ATE404341T1 - Vorrichtung und verfahren zum vereinzeln und transportieren von substraten - Google Patents

Vorrichtung und verfahren zum vereinzeln und transportieren von substraten

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ATE404341T1
ATE404341T1 AT06026054T AT06026054T ATE404341T1 AT E404341 T1 ATE404341 T1 AT E404341T1 AT 06026054 T AT06026054 T AT 06026054T AT 06026054 T AT06026054 T AT 06026054T AT E404341 T1 ATE404341 T1 AT E404341T1
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AT
Austria
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substrate
separating
support device
transporting
substrates
Prior art date
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AT06026054T
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Inventor
Richard Herter
Konrad Kaltenbach
Original Assignee
Rena Sondermaschinen Gmbh
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    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0058Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
    • B28D5/0082Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work
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