WO2015122425A1 - プラズマ処理検知インジケータ - Google Patents

プラズマ処理検知インジケータ Download PDF

Info

Publication number
WO2015122425A1
WO2015122425A1 PCT/JP2015/053742 JP2015053742W WO2015122425A1 WO 2015122425 A1 WO2015122425 A1 WO 2015122425A1 JP 2015053742 W JP2015053742 W JP 2015053742W WO 2015122425 A1 WO2015122425 A1 WO 2015122425A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
color
base material
layer
resin
plasma processing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2015/053742
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
まり萌 森
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sakura Color Products Corp
Original Assignee
Sakura Color Products Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sakura Color Products Corp filed Critical Sakura Color Products Corp
Priority to CN201580007914.3A priority Critical patent/CN106030766B/zh
Priority to KR1020167021364A priority patent/KR102342177B1/ko
Priority to JP2015562838A priority patent/JP6460484B2/ja
Priority to US15/117,601 priority patent/US10401338B2/en
Publication of WO2015122425A1 publication Critical patent/WO2015122425A1/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N31/00—Investigating or analysing non-biological materials by the use of the chemical methods specified in the subgroup; Apparatus specially adapted for such methods
    • G01N31/22—Investigating or analysing non-biological materials by the use of the chemical methods specified in the subgroup; Apparatus specially adapted for such methods using chemical indicators
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D7/00—Indicating measured values
    • G01D7/005—Indication of measured value by colour change
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32431—Constructional details of the reactor
    • H01J37/3244—Gas supply means
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32917—Plasma diagnostics
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32917—Plasma diagnostics
    • H01J37/32935—Monitoring and controlling tubes by information coming from the object and/or discharge
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32917—Plasma diagnostics
    • H01J37/32935—Monitoring and controlling tubes by information coming from the object and/or discharge
    • H01J37/32972—Spectral analysis
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/32—Processing objects by plasma generation
    • H01J2237/33—Processing objects by plasma generation characterised by the type of processing
    • H01J2237/334—Etching

Definitions

  • Patent Document 1 discloses a plasma processing detection containing 1) at least one of an anthraquinone dye, azo dye and phthalocyanine dye, and 2) at least one of a binder resin, a cationic surfactant and an extender.
  • An ink composition, wherein the plasma generating gas used for the plasma treatment contains at least one of oxygen and nitrogen, and a discoloration layer comprising the ink composition as a base material A plasma processing detection indicator formed thereon is disclosed.
  • Patent Document 2 discloses an inert gas plasma containing 1) at least one of anthraquinone dye, azo dye and methine dye, and 2) at least one of binder resin, cationic surfactant and extender.
  • An ink composition for detecting processing wherein the inert gas contains at least one selected from the group consisting of helium, neon, argon, krypton and xenon, and the ink composition,
  • a plasma processing detection indicator is disclosed in which a discoloration layer comprising an ink composition is formed on a substrate.
  • a plasma processing detection indicator using a fibrous base material or a synthetic resin base material containing a colored pigment as a base material, and fine fiber pieces and colored pigments are generated in a powder-like form from the base material during the plasma processing. It is desired to develop a plasma processing detection indicator that is prevented from doing so.
  • the plasma processing detection indicator of the present invention since the plasma processing detection indicator of the present invention has a transparent coating layer, the direct influence of the plasma on the base material is mitigated. This also has an excellent effect of preventing the occurrence of discoloration.
  • the indicator of the present invention has a resin-based or inorganic-based transparent coating layer that covers the entire discoloration layer laminated surface of the substrate. As a result, even if the discoloration layer is not formed, the direct influence (etching action) on the base material by the plasma is alleviated, and fine fiber pieces and colored pigments are blown out from the base material. Is prevented from occurring. As will be described later, a non-discoloring layer that does not change color in a plasma treatment atmosphere can be provided between the substrate and the transparent coating layer as necessary.
  • FIGS. 1 and 2 a description will be given with reference to the examples of FIGS. 1 and 2.
  • the meaning of “between the base material 1 and the color change layer 3” means not only the region directly sandwiched between the base material 1 and the color change layer 3 but also the surface of the base material 1. Moreover, the area
  • a coating liquid for forming a resin-based or inorganic transparent coating layer and curing the coating film for example, depending on the type of the coating liquid or the curing method, the following evaporation drying Mold, emulsion type, oxidation polymerization type, thermosetting type, and photocurable type.
  • coating conditions and hardening conditions are not limited, According to the desired thickness of a transparent coating layer, and the kind of coating liquid, it can set suitably.
  • the thickness of the discoloration layer is not limited, but is generally about 1 to 10 ⁇ m.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Biophysics (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Non-Biological Materials By The Use Of Chemical Means (AREA)
  • Inks, Pencil-Leads, Or Crayons (AREA)
  • Drying Of Semiconductors (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By The Use Of Chemical Reactions (AREA)

Abstract

　本発明は、基材として繊維質基材、又は着色顔料を含む合成樹脂基材を用いたプラズマ処理検知インジケータであって、プラズマ処理中に基材から微細な繊維片や着色顔料が粉吹き状に発生することが防止されたプラズマ処理検知インジケータを提供する。　本発明は、具体的には、基材の表面の一部又は全部にプラズマ処理雰囲気下で変色する変色層が少なくとも積層されているプラズマ処理検知インジケータであって、 （１）前記基材は、繊維質基材、又は着色顔料を含む合成樹脂基材であり、 （２）前記基材と前記変色層との間に、前記基材の前記表面の全部を被覆する樹脂系又は無機系の透明性被覆層を有することを特徴とするインジケータを提供する。

Description

プラズマ処理検知インジケータ
　本発明は、プラズマ処理検知インジケータに関する。なお、本明細書におけるプラズマ処理は、プラズマ発生用ガスに交流電圧、パルス電圧、高周波、マイクロ波等を印加して発生するプラズマを利用したプラズマ処理を意味し、減圧プラズマ及び大気圧プラズマの両方が該当する。
　病院、研究所等において使用される各種の器材、器具等は、消毒及び殺菌のために滅菌処理が施される。この滅菌処理の一つとしてプラズマ処理が知られている（例えば、非特許文献１の「3.3.1低圧力放電プラズマを用いた滅菌実験」欄）。
　また、プラズマ処理は、滅菌処理だけでなく半導体素子の製造におけるプラズマドライエッチング及び電子部品などの被処理物の表面のプラズマ洗浄にも用いられている。
　プラズマドライエッチングは、一般には真空容器である反応チャンバー内に配置された電極に高周波電力を印加し、反応チャンバー内に導入したプラズマ発生用ガスをプラズマ化して半導体ウェハーを高精度にエッチングする。また、プラズマ洗浄は、電子部品などの被処理物の表面に析出又は付着した金属酸化物、有機物、バリ等を除去することにより、ボンディング性や半田の濡れ性を改善して接着強度を向上させたり、封止樹脂との密着性や濡れ性を改善させたりする。
　これらのプラズマ処理の完了を検知する方法として、プラズマ処理雰囲気下で変色層が変色するプラズマ処理検知インジケータを用いる方法が知られている。
　例えば、特許文献１には、１）アントラキノン系色素、アゾ系色素及びフタロシアニン系色素の少なくとも１種並びに２）バインダー樹脂、カチオン系界面活性剤及び増量剤の少なくとも１種を含有するプラズマ処理検知用インキ組成物であって、前記プラズマ処理に用いるプラズマ発生用ガスは、酸素及び窒素の少なくとも１種を含有することを特徴とするインキ組成物、並びに、当該インキ組成物からなる変色層を基材上に形成したプラズマ処理検知インジケータが開示されている。
　また、特許文献２には、１）アントラキノン系色素、アゾ系色素及びメチン系色素の少なくとも１種並びに２）バインダー樹脂、カチオン系界面活性剤及び増量剤の少なくとも１種を含有する不活性ガスプラズマ処理検知用インキ組成物であって、前記不活性ガスは、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン及びキセノンからなる群から選択される少なくとも１種を含有することを特徴とするインキ組成物、並びに、当該インキ組成物からなる変色層を基材上に形成したプラズマ処理検知インジケータが開示されている。
　これらのプラズマ処理検知インジケータは、プラズマ処理の完了を変色層の変色により判断することができる有用なものである。そして、変色層の変色の挙動をより確実に判断することができるように、基材としては下地色を隠蔽することができる繊維質基材、又は二酸化チタンなどの着色顔料（隠蔽顔料）を含む合成樹脂基材が一般に用いられる。
　しかしながら、繊維質基材、又は着色顔料を含む合成樹脂基材を用いる場合には、プラズマ処理中にこれらの基材の表面がプラズマの影響を受けて、微細な繊維片や着色顔料が粉吹き状に発生する場合があり、かかる微細な繊維片や着色顔料が変色層に付着した場合には、プラズマ処理後の変色層の変色の正確な判断に影響を与える懸念がある。
　よって、基材として繊維質基材、又は着色顔料を含む合成樹脂基材を用いたプラズマ処理検知インジケータであって、プラズマ処理中に基材から微細な繊維片や着色顔料が粉吹き状に発生することが防止されたプラズマ処理検知インジケータの開発が望まれている。
特開２０１３－９８１９６号公報 特開２０１３－９５７６４号公報
Journal of Plasma and Fusion Research Vol.83, No.7 July 2007
　本発明は、基材として繊維質基材、又は着色顔料を含む合成樹脂基材を用いたプラズマ処理検知インジケータであって、プラズマ処理中に基材から微細な繊維片や着色顔料が粉吹き状に発生することが防止されたプラズマ処理検知インジケータを提供することを主な目的とする。
　本発明者は上記目的を達成すべく鋭意研究を重ねた結果、特定の透明性被覆層を用いて基材を被覆した場合に上記目的を達成できることを見出し、本発明を完成するに至った。
　即ち、本発明は、下記のプラズマ処理検知インジケータに関する。
１．基材の表面の一部又は全部にプラズマ処理雰囲気下で変色する変色層が少なくとも積層されているプラズマ処理検知インジケータであって、
（１）前記基材は、繊維質基材、又は着色顔料を含む合成樹脂基材であり、
（２）前記基材と前記変色層との間に、前記基材の前記表面の全部を被覆する樹脂系又は無機系の透明性被覆層を有することを特徴とするインジケータ。
２．前記透明性被覆層は、厚さが５μｍ以上である、上記項１に記載のインジケータ。
３．前記変色層は、プラズマ処理雰囲気下において化学構造が変化することにより変色する変色色素に加えて、プラズマ処理雰囲気下において化学構造が変化しない非変色色素を含有する、上記項１又は２に記載のインジケータ。
４．前記基材と前記透明性被覆層との間に、プラズマ処理雰囲気下において化学構造が変化しない非変色色素を含有する非変色層を有する、上記項１～３のいずれかに記載のインジケータ。
５．前記非変色層と前記変色層とは、前記透明性被覆層を挟んで同形状で重なるように積層されている、上記項４に記載のインジケータ。
　本発明のプラズマ処理検知インジケータは、基材として繊維質基材、又は着色顔料を含む合成樹脂基材を用いるものであるが、基材と変色層との間に、前記基材の変色層積層面の全部を被覆する樹脂系又は無機系の透明性被覆層を有することにより、変色層が形成されていない部分であっても、プラズマによる基材への直接的な影響（エッチング作用）が緩和されている。そのため、基材から微細な繊維片や着色顔料が粉吹き状に発生することが防止されており、プラズマ処理後の変色層の変色をより正確に判断することができる。また、基材の表面の全部に変色層が形成されている場合であって、変色層の変色に加えて変色層の消滅（エッチング作用による消滅）によってプラズマ処理の完了を判断する場合には、変色層の消滅後にもプラズマによる基材への直接的な影響が緩和されているため、基材から微細な繊維片や着色顔料が粉吹き状に発生することが防止されている。
　また、本発明のプラズマ処理検知インジケータは、透明性被覆層を有することにより、プラズマによる基材への直接的な影響が緩和されているため、プラズマ処理に基づく基材のカールの発生や基材の変色の発生を防止できるという優れた効果も有する。
　これらの効果は、プラズマ処理として減圧プラズマ及び大気圧プラズマのどちらを採用した場合にも得られる。
本発明のプラズマ処理検知インジケータの一態様を示す図である。 本発明のプラズマ処理検知インジケータの一態様を示す図である。
　以下、本発明のプラズマ処理検知インジケータについて詳細に説明する。
　本発明のプラズマ処理検知インジケータ（以下「インジケータ」と略記する）は、基材の表面の一部又は全部にプラズマ処理雰囲気下で変色する変色層が少なくとも積層されているインジケータであって、
（１）前記基材は、繊維質基材、又は着色顔料を含む合成樹脂基材であり、
（２）前記基材と前記変色層との間に、前記基材の前記表面の全部を被覆する樹脂系又は無機系の透明性被覆層を有することを特徴とする。
　上記特徴を有する本発明のインジケータは、基材として繊維質基材、又は着色顔料を含む合成樹脂基材を用いるものであるが、基材と変色層との間に、前記基材の変色層積層面の全部を被覆する樹脂系又は無機系の透明性被覆層を有することにより、変色層が形成されていない部分であっても、プラズマによる基材への直接的な影響（エッチング作用）が緩和されている。そのため、基材から微細な繊維片や着色顔料が粉吹き状に発生することが防止されており、プラズマ処理後の変色層の変色をより正確に判断することができる。また、基材の表面の全部に変色層が形成されている場合であって、変色層の変色に加えて変色層の消滅（エッチング作用による消滅）によってプラズマ処理の完了を判断する場合には、変色層の消滅後にもプラズマによる基材への直接的な影響が緩和されているため、基材から微細な繊維片や着色顔料が粉吹き状に発生することが防止されている。
　また、本発明のプラズマ処理検知インジケータは、透明性被覆層を有することにより、プラズマによる基材への直接的な影響が緩和されているため、プラズマ処理に基づく基材のカールの発生や基材の変色の発生を防止できるという優れた効果も有する。
　これらの効果は、プラズマ処理として減圧プラズマ及び大気圧プラズマのどちらを採用した場合にも得られる。
　［基材］
　本発明のインジケータは、基材として繊維質基材、又は着色顔料を含む合成樹脂基材を用いる。基材の形状は限定的ではないが、通常はシート状又はフィルム状である。
　本発明で用いる基材は、インジケータを配置する場所の下地色を隠蔽する特性を有するものであり、繊維質基材は通常不透明であり、着色顔料はいわゆる隠蔽顔料である。
　繊維質基材としては、例えば、紙（上質紙、コート紙、合成紙）、繊維類（不織布、織布、その他の繊維シート）、これらの複合材料等が挙げられる。合成紙としては、ポリプロピレン合成紙、ポリエチレン合成紙等の合成樹脂繊維紙が挙げられる。
　合成樹脂基材に用いる樹脂としては、例えば、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリエステル（ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等）、ポリスチレン、ポリエチレン、ポリイミド、ポリアミド、ポリカーボネート、ポリアクリルニトリル等の合成樹脂が挙げられる。これらの合成樹脂は、単独又は２種以上を混合して使用することができる。これらの合成樹脂の中でも、特にポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレン、ポリイミド及びポリプロピレンの少なくとも１種が好ましい。
　合成樹脂基材に含有する着色顔料としては、インジケータを配置する場所の下地色を隠蔽できるものであれば特に限定されず、インジケータの使用条件に応じて着色顔料の種類及び添加量を適宜設定することができる。着色顔料の種類としては、例えば、基材を白色とする場合には、二酸化チタン、炭酸カルシウム、酸化亜鉛等の着色顔料が挙げられる。着色顔料の粒子径としては０．１～１０μｍ程度である。一般には市販品の着色合成樹脂シートを幅広く用いることができる。
　基材の厚さは限定的ではないが、０．１～０．５ｍｍ程度であることが好ましい。
　［樹脂系又は無機系の透明性被覆層］
　本発明のインジケータは、前記基材の変色層積層面の全部を被覆する樹脂系又は無機系の透明性被覆層を有する。これにより、変色層が形成されていない部分であっても、プラズマによる基材への直接的な影響（エッチング作用）が緩和されており、基材から微細な繊維片や着色顔料が粉吹き状に発生することが防止されている。なお、後述の通り、基材と透明性被覆層との間には、必要に応じてプラズマ処理雰囲気下で変色しない非変色層を設けることができる。以下、図１及び図２の例示を用いて説明する。
　図１は、基材１の表面（片面）の一部に変色層３が積層されている態様であり、基材１と変色層３との間に、基材１の表面（片面）の全部を被覆する透明性被覆層２が形成されている。図２は、基材１の表面（片面）の一部に変色層３が積層されている態様であり、基材１と変色層３との間に、基材１の表面（片面）の全部を被覆する透明性被覆層２が形成されており、更に基材１と透明性樹脂層２との間に変色層３と同一形状の非変色層４が重ねて（同調して）形成されている。なお、図１及び図２が示す通り、「基材１と変色層３との間」の意味は、基材１と変色層３とに直接挟まれた領域だけでなく、基材１の表面であって変色層３が積層されていない領域も含まれる。
　基材を被覆する透明性被覆層を形成する際は、例えば、基材表面（非変色層を形成する場合には基材及び非変色層の表面）に、１）透明性被覆層となる樹脂系又は無機系のフィルムをラミネートする方法、又は２）樹脂系又は無機系の透明性被覆層を形成するための塗液を塗布し、塗膜を硬化させる方法などが挙げられる。
　上記１）透明性被覆層となる樹脂系又は無機系のフィルムをラミネートする方法については、例えば、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリエステル（ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等）、ポリスチレン、ポリエチレン、ポリイミド、ポリアミド、ポリカーボネート、ポリアクリルニトリル等の樹脂系のフィルムや、ガラスなどの無機系のフィルムを必要に応じて公知の接着剤を使用してラミネートする方法が挙げられる。接着剤の種類や使用量は、基材及び透明性被覆層の材質に応じて適宜選択することができる。
　上記２）樹脂系又は無機系の透明性被覆層を形成するための塗液を塗布し、塗膜を硬化させる方法については、例えば、塗液又は硬化方法の種類に応じて、下記の蒸発乾燥型、エマルジョン型、酸化重合型、熱硬化型、光硬化型等が挙げられる。なお、下記の態様において塗布条件及び硬化条件は限定されず、透明性被覆層の所望の厚さ及び塗液の種類に応じて適宜設定することができる。
　蒸発乾燥型としては、例えば、ロジン、シェラック、カゼイン、ロジン－マレイン酸樹脂、アルキッド樹脂、セルロース誘導体、石油樹脂、低分子ポリエチレン、ポリスチレン、ポリ酢酸ビニル、塩化ビニル－酢酸ビニル共重合体、ポリアクリル酸エステル系共重体、変成ゴム、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン等の１種又は２種以上を石油系溶剤、芳香族溶剤、脂肪族炭化水素系溶剤、アルコール系溶剤、ケトン系溶剤、エステル系溶剤又は水に溶解させた溶液等を基材上に塗布し、乾燥硬化させる方法が挙げられる。その他、ケイ酸ナトリウムの水溶液（水ガラス）を基材上に塗布し、乾燥硬化させる方法も挙げられる。
　エマルジョン型としては、例えば、ポリ酢酸ビニル系、スチレン－ブタジエン系、アクリル系のエマルジョンを基材上に塗布し、乾燥硬化させる方法が挙げられる。
　酸化重合型としては、例えば、重合アマニ油、桐油、脱水ヒマシ油等の乾性油及び大豆油変成アルキッド樹脂、ヤシ油変成アルキッド樹脂、アマニ油変成アルキッド樹脂等の油変性アルキッド樹脂等を基材上に塗布し、酸化重合硬化させる方法が挙げられる。
　熱硬化型としては、例えば、エポキシ樹脂、アルキッド樹脂、アクリル樹脂、キシレン樹脂、グアナミン樹脂、フェノール樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、マレイン酸樹脂、メラミン樹脂、ユリヤ樹脂等を基材上に塗布し、熱硬化させる方法が挙げられる。
　光硬化型としては、例えば、光重合性アクリル酸系樹脂、光硬化性エポキシ樹脂等、水溶性合成樹脂塗料水溶性アルキッド樹脂、水溶性メラミン樹脂、水溶性尿素樹脂、水溶性フェノール樹脂、水溶性アクリル樹脂、水溶性エポキシ樹脂、水溶性ポリブタジエン樹脂等を基材上に塗布し、光硬化させる方法が挙げられる。
　これらの中でも、特にポリエステル系樹脂、熱硬化樹脂又は光硬化樹脂が好ましい。
　透明性被覆層の厚さは限定的ではないが、厚さは５μｍ以上であることが好ましく、８～３０μｍ程度がより好ましい。その中でも１０～２５μｍ程度とすることが好ましい。厚さが５μｍ以上であることにより、より確実にプラズマの基材への直接的な影響を緩和することができる。
　［変色層］
　本発明のインジケータは、プラズマ発生用ガスを用いたプラズマ処理雰囲気下で変色する変色層を透明性被覆層上に有する。変色層が形成されている領域は、基材表面に対して一部であってもよく全部であってもよい。基材表面に対して一部に形成されている態様は図１及び図２に例示されている。なお、変色層は基材の片面又は両面に積層することができるが、通常は図１及び図２に示されるように基材の片面に積層する。
　なお、変色層の「変色」には、色が他の色に変化するもののほか、色が退色又は消色するものも包含される。また、変色層の変化によりプラズマ処理の完了を確認する方法としては、変色層の変色によって判断する場合に限らず、プラズマによるエッチング作用により変色層が徐々に薄くなり最終的に変色層が消滅することをもってプラズマ処理の完了を確認する方法も包含される。この場合には、変色層の消滅後において、どこに変色層が形成されていたかを正確に判断できるように、変色層と同調する態様で透明性被覆層の下に非変色層を形成する態様が有用である（図２）。
　上記プラズマ発生用ガスを用いたプラズマ処理雰囲気下で変色する変色層は、プラズマ処理雰囲気下において化学構造が変化することにより変色する着色剤（本明細書において「変色色素」と言う）を含有するインキ組成物を塗布及び乾燥させることによって形成することができる。当該インキ組成物は公知のものを幅広く使用することができるが、例えば、下記の着色剤、バインダー樹脂、界面活性剤、その他の添加剤等を含有するインキ組成物を好適に使用することができる。以下、インキ組成物に含まれる一般的な成分について例示的に説明する。
　着色剤
　プラズマを検知するための変色層は限定的ではなく、例えば、アントラキノン系色素、アゾ系色素、メチン系色素、フタロシアニン系色素、ロイコ色素（分子内にラクトン環を有する色素）、ニトロソ系色素、ニトロ系色素、アゾイック系色素（ジアゾコンポーネント）、アゾイック系色素（カップリングコンポーネント）、スチルベン系色素、カロテノイド系色素、ジアリールメタン系色素、トリアリールメタン系色素、キサンテン系色素、アクリジン系色素、キノリン系色素、チアゾール系色素、インダミン系色素、インドフェノール系色素、アジン系色素、オキサジン系色素、チアジン系色素、硫化系色素、ラクトン系色素、ヒドロキシケトン系色素、アミノケトン系色素、インジゴイド系色素、天然系色素及び酸化系色素からなる群から選ばれた少なくとも１種の着色剤（変色色素）を含有するインキ組成物によって、好適に形成される。上記色素（染料も含む）は、プラズマ処理雰囲気において化学構造が変化することにより変色する変色色素であり、１種又は２種以上を混合して使用することができる。これらの変色色素の中でも、アントラキノン系色素、アゾ系色素、メチン系色素及びフタロシアニン系色素の少なくとも１種が好ましい。
　アントラキノン系色素はアントラキノンを基本骨格とするものであれば限定的でなく、公知のアントラキノン系分散染料等も使用できる。特にアミノ基を有するアントラキノン系色素が好ましい。より好ましくは、第一アミノ基及び第二アミノ基の少なくとも１種のアミノ基を有するアントラキノン系色素である。この場合、各アミノ基は、２以上有していても良く、これらは互いに同種又は相異なっても良い。
　より具体的には、例えば１，４－ジアミノアントラキノン（C.I.Disperse Violet 1）、１－アミノ－４－ヒドロキシ－２－メチルアミノアントラキノン（C.I.Disperse Red 4）、１－アミノ－４－メチルアミノアントラキノン（C.I.Disperse Violet 4）、１，４－ジアミノ－２－メトキシアントラキノン（C.I.Disperse Red 11）、１－アミノ－２－メチルアントラキノン（C.I.Disperse Orange 11）、１－アミノ－４－ヒドロキシアントラキノン（C.I.Disperse Red 15）、１，４，５，８－テトラアミノアントラキノン（C.I.Disperse Blue 1）、１，４－ジアミノ－５－ニトロアントラキノン（C.I.Disperse Violet 8）等を挙げることができる（カッコ内はカラーインデックス名）。
　その他にも C.I.Solvent Blue 14、C.I.Solvent Blue 35、C.I.Solvent Blue 63、C.I.Solvent Violet 13、C.I.Solvent Violet 14、C.I.Solvent Red 52、C.I.Solvent Red 114、C.I.Vat Blue 21、C.I.Vat Blue 30、C.I.Vat Violet 15、C.I.Vat Violet 17、C.I.Vat Red 19、C.I.Vat Red 28、C.I.Acid Blue 23、C.I.Acid Blue 80、C.I.Acid Violet 43、C.I.Acid Violet 48、C.I.Acid Red 81、C.I.Acid Red 83、C.I.Reactive Blue 4、C.I.Reactive Blue 19、C.I.Disperse Blue 7 等として知られている色素も使用することができる。
　これらのアントラキノン系色素は、単独又は２種以上を併用することができる。これらのアントラキノン系色素の中でも、C.I Disperse Blue 7、C.I Disperse Violet 1 等が好ましい。また、本発明では、これらのアントラキノン系色素の種類（分子構造等）を変えることによって検知感度の制御を行うこともできる。
　アゾ系色素は、発色団としてアゾ基－Ｎ＝Ｎ－を有するものであれば限定されない。例えば、モノアゾ色素、ポリアゾ色素、金属錯塩アゾ色素、スチルベンアゾ色素、チアゾールアゾ色素等が挙げられる。より具体的にカラーインデックス名で表記すれば、C.I.Solvent Red 1、C.I.Solvent Red 3、C.I.Solvent Red 23、C.I.Disperse Red 13、C.I.Disperse Red 52、C.I.Disperse Violet 24、C.I.Disperse Blue 44、C.I.Disperse Red 58、C.I.Disperse Red 88、C.I.Disperse Yellow 23、C.I.Disperse Orange 1、C.I.Disperse Orange 5、C.I. Disperse Red 167:1等を挙げることができる。これらは、１種又は２種以上で用いることができる。
　メチン系色素としては、メチン基を有する色素であれば良い。従って、本発明において、ポリメチン系色素、シアニン系色素等もメチン系色素に包含される。これらは、公知又は市販のメチン系色素から適宜採用することができる。具体的には、C.I.Basic Red 12、C.I.Basic Red 13、C.I.Basic Red 14、C.I.Basic Red 15、C.I.Basic Red 27、C.I.Basic Red 35、C.I.Basic Red 36、C.I.Basic Red 37、C.I.Basic Red 45、C.I.Basic Red 48、C.I.Basic Yellow 11、C.I.Basic Yellow 12、C.I.Basic Yellow 13、C.I.Basic Yellow 14、C.I.Basic Yellow 21、C.I.Basic Yellow 22、C.I.Basic Yellow 23、C.I.Basic Yellow 24、C.I.Basic Violet 7、C.I.Basic Violet 15、C.I.Basic Violet 16、C.I.Basic Violet 20、C.I.Basic Violet 21、C.I.Basic Violet 39、C.I.Basic Blue 62、C.I.Basic Blue 63等を挙げることができる。これらは、１種又は２種以上で用いることができる。
　フタロシアニン系色素としては、フタロシアニン構造を有する色素であれば限定されない。例えば、青色の銅フタロシアニン、より緑味の青色を呈する無金属フタロシアニン、緑色の高塩素化フタロシアニン、より黄味の緑色を呈する低塩素化フタロシアニン（臭素化塩素化銅フタロシアニン）等を挙げることができる。具体的には、C.I. Pigment Green 7、C.I. Pigment Blue 15、C.I. Pigment Blue 15:3、C.I. Pigment Blue 15:4、C.I. Pigment Blue 15:6、C.I. Pigment Blue 16、C.I. Pigment Green 36、C.I. Direct Blue 86、C.I. Basic Blue 140、C.I. Solvent Blue 70等を挙げることができる。これらは、１種又は２種以上で用いることができる。
　上記一般的なフタロシアニン系色素以外に、中心金属として亜鉛、鉄、コバルト、ニッケル、鉛、スズ、マンガン、マグネシウム、ケイ素、チタン、バナジウム、アルミニウム、イリジウム、プラチナ及びルテニウムの少なくとも１種を有し、これらの中心金属がフタロシアニンに配位した化合物、更には上記中心金属に酸素や塩素が結合した状態でフタロシアニンに配位した化合物等も利用できる。
　上記着色剤の含有量は、着色剤の種類、所望の色相等に応じて適宜決定できるが、一般的にはインキ組成物中０．０５～５重量％程度、特に０．１～１重量％とすることが望ましい。
　本発明では、上記着色剤以外の色素又は顔料を併存させてもよい。特に、プラズマ処理雰囲気下において化学構造が変化しない着色剤（本明細書において「非変色色素」と言う）を含有させても良い。これによって、ある色から他の色への色調の変化により視認効果をいっそう高めることができる。非変色色素としては、公知のインキ（普通色インキ）を使用することができる。この場合の非変色色素の含有量は、非変色色素の種類等に応じて適宜設定すればよい。なお、非変色色素には、プラズマ処理雰囲気下において化学構造が変化しない顔料も含まれる。
　インキ組成物は、上記着色剤に加えてバインダー樹脂、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤及び増量剤の少なくとも１種を含有することが好ましい。
　バインダー樹脂
　バインダー樹脂としては、インキ組成物の塗布面（透明性被覆層）の種類に応じて適宜選択すれば良く、例えば筆記用、印刷用等のインキ組成物に用いられている公知の樹脂成分をそのまま採用できる。具体的には、例えばマレイン酸樹脂、ケトン樹脂、アルキルフェノール樹脂、ロジン変性樹脂、ポリビニルブチラール、セルロース系樹脂、ポリエステル系樹脂、スチレンマレイン酸樹脂、スチレンアクリル酸樹脂、アクリル系樹脂等を挙げることができる。上記バインダー樹脂は１種又は２種以上で使用することができる。
　本発明では、特にセルロース系樹脂を好適に用いることができる。セルロース系樹脂を用いることによって、インキ組成物に増量剤（シリカ等）が含まれていても優れた定着性を得ることができ、透明性被覆層からの脱落、剥離等を効果的に防止することができる。また、インキ組成物の塗膜表面に複数のクラックを効果的に生じさせることによりインジケータの感度向上に寄与することができる。
　本発明では、バインダー樹脂の一部又は全部として、上記列挙した樹脂以外に窒素含有高分子を用いてもよい。窒素含有高分子はバインダーとしての役割に加えて感度強化剤としての役割を果たす。即ち、感度強化剤を用いることにより、プラズマ処理検知の精度（感度）をより高めることができる。
　窒素含有高分子は、例えばポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、アミノ樹脂、ポリアクリルアミド、ポリビニルピロリドン、ポリビニルイミダゾール、ポリエチレンイミン等の合成樹脂を好適に用いることができる。これらは１種又は２種以上で使用することができる。本発明でポリビニルピロリドン用いることが好ましい。ポリアミド樹脂の種類、分子量等は特に限定されず、公知又は市販のポリアミド樹脂を用いることができる。この中でも、リノール酸の二量体とジアミン又はポリアミンとの反応生成物（長鎖線状重合物）であるポリアミド樹脂を好適に用いることができる。ポリアミド樹脂は、分子量４０００～７０００の熱可塑性樹脂である。このような樹脂も市販品を用いることができる。
　バインダー樹脂の含有量は、バインダー樹脂の種類、用いる着色剤の種類等に応じて適宜決定できるが、一般的にはインキ組成物中５０重量％程度以下、特に５～３５重量％とすることが望ましい。バインダー樹脂として窒素含有高分子を用いる場合には、インキ組成物中の窒素含有高分子の含有量は、０．１～５０重量％程度、特に１～２０重量％とすることが望ましい。
　ノニオン系界面活性剤
　ノニオン系界面活性剤は、変色促進剤として作用し、着色剤と併用することによって、より優れた検知感度を得ることができる。
　ノニオン系界面活性剤としては、一般式（Ｉ）～（Ｖ）で示されるノニオン系界面活性剤の少なくとも１種を用いる。
　下記一般式（Ｉ）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000001
〔但し、上記一般式中、Ｒ１及びＲ２はそれぞれ独立に水素、炭素数１～３０の直鎖又は分岐の脂肪族炭化水素基を示す。Ｘは酸素又はエステル結合を示す。ＡＯはアルキレンオキサイド由来の繰り返し単位を示す。ｎは１～２００の整数を示す。〕
で表されるノニオン系界面活性剤は、アルキレングリコール誘導体である。
　また、下記一般式（ＩＩ）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000002
〔但し、上記一般式中、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３はそれぞれ独立に水素、炭素数１～３０の直鎖又は分岐の脂肪族炭化水素基を示す。Ｘは酸素又はエステル結合を示す。ｎは１～２００の整数を示す。〕
で表されるノニオン系界面活性剤は、ポリグリセリン誘導体である。
　上記一般式（Ｉ）において、ＡＯ（モノマー）としては、エチレンオキサイド、プロピレンオキサイド、１，２－ブチレンオキサイド、２，３－ブチレンオキサイド、テトラヒドロフラン、スチレンオキサイド等が挙げられ、ＡＯの重合形態としては、単独重合体、２種類以上のＡＯからなるブロック共重合体又はランダム共重合体が挙げられる。また、一般式（Ｉ）及び（ＩＩ）において、炭素数１～３０とあるのは、炭素数１～２２が好ましく、炭素数１０～１８がより好ましく、Ｘは酸素が好ましく、ｎは１～１００の整数が好ましい。
　上記一般式（Ｉ）又は（ＩＩ）に該当するノニオン系界面活性剤としては、具体的には、ポリエチレングリコール（市販品として「ＰＥＧ２０００」など）（三洋化成工業株式会社製）、グリセリン、ポリエチレングリコール－ポリプロピレングリコールコポリマー（市販品として「エパン７１０」など）（第一工業製薬株式会社製）等が挙げられる。
　また、上記において、Ｒ１及びＲ２の少なくとも一方が炭素数１～３０の直鎖又は分岐の脂肪族炭化水素基に置換された重合体も好ましいものとして挙げられる。
　具体的には、ポリオキシエチレン（以下ＰＯＥ）ラウリルエーテル（市販品として「エマルゲン１０９Ｐ」など）、ＰＯＥセチルエーテル（市販品として「エマルゲン２２０」など）、ＰＯＥオレイルエーテル（市販品として「エマルゲン４０４」など）、ＰＯＥステアリルエーテル（市販品として「エマルゲン３０６」など）、ＰＯＥアルキルエーテル（市販品として「エマルゲンＬＳ－１１０」）（以上、花王株式会社製）、ＰＯＥトリデシルエーテル（市販品として「ファインサーブＴＤ－１５０」など）、モノステアリン酸ポリエチレングリコール（市販品として「ブラウノンＳ－４００Ａ」など）（以上、青木油脂工業株式会社製）、モノオレイン酸ポリエチレングリコール（市販品として「ノニオンＯ－４」など）、テトラメチレングリコール誘導体（市販品として「ポリセンＤＣ－１１００」など）、ポリブチレングリコール誘導体（市販品として「ユニオールＰＢ－５００」など）、アルキレングリコール誘導体（市販品として「ユニルーブ５０ＭＢ－５」など）（以上、日油株式会社製）など）、ＰＯＥ（２０）オクチルドデシルエーテル（市販品として「エマレックスＯＤ－２０」など）、ＰＯＥ（２５）オクチルドデシルエーテル（市販品として「エマレックスＯＤ－２５」など）（以上、日本エマルジョン株式会社製）等が挙げられる。
　下記一般式（ＩＩＩ）及び（ＩＶ）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000003
〔但し、上記一般式中、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３はそれぞれ独立に水素、炭素数１～３０の直鎖又は分岐の脂肪族炭化水素基を示す。ＡＯはアルキレンオキサイド由来の繰り返し単位を示す。ａ＋ｂ＋ｃは３～２００の整数を示す。〕
で表されるノニオン系界面活性剤は、アルキレングリコールグリセリル誘導体である。
　上記両一般式において、ＡＯ（モノマー）としては、エチレンオキサイド、プロピレンオキサイド、１，２－ブチレンオキサイド、２，３－ブチレンオキサイド、テトラヒドロフラン、スチレンオキサイド等が挙げられ、ＡＯの重合形態としては、単独重合体、２種類以上のＡＯからなるブロック共重合体又はランダム共重合体が挙げられる。また、一両一般式において、炭素数１～３０とあるのは、炭素数１～２２が好ましく、炭素数１０～１８がより好ましく、ａ＋ｂ＋ｃは３～５０の整数が好ましい。
　上記一般式（ＩＩＩ）に該当するノニオン系界面活性剤としては、例えば、Ｒ１がイソステアリン酸残基であり、Ｒ２及びＲ３が水素であり、ＡＯ（モノマー）がエチレンオキサイドである化合物が挙げられ、具体的には、イソステアリン酸ＰＯＥグリセリル（市販品として「ユニオックスＧＭ－３０ＩＳ」など）（日油株式会社製）が挙げられる。
　上記一般式（ＩＶ）に該当するノニオン系界面活性剤としては、例えば、Ｒ１～Ｒ３がイソステアリン酸残基であり、ＡＯ（モノマー）がエチレンオキサイドである化合物が挙げられ、具体的には、トリイソステアリン酸ＰＯＥグリセリル（市販品として「ユニオックスＧＴ－３０ＩＳ」など）（日油株式会社製）が挙げられる。
　下記一般式（Ｖ）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000004
 
〔但し、上記一般式中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４はそれぞれ独立に水素、炭素数１～３０の直鎖又は分岐の脂肪族炭化水素基を示す。Ｘは酸素又はエステル結合を示す。ＡＯはアルキレンオキサイド由来の繰り返し単位を示す。ｐ＋ｑは０～２０の整数を示す。〕
で表されるノニオン系界面活性剤はアセチレングリコール誘導体である。
　上記一般式（Ｖ）において、ＡＯ（モノマー）としては、エチレンオキサイド、プロピレンオキサイド、１，２－ブチレンオキサイド、２，３－ブチレンオキサイド、テトラヒドロフラン、スチレンオキサイド等が挙げられ、ＡＯの重合形態としては、単独重合体、２種類以上のＡＯからなるブロック共重合体又はランダム共重合体が挙げられる。また、一般式（Ｉ）及び（ＩＩ）において、炭素数１～３０とあるのは、炭素数１～２２が好ましく、Ｘは酸素が好ましく、ｐ＋ｑは０～１０の整数が好ましい。
　上記一般式（Ｖ）に該当するノニオン系界面活性剤としては、例えば、Ｒ１及びＲ４が水素であり、Ｒ２及びＲ３が＞Ｃ（ＣＨ３）（ｉ－Ｃ４Ｈ９）であり、Ｘが酸素であり、ｐ＋ｑ＝０である化合物が挙げられ、具体的には２，４，７，９－テトラメチル－５－デシン－４，７－ジオール（市販品として「サーフィノール１０４Ｈ」など）（エアープロダクツジャパン株式会社製）が挙げられる。
　これらの一般式（Ｉ）～（Ｖ）で示されるノニオン系界面活性剤は、単独又は２種以上を混合して使用することができる。
　ノニオン系界面活性剤の含有量は、その種類及び用いる着色剤の種類等に応じて適宜決定できるが、組成物中の保存性及び変色促進効果を考慮して、一般的にはインキ組成物中０．２～１０重量％程度、特に０．５～５重量％とすることが望ましい。
　カチオン系界面活性剤
　カチオン系界面活性剤としては、特に制限されないが、特にテトラアルキルアンモニウム塩、イソキノリニウム塩、イミダゾリニウム塩及びピリジニウム塩の少なくとも１種を用いることが望ましい。これらは市販品も使用できる。カチオン系界面活性剤を前記の着色剤と併用することによって、より優れた検知感度を得ることができる。上記カチオン系界面活性剤は１種又は２種以上で使用することができる。
　テトラアルキルアンモニウム塩の中でも、アルキルトリメチルアンモニウム塩、ジアルキルジメチルアンモニウム塩等が好ましい。具体的には、塩化ヤシアルキルトリメチルアンモニウム、塩化牛脂アルキルトリメチルアンモニウム、塩化ベヘニルトリメチルアンモニウム、塩化ミリスチルトリメチルアンモニウム、塩化テトラメチルアンモニウム、塩化テトラブチルアンモニウム、塩化テトラプロピルアンモニウム、臭化テトラメチルアンモニウム、臭化テトラブチルアンモニウム、臭化テトラプロピルアンモニウム、塩化トリメチル－２－ヒドロキシエチルアンモニウム、塩化セチルトリメチルアンモニウム、塩化ラウリルトリメチルアンモニウム、塩化ステアリルトリメチルアンモニウム、塩化ジオクチルジメチルアンモニウム、塩化ジステアリルジメチルアンモニウム、塩化アルキルベンジルジメチルアンモニウム等が挙げられる。特に、塩化ベヘニルトリメチルアンモニウム、塩化ラウリルトリメチルアンモニウム等が好ましい。
　イソキノリニウム塩としては、例えばラウリルイソキノリニウムブロマイド、セチルイソキノリニウムブロマイド、セチルイソキノリニウムクロライド、ラウリルイソキノリニウムクロライド等が挙げられる。この中でも、特にラウリルイソキノリニウムブロマイドが好ましい。
　イミダゾリニウム塩としては、例えば１－ヒドロキシエチル－２－オレイルイミダゾリニウムクロライド、２－クロロ－１，３－ジメチルイミダゾリニウムクロライド等が挙げられる。この中でも、特に２－クロロ－１，３－ジメチルイミダゾリニウムクロライドが好ましい。
　ピリジニウム塩としては、例えばピリジニウムクロライド、１－エチルピリジニウムブロマイド、ヘキサデシルピリジニウムクロライド、セチルピリジニウムクロライド、１－ブチルピリジニウムクロライド、Ｎ－ｎ－ブチルピリジニウムクロライド、ヘキサデシルピリジニウムブロマイド、Ｎ－ヘキサデシルピリジニウムブロマイド、１－ドデシルピリジニウムクロライド、３－メチルヘキシルピリジニウムクロライド、４－メチルヘキシルピリジニウムクロライド、３－メチルオクチルピリジニウムクロライド、２－クロロ－１－メチルピリジニウムアイオダイド、３，４－ジメチルブチルピリジニウムクロリド、ピリジニウム－ｎ－ヘキサデシルクロリド－水和物、Ｎ－（シアノメチル）ピリジニウムクロリド、Ｎ－アセトニルピリジニウムブロマイド、１－（アミノホルミルメチル）ピリジニウムクロライド、２－アミジノピリジニウムクロライド、２－アミノピリジニウムクロライド、Ｎ－アミノピリジニウムアイオダイド、１－アミノピリジニウムアイオダイド、１－アセトニルピリジニウムクロリド、Ｎ－アセトニルピリジニウムブロマイド等が挙げられる。この中でも、特にヘキサデシルピリジニウムクロライドが好ましい。
　カチオン系界面活性剤の含有量は、上記界面活性剤の種類、用いる着色剤の種類等に応じて適宜決定できるが、一般的にはインキ組成物中０．２～１０重量％程度、特に０．５～５重量％とすることが望ましい。
　増量剤
　増量剤としては、特に制限されず、例えばベントナイト、活性白土、酸化アルミニウム、シリカ、シリカゲル等の無機材料を挙げることができる。その他にも公知の体質顔料として知られている材料を用いることができる。この中でも、シリカ、シリカゲル及びアルミナの少なくもと１種が好ましい。特にシリカがより好ましい。シリカ等を使用する場合には、特に変色層表面に複数のクラックを効果的に生じさせることができる。その結果、インジケータの検知感度をより高めることができる。上記増量剤は１種又は２種以上で使用することができる。
　増量剤の含有量は、用いる増量剤や着色剤の種類等に応じて適宜決定できるが、一般的にはインキ組成物中１～３０重量％程度、特に２～２０重量％とすることが望ましい。
　その他の添加剤
　インキ組成物は、必要に応じて溶剤、光重合開始剤、レベリング剤、消泡剤、紫外線吸収剤、表面調整剤等の公知のインキに用いられている成分を適宜配合することができる。
　本発明で使用できる溶剤としては、通常、印刷用、筆記用等のインキ組成物に用いられる溶剤であればいずれも使用できる。例えば、アルコール又は多価アルコール系、エステル系、エーテル系、ケトン系、炭化水素系、グリコールエーテル系等の各種溶剤が使用でき、使用する色素、バインダー樹脂の溶解性等に応じて適宜選択すれば良い。上記溶剤は１種又は２種以上で使用することができる。
　溶剤の含有量は、用いる溶剤や着色剤の種類等に応じて適宜決定できるが、一般的にはインキ組成物中４０～９５重量％程度、特に６０～９０重量％とすることが望ましい。
　本発明で使用できる光重合開始剤としては、プラズマ処理雰囲気下において、変色層に含まれる各種色素（染料も含む）の変色速度を向上させる変色促進剤として作用するものであれば特に限定されない。このような光重合開始剤を併用することによって優れた検知感度を得ることができるとともに光重合開始剤の含有量を調整することによって変色速度を制御することもできる。
　光重合開始剤が変色促進剤として作用する理由の詳細は不詳であるが、光重合開始剤はプラズマ処理雰囲気下でラジカルを発生することにより、色素の構造を変化させ（一部分解、結合の切断等）、それにより変色促進効果を発揮するものと考えられる。
　光重合開始剤としては限定されないが、例えば、アルキルフェノン系光重合開始剤、アシルフォスフィンアキサイド系光重合開始剤、チタノセン系光重合開始剤、アセトフェノン系光重合開始剤、ベンゾフェノン系光重合開始剤、チオキサントン系光重合開始剤、カチオン系光重合開始剤及びアニオン系光重合開始剤からなる群から選択される少なくとも１種が好ましい。これらの光重合開始剤の中でも、アルキルフェノン系光重合開始剤及びアシルフォスフィンアキサイド系光重合開始剤の少なくとも１種がより好ましい。
　光重合開始剤の含有量は、その種類及び用いる色素の種類等に応じて適宜決定できるが、インキ組成物中の保存性及び変色促進効果を考慮して、一般的にはインキ組成物中０．０５～２０重量％程度、特に１～１０重量％とすることが望ましい。光重合開始剤の含有量が２０重量％を超える場合には、インキ組成物中に溶解しないで溶け残るおそれがある。また、光重合開始剤の含有量が０．０５重量％未満の場合には、変色促進効果が十分に発揮されないおそれがある。
　本発明におけるインキ組成物の各成分は、同時に又は順次に配合し、ホモジナイザー、ディゾルバー等の公知の攪拌機を用いて均一に混合すれば良い。例えば、まず溶剤に前記着色剤、並びにバインダー樹脂、カチオン系界面活性剤及び増量剤の少なくとも１種（必要に応じてその他の添加剤）を順に配合し、攪拌機により混合・攪拌すれば良い。
　変色層の形成方法
　変色層の形成は、前記インキ組成物を用い、スピンコート、スリットコート、ゾルゲル、スプレー、シルクスクリーン印刷、グラビア印刷、オフセット印刷、凸版印刷、フレキソ印刷等の公知の印刷方法；公知の塗布方法などに従って行うことができる。
　変色層は、その表面に複数のクラックを有することが望ましい。すなわち、変色層の表面に開放気孔が形成され、多孔質化していることが望ましい。かかる構成により、プラズマ処理検知の感度をより高めることができる。この場合には、プラズマ処理検知インジケータの内部に変色層が配置されても、所望の変色効果が得られる。クラックは、特に本発明におけるインキ組成物のバインダー樹脂としてセルロース系樹脂を用いることによって効果的に形成することができる。すなわち、セルロース系樹脂の使用により、良好な定着性を維持しつつ、上記のようなクラックを形成することができる。
　変色層の厚さは限定されないが、一般的には１～１０μｍ程度である。
　［非変色層］
　本発明では、プラズマ処理雰囲気下において化学構造が変化しない非変色色素を含有する非変色層が基材と透明性被覆層との間に形成されていてもよい。非変色層を変色層とは別に設ける態様は、変色層に変色性色素に加えて非変色性色素を添加する態様と二者択一で選択することができるが、非変色層を基材と透明性被覆層との間に形成する態様であれば、プラズマの影響による非変色層の脱色（エッチング作用による物理的脱色）の影響を緩和することができるため、本発明では変色層とは別に基材と透明性樹脂層との間に非変色層を形成する態様が好ましい。
　非変色層は、通常は市販の普通色インキにより形成することができる。例えば、水性インキ、油性インキ、無溶剤型インキ等を用いることができる。非変色層の形成に用いるインキには、公知のインキに配合されている成分、例えば樹脂バインダー、増量剤、溶剤等が含まれていてもよい。
　非変色層の形成は、変色層の場合と同様にすればよい。例えば、普通色インキを用い、シルクスクリーン印刷、グラビア印刷、オフセット印刷、凸版印刷、フレキソ印刷等の公知の印刷方法に従って行うことができる。
　本発明では、プラズマ処理の完了が確認できる限り、変色層と非変色層とをどのように組み合わせてもよい。例えば、変色層の変色により初めて変色層と非変色層の色差が識別できるように変色層及び非変色層を形成したり、或いは変色によって初めて変色層及び非変色層との色差が消滅したりするように形成することもできる。その他、変色層がプラズマのエッチング作用により徐々に薄くなり最終的に変色層が消滅することにより非変色層が露出することによりプラズマ処理の完了を確認するようにしてもよい。本発明では、特に変色によって初めて変色層と非変色層との色差が識別できるように変色層及び非変色層を形成することが好ましい。
　色差が識別できるようにする場合には、例えば変色層の変色により初めて文字、図柄及び記号の少なくとも１種が現れるように変色層及び非変色層を形成すればよい。本発明では、文字、図柄及び記号は、変色を知らせる全ての情報を包含する。これら文字等は使用目的等に応じて適宜デザインすればよい。
　また、変色前における変色層と非変色層とを互いに異なる色としてもよい。例えば、両者を実質的に同じ色とし、変色後に初めて変色層と非変色層との色差（コントラスト）が識別できるようにしてもよい。
　本発明のインジケータは、プラズマ発生用ガスを用いるプラズマ処理であればいずれにも適用できる。つまり、減圧プラズマ処理及び大気圧プラズマ処理の両方に適用できる。
　減圧プラズマ処理の具体例としては、例えば、フラットパネルディスプレイ（液晶ディスプレイなど）の製膜、灰化、洗浄、表面改質等の用途；半導体製造工程における製膜、灰化、洗浄、表面改質等の用途；実装基板又はプリント配線基板の洗浄、表面改質等の用途；医療器具などの滅菌用途；実装部品の洗浄、表面改質等の用途等が挙げられる。
　また、大気圧プラズマ処理の具体例としては、例えば、フラットパネルディスプレイ（液晶ディスプレイなど）の洗浄、表面改質等の用途；実装基板又はプリント配線基板の洗浄、表面改質等の用途；自動車、航空機部品等の表面改質用途、医療分野（歯科又は外科）における消毒、殺菌、治療等の用途等が挙げられる。
　減圧プラズマ発生用ガスとしては、減圧下、交流電圧、パルス電圧、高周波、マイクロ波等を印加することによりプラズマを発生させることができるガスであれば限定されず、例えば、酸素、窒素、水素、塩素、過酸化水素、ヘリウム、アルゴン、シラン、アンモニア、臭化硫黄、水蒸気、亜酸化窒素、テトラエトキシラン、四フッ化炭素、トリフルオロメタン、四塩化炭素、四塩化ケイ素、六フッ化硫黄、四塩化チタン、ジクロロシラン、トリメチルガリウム、トリメチルインジウム、トリメチルアルミニウム等が挙げられる。これらの減圧プラズマ発生用ガスは、単独又は２種以上を混合して使用することができる。
　大気圧プラズマ発生用ガスとしては、大気圧下、交流電圧、パルス電圧、高周波、マイクロ波等を印加することによりプラズマを発生させることができるガスであれば限定されず、例えば、酸素、窒素、水素、アルゴン、ヘリウム、空気等があげられる。これらの大気圧プラズマ発生用ガスは、単独又は２種以上を混合して使用することができる。
　本発明のインジケータを使用する際は、具体的には、プラズマ発生用ガスを用いるプラズマ処理装置（具体的には、プラズマ発生用ガスを含有する雰囲気下で交流電圧、パルス電圧、高周波、マイクロ波等を印加してプラズマを発生させることによりプラズマ処理を行う装置）の内部又は当該内部に収容されている被処理物に本発明インジケータを置き、プラズマ処理雰囲気下に晒せばよい。この場合、装置内に置かれたインジケータの変色により所定のプラズマ処理が行われたこと検知することができる。
　以下に実施例及び比較例を示し、本発明の特徴を一層明確にする。なお、本発明は、実施例の態様に制限されない。
　実施例１
　厚さ１８８μｍの白色ＰＥＴフィルム「東洋紡製、クリスパーＫ２３２３」を基材として用意し、基材上に非変色層形成用インキ「サカタインクス製、ダイヤトーン　エコピュア SOY HP J」により厚さ１０μｍの非変色層を形成した。
　次に非変色層上に厚さ２５μｍのＰＥＴフィルム「リンテック製、PET25A PL シン」をドライラミネートすることにより樹脂系の透明性被覆層を形成した。
　次に透明性被覆層上に変色層形成用インキＡを用いて厚さ５μｍの変色層を形成した。
　以上の工程を経てインジケータを作製した。
（変色層形成用インキＡの組成）
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000005
　実施例２
　厚さ１８８μｍの白色ＰＥＴフィルム「東洋紡製、クリスパーＫ２３２３」を基材として用意し、基材上に厚さ２５μｍのＰＥＴフィルム「リンテック製、PET25A PL シン」をドライラミネートすることにより樹脂系の透明性被覆層を形成した。
　次に透明性被覆層上に変色層形成用インキＢを用いて厚さ５μｍの変色層を形成した。
　以上の工程を経てインジケータを作製した。
（変色層形成用インキＢの組成）
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000006
　実施例３
　実施例１において、樹脂系の透明性被覆層を、ポリエステル樹脂溶液「DIC製、サンドーマ」により形成した以外は、実施例１と同様にしてインジケータを作製した。具体的には、上記ポリエステル樹脂溶液を用いてシルクスクリーン印刷を６回繰り返すことにより厚さ１０μｍの透明性被覆層を形成した。
　実施例４
　実施例２において、樹脂系の透明性被覆層を、ポリエステル樹脂溶液「DIC製、サンドーマ」により形成した以外は、実施例２と同様にしてインジケータを作製した。具体的には、上記ポリエステル樹脂溶液を用いてシルクスクリーン印刷を６回繰り返すことにより厚さ１０μｍの透明性被覆層を形成した。
　実施例５
　実施例１において、樹脂系の透明性被覆層を、ＵＶ硬化型樹脂溶液「十条ケミカル製、レイキュアーインキ」により形成した以外は、実施例１と同様にしてインジケータを作製した。具体的には、上記ＵＶ硬化型樹脂溶液を用いてシルクスクリーン印刷を行った後ＵＶ照射により硬化させる作業を６回繰り返すことにより、厚さ１０μｍの透明性被覆層を形成した。
　実施例６
　実施例２において、樹脂系の透明性被覆層を、ＵＶ硬化型樹脂溶液「十条ケミカル製、レイキュアーインキ」により形成した以外は、実施例２と同様にしてインジケータを作製した。具体的には、上記ＵＶ硬化型樹脂溶液を用いてシルクスクリーン印刷を行った後ＵＶ照射により硬化させる作業を６回繰り返すことにより、厚さ１０μｍの透明性被覆層を形成した。
　実施例７
　実施例１において、樹脂系の透明性被覆層を無機系の透明性被覆層（ガラス）に変えた以外は、実施例１と同様にしてインジケータを作製した。具体的には、厚さ１０μｍのガラス「松尾硝子工業製、カバーグラス」を、３Ｍ製ガラス用粘着剤を用いて貼り付けることにより透明性被覆層を形成した。
　実施例８
　実施例２において、樹脂系の透明性被覆層を無機系の透明性被覆層（ガラス）に変えた以外は、実施例２と同様にしてインジケータを作製した。具体的には、厚さ１０μｍのガラス「松尾硝子工業製、カバーグラス」を、３Ｍ製ガラス用粘着剤を用いて貼り付けることにより透明性被覆層を形成した。
　比較例１
　実施例１において、透明性被覆層を形成しない態様を比較例１のインジケータとした。
　比較例２
　実施例２において、透明性被覆層を形成しない態様を比較例２のインジケータとした。
　試験例１（プラズマ処理）
　各実施例及び比較例で作製したインジケータを高周波プラズマ装置「サムコ製、BP-1」に設置して「Ｏ２ガス及びＣＦ４ガスの混合ガス」、「Ａｒガス」のそれぞれを用いてプラズマを発生させて減圧プラズマ処理後の基材の変化を肉眼により観察した。
　観察の結果、基材表面に粉吹きが認められないものを〇と評価し、基材表面に粉吹きが認められるものを×と評価した。結果を下記表３に示す。
（混合ガスを用いた場合の減圧プラズマ処理条件）
・装置：平行平板高周波プラズマ装置 BP-1（サムコ製）
・O2ガス：10ml/min , CF4ガス：5ml/min
・電力：75W , 圧力：100Pa , 電力距離：50mm
・処理時間：10min
（Ａｒガスを用いた場合の減圧プラズマ処理条件）
・装置：平行平板高周波プラズマ装置 BP-1（サムコ製）
・Arガス：20ml/min   
・電力：75W , 圧力：20Pa , 電力距離：50mm
・処理時間：30min
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000007
　表３の結果から明らかな通り、樹脂系又は無機系の透明性被覆層を形成した本発明のインジケータは、プラズマ処理後に基材表面に粉吹きが認められなかったが、透明性被覆層を形成しない比較例のインジケータは、プラズマ処理後に基材表面に粉吹きが認められた。
　また、本発明のインジケータは、プラズマ処理後に基材のカールの発生や基材の変色は認められなかったが、比較例のインジケータは、プラズマ処理後に基材のカールの発生及び基材の変色の少なくとも一つが認められた。
　なお、試験例１は減圧プラズマ処理の場合の結果であるが、プラズマ処理の種類を大気圧プラズマ処理に変えた場合でも同じ効果が得られる。
１．基材
２．透明性被覆層
３．変色層
４．非変色層

Claims (5)

  1. 　基材の表面の一部又は全部にプラズマ処理雰囲気下で変色する変色層が少なくとも積層されているプラズマ処理検知インジケータであって、
    （１）前記基材は、繊維質基材、又は着色顔料を含む合成樹脂基材であり、
    （２）前記基材と前記変色層との間に、前記基材の前記表面の全部を被覆する樹脂系又は無機系の透明性被覆層を有することを特徴とするインジケータ。
  2. 　前記透明性被覆層は、厚さが５μｍ以上である、請求項１に記載のインジケータ。
  3. 　前記変色層は、プラズマ処理雰囲気下において化学構造が変化することにより変色する変色色素に加えて、プラズマ処理雰囲気下において化学構造が変化しない非変色色素を含有する、請求項１又は２に記載のインジケータ。
  4. 　前記基材と前記透明性被覆層との間に、プラズマ処理雰囲気下において化学構造が変化しない非変色色素を含有する非変色層を有する、請求項１～３のいずれかに記載のインジケータ。
  5. 　前記非変色層と前記変色層とは、前記透明性被覆層を挟んで同形状で重なるように積層されている、請求項４に記載のインジケータ。
PCT/JP2015/053742 2014-02-14 2015-02-12 プラズマ処理検知インジケータ Ceased WO2015122425A1 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201580007914.3A CN106030766B (zh) 2014-02-14 2015-02-12 等离子体处理检测指示器
KR1020167021364A KR102342177B1 (ko) 2014-02-14 2015-02-12 플라즈마 처리 감지 표시기
JP2015562838A JP6460484B2 (ja) 2014-02-14 2015-02-12 プラズマ処理検知インジケータ
US15/117,601 US10401338B2 (en) 2014-02-14 2015-02-12 Plasma processing detection indicator

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014026849 2014-02-14
JP2014-026849 2014-02-14

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2015122425A1 true WO2015122425A1 (ja) 2015-08-20

Family

ID=53800168

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2015/053742 Ceased WO2015122425A1 (ja) 2014-02-14 2015-02-12 プラズマ処理検知インジケータ

Country Status (6)

Country Link
US (1) US10401338B2 (ja)
JP (1) JP6460484B2 (ja)
KR (1) KR102342177B1 (ja)
CN (1) CN106030766B (ja)
TW (1) TWI636101B (ja)
WO (1) WO2015122425A1 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016065204A (ja) * 2014-09-16 2016-04-28 株式会社サクラクレパス プラズマ処理検知用インキ組成物及びプラズマ処理検知インジケータ
US9944061B2 (en) 2016-01-08 2018-04-17 Sikorsky Aircraft Corporation Plasma detection tracers for process monitoring
JP2022134872A (ja) * 2021-03-04 2022-09-15 株式会社サクラクレパス 積層体及びインジケーター

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6126042B2 (ja) * 2013-06-04 2017-05-10 株式会社サクラクレパス プラズマ処理検知用インキ組成物及びプラズマ処理検知インジケーター
TWI624890B (zh) * 2013-08-22 2018-05-21 櫻花彩色筆股份有限公司 Indicator for electronic component manufacturing apparatus, and design and/or management method of the same
WO2015122425A1 (ja) 2014-02-14 2015-08-20 株式会社サクラクレパス プラズマ処理検知インジケータ
JP2015205995A (ja) * 2014-04-21 2015-11-19 株式会社サクラクレパス プラズマ処理検知用インキ組成物及びプラズマ処理検知インジケータ
KR102296893B1 (ko) 2014-05-09 2021-08-31 사쿠라 컬러 프로덕츠 코포레이션 무기 물질을 변색층으로 사용한 플라스마 처리 감지 표시기
JP6567817B2 (ja) 2014-12-02 2019-08-28 株式会社サクラクレパス プラズマ処理検知インキ組成物及びそれを用いたプラズマ処理検知インジケータ
KR101980957B1 (ko) * 2017-04-14 2019-05-21 가톨릭대학교 산학협력단 아르곤-플라즈마 제트의 생체 내 영향권에 관한 가이드라인 구축 방법
CN109839388A (zh) * 2017-11-29 2019-06-04 中微半导体设备(上海)股份有限公司 等离子运行状态实时监控方法、晶圆监测件和监控系统
KR102048422B1 (ko) * 2018-04-25 2019-11-25 노예솔 부품점검 및 관리용 식별표시 폴리머 라벨 및 그를 이용한 식별표시방법
JP7464219B2 (ja) * 2019-04-23 2024-04-09 株式会社サクラクレパス 積層体及びインジケーター

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04305492A (ja) * 1991-04-03 1992-10-28 Tomoegawa Paper Co Ltd 被熱転写媒体
JP2005111154A (ja) * 2003-10-10 2005-04-28 Nitto Denko Corp プラズマ滅菌表示インジケーター材料
JP2013098196A (ja) * 2011-10-28 2013-05-20 Sakura Color Products Corp プラズマ処理検知用インキ組成物及びプラズマ処理検知インジケーター

Family Cites Families (96)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3568627A (en) * 1969-12-24 1971-03-09 Irwin Selinger Combined record card and sterilization indicator
JPS5488068A (en) 1977-12-24 1979-07-12 Fuji Electric Co Ltd Determination method of production condition for semiconductor device
US4179397A (en) 1978-05-22 1979-12-18 American Can Company Indicator ink
US4155895A (en) 1978-05-30 1979-05-22 American Can Company Thermotropic ink
US4448548A (en) * 1979-06-11 1984-05-15 Pymah Corporation Steam sterilization indicator
GB2168082B (en) 1984-07-31 1988-09-14 Beecham Group Plc Dye compositions
JPS6336876A (ja) 1986-07-30 1988-02-17 Fuji Photo Film Co Ltd プラズマ処理の十分さを確認する方法
JPS6336786A (ja) 1986-07-31 1988-02-17 Teijin Ltd 抗体ｌ鎖発現型核酸塩基配列，プラスミド，細胞及びキメラ抗体ｌ鎖
US4839311A (en) 1987-08-14 1989-06-13 National Semiconductor Corporation Etch back detection
EP0304729B1 (en) 1987-08-14 1993-03-17 Fairchild Semiconductor Corporation Etch back detection
JP2771387B2 (ja) 1992-05-21 1998-07-02 日本電気株式会社 プラズマドライエッチングの終点検知方法
JP2952133B2 (ja) 1993-07-09 1999-09-20 キヤノン株式会社 インクジェットプリント方法、及び、プリント物
US5990199A (en) 1995-04-19 1999-11-23 North American Science Associates, Inc. Indicator ink compositions
JP3304985B2 (ja) 1997-04-17 2002-07-22 ジョンソン・エンド・ジョンソン株式会社 ケミカルインジケーターシートおよびそれを使用した滅菌用包装袋
DE69830851T2 (de) 1997-04-17 2006-04-20 Ethicon, Inc. Chemischer indikator und dessen verwendung
US5955025A (en) 1997-04-30 1999-09-21 Tempil, Inc. Chemical vapor sterilization indicating materials
US6063631A (en) 1997-05-21 2000-05-16 3M Innovative Properties Company Sterilization indicator
US6238623B1 (en) 1997-05-21 2001-05-29 3M Innovative Properties Company Labels and tracking systems for sterilization procedures
US6117685A (en) 1997-05-22 2000-09-12 Sakura Color Products Corporation Ozone indicator and ozone detecting ink
US5942438A (en) 1997-11-07 1999-08-24 Johnson & Johnson Medical, Inc. Chemical indicator for oxidation-type sterilization processes using bleachable dyes
US6355448B1 (en) 1998-06-02 2002-03-12 3M Innovative Properties Company Sterilization indicator with chemically stabilized enzyme
JP2000269191A (ja) 1999-03-16 2000-09-29 Toshiba Corp プラズマ装置
US6410338B1 (en) * 1999-05-14 2002-06-25 Ethicon, Inc. Method of indicating an oxidizing agent
US6485979B1 (en) 1999-08-05 2002-11-26 3M Innovative Properties Company Electronic system for tracking and monitoring articles to be sterilized and associated method
US6790411B1 (en) 1999-12-02 2004-09-14 3M Innovative Properties Company Hydrogen peroxide indicator and method
JP4151932B2 (ja) * 1999-12-15 2008-09-17 株式会社サクラクレパス プラズマ滅菌検知用インキ組成物及びそれを用いたプラズマ滅菌検知インジケーター
JP2001237097A (ja) 2000-02-21 2001-08-31 Hitachi Ltd プラズマ計測方法および計測装置
JP2001242249A (ja) 2000-03-01 2001-09-07 Japan Atom Power Co Ltd:The 放射線感応組成物含有マイクロカプセル及びその利用方法
JP3418937B2 (ja) 2000-06-29 2003-06-23 株式会社ホギメディカル プラズマ滅菌用インジケーター
US6852281B2 (en) 2000-06-30 2005-02-08 Sakura Color Products Corporation Gas indicator and gas sensor sheet
JP2002022534A (ja) 2000-07-12 2002-01-23 Nitto Denko Corp 紫外線測定方法
JP4574048B2 (ja) 2001-04-04 2010-11-04 藤森工業株式会社 プラズマ滅菌用インジケータ及び滅菌用包装材料
JP2002322315A (ja) 2001-04-26 2002-11-08 Osao Kobayashi 滅菌インジケータ組成物
JP2002323451A (ja) 2001-04-26 2002-11-08 Osao Kobayashi 滅菌インジケータ組成物
JP2003119087A (ja) 2001-10-17 2003-04-23 Ngk Insulators Ltd 複合コーティング材料、積層体、耐蝕性部材、耐ハロゲンガスプラズマ用部材および複合コーティング材料の製造方法
ATE423309T1 (de) 2001-10-26 2009-03-15 Mitsubishi Gas Chemical Co Zusammensetzung zur bestimmung von sauerstoff
SE0200399D0 (sv) * 2002-02-12 2002-02-12 Timo Siikaluoma Metod för vätskeindikering
JP2003325646A (ja) 2002-05-16 2003-11-18 Sakura Color Prod Corp 滅菌レベル測定装置及び滅菌レベル測定方法
JP3943008B2 (ja) 2002-08-28 2007-07-11 日本電信電話株式会社 オゾンガスの検知素子および検出装置ならびに検出方法
JP2004101488A (ja) 2002-09-13 2004-04-02 Sakura Color Prod Corp 過酸化水素プラズマ滅菌検知用インキ組成物
JP2004146738A (ja) 2002-10-28 2004-05-20 Nidec Copal Electronics Corp プラズマ処理の終点検知方法およびその装置
JP3844463B2 (ja) 2002-10-28 2006-11-15 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置
JP2004203984A (ja) 2002-12-25 2004-07-22 Sakura Color Prod Corp エチレンオキサイドガス滅菌検知用インキ組成物
DE60321397D1 (de) 2003-03-31 2008-07-10 Fujimori Kogyo Co Ltd Verpackungsmaterial mit indikator für wasserstoffperoxid-plasmasterilisation
JP4111855B2 (ja) 2003-03-31 2008-07-02 藤森工業株式会社 プラズマ滅菌用インジケータ及び滅菌用包装材料
CN100352856C (zh) 2003-04-22 2007-12-05 大金工业株式会社 具有优异的防止等离子体老化效果的含氟弹性体组合物及其成型品
WO2004094527A1 (ja) 2003-04-22 2004-11-04 Daikin Industries Ltd. プラズマ老化防止効果に優れた含フッ素エラストマー組成物およびその成形品
JP2005086586A (ja) 2003-09-10 2005-03-31 Nec Corp 携帯電話機及びそれに用いる電界表示方法並びにそのプログラム
JP2005142287A (ja) 2003-11-05 2005-06-02 Sakura Color Prod Corp 通電変色性電気回路板
JP4588385B2 (ja) 2004-03-30 2010-12-01 株式会社サクラクレパス 過酸化水素プラズマ滅菌検知インジケーター
WO2005095948A1 (ja) * 2004-03-30 2005-10-13 Sakura Color Products Corporation ガス曝露検知用インキ組成物及びガス曝露検知インジケーター
JP2005329019A (ja) 2004-05-20 2005-12-02 Sakura Color Prod Corp プラズマ滅菌用インジケーターシートおよび滅菌用包装袋
JP4671717B2 (ja) 2004-03-30 2011-04-20 株式会社サクラクレパス オゾンガス検知用インキ組成物及びオゾンガス検知インジケーター
CN101014668B (zh) 2004-09-08 2010-05-12 佳能株式会社 涂敷微粒、分散微粒、涂敷微粒的制备方法、油墨、记录方法和记录图像
CN101080637A (zh) * 2004-12-17 2007-11-28 3M创新有限公司 由二乙炔材料构成的比色传感器
JP2006223351A (ja) 2005-02-15 2006-08-31 Oji Paper Co Ltd 滅菌紙及び滅菌袋
JPWO2006109726A1 (ja) 2005-04-08 2008-11-20 サカタインクス株式会社 電離放射線吸収線量測定用組成物およびその用途
KR20060113137A (ko) 2005-04-29 2006-11-02 엘지전자 주식회사 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조방법
JP4606964B2 (ja) 2005-08-02 2011-01-05 株式会社サクラクレパス 過酸化水素ガス検知用インキ組成物及び過酸化水素ガス検知インジケーター
US8049186B2 (en) 2006-08-24 2011-11-01 Basf Se UV-dosis indicators
US7829162B2 (en) 2006-08-29 2010-11-09 international imagining materials, inc Thermal transfer ribbon
US7976781B2 (en) 2006-10-02 2011-07-12 Nippon Telegraph And Telephone Corporation Ozone detecting device
JP2008125760A (ja) 2006-11-20 2008-06-05 Oji Paper Co Ltd 滅菌バッグ
JP2008164079A (ja) 2006-12-28 2008-07-17 Nichias Corp ゴム／樹脂複合シール材
CN102067035A (zh) 2008-02-21 2011-05-18 巴斯夫欧洲公司 Uv量指示剂薄膜
JP5650370B2 (ja) 2008-03-10 2015-01-07 株式会社ホギメディカル プラズマ滅菌用インジケーター
US20110261473A1 (en) 2008-04-15 2011-10-27 Valspar Sourcing, Inc. Articles Having Improved Corrosion Resistance
US8567338B2 (en) * 2008-04-29 2013-10-29 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Reprocessing indicator for single patient use medical instruments
US20140154808A1 (en) 2012-12-03 2014-06-05 Gordhanbhai N. Patel Monitoring system based on etching of metals
AU2009256212B2 (en) * 2008-06-04 2015-12-10 Jp Laboratories Inc. A monitoring system based on etching of metals
JP5833920B2 (ja) 2008-06-04 2015-12-16 パテル，ジー 金属のエッチングに基づくモニタリングシステム
BRPI0918682A2 (pt) 2008-12-31 2016-07-05 3M Innovative Properties Co composições de indicador químico, indicador químico e métodos para determinar a eficácia de um processo de esterilização a vapor e para fabricação de um indicador químico
US8530242B2 (en) 2009-03-30 2013-09-10 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Wafer process chamber leak detector
CN102460148A (zh) 2009-05-08 2012-05-16 巴斯夫欧洲公司 用于监控灭菌方法的指示剂体系
US8540709B2 (en) * 2009-12-07 2013-09-24 Covidien Lp Removable ink for surgical instrument
CN102947698B (zh) 2010-06-21 2016-12-07 3M创新有限公司 用于灭菌工艺的指示物
JP5707788B2 (ja) 2010-09-01 2015-04-30 大日本印刷株式会社 インジケータ付き滅菌バッグ用積層体及び滅菌バッグ
JP2012068811A (ja) 2010-09-22 2012-04-05 Open Systems Laboratory バーコードを用いた医療器材の滅菌管理及び追跡管理システム
JP5759699B2 (ja) 2010-10-01 2015-08-05 株式会社サクラクレパス 過酸化水素滅菌又は過酸化水素プラズマ滅菌検知インジケーター
US8691520B2 (en) 2011-06-09 2014-04-08 Clarkson University Reagentless ceria-based colorimetric sensor
JP2013095764A (ja) 2011-10-28 2013-05-20 Sakura Color Products Corp 不活性ガスプラズマ処理検知用インキ組成物及び不活性ガスプラズマ処理検知インジケーター
JP2013095765A (ja) 2011-10-28 2013-05-20 Sakura Color Products Corp 水蒸気プラズマ処理検知用インキ組成物及び水蒸気プラズマ処理検知インジケーター
WO2013129473A1 (ja) 2012-02-29 2013-09-06 日油技研工業株式会社 過酸化物検知インジケータ
JP5465749B2 (ja) 2012-05-11 2014-04-09 レーベン・ジャパン株式会社 プラズマ滅菌検知用ケミカルインジケータおよびインク組成物
JP2014051596A (ja) 2012-09-07 2014-03-20 Sakura Color Products Corp 湿熱変色性組成物及び湿熱変色インジケータ
JP6143444B2 (ja) 2012-12-03 2017-06-07 株式会社サクラクレパス 過酸化水素ガス検知用インキ組成物、過酸化水素ガス検知インジケーター、過酸化水素ガス滅菌用包装体、及び過酸化水素ガス滅菌処理方法
JP6126042B2 (ja) 2013-06-04 2017-05-10 株式会社サクラクレパス プラズマ処理検知用インキ組成物及びプラズマ処理検知インジケーター
TWI624890B (zh) 2013-08-22 2018-05-21 櫻花彩色筆股份有限公司 Indicator for electronic component manufacturing apparatus, and design and/or management method of the same
WO2015112679A1 (en) * 2014-01-27 2015-07-30 Jp Laboratories, Inc Indicating devices based on lateral diffusion of a mobile phase through a non-porous stationary phase
WO2015122425A1 (ja) 2014-02-14 2015-08-20 株式会社サクラクレパス プラズマ処理検知インジケータ
JP2015205995A (ja) 2014-04-21 2015-11-19 株式会社サクラクレパス プラズマ処理検知用インキ組成物及びプラズマ処理検知インジケータ
KR102296893B1 (ko) 2014-05-09 2021-08-31 사쿠라 컬러 프로덕츠 코포레이션 무기 물질을 변색층으로 사용한 플라스마 처리 감지 표시기
JP6567863B2 (ja) 2014-09-16 2019-08-28 株式会社サクラクレパス プラズマ処理検知用インキ組成物及びプラズマ処理検知インジケータ
JP2016111063A (ja) 2014-12-02 2016-06-20 株式会社サクラクレパス 変色層として金属酸化物微粒子を使用したプラズマ処理検知インジケータ
JP6567817B2 (ja) 2014-12-02 2019-08-28 株式会社サクラクレパス プラズマ処理検知インキ組成物及びそれを用いたプラズマ処理検知インジケータ
US9944061B2 (en) * 2016-01-08 2018-04-17 Sikorsky Aircraft Corporation Plasma detection tracers for process monitoring

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04305492A (ja) * 1991-04-03 1992-10-28 Tomoegawa Paper Co Ltd 被熱転写媒体
JP2005111154A (ja) * 2003-10-10 2005-04-28 Nitto Denko Corp プラズマ滅菌表示インジケーター材料
JP2013098196A (ja) * 2011-10-28 2013-05-20 Sakura Color Products Corp プラズマ処理検知用インキ組成物及びプラズマ処理検知インジケーター

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016065204A (ja) * 2014-09-16 2016-04-28 株式会社サクラクレパス プラズマ処理検知用インキ組成物及びプラズマ処理検知インジケータ
US9944061B2 (en) 2016-01-08 2018-04-17 Sikorsky Aircraft Corporation Plasma detection tracers for process monitoring
JP2022134872A (ja) * 2021-03-04 2022-09-15 株式会社サクラクレパス 積層体及びインジケーター
JP7622991B2 (ja) 2021-03-04 2025-01-28 株式会社サクラクレパス 積層体及びインジケーター

Also Published As

Publication number Publication date
JPWO2015122425A1 (ja) 2017-03-30
US20160349222A1 (en) 2016-12-01
KR102342177B1 (ko) 2021-12-21
TW201531538A (zh) 2015-08-16
KR20160121523A (ko) 2016-10-19
CN106030766B (zh) 2019-05-28
JP6460484B2 (ja) 2019-01-30
US10401338B2 (en) 2019-09-03
CN106030766A (zh) 2016-10-12
TWI636101B (zh) 2018-09-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6460484B2 (ja) プラズマ処理検知インジケータ
JP6567863B2 (ja) プラズマ処理検知用インキ組成物及びプラズマ処理検知インジケータ
US10184058B2 (en) Ink composition for detecting plasma treatment and indicator for detecting plasma treatment
JP6126042B2 (ja) プラズマ処理検知用インキ組成物及びプラズマ処理検知インジケーター
WO2016059988A1 (ja) プラズマ処理検知インジケータ
JP2013095765A (ja) 水蒸気プラズマ処理検知用インキ組成物及び水蒸気プラズマ処理検知インジケーター
JP2013095764A (ja) 不活性ガスプラズマ処理検知用インキ組成物及び不活性ガスプラズマ処理検知インジケーター
CN109154589B (zh) 等离子体处理检测用组合物及等离子体处理检测用指示器
WO2016042980A1 (ja) プラズマ処理検知用インキ組成物及びプラズマ処理検知インジケータ
JP7338850B2 (ja) プラズマ処理検知用組成物及びそれを用いたプラズマ処理検知用インジケーター
JP2021195513A (ja) プラズマ処理検知用インキ組成物及びプラズマ処理検知インジケータ
WO2019235357A1 (ja) プラズマ処理検知用組成物及びそれを用いたプラズマ処理検知用インジケーター
JP2019008987A (ja) アルゴンプラズマ処理検知用組成物及びアルゴンプラズマ処理検知インジケータ

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 15749437

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2015562838

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20167021364

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 15117601

Country of ref document: US

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 15749437

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1