enljusvåglängdsmonitor, kännetecknad av stegen användning av en lägeskänslig detektor (10) som tillhandahåller information om läget och intensiteten för ínfallande ljus genom extraherad ström från ett antal detektorelektroder, placering av ett interferensfilter (12) direkt ovanpå den lägeskänsliga detektorn (10) för att därigenom skapa en integrerad våglängdskänslig anordning (13), montering den skapade våglängdkänsliga anordningen (13) med en vinkel vid ett avstånd från en ljuskälla för att få den våglängdskänsliga anordningen att tjäna som en ljusvåglångdsmonitor.
2. Förfarande enligt krav 1, kännetecknat av det ytterligare steget att tillverka interferensfiltret (12) direkt ovanpå den lägeskänsliga detektorn (10) genom deponering av ett antal optiskt transparenta materialskikt som bildar materialskikt för ett optiskt ñlter.
3. Förfarande enligt krav l, kännetecknat av det ytterligare steget att separat tillverka interferensfiltret (12) med ett antal materialskikt och därefter genom bondning fästa det erhållna interferensfiltret (12) mot den lågeskänsliga detektorn (10).
4. Förfarande enligt krav l, kännetecknat av det ytterligare steget att använda ett material med låg termisk utvidgning som separationsskikt i interferensfiltret (12) för att minimera temperaturberoende.
5. Förfarande enligt krav 1, kännetecknat av det ytterligare steget med användning av utsignalerna deriverade från den lägeskänsliga detektorn för att styra våglängden för en emitterare avlaserljus. 5177341
6. Anordning för skapande av en ljusvåglängdsmonitor, kännetecknar! av en lägeskänslig detektor (10), som används för att tillhandahålla information om läge och intensitet för infallande ljus genom användning av ström extraherad från ett antal lägeskänsliga diodelektroder, ett interferensfilter (12) som är placerat direkt ovanpå den lägeskänsliga detektorn (10) för att därmed skapa en integrerad våglängdskänslig anordning (13), varvid den våglängdskänsliga anordningen (13) är monterad med en vinkel vid ett avstånd från en ljuskälla ßr att få den väglängdkänsliga anordningen att arbeta som en våglängdsöver- vakningsanordning.
7. Anordning enligt krav 6, kännetecknad av att interferensfiltret (12) tillverkas direkt ovanpå den lägeskänsliga anordningen (10) genom deponering av ett antal skikt av olika optiskt transparenta material som bildar ett optiskt filter för att skapa den integrerade våglängdsöver- vakningsanordningen.
8. Anordning enligt krav 6, kännetecknad av att interferensfiltret (12) tillverkas separat av ett antal skikt av olika optiskt transparenta material som bildar filtret som därefter genom bondning fästs mot den lägeskänsliga detektorn ( 10) för att därmed skapa den integrerade våglängdsövervak- ningsanordningen.
9. Anordning enligt krav 6, kännetecknad av att ett material med låg termisk utvidgning används som separationsskikt i interferensfiltret (12) för att minimera temperaturberoende.
10. Anordning enligt krav 6, kännetecknad av väglängdstyrning genom användning av utsignaler härledda från »den lägeskänsliga detektorn (10) för styrning av våglängden för en emitterare av laserljus.
Priority Applications (10)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SE0000041A SE517341C2 (sv) | 2000-01-10 | 2000-01-10 | Integrerad våglängdsmonitor för laserljus |
| TW089101492A TW484269B (en) | 2000-01-10 | 2000-01-28 | Method for obtaining a light wavelength monitor and device for forming a light wavelength monitor |
| DE60105403T DE60105403T2 (de) | 2000-01-10 | 2001-01-08 | Integrierte wellenlängen-überwachungsvorrichtung |
| JP2001552483A JP2003520439A (ja) | 2000-01-10 | 2001-01-08 | 統合波長モニタ |
| CNB018035485A CN1178342C (zh) | 2000-01-10 | 2001-01-08 | 集成式波长监测器 |
| EP01901625A EP1269586B1 (en) | 2000-01-10 | 2001-01-08 | Integrated wavelength monitor |
| PCT/SE2001/000018 WO2001052369A1 (en) | 2000-01-10 | 2001-01-08 | Integrated wavelength monitor |
| AT01901625T ATE275764T1 (de) | 2000-01-10 | 2001-01-08 | Integrierte wellenlängen-überwachungsvorrichtung |
| AU2001227209A AU2001227209A1 (en) | 2000-01-10 | 2001-01-08 | Integrated wavelength monitor |
| US09/756,127 US6639679B2 (en) | 2000-01-10 | 2001-01-09 | Integrated wavelength monitor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SE0000041A SE517341C2 (sv) | 2000-01-10 | 2000-01-10 | Integrerad våglängdsmonitor för laserljus |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SE0000041D0 SE0000041D0 (sv) | 2000-01-10 |
| SE0000041L SE0000041L (sv) | 2001-07-11 |
| SE517341C2 true SE517341C2 (sv) | 2002-05-28 |
Family
ID=20278043
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SE0000041A SE517341C2 (sv) | 2000-01-10 | 2000-01-10 | Integrerad våglängdsmonitor för laserljus |
Country Status (10)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6639679B2 (sv) |
| EP (1) | EP1269586B1 (sv) |
| JP (1) | JP2003520439A (sv) |
| CN (1) | CN1178342C (sv) |
| AT (1) | ATE275764T1 (sv) |
| AU (1) | AU2001227209A1 (sv) |
| DE (1) | DE60105403T2 (sv) |
| SE (1) | SE517341C2 (sv) |
| TW (1) | TW484269B (sv) |
| WO (1) | WO2001052369A1 (sv) |
Families Citing this family (29)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7075656B2 (en) | 2001-12-11 | 2006-07-11 | Adc Telecommunications, Inc. | Method and algorithm for continuous wavelength locking |
| US6859469B2 (en) * | 2001-12-11 | 2005-02-22 | Adc Telecommunications, Inc. | Method and apparatus for laser wavelength stabilization |
| US7038782B2 (en) | 2001-12-11 | 2006-05-02 | Adc Telecommunications, Inc. | Robust wavelength locker for control of laser wavelength |
| US6864980B2 (en) * | 2002-01-22 | 2005-03-08 | Digital Optics Corp. | Linear filter based wavelength locking optical sub-assembly and associated methods |
| CN100564592C (zh) * | 2003-09-19 | 2009-12-02 | 应用材料公司 | 对无电沉积的终点进行检测的装置和方法 |
| US7310153B2 (en) * | 2004-08-23 | 2007-12-18 | Palo Alto Research Center, Incorporated | Using position-sensitive detectors for wavelength determination |
| US7522786B2 (en) | 2005-12-22 | 2009-04-21 | Palo Alto Research Center Incorporated | Transmitting light with photon energy information |
| US8437582B2 (en) | 2005-12-22 | 2013-05-07 | Palo Alto Research Center Incorporated | Transmitting light with lateral variation |
| US7315667B2 (en) * | 2005-12-22 | 2008-01-01 | Palo Alto Research Center Incorporated | Propagating light to be sensed |
| US7433552B2 (en) * | 2005-12-22 | 2008-10-07 | Palo Alto Research Center Incorporated | Obtaining analyte information |
| US7718948B2 (en) * | 2006-12-04 | 2010-05-18 | Palo Alto Research Center Incorporated | Monitoring light pulses |
| US8821799B2 (en) | 2007-01-26 | 2014-09-02 | Palo Alto Research Center Incorporated | Method and system implementing spatially modulated excitation or emission for particle characterization with enhanced sensitivity |
| US9164037B2 (en) | 2007-01-26 | 2015-10-20 | Palo Alto Research Center Incorporated | Method and system for evaluation of signals received from spatially modulated excitation and emission to accurately determine particle positions and distances |
| US7936463B2 (en) | 2007-02-05 | 2011-05-03 | Palo Alto Research Center Incorporated | Containing analyte in optical cavity structures |
| US7554673B2 (en) * | 2007-02-05 | 2009-06-30 | Palo Alto Research Center Incorporated | Obtaining information about analytes using optical cavity output light |
| US7817276B2 (en) * | 2007-02-05 | 2010-10-19 | Palo Alto Research Center Incorporated | Distinguishing objects |
| US7633629B2 (en) * | 2007-02-05 | 2009-12-15 | Palo Alto Research Center Incorporated | Tuning optical cavities |
| US7852490B2 (en) * | 2007-02-05 | 2010-12-14 | Palo Alto Research Center Incorporated | Implanting optical cavity structures |
| US7471399B2 (en) * | 2007-02-05 | 2008-12-30 | Palo Alto Research Center Incorporated | Photosensing optical cavity output light |
| US7817281B2 (en) * | 2007-02-05 | 2010-10-19 | Palo Alto Research Center Incorporated | Tuning optical cavities |
| US8320983B2 (en) | 2007-12-17 | 2012-11-27 | Palo Alto Research Center Incorporated | Controlling transfer of objects affecting optical characteristics |
| US8629981B2 (en) | 2008-02-01 | 2014-01-14 | Palo Alto Research Center Incorporated | Analyzers with time variation based on color-coded spatial modulation |
| US8373860B2 (en) | 2008-02-01 | 2013-02-12 | Palo Alto Research Center Incorporated | Transmitting/reflecting emanating light with time variation |
| US8723140B2 (en) | 2011-08-09 | 2014-05-13 | Palo Alto Research Center Incorporated | Particle analyzer with spatial modulation and long lifetime bioprobes |
| US9029800B2 (en) | 2011-08-09 | 2015-05-12 | Palo Alto Research Center Incorporated | Compact analyzer with spatial modulation and multiple intensity modulated excitation sources |
| EP3664160A4 (en) * | 2017-09-13 | 2020-06-10 | Kaneka Corporation | ELEMENT FOR PHOTOELECTRIC CONVERSION AND DEVICE FOR PHOTOELECTRIC CONVERSION |
| WO2019097838A1 (ja) | 2017-11-15 | 2019-05-23 | 株式会社カネカ | 光電変換装置 |
| DE102019210950A1 (de) * | 2019-07-24 | 2021-01-28 | Robert Bosch Gmbh | LIDAR-Sensor zur optischen Erfassung eines Sichtfeldes und Verfahren zur optischen Erfassung eines Sichtfeldes |
| DE102020202824A1 (de) | 2020-03-05 | 2021-09-09 | OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Sensorvorrichtung unter verwendung der winkelabhängigkeit eines dichroitischen filters |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ES2086303T3 (es) * | 1987-02-03 | 1996-07-01 | Fujitsu Ltd | Dispositivo de desviacion holografico. |
| DE3885134D1 (de) * | 1987-03-30 | 1993-12-02 | Siemens Ag | Anordnung zur Steuerung oder Regelung einer Emissionswellenlänge und emittierten Leistung eines Halbleiterlasers. |
| JP2840709B2 (ja) * | 1989-12-28 | 1998-12-24 | 京セラ株式会社 | 集積型半導体レーザ |
| JP3200903B2 (ja) | 1991-12-03 | 2001-08-20 | 東ソー株式会社 | 塩水中の微量アルカリ土類金属の定量分析法 |
| JPH05275731A (ja) * | 1992-03-25 | 1993-10-22 | Sharp Corp | フォトダイオード |
| AT396841B (de) | 1992-04-02 | 1993-12-27 | Rsf Elektronik Gmbh | Anordnung zur stabilisierung der wellenlänge des von einer laserdiode abgegebenen lichtstrahlesund laser-interferometer |
| WO1995020144A1 (en) | 1994-01-20 | 1995-07-27 | British Telecommunications Public Limited Company | Optical wavelength sensor |
| JPH07226524A (ja) * | 1994-02-10 | 1995-08-22 | Olympus Optical Co Ltd | 光電変換装置 |
| US5825792A (en) * | 1996-07-11 | 1998-10-20 | Northern Telecom Limited | Wavelength monitoring and control assembly for WDM optical transmission systems |
| JP3745097B2 (ja) | 1997-10-14 | 2006-02-15 | 富士通株式会社 | 波長のモニタリング及び波長制御のための光デバイス |
| US6186937B1 (en) * | 1999-07-30 | 2001-02-13 | Lucent Technologies, Inc. | Method and device for obtaining a desired phase of optical characteristic of a fabry-perot etalon |
-
2000
- 2000-01-10 SE SE0000041A patent/SE517341C2/sv not_active IP Right Cessation
- 2000-01-28 TW TW089101492A patent/TW484269B/zh not_active IP Right Cessation
-
2001
- 2001-01-08 WO PCT/SE2001/000018 patent/WO2001052369A1/en not_active Ceased
- 2001-01-08 EP EP01901625A patent/EP1269586B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-01-08 DE DE60105403T patent/DE60105403T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-01-08 CN CNB018035485A patent/CN1178342C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2001-01-08 AU AU2001227209A patent/AU2001227209A1/en not_active Abandoned
- 2001-01-08 AT AT01901625T patent/ATE275764T1/de not_active IP Right Cessation
- 2001-01-08 JP JP2001552483A patent/JP2003520439A/ja active Pending
- 2001-01-09 US US09/756,127 patent/US6639679B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE60105403D1 (de) | 2004-10-14 |
| US20010007501A1 (en) | 2001-07-12 |
| DE60105403T2 (de) | 2005-09-29 |
| US6639679B2 (en) | 2003-10-28 |
| JP2003520439A (ja) | 2003-07-02 |
| CN1404640A (zh) | 2003-03-19 |
| WO2001052369A1 (en) | 2001-07-19 |
| EP1269586A1 (en) | 2003-01-02 |
| ATE275764T1 (de) | 2004-09-15 |
| CN1178342C (zh) | 2004-12-01 |
| EP1269586B1 (en) | 2004-09-08 |
| AU2001227209A1 (en) | 2001-07-24 |
| SE0000041D0 (sv) | 2000-01-10 |
| TW484269B (en) | 2002-04-21 |
| SE0000041L (sv) | 2001-07-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| SE517341C2 (sv) | Integrerad våglängdsmonitor för laserljus | |
| EP0392714B1 (en) | A semiconductor laser device | |
| US6581465B1 (en) | Micro-electro-mechanical systems ultra-sensitive accelerometer | |
| US6763718B1 (en) | Micro-electro-mechanical systems ultra-sensitive accelerometer with independent sensitivity adjustment | |
| US7626707B2 (en) | Dual cavity displacement sensor | |
| JP2009522805A (ja) | 集積フォトニックデバイス用のモニタ光検出器 | |
| EP1345298A1 (en) | Wavelength monitoring apparatus and method therefor | |
| KR20170098518A (ko) | 광센서 | |
| Sawada et al. | Hybrid microlaser encoder | |
| WO2001080324A2 (en) | Transmission detection for vertical cavity surface emitting laser power monitor and system | |
| JP2003069133A (ja) | 微細多共振器を利用した波長固定集積光源構造 | |
| EP1233459A1 (en) | Light-receiving device and photodetector comprising light-receiving device | |
| US6803852B2 (en) | Sensor for preventing automobile crashes by using photonic quantum ring laser array | |
| JPH0324783A (ja) | 半導体レーザ装置 | |
| KR100282611B1 (ko) | 파장안정화 장치 및 능동 파장 측정 장치용 광검출기 및 그 광검출기의 제작방법 | |
| WO2004017428A1 (en) | Wavelength-demultiplexer with integrated monolithic photodiodes | |
| JPH0894314A (ja) | 光学式変位センサー | |
| JPH0230192A (ja) | 半導体レーザ装置 | |
| JPH03201488A (ja) | 光学素子 | |
| JPH07270120A (ja) | 変位センサー | |
| JP2000223747A (ja) | 発光装置 | |
| JPH03284883A (ja) | 受光装置 | |
| JPS60253930A (ja) | 受光装置 | |
| KR20010019755A (ko) | 파장안정화기를 내장한 광원모듈 | |
| JPH02163980A (ja) | 光検出器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| NUG | Patent has lapsed |