ATE365375T1 - Verfahren und apparat zum trocknen von halbleiterscheibenoberflächen mittels einer vielzahl von ein- und auslässen in der nähe der scheibenoberfläche - Google Patents

Verfahren und apparat zum trocknen von halbleiterscheibenoberflächen mittels einer vielzahl von ein- und auslässen in der nähe der scheibenoberfläche

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ATE365375T1
ATE365375T1 AT03798815T AT03798815T ATE365375T1 AT E365375 T1 ATE365375 T1 AT E365375T1 AT 03798815 T AT03798815 T AT 03798815T AT 03798815 T AT03798815 T AT 03798815T AT E365375 T1 ATE365375 T1 AT E365375T1
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fluid
conduit
head
disc
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Larios John De
James Garcia
Carl Woods
Mike Ravkin
Fritz Redeker
John Boyd
Afshin Nickhou
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Lam Res Corp
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