TW525211B - Heat treating apparatus - Google Patents

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525211 A7 B7 五、發明說明（1 ) 〔發明的背景〕 本發明是關於一種熱處理裝置，更詳細的說是''關於 一種用以在裝載台上將LCD基板等的基板施以熱處理的熱 處理裝置。 一般，在制造·液晶顯示器（LCD )的工序中，為了在 LCD基板表面形成如lT〇(Indium Tin Oxide)薄膜或電路圖 形，與制造半導體的工序一樣，需要利用光刻法技術。此 光刻法技術包括：在LCD基板表面塗附抗蝕樹脂液的抗蝕 樹脂液塗附工序、在形成的抗蝕樹脂膜上對電路圖形曝光 的曝光處理工序等各種處理工序，在抗蝕樹脂液塗附工序 與曝光處理工序之間，為了使抗蝕樹脂膜中殘留的溶劑蒸 發和提高抗蝕樹脂膜與LCD基板的附著性，需要實施熱處 理工序。 在該熱處理工序中使用的熱處理裝置如第16圖所示 ，配有放置LCD基板G的裝載台100、升降自如的可從該 裝載台100表面伸出的升降辦101。採用這種結構，被搬入 該熱處理裝置的LCD基板G，被托持在升降銷101上後， 與該升降銷101 —起下降，並被放置到裝載台100上。之後 ，整個LCD基板G與裝載台100處於接觸狀態進行熱處理 。由此，LCD基板G能夠得到來自裝載台100釋放的均一 熱量，對於LCD基誕G來說，能夠得到均一的熱處理。 然而，當放置在裝載台100上的LCD基板G被升降銷 101托起上升時，即當LCD基板G離開裝載台時，很可能 使LCD基板G會發生帶電現象。另外，當LCD基板G放在 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------·---------------訂---------^ IAVW. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 525211 A7 B7 五、發明說明（2 裝載台100上時，因熱處理，LCD基板<3發生膨脹等現象 時，LCD基板G與裝載台100之間因摩擦而產生靜電、，、因 此有使LCD基板G帶電的可能性。 於疋制造了如第17圖所示的可在很多場所使用的熱 處理裝置103。在裝載台1〇〇表面設置短腿銷1〇2，使[CD 基板G處於被托持在短腿銷102上的狀態進行熱處理。如 果採用該熱處理裝置1〇3，由於LCD基板G與短腿銷1〇2的 接觸面積減小，因此能夠防止上述的靜電發生。 〔發明概要.〕 然而，採用裝有短腿銷102的熱處理裝置103，由於 裝载台100與LCD基板G之間有間隙，LCD基板G因自重會 發生彎曲。在這種情況下’由於不能使LCD基板G與裝載 台100保持相等間距，對於LCD基板G來說，得不到來自 褒載台100釋放的均勻熱量，其結果也就不能實施均勻的 熱處理’。 雲於上述缺點，本發s月提供了 一種既不使基板帶電 又可對基板實施均勻熱處理的新型熱處理裝置。 為解決上述課題，申請項目1記述的熱處理裝置具有 :將上述裝載台表面加工成為粗糙面、通過裝載台表面的 熱量傳遞對放置在裝載台上的基板實施熱處理的特點。此 粗繞面可以加工成如申請項目2所述3S〜1〇〇s的粗糙度。 在申請項目1、2記述的熱處理裝置中，由於將基板 置於粗糙面上，基板與裝載台的接觸面積比原來減小，因 此能夠防止因基板與裝載台摩擦而產生的靜電。還由於置 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐 I . 二 ^--------^---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 525211

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(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 於粗糙面上的基板不會發生_曲，基板與裝載台處於等間 距狀態，其結果基板能夠得到均勻的熱處理。 、 申請項目3記述的熱處理裝置具有：將在申請項目^ 、2記述的熱處理裝置.中的上述裝載台纟面制成凹面狀且 該表面没有用真空*吸附基板的吸引孔的特點。 當基板剛被放置在裝載台上時，由於基板與裝載台 的溫差較大，基板發生熱膨脹使其與裝載台發生摩擦而產 生靜電’如果採用申請項目3記述的熱處逵裝置，由於裝 載台表面呈凹面狀，當基板剛被放置在裝載台上時，基板 與裝載台處於近距離狀態被加熱，而此時並不與裝載台直 接接觸，因此不會發生因摩擦而產生的靜電。之後，如將 基板通過真空吸引吸附在裝載台表面使之與裝載台直接接 觸，使基板能夠得到均一的熱處理。此時，如上所述，由 於基板置於粗糙面上，基板與裝載台的接觸面積比原來減 小，因此能夠防止因基板與裝載台摩擦而產生的靜電。 申請項目4記述的熱處理裝置具有：為使離子發生器 提供的氣體喷出而在在申請項目1、2、3記逑的熱處理裝 置中的上述裝載台表面設置喷出孔的特點。 採用這種構成，由於裝載台表面為粗縫面，從喷出 孔喷出的離子發生器提供的氣體能夠通過基板反面與裝載 台表面的細微間隙遍布基板反面整個區域，利用提供的氣 體可達到除靜電的效果。 申請項目5記述的熱處理裝置具有··申請項目4記述 的熱處理裝置中的從上述喷出孔喷出的氣體量少於通過上 本紙張尺度適用+國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 525211 A7 五、發明說明（4 ) 述吸引孔的吸引氣體量的特點。 採用這種構成，能夠准確地將基板固定在裝載、台、的 才曰疋位置上，對基板實施規定的均勻熱處理。 申請項目6記述的熱處理裝置具有：將申請項目沒 述的熱處理裝置㈣.上述裝載台表面加工成溝槽的特點。 採用這種構成’㈣使離子發生器提供的氣體比較 容易地遍布基板反面的整個區域，更進一步地達到除靜電 效果。 申請項目7記述的本發明具有：在申請項目丨、2、3 、4、5、6記述的熱處理裝置中的上述粗糙面利用喷砂方 法加工成上述粗糙面的特點。 訂 一如果採用14種構成，不僅能夠比較容易地形成適度 的南低參差不齊的粗糙面，而且價格便宜。 申請項目8記述的本發明具有：在申請項目丨、2、3 、4、5、6、7記述的熱處理裝置中的上述裝載以由能夠 線 對基板提供熱量的裝載台+體及配置在裝載台本體表面的 表面部件所組成的特點。 如果採用這種構成，對於放置基板的表面部件來說 :於月b夠選擇適宜的材質，因此使表面部件形成粗糖面 變得更加各易。而且’裝載台由裝載台本體、表面部件所 組成，因此，可以容易地更換表面部件。 上述表面部件可以採用申請項目9記述的花岗岩、大 理石等確物材質，也可採用中請項目1G記述的玻璃材質。 特別是由於花岗岩、玻璃的主要成分為氧化石圭，當 本紙張尺度_中關家^ (210 X 297 公釐） 525211

發明說明（ 基板為玻璃基板時，能夠確實地防止因基板與表面部件摩 擦而產生的靜電V 、 、 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 申請項目11記述的本發明具有：申請項目8、9、記 述的熱處理裝置中的上述表面部件，可以在上述裝載么本 體上安裝拆卸的特:點。 採用這種構成，根據基板的材質，可以選用不宜發 生靜電的粗糙的表面部件。 申请項目12記述的熱處理裝置具有：在通過裝載台 表面的熱量傳遞對放置在裝載台上的基板實施熱處理的熱 處理裝置中，上述裝載台是由能夠對基板提供熱量的裝載 台本體及配置在該裝載台本體表面的網所組成的特點。 在申請項目13記述的熱處理裝置中，由於網格之間 所形成的間隙，使基板與網的接觸面積減小，所以減少了 基板與網的摩擦，因而更能夠確實地防止因摩擦而產生的 靜電。另外，由於能夠使網形成均一規則的凹凸面，因此 能夠對基板進行均勻的熱傳遞。 . & 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 並且’申請項目13記述的本發明具有：在通過裝載 台表面的熱量傳遞對放置在裝載台上的基板實施熱處理的 熱處理裝置中，上述裝載台是由能夠對基板提供熱量的裝 載台本體及配置在該裝載台本體表面的綿狀材質或布狀材 質所組成的特點。 如果採用此種結構，由於綿狀材質或布狀材質與基 板的接觸部分處於分散化狀態，對基板來說接觸面積減小 。因此，也就減少了摩擦，與申請項目12的情況相同，能 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

L· 525211 五、發明說明（6 ) 夠防止靜電產生。 另外’如果不將綿狀材質或布狀材質固定在裝、載台 表面，這些綿狀材質或布狀材質與基板同樣地一起熱膨脹 、熱收縮。因此，·能夠更進一步地抑制基板與綿狀材質或 布狀材質之間的摩擦，從而，能夠更進一步防止靜電產生 。而且，用於磨耗等因素，當綿狀材質或布狀材質失去机 能時’能夠比較簡單地對其進行更換。 〔發明的實施形態〕 以下，根據附圖對適用於本發明的實施形態作說明 。該實施形態為實際安裝在塗附顯像裝置中的熱處理裝置 第1圖為塗附顯像裝置的斜視圖，第2圖為塗附顯像 裝置的平面圖。如第1圖、第2圖所示，塗附顯像裝置由如 將矩形LCD基板G搬出、搬入的裝載、卸載區2、處理LCD 基板G的第一處理區3、中轉區4、通過中轉區4與第1處理 區3連接在一起的第2處理區5、以及在第2處理區5與如曝 光裝置（圖示未表示）之間傳遞LCD基板G的連接平台7 所組成。 裝載、卸載區2配有基板箱平台10，該基板箱平台1〇 上並排放置有多個進出口朝向第一處理區3的基板箱，例 如放置兩台存放未處理過的LCD基板G的基板箱11、^和 兩台存放處理過的LCD基板G的基板箱12、12。裝載、卸 載區2還鼪有可自如地搬送基板G的副搬送裝置13。 副搬送裝置13可沿搬送執道13a (Y方向）及各基 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 9 --I I I I I --------^ · I---I--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 525211 Α7 Β7 五、發明說明（7 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 板箱11、12内的存放基板G的方向（Z方向）移動，而且 還可在0方向自由轉動。副搬送裝置13相對於放置[(^^基 板G的傳送平台14，還具有存取LCD基板G的功綠。 在第1處理區3，主搬送裝置15的搬送執道16的兩側 ，配有對LCD基板々實施各種指定處理的各種處理裝置。 即：在搬送執道16的一侧，並排配置有對從各基板箱^取 出的LCD基板G實施洗淨處理的濕式洗淨裝置π、和對 LCD基板G實施顯像處理的顯像處理裝置18 ;在搬送執道 16的另一側，配有按多層設置的：紫外線臭氧洗淨裝置19 、對LCD基板G實施冷卻處理的冷卻處理裝置20、21、以 及對LCD基板G實施熱處理的熱處理裝置22。在主搬送裝 置15上安裝有搬送机械手15a，用於完成相對於各處理裝 置LCD基板G的搬出、搬入工作《在第1處理區3與後面將 要敘述的第2處理區5之間的上述中轉區4，配有放置LCD 基板G的傳送平台23。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -* 在第2處理區5，主搬送裝置25的搬送執考26的一側 ’配有塗附·邊緣除淨裝置27、主搬送裝置25的搬送執道 26的另一側，配有對LCD基板G實施疏水性處理的疏水性 處理裝置28、對LCD基板G實施冷卻處理的冷卻處理裝置 29、 以及多層設置的與本實施形態相關的熱處理裝置3〇、 30。 在上述的主搬送裝置25上安裝有搬送机械手25 a，用 於實現對LCD基板G在第2處理區5内各處理裝置之間的搬 出、搬入工作。 在連接平台7上，為了調整塗附顯像處理裝置與曝光 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） 10 - 525211

五、發明說明（8 裝置間的生產節拍，酉己有臨時存放處於待机狀態1^〇基板 G的基板箱31、31 ;放置1^0基板〇的傳送平台32;、以、及 在各基板箱31、31、傳送平台32、曝光裝置之間，進行lcd 基板G搬送的副搬送裝置33。 塗附顯像處理·裝置1如上述所構成。下面，對安裝在 塗附顯像處理裝置1中的熱處理裝置3〇作說明。 如第3圖所示，熱處理裝置3〇配有對1^(：1：)基板G實施 熱處理的熱處理室40、在熱處理室4〇中的後面將要敘述的 加熱裝載台42、和包圍住加熱裝載台.42的隔斷板43。 隔斷板43由升降液壓缸44驅動可自由升降，當隔斷 板43上升時，隔斷板43與停止裝置47相接觸，停止裝置47 位於上方中心部開有排氣口 45的罩體46的下方部位，由此 構成上述處理室40。停止裝置47上設有給氣口（圖上未表 示）’由給氣口（圖上未表示）進入處理室4〇的空氣經排 氣口 45排出。另外’在處理室4〇内部，還設有支撐lcd基 板G的升降銷48 ’此升降銷48由馬達49驅動自由·升降。 如第4圖所示，上述加熱裝載台42由内部藏有鋁合金 發熱體50的矩形狀裝載台本體51、和配置在裝載台本體51 上部的表面部件52組成。表面部件52由如：花崗岩、大理 石等礦物材質或玻璃等材質構成，為了提高裝載台本體51 傳往LCD基板G的熱量，表面部件52的厚度設計得比裝載 台本體51的薄。另外，表面部件52可以自由地在裝載台本 體51上安裝、拆卸。 表面部件5 2的表面經過如喷砂處理工序，達到粗鏠 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ^ ^---------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 11 525211 A7 B7 五、發明說明（9 ) 度為3S〜100S的粗糙面。當LCD基板G被放到表面部件52 上時，LCD基板G的反面與這個粗面的表面部件52相、接觸 〇 與本發明實施形態有關的熱處理裝置30如上述所構 成。下面，對熱處隹裝置30的作用、效果進行說明。 當存有未經處理的LCD基板G的基板箱11被放到基板 箱平台10上時，副搬送裝置13從基板箱11中取出1枚LCD 基板G。接著，副搬送裝置13將！^0基板G搬往並放置在 安裝於裝載、卸載區2的傳送平台14上。 接著，該LCD基板G由主搬送裝置15上的搬送机械手 15 a托持著送入紫外線臭氧洗淨裝置丨9，除去附著在lcd 基板G上的有机污染物質β之後，完成臭氧洗淨的lcd基 板G由主搬送裝置15送入濕式洗淨裝置17，進行濕式洗淨 處理後，再由搬送机械手15a托持著搬送至傳送平台23上 〇 被放在傳送平台23上的LCD基板G由主搬送裝置25上 的搬送机械手25 a托持著送入疏水性處理裝置28。經過疏 水性處理後的LCD基板G再由搬送机械手25 a托持著送入 塗附·邊緣除淨裝置27，經塗附抗蝕樹脂液及除去邊緣多 余的抗蝕樹脂膜之後，搬送机械手25 a將LCD基板G送入 熱處理裝置30〇 如第5圖所示，此時的LCD基板G與搬送机械手25a 一起從下降的隔斷板43的上方進入處理室40，LCD基板G 被放置在如點線所示的上升的升降銷48上後，搬送机械手 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2〗0 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) r------訂---------線* 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 525211 A7 B7 i. 才 £ 五、發明說明（1Q ) 25 a退出處理室40，隔斷板43上升，使處理室40處於密閉 狀態。之後，LCD基板G與上升的升降銷48—起從點:線，位 置下降至如第6圖所示的實線位置，LCD基板G被放到加 . 熱裝載台42的表面部件52上，實施熱處理。 • 規定熱處理完成後，升降銷48上升、隔斷板43下降 。接著，搬送机械手25 a進入處理室40，將升降銷48上的 LCD基板G托起’托持著LCD基板G退出處理室40。從熱 處理裝置30搬出的LCD基板G被放置到傳送平台32上，由 副搬送裝置33將其送至曝光裝置（圖中未表示）。 在輿本發明的實施形態有關的熱處理裝置30中，放 置LCD基板G的表面部件52上形成有粗糙的表面。因此， 如第7圖所示，與LCD基板G的接觸面積變得比以前要小 。其結果，當被升降銷48托起的LCD基板G離開表面部件 52時，減少了 LCD基板G與表面部件52之間的摩擦，從而 可以防止因摩擦造成的靜電。 另外，由於形成了上述3S〜100S的粗糙面♦具當LCD 基板G被放到表面部件52上時，LCD基板G反面的整體部 分與粗糙面相接觸，因此，被放到粗糙面上的LCD基板G 不會因自重發生彎曲，整個LCD基板G與表面部件52保持 等間距等狀態。其結果，對於LCD基板G來說，可以得到 來自裝載台本體51的均勻熱量，從而可達到均勻的熱處理 另外，由於表面部件52可以在裝載台本體51上自由 安裝、拆卸，因此，更換表面部件52比較方便。而且，由 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 13 --------^--------^---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 525211

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)， 於表面部件52採用了比構成加熱裝載台42的紹合金容易進 行表面處理的花崗岩或玻璃等材料，因此，表面部件、52可 以比較容易地形成粗糙面。 另外，由於上述花崗岩或玻璃等材料與LCD基板g的 主要成分氧化>5圭相··同，因此，可以充分防止因表面部件52 與LCD基板G摩擦而產生的靜電。 下面，對本發明的其他實施形態作說明。 如第8圖〜第1〇圖所示，與此實施形態相關的加熱裝 載台62,由内藏有發熱體的鋁合金等材質形成的矩形狀裝 載台本體63和配置在裝載台本體63上部的表面部件64所作 成。此表面部件64上可以安裝、拆卸裝載台本體63。 表面部件64的表面65呈凹面狀，在凹面狀的表面形 成有3S〜100S的粗糙面。此處所說的“凹面狀”，只要 疋邊緣隆起、中央附近呈凹狀，，均可稱為凹面狀，如圖 所示略呈半球狀（斷面略呈圓弧狀）的曲面，或由沒有凹 凸的傾斜面所拼湊的形狀，例如，由多個三角幵《傾斜面鄰 接（一個緊挨著一個）配置且其頂點均朝向中央部而組成 的形狀，也可稱為凹面狀。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如第9圖所示’真空部66由在上述表面65的開口而形 成 '另外’該真空部66是開在例如表面65的最低部位，即 :設置在本實施形態的略中央部位、如上所述，由於表面部 件64的表面65是呈凹面狀，當LCD基板G放到該表面65上 時，該LCD基板G與該表面65形成一個由兩者的接觸部位 而組成的密閉空間。因此，只要通過設在中央部位附近的 ! … 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） ""—一 525211 A7 B7 i、發明說明（12 ) 真空部66吸引LCD基板G，就可使LCD基板G緊貼在表面 部件64的表面65。 、、 且真空部66通過配管與圖中未表示的真空源相連。 驅動該真空源，使托載著的LCD基板G吸附在表面部件64 的表面65上。 另外，如第10圖所示，為了接住搬送机械手25 a送 來的LCD基板G以及托住LCD基板G並將其放置到表面部 件64的表面65上，在加熱裝載台62上設置了能使升降銷67 穿過的進出孔68。在這個進出孔68中配有升降銷67。並且 ，升降銷67與連接部件69相接，通過圖中未表示的驅動設 備，使所有的升降銷67同時進行升降動作。 另外，在表面部件64上設有氣體喷出孔70，為了使 離子發生器（圖上未表示）供給的氣體，例如供給被加熱 的、含有一定離子的氮氣噴出之用。由喷出孔70噴出的氮 氣量比真空部66的負壓氣體量要少。因此，不會因供給上 述氮氣使LCD基板G懸浮在加熱裝載台62上方，·並保証將 产 * LCD基板G牢固地吸附在熱裝載台62上。

L (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 如第11a圖所示，當搬入LCD基板G時，升降銷67被 控制做上升動作，處於上升狀態的升降銷67從搬送机械手 25 a上接過LCD基板G後，該升降銷67開始下降，當其頂 端下降至表面部件64的表面65以下並收容進進出孔68的過 程中，LCD基板G便被放到表面部件64的表面65之上。此 時，如第lib圖所示，由於表面65呈凹面狀，因此，僅僅 是LCD基板G周邊的邊緣和表面部件64的表面65相接觸，， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 15 525211 A7 ----· B7 五、發明說明（13 ) 以此接觸部位作為界線，其内部形成了一個近乎密閉的空 間。 、 .. 、 接著，杈上述狀態開始經過規定時間後，真空源根 據圖中未表示的控制部的指令開始動作，通過真空部66吸 引LCD基板G，如第lie圖所示，盡管僅在表面部件64的 表面65的肀央部位附近設置了真空，部66，但仍能夠在確保 LCD基板G位置的情況下吸附LCD基板G。 接著，如果熱處理結束之後，停止真空源的動作， 使升降銷67伸出進出口 68沿升降方向上升，LCD基板G被 托起並離開表面部件64的表面65 (與如第11a圖的狀態相 同）。然後，机械手25 a將LCD基板G從升降銷67上搬走 ，送往下一道工序的處理裝置。 在上述的實施形態中，由於表面部件64的表面65呈 凹面狀，因此最初狀態如第lib圖所示，由於置於表面部 件64的表面65上的LCD基板G與表面部件64的表面65是近 距離加熱，LCD基板G與表面部件64的表面65不.直接接觸 ’所以’沒有因摩擦而產生靜電。之後，如第11 c圖所示 ，因真空吸附的作用，LCD基板G與表面部件64的表面65 直接接觸，但由於表面部件64的表面65為粗糙面，LCD基 板G與表面部件64的表面65的接觸面積比以前要小，因此 ，不但可以防止發生因摩擦而產生的靜電，還能夠對LCD 基板G實施均勻的熱處理。 另外，在本實施形態中，由於有一套將離子發生器 產生的氣體，經設置在表面部件64的表面65的喷出孔70喷 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ^^1 I— n I 1 n H 一：口，t n ϋ ϋ n «I n ϋ X n - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 16 525211 B7 真、發明說明（14 ) 出的系統，因此’即使因LCD基板G與表面部件64的表面 65發生摩擦而產生靜電，供給的氣體也會將其除去。、、

L fj 在本實施形態中，特別是由於表面部件64的表面65 為粗糙面，離子發生器供給的氣體可以穿過LCD基板G與 表面部件64的表面之間的微小間隙遍布LCD基板G反面 的整個區域’從而提高除靜電效果。而且為了更進一步地 提高除靜電效果’如第12圖所示，也可在表面部件64的表 面65上開設多個溝槽71，以便上述氣體通過這些溝槽遍布 LCD基板G反面的整個區域。 在上述實施形態中，以由裝載台本體51、表面部件52 構成且表面部件52的表面呈粗糙面加熱裝載台42為例作了 說明，本發明也適用於由裝載台本體51與表面部件52為一 體在加熱裝載台的情況，即：在原來的加熱裝載台表面上 形成粗糙面’且粗度為3S〜100S '另外，表面部件52採 用花崗岩、玻璃以外的材質如：金屬也是可以的。 本發明還可適用在利用網55代替上述表面部件52的加 熱裝載台。該加熱裝載台56如第13圖所示，在裝載台本體 51的上面鋪設網55，構成[CD基板G置於網55上的熱處理 狀態。 如果採用上述構成，網格之間的空隙使LCD基板G與 網55的接觸面積減小，因此，也減少了 LCD基板G與網55 的摩擦，所以能夠更充分地防止靜電的產生。 另外，在上述情況下，由於置於網55上的LCD基板G 沒有彎曲，LCD基板G與網55始終保持等距離狀態，因此 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2iq X 297公爱） 17 525211 A7 B7 五、發明說明（15) ，能夠對LCD基板G實施均勻的熱處理。 另外，還由於網格之間的空隙使LCD基板G與網:55的 接觸面積減少，去掉了噴砂工序等特別的表面處理。且、 網55並不一定整個地鋪設在裝載台本體55上，只要在與 LCD基板G全面接觸的地方鋪設網55即可。 另外，採用代替表面部件52或網55的材料托持LCD基 板G也是可以的。例如第14圖所示的採用不鏽鋼制成的細 密金屬棉57托持LCD基板G。如果採用此種結構，由於金 屬棉57與LCD基板G的接觸部分分散化，使LCD基板G與 金屬棉57的接觸面積減少，因此也就能夠更充分地防止靜 電的產生。另外，如第15圖所示，.採用代替金屬棉57的綿 狀材質60或布狀材質61來托持LCD基板G也是可以的。 採用上述材料時，如果不將綿狀材質60或布狀材質61 固定在裝載台本體51上，绵狀材質60或布狀材質61與LCD 基板G—多熱膨脹、熱收縮。因此，能夠更進一步地抑制 LCD基板G與綿狀材質60或JLCD基板G與布狀材質61之間 摩擦’從而，能夠更進一步地防止靜電的產生β而且，由 於磨耗等因素，當綿狀材質60或布狀材質61失去机能時， 能夠比較簡單地對其進行更換。 在上述實施形態中，例舉說明了利用喷砂工序的表 面處理’本發明並不局限於所舉的例子。如果能夠達到粗 糙度3S〜l〇〇S的話，也適用於本發明。 另外，在上述實施形態中，例舉說明了對塗有抗姓 樹脂液的LCD基板G實施熱處理的熱處理裝置30，本發明 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -罨-------訂---------線丄 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 f 525211 A7 ______B7 . .__ 發明說明（16 ) 並不局限於所舉的例子，當然也可適用於顯像處理後的熱 處理裝置22，以及也可適用於如：冷卻處理裝置29，、 另外，適用於本發明的基板不局限於上述實施形態 中的LCD基板G，也適用於CD基板或半導體晶體基板。 在申請項目1〜J2記述的本發明中，由於LCD基板G 的接觸面積比原來小，因此能夠防止靜電的產生。還由於 基板不發生彎曲，因此能夠實現均勻的熱處理。 特別是根據申請項目4、6,能夠在基板反面的全區 域范圍内除去基板上的靜電。 特別是根據申請項目5，能夠准碟地將基板固定在裝 載台的指定位置上，實施規定的均勻熱處理。 特別是根據申請項目7記述的本發明，由於形成粗糙 面比較容易，因而制造成本便宜。 特別是根據申請項目8記述的本發明，由於表面部件 採用了適宜的材質，容易形成粗糙面。而且，裝載台由裝 載台本體、表面部件所組成，因此，容易更換表承部件。 特別疋根據申睛項目9、10記述的本發明，由於表面 部件中含有玻璃基板的主要成分，當選用玻璃基板作為基 板時，能夠充分地防止靜電產生。 特別疋根據申請項目Π記述的本發明，根據基板的材 質’可以選用不宜發生靜電的粗糙的表面部件。 特別是根據申請項目12、13記述的本發明，不需要 喷砂工序等特別的表面處理。 〔圖面的簡單說明〕 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公餐） ^--------^---------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 19 525211 A7 B7 五、發明說明（17 ) ▲ 第1圖為與本實施形態有關的配有熱處理裝置的塗附 顯像處理裝置的斜視圖。 第2圖為第1圖塗附顯像處理裝置的平面圖。 ^ 第3圖為與本實施形態有關的熱處理裝置的斷面圖。 第4圖為第3圖_處理裝置中的加熱裝載台結構斜視 圖。 * 第5圖為將LCD基板G搬入第3圖熱處理裝置中時的狀 態說明圖。 第6圖為將第5圖狀態的LCD基板G放置到表面部件上 時狀態說明圖。 第7圖為LCD基板G放置在第6圖表面部件上時狀態說 明圖。 第8圖為與其他貫施形態有關的熱處理裝置中的加熱 裝載台的構成斜視圖。 第9圖為第8圖所示的加熱裝載台的a——A斷面圖 &第10圖為第8圖所示的、熱裝載台的Β—·—Β斷面 圖 篆Γ胃^8圖所示的加熱裝載台的動作說明圖' 第12圖為第8圖所示的加熱裝栽台的變形例子示意圖 第13圖為與另一實施形態有關的熱處理裝置中的加 熱裝載台的構成斜視圖。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 鲁 丨裝·- —線 的加熱裝載 第14圖為第13圖所示 台的變形例子斷面 >紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公f 20 525211 B7 五、發明說明（18 ) 示意圖。 第15圖為第13圖所示的加熱裝栽台的變形例子斷面 示意圖。 、 第16圖為在以前的熱處理裝置中的加熱裝載台上， 放置LCD基板狀態的示意說明圖。 ， 第17圖為在以·前的熱處理裝置的升降銷上，托持]：(：〇 基板狀態的示意說明圖。 -------------I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · -丨線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

21 本紙張尺度適用令國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 525211 A7 _B7_五、發明說明（19 ) 元件標號對照 1···塗附顯像處理裝置 62···加熱裝載台 30…熱處理裝置 42…加熱裝載台 51.. .裝載台本體 52.. .表面部件 5 5…網 57.. .金屬綿 63…裝載台本體 64…表面部件 65.. .表面部件的表面 70.. .喷出孔 G...LCD 基板 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) IAW-------訂---------線' 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 22

Claims (1)

1. AB CD 525211

   、申請專利範圍 帛則4543號專利申請案申請專利範圍修正本日 L 一種熱處理裝置，該熱處理裝置是藉著從裝載台表面傳 遞來的熱對放置在該裝載台上的基板進行熱處理的，該 熱處理裝置的特徵在：該裝載台之表面係形成粗糙面 ’且該粗糙面的粗趟度為3S〜loos。 2·如申請專利範圍第1項之熱處理裝置，其中該裝載台表 面係形成凹面狀，且該表面上並設有用以藉真空以吸附 基板的吸引孔 3·如申請專利範圍第1項之熱處理裝置，其中該裝載台表 面並设有用以喷出離子發生器所提供之氣體的喷出孔。 4·如申請專利範圍第3項之熱處理裝置，其中該喷出孔所 喷出的氣體量少於由上述吸引孔所吸入的氣體量。 5. 如申請專利範圍第3項之熱處理裝置，其中該裝載台表 面係形成有溝槽。 6. 如申請專利範圍第^員之熱處理裝置，其中該粗糙面係 以喷砂的方法所形成的。 7·如申請專利範圍第1項之熱處理裝置，其中該裝載台包 含有可對基板提供熱量的裝載台本體及配置在裝載台 本體表面的表面部件。 8·如申請專利範圍第7項之熱處理裝置，其中該表面部件 係由花尚岩、大理石等之礦物所構成。 9·如申請專利範圍第7項之熱處理裝置，其中該表面部件 係由玻璃材質所構成。 10.如申請專利範圍第7項之熱處理裝置，其中該表面部件 尽紙張尺度通用巾關家標準（ CNS) A4規格（21GX297公爱) '一 —

   23 525211 申請專利範圍 係呈可女裝在上述裝載台本體上或由該裝載台本體上 拆除之狀態者。 11. -種熱處理裝置，該熱處理裝置是藉著從裝載台表面傳 遞來的熱對放置在該裝載台上的基板進行熱處理的，該 熱處理裝置的特徵是在：該裝載台包含有可對基板提供 熱量的裝載台本體及配置在該裝載台本體表面上的網。 12. -種熱處理裝置，該熱處理裝置是藉著從裝載台表面傳 » 遞來的熱對放置在職載台上的基板進行減理的，該 熱處理裝置的/特徵是在：該裝載台包含有可對基板提供 熱量的裝載台本體及配置在該裝載台本體表面上的綿 狀部件或布狀部件。 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) Α4規格（210.Χ297公釐） 24