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QUERVERWEIS
AUF VERWANDTE ANMELDUNGEN
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Die
vorliegende Anmeldung beansprucht den Vorzug der am 18. September
1998 eingereichten vorläufigen
US-Anmeldung Nr.
60/101,018 mit dem Titel "LOW
VOLTAGE MODULAR ROOM IONIZATION SYSTEM".
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ALLGEMEINER
STAND DER TECHNIK
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US 4,757,422 betrifft ein
dynamisch ausgeglichenes Ionisationsgebläse mit mehreren Elektroden,
die abwechselnd positive und negative Ionen erzeugen. Ein Detektionsschirm
befindet sich innerhalb des Gehäuses
des Ionengebläses
in dem Ionenautrittsport zum Zweck des Erfassens einiger der von
den Elektroden erzeugten Ionen. Durch ein Ionenungleichgewicht erzeugter
Strom wird gefiltert und geht zu einem Oszillator mit variablem
Tastverhältnis. Das
Tastverhältnis
des Oszillators wird durch das detektierte Ionenungleichgewicht
bestimmt. Durch Justieren des Tastverhältnisses des Oszillators kann
die relative Konzentration an positiven und negativen Ionen gesteuert
werden.
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US 4,809,127 betrifft eine
selbstregelnde Luftionisierungsvorrichtung, die mehrere beabstandete
Ionenemitter und mehrere Hochspannungsgeneratoren umfaßt, die
jeweils mit einem getrennten der Ionenemitter verbunden sind. Ein
erster Abschnitt der Generatoren erzeugen eine positive Hochspannung,
weshalb die entsprechenden Emitter positive Ionen erzeugen, und
ein zweiter Abschnitt der Generatoren erzeugen negative Hochspannung,
weshalb die entsprechenden Emitter negative Ionen erzeugen. Jeder
der Generatoren weist einen elektrischen Widerstand aufweisenden
Weg auf, obwohl ein Rückstrom
fließt,
der eine Größe aufweist,
die der Rate der Ionenausgabe von dem Emitter entspricht, der mit
dem Generator verbunden ist. Die Spannung jedes Generators wird
in umgekehrter Beziehung zu einem von dem Rückstrom erzeugten Rückkopplungssignal
variiert. Auf diese Weise hält
die Vorrichtung eine vorbestimmte Gesamtionenausgabe aufrecht. Dies
hält automatisch
ein optimales vorbestimmtes Verhältnis
positiver und negativer Luftionen aufrecht.
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US 4,951,172 betrifft eine
Vorrichtung und ein Verfahren zum Aufrechterhalten einer Sollkonzentration
von Ionen in der Atmosphäre
an einer vorbestimmten Stelle. Ein Sensor ist vorgesehen, um ein Spannungssignal
zu erzeugen, das die Größe und Polarität eines
Ungleichgewichts positiver und negativer Luftionen anzeigt. Eine
Rückkopplungsschaltung
reagiert auf einen positiven oder negativen Spannungspegel des Rückkopplungssignals,
der einen vorausgewählten
Wert übersteigt,
indem die Dauer von Perioden der Erzeugung von Ionen dieser Polarität verkürzt und
die Dauer der Perioden der Erzeugung von Ionen entgegengesetzter
Polarität
verlängert
wird.
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Das
Steuern einer statischen Ladung ist aufgrund seiner signifikanten
Auswirkung auf die Bauelementausbeute ein wichtiges Problem bei
der Halbleiterherstellung. Bauelementdefekte, die durch elektrostatisch
angezogene Fremdstoffe und elektrostatische Entladungsereignisse
hervorgerufen werden, tragen stark zu den Gesamtherstellungsverlusten bei.
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Viele
der Prozesse zum Produzieren integrierter Schaltungen verwenden
nichtleitende Materialien, die große statische Ladungen und eine
komplementäre
Spannung an Wafern und Bauelementen erzeugen.
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Die
Luftionisation ist das effektivste Verfahren, um statische Ladungen
auf nichtleitenden Materialien und isolierten Leitern zu eliminieren.
Luftionisierer erzeugen große
Mengen an positiven und negativen Ionen in der umgebenden Atmosphäre, die als
mobile Ladungsträger
in der Luft dienen. Bei Strömen
von Ionen durch die Luft werden sie von entgegengesetzt geladenen
Teilchen und Oberflächen
angezogen. Eine Neutralisierung von elektrostatisch geladenen Oberflächen kann
durch den Prozeß schnell
erreicht werden.
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Die
Luftionisation kann ausgeführt
werden unter Verwendung elektrischer Ionisierer, die Ionen in einem
bekannten Prozeß wie
etwa Coronaentladung erzeugen. Elektrische Ionisierer erzeugen Luftionen durch
diesen Prozeß durch
Verstärken
eines elektrischen Felds um einen scharfen Punkt herum, bis es die
Durchschlagsfestigkeit der umgebenden Luft überwindet. Eine negative Corona
tritt auf, wenn Elektronen von der Elektrode in die umgebende Luft fließen. Eine
positive Corona tritt infolge des Fließens von Elektronen von den
Luftmolekülen
in die Elektrode auf.
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Um
die statischen Ladungen von einem Ionisierer einer gegebenen Ausgabe
so weit wie möglich zu
reduzieren, muß der
Ionisierer gleiche Mengen an positiven und negativen Ionen erzeugen.
Das heißt, die
Aufgabe des Ionisierer muß "ausgeglichen" sein. Wenn der Ionisierer
nicht ausgeglichen ist, können die
isolierten Leiter und Isolatoren derart geladen werden, daß der Ionisierer
mehr Probleme bringt als er löst.
Ionisierer können
aufgrund einer Stromversorgungsdrift, eines Stromversorgungsausfalls
einer Polarität,
Verunreinigung von Elektroden oder Degradation von Elektroden aus
dem Gleichgewicht geraten. Außerdem
ist es möglich,
daß die
Ausgabe eines Ionisierers ausgeglichen ist, aber die Gesamtionenausgabe
kann aufgrund einer Degradation von Systemkomponenten unter ihren
Sollwert abfallen.
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Ionisationssysteme
enthalten dementsprechend eine Überwachung,
automatischen Ausgleich über
Rückkopplungssysteme
und Alarme zum Detektieren unkorrigierter Ungleichgewichte und außerhalb
des Bereichs liegender Ausgaben. Die meisten Rückkopplungssysteme basieren
ganz oder in erster Linie auf Hardware. Bei vielen dieser Rückkopplungssysteme
hat man keine sehr feine Gleichgewichtssteuerung, da Rückkopplungssteuersignale auf
der Basis von Hardwarekomponentenwerten festliegen. Zudem kann der
Gesamtbereich der Gleichgewichtssteuerung solcher Rückkopplungssysteme
auf Hardwarebasis auf der Basis der Hardwarekomponentenwerte begrenzt
sein. Außerdem lassen
sich viele der Rückkopplungssysteme
auf Hardwarebasis nicht leicht modifizieren, da die individuellen
Komponenten zum ordnungsgemäßen Betrieb
voneinander abhängen.
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Ein
geladene-Platte-Monitor (Charged Plate Monitor) wird in der Regel
verwendet, um das tatsächliche
Gleichgewicht eines elektrischen Ionisierers zu kalibrieren und
periodisch zu messen, da es möglich
ist, daß das
tatsächliche
Gleichgewicht im Arbeitsraum von dem von dem Sensor des Ionisierers
detektierten Gleichgewicht verschieden ist.
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Der
geladene-Platte-Monitor wird auch verwendet, um die Abklingzeit
der statischen Ladung periodisch zu messen. Wenn die Abklingzeit
zu langsam oder zu schnell ist, kann die Ionenausgabe justiert werden,
indem der voreingestellte Ionenstromwert erhöht oder verringert wird. Diese
Justierung erfolgt in der Regel durch Justieren zweier Trimmpotentiometer
(einer für
die Erzeugung positiver Ionen und einer für die Erzeugung negativer Ionen).
Periodische Messungen der Abklingzeit sind erforderlich, da die
tatsächliche
Ionenausgabe in dem Arbeitsraum möglicherweise mit der erwarteten
Ionenausgabe für
den in dem Ionisator eingestellten Ionenausgabestromwert nicht korreliert.
Beispielsweise kann der Ionenausgabestrom anfänglich in der Fabrik auf einen
Wert (z.B. 0,6 μA)
eingestellt sein, um die gewünschte
Ionenmenge pro Zeiteinheit zu erzeugen. Wenn der Strom eines bestimmten
Ionisierers von diesem Wert abweicht, wie etwa eine Verringerung von
diesem Wert aufgrund einer Ansammlung von Partikeln an dem Emitter des
Ionisierers, dann wird die Ionisiererhochspanungsstromversorgung
justiert, um den Anfangswert des Ionenstroms wiederherzustellen.
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Ein
Raumionisationssystem enthält
in der Regel mehrere mit einem einzelnen Controller verbundene elektrische
Ionisierer. 1 (Stand der Technik) zeigt
ein herkömmliches
Raumionisationssystem 10, das mehrere deckenmontierte Emittermodule 121 -12n (auch
als "Pods" bezeichnet) enthält, die in
Reihe durch Signalleitungen 14 mit einem Controller 16 verbunden
sind. Jedes Emittermodul 12 enthält einen elektrischen Ionisierer 18 und
eine Kommunikations-/Steuerschaltungsanordnung 20 zum Ausführen begrenzter
Funktionen, einschließlich
der folgenden Funktionen:
- (1) EIN-/AUSSCHALTEN;
- (2) Senden eines Alarmsignals an den Controller 16 durch
eine einzelne Alarmleitung innerhalb der Signalleitungen 14,
wenn detektiert wird, daß ein jeweiliges
Emittermodul 12 nicht ordnungsgemäß funktioniert.
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Ein
signifikantes Problem bei dem herkömmlichen System von 1 besteht
darin, daß zwischen dem
Controller 16 und den Emittermodulen 121 -12n keine "intelligente" Kommunikation vorliegt. Bei einem herkömmlichen
Verfahren weist die Signalleitung 14 vier Leitungen auf;
Strom, Masse, Alarm und EIN/AUS-Steuerung. Das Alarmsignal, das
auf der Alarmleitung übertragen
wird, enthält
keinerlei Informationen hinsichtlich der Identifikation des gestörten Emittermoduls 12.
Somit weiß der
Controller 16 nicht, welches Emittermodul 12 gestört ist,
wenn ein Alarmsignal empfangen wird. Außerdem identifiziert das Alarmsignal
nicht den Problemtyp (z.B. schlechter negativer oder positiver Emitter,
Ungleichgewicht). Somit ist der Prozeß zeitraubend, zu identifizieren, welches
Emittermodul 12 das Alarmsignal gesendet hat und welcher
Problemtyp vorliegt.
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Noch
ein weiteres Problem bei herkömmlichen
Raumionisationssystemen besteht darin, daß Parameter der individuellen
Emittermodule 12 aus der Ferne justiert werden können, wie
etwa der Ionenausgabestrom oder das Gleichgewicht von dem Controller 16.
Die Parameter werden in der Regel justiert, indem Einstellungen über analoge
Trimmpotentiometer an den individuellen Emittermodulen 12 manuell
variiert werden. (Die Gleichgewichte an einigen Typen von elektrischen
Ionisierern werden justiert durch Drücken der Knöpfe (+)/(–) oder AUF/AB, die digitale
Potentiometereinstellungen steuern). Eine typische Justierungssitzung
für das
herkömmliche
System 10 mit deckenmontierten Emittermodulen 12 ist
wie folgt:
- (1) Detektieren eines außerhalb
des Bereichs liegenden Parameters über einen geladene-Platte-Monitor;
- (2) eine Leiter hochsteigen und Gleichgewichts- und/oder Ionenausgabestrompotentiometereinstellungen
justieren;
- (3) Leiter heruntersteigen und die Leiter aus dem Meßbereich
entfernen.
- (4) Ablesen der neuen Werte an dem geladene-Platte-Monitor;
- (5) gegebenenfalls Wiederholen der Schritte (1)-(4).
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Der
Prozeß der
manuellen Justierung ist zeitraubend und intrusiv. Außerdem stört die physische Anwesenheit
des Operators in dem Raum die Meßwerte an den geladenen Platten.
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Wieder
unter Bezugnahme auf 1 bestehen die Signalleitungen 14 zwischen
jeweiligen Emittermodulen 12 aus mehreren Adern, wobei
an einem Ende Stecker angecrimpt, angelötet oder auf andere Weise angebracht
sind. Die Stecker werden vor Ort (d.h. während der Installation) angebracht,
da die Länge
der Signalleitung 14 zwischen Emittermodulen 12 variieren kann.
Das heißt,
die Länge
der Signalleitung 14 zwischen Emittermodul 121 und 122 kann
von der Länge
der Signalleitung zwischen Emittermodul 123 und 124 verschieden sein. Durch Anbringen
der Verbinder vor Ort können
die Signalleitungen 14 genau auf die richtige Länge eingestellt
werden, was zu einer sauberen Installation führt.
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Ein
Problem, das beim Anbringen von Steckern vor Ort auftritt, besteht
darin, daß die
Stecker manchmal falsch herum angebracht werden. Der Fehler wird
möglicherweise
erst detektiert, wenn das ganze System eingeschaltet wird. Der Installierer muß dann bestimmen,
welcher Stecker falsch herum ist und muß dann das Problem durch Neuverdrahten des
Steckers lösen.
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Das
herkömmliche
Raumionisationssystem 10 kann entweder ein Hochspanungs-
oder Niederspannungssystem sein. Bei einem Hochspannungssystem wird
eine Hochspannung an dem Controller 16 erzeugt und über Stromkabel
an die mehreren Emittermodule 12 verteilt, um an die positiven
und negativen Emitter angelegt zu werden. Bei einem Niederspannungssystem
wird eine Niederspannung an dem Controller 16 erzeugt und
an die mehreren Emittermodule 12 verteilt, wo die Spannung
auf die gewünschte
Hochspannung heraustransformiert wird, um an die positiven und negativen
Emitter angelegt zu werden. Bei beiden Systemen kann die Spannung
Wechsel- oder Gleichspannung sein. Wenn die Spannung Gleichspannung
ist, kann sie entweder stationäre
Gleichspannung oder Impuls-Gleichspannung sein. Jede Art von Spannung hat
Vorteile und Nachteile.
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Ein
Mangel bei dem herkömmlichen
System 10 besteht darin, daß alle Emittermodule 12 in
dem gleichen Modus arbeiten müssen.
Somit müssen
in einem Niederspannungsgleichspannungssystem alle Emittermodule 12 stationäre Ionisierer
oder Impulsionisierer verwenden.
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Ein
weiterer Mangel bei dem herkömmlichen Niederspannungsgleichspannungsystem 10 besteht darin,
daß für die emitterbasierte
Niederspannungsstromversorgung in der Regel ein Linearregler verwendet
wird. Da der durch einen Linearregler fließende Strom der gleiche ist
wie der Strom an seinem Ausgang bewirkt ein großer Spannungsabfall am Linearregler
(z.B. ein Abfall von 25 V, verursacht durch 30 V Eingang/5 V Ausgang),
das der Linearregler eine signifikante Strommenge zieht, die wiederum eine
signifikante Wärmemenge
erzeugt. Potentielles Überhitzen
des Linearreglers begrenzt somit die Eingangsspannung, was wiederum
die Anzahl der Emittermodule begrenzt, die an einen einzelnen Controller 16 angeschlossen
werden können.
Da die Stromleitungen nicht verlustlos sind, wirkt außerdem jeder Strom
auf der Leitung einen Spannungsabfall an der Leitung. Der Nettoeffekt
besteht darin, daß,
wenn Linearregler in den Emittermodulen 12 verwendet werden,
die Abstände
zwischen aufeinanderfolgenden in Reihe geschalteten Emittermodulen 12 und
der Abstand zwischen dem Controller 16 und den Emittermodulen 12 begrenzt
sein muß,
um sicherzustellen, daß alle
Emittermodule 12 ausreichend Spannung empfangen, um die
modulbasierten Hochspannungsstromversorgungen anzusteuern.
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Dementsprechend
gibt es einen unerfüllten Bedarf
für ein
Raumionisationssystem, das verbesserte Flexibilität, Steuerung
von und Kommunikation mit Emittermodulen gestattet. Es gibt außerdem einen
unerfüllten
Bedarf nach einem Verfahren, das das Fehlverdrahtungsproblem automatisch
detektiert und auf einfachere Weise korrigiert. Es gibt außerdem einen
unerfüllten
Bedarf an einem Verfahren, das eine individualisierte Steuerung
der Modi der Emittermodule gestattet. Die vorliegende Erfindung erfüllt diese
Anforderungen.
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KURZE DARSTELLUNG DER
VORLIEGENDEN ERFINDUNG
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Es
werden Verfahren und Einrichtungen bereitgestellt, um die Ausgabe
positiver und negativer Ionen in einem elektrischen Ionisierer mit
Emittern für positive
und negative Ionen und mit den jeweiligen Emittern für positive
und negative Ionen assoziierte positive und negative Hochspannungsversorgungen bereitzustellen.
Ein Gleichgewichtsreferenzwert wird in einem softwareeinstellbaren
Speicher gespeichert. Während
des Betriebs des elektrischen Ionisierers wird der Gleichgewichtsreferenzwert
mit einem Gleichgewichtsmeßwert
verglichen, der von einem Ionengleichgewichtssensor genommen wird,
der sich in der Nähe
der Ionenemitter befindet. Mindestens einer der positiven und negativen
Hochspannungsversorgungen werden automatisch justiert, wenn der Gleichgewichtsreferenzwert
nicht gleich dem Gleichgewichtswert ist. Die Justierung erfolgt
auf eine Weise, die bewirkt, daß der
Gleichgewichtsmeßwert gleich
dem Gleichgewichtsreferenzwert wird. Außerdem wird während einer
Kalibrierung oder einem anfänglichen
Setup des elektrischen Ionisierers das tatsächliche Ionengleichgewicht
im Arbeitsraum in der Nähe
des elektrischen Ionisierers unter Verwendung eines geladene-Platte-Monitors
gemessen. Der Gleichgewichtsreferenzwert wird justiert, wenn die tatsächliche
Gleichgewichtsmessung zeigt, daß das automatische
Ionenausgleichverfahren keinen wahrhaft ausgeglichenen Zustand bereitstellt.
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Ähnliche
Verfahren und Einrichtungen werden zum Steuern eines Ionenausgabestroms
bereitgestellt, wobei ein Ionenausgabestromreferenzwert in einem
softwarejustierbaren Speicher gespeichert wird, der Ionenausgabestromreferenzwert
mit einem tatsächlichen,
von der Strommeßschaltung
innerhalb des elektrischen Ionisierers genommenen Ionenstromwert
verglichen wird und an einem Ionenausgabesollstrom automatische
Justierungen vorgenommen werden. Während einer Kalibrierung oder
eines anfänglichen
Setups des elektrischen Ionisierers wird die Abklingzeit in dem Arbeitsraum
in der Nähe
des elektrischen Ionisierers unter Verwendung eines geladene-Platte-Monitors
gemessen. Der Ionenausgabestromreferenzwert wird justiert, wenn
die Abklingzeit zu langsam oder zu schnell ist, was wiederum bewirkt,
daß der
tatsächliche
Ionenausgabestrom zunimmt oder abnimmt, damit er dem neuen Ionenausgabestromreferenzwert
entspricht.
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Sowohl
der Gleichgewichtsreferenzwert als auch der Ionenausgabestromreferenzwert
können von
einer Fernsteuereinrichtung oder von einem Systemcontroller justiert
werden, die oder der mit dem elektrischen Ionisierer verbunden ist.
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Eine
Ausführungsform
der Erfindung stellt ein Ionisationssystem für einen vordefinierten Bereich
bereit, das folgendes umfaßt:
mehrere um den Bereich beabstandete Emittermodule, einen Systemcontroller
zum Steuern der Emittermodule und elektrische Leitungen zum elektrischen
Verbinden der mehreren Emittermodule mit dem Systemcontroller in
einer Reihenschaltung, wobei die elektrischen Leitungen sowohl eine
Kommunikation mit als auch Strom zu den Emittermodulen liefern.
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Bei
einer Ausführungsform
des Ionisationssystems weist jedes Emittermodul eine individuelle Adresse
auf, und der Systemcontroller adressiert und steuert individuell
jedes Emittermodul. Der Gleichgewichtsreferenzwert und der Ioneneausgabestromreferenzwert
jedes Emittermoduls können
individuell justiert werden, entweder von dem Systemcontroller oder
von einem Fernsteuersender.
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Bei
einer weiteren Ausführungsform
der Erfindung ist eine Fehlverdrahtungsschutzschaltung in jedem
Emittermodul vorgesehen, um die relative Position der elektrischen
Leitungen, die in jedes Emittermodul eintreten, bei Detektion eines
fehlverdrahteten Zustands automatisch zu ändern.
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Bei
einer weiteren Ausführungsform
des Ionisationssystems ist jedes Emittermodul mit einer Schaltstromversorgung
versehen, um die Effekte von Leitungsverlust auf den elektrischen
Leitungen zu minimieren.
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Bei
einer weiteren Ausführungsform
des Ionisationssystems ist eine Strommoduseinstellung vorgesehen,
um jedes Emittermodul in eine von mehreren verschiedenen Arbeitsstrommodi
zu versetzen.
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Eine
weitere Ausführungsform
der Erfindung stellt eine Schaltung bereit, um die relative Position von
verdrahteten elektrischen Leitungen zu ändern, die sich in einer festen
Beziehung zueinander befinden, wobei die verdrahteten elektrischen
Leitungen eine erste Kommunikationsleitung und eine Kommunikationsleitung
enthalten. Die Schaltung umfaßt
einen mit der ersten Kommunikationsleitung assoziierten ersten Schalter,
einen mit der zweiten Kommunikationsleitung assoziierten zweiten
Schalter und einen Prozessor mit einem Ausgangssteuersignal, an den
ersten und zweiten Schalter angeschlossen. Der erste Schalter weist
eine erste Anfangsposition bzw. eine zweite Position, die der ersten
Anfangsposition entgegengesetzt ist, auf. Gleichermaßen weist
der zweite Schalter eine erste Anfangsposition bzw. eine zweite
Position, die der ersten Anfangsposition entgegengesetzt ist, auf.
Das Ausgangssteuersignal des Prozessors bewirkt, daß der erste
und zweite Schalter um ihre jeweilige erste oder zweite Position
versetzt werden, wobei die erste und zweite Kommunikationsleitung
eine erste Konfiguration, wenn sich beide in ihrer ersten bzw. Anfangsposition
befinden, und eine zweite Konfiguration, wenn sich beide in ihrer
zweiten Position befinden, aufweisen.
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KURZE BESCHREIBUNG
DER ZEICHNUNGEN
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Die
folgende ausführliche
Beschreibung von bevorzugten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung
würde bei Lektüre in Verbindung
mit den beiliegenden Zeichnungen besser zu verstehen sein. Zum Zweck
der Veranschaulichung der vorliegenden Erfindung werden in den Zeichnungen
Ausführungsformen
gezeigt, die gegenwärtig
bevorzugt werden. Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf
die gezeigten präzisen
Anordnungen und Instrumentalitäten
beschränkt.
Es zeigen:
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1 ein
Schemablockdiagramm nach dem Stand der Technik eines herkömmlichen
Raumionisationssystems;
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2 ein
Schemablockdiagramm eines Raumionisationssystems gemäß der vorliegenden Erfindung;
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3A ein
Schemablockdiagramm einer Infrarot-(IR)-Fernsteuersenderschaltung für das Raumionisationssystem
von 2;
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3B-1 und 3B-2 zusammen
(im weiteren als "3B" bezeichnet)
ein detailliertes Schaltungsebenendiagramm von 3A;
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4 ein
Schemablockdiagramm eines Emittermoduls für das Raumionisationssystem
von 2;
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5 ein
Schaltungsebenendiagramm einer mit 4 assoziierten
Fehlverdrahtungsschutzschaltung;
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6 ein
Schemablockdiagramm eines Systemcontrollers für das Raumionisationssystem
von 2;
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7A ein
Schemablockdiagramm eines Gleichgewichtssteuerverfahrens für das Emittermodul
von 4;
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7B ein
Schemablockdiagramm eines Stromsteuerverfahrens für das Emittermodul
von 4;
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8 eine
Perspektivansicht der Hardwarekomponenten des Systems von 2;
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9 ein
Flußdiagramm
der mit einem Mikrocontroller des Emittermoduls von 4 assoziierten
Software und
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10 ein
Flußdiagramm
der mit einem Mikrocontroller des Emittermoduls von 6 assoziierten
Software.
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AUSFÜHRLICHE
BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
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Lediglich
der Zweckmäßigkeit
halber wird hier eine bestimmte Terminologie verwendet, die nicht
als Beschränkung
für die
vorliegende Erfindung angesehen werden sollte. In den Zeichnungen
werden die gleichen Referenzbuchstaben verwendet, um in den mehreren
Figuren die gleichen Elemente zu bezeichnen.
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2 ist
ein modulares Raumionisationssystem 22 gemäß der vorliegenden
Erfindung. Das System 22 enthält mehrere deckenmontierte
Emittermodule 241 -24n , die von RS-485-Kommunikations-/Stromleitungen 26 in
Reihe mit einem Systemcontroller 28 verbunden sind. Bei
einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung sind maximal zehn Emittermodule 24 in
Reihe an einen einzelnen Systemcontroller 28 angeschlossen,
und aufeinanderfolgende Emittermodule 24 sind etwa 7-12
Fuß voneinander
entfernt. Jedes Emittermodul 24 enthält eine elektrische Ionisierer-
und Kommunikations-/Steuerschaltungsanordnung, die beide in 4 ausführlicher
dargestellt sind. Das System 22 enthält außerdem einen Infrarot-(IR)-Fernsteuersender 30 zum Senden
von Befehlen an die Emittermodule 24. Die Schaltungsanordnung
des Senders 30 ist in 3A und 3B ausführlicher
gezeigt. Die Schaltungsanordnung des Systemcontrollers 28 ist
in 6 ausführlicher
gezeigt.
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Mit
dem System 22 erhält
man verbesserte Fähigkeiten
gegenüber
herkömmlichen
Systemen, wie etwa in 1 gezeigt. Einige der verbesserten Fähigkeiten
sind wie folgt:
- (1) Sowohl. Gleichgewicht als
auch Ionenausgabe jedes Emittermoduls 24 können individuell
justiert werden. Jedes Emittermodul 24 kann über den Fernsteuersender 30 oder
durch den Systemcontroller 28 individuell adressiert werden,
solche Justierungen vorzunehmen. Anstatt Trimmpotentiometer vom
analogen Typ zu verwenden, verwendet das Emittermodul 24 ein
digitales oder elektronisches Potentiometer oder einen D/A-Umsetzer. Die Gleichgewichts-
und Ionenstromwerte werden an einer Speicherstelle in dem Systemcontroller
gespeichert und über
Softwaresteuerung justiert. Der Gleichgewichtswert (der zu einem
Spannungswert in Beziehung steht) wird im Speicher als BREF gespeichert, und der Ionenstrom wird
im Speicher als CREF gespeichert.
- (2) Die Gleichgewichts- und Ionenausgabejustierungen können über eine
Fernsteuerung durchgeführt
werden. Somit können
individuelle Emittermodule 24 justiert werden, während der
Benutzer bei Kalibrierung und Setup außerhalb der Zone "Eintritt verboten" steht, aber gleichzeitig
nahe genug steht, um den geladene-Platten-Monitor abzulesen.
- (3) Die Emittermodule 24 senden Identifikationsinformationen
und detaillierte Alarmzustandsinformationen an den Systemcontroller 28,
so daß Diagnose
und Korrektur von Problemen leichter und schneller als bei herkömmlichen
Systemen ablaufen. Beispielsweise kann das Emittermodul 243 ein Alarmsignal an den Systemcontroller 28 senden,
das feststellt, daß der
negative Emitter schlecht ist, der positive Emitter schlecht ist
oder daß das
Gleichgewicht gestört
ist.
- (4) Eine in jedes Emittermodul 24 eingebaute Fehlverdrahtungsschutzschaltungsanordnung gestattet
den Installierer, die RS-485-Kommunikations-/Stromleitungen 26 zu
vertauschen. Die Schaltungsanordnung korrigiert sich selbst, wenn die
Leitungen vertauscht werden, wodurch eine etwaige Notwendigkeit
zur Neuverdrahtung der Leitungen entfällt. Bei herkömmlichen
Signalleitungen kann keine Kommunikations- oder Stromzufuhr erfolgen,
wenn die Leitungen vertauscht sind.
- (5) Der Modus jedes Emittermoduls 24 kann individuell
gesetzt werden. Somit können
einige Emittermodule 24 in einem stationären Gleichstrommodus
arbeiten, während
andere Emittermodule 24 in einem Impuls- Gleichstrommodus arbeiten können.
- (6) Eine Schaltstromversorgung (d.h. Schaltregler) wird anstelle
eines Linearreglers in den Emittermodulen 24 verwendet.
Die Schaltstromversorgung verringert die Effekte des Leitungsverlustes, wodurch
der Systemcontroller 28 eine adäquate Arbeitsspannung an die
Emittermodule 24 verteilen kann, die möglicherweise weit voneinander weg
und/oder weit von dem Systemcontroller 28 weg liegen. Die
Schaltstromversorgung ist effizienter als eine lineare Stromversorgung,
weil sie der Leitung nur die Leistung entnimmt, die sie benötigt, um
die Ausgabe anzusteuern. Somit kommt es an der Kommunikations-/Stromleitung 26 im
Vergleich mit einer linearen Stromversorgung zu einem geringeren
Spannungsabfall. Dementsprechend können Adern mit geringerer Stärke verwendet
werden. Durch die Schaltstromversorgung können Emittermodule 24 weiter
weg voneinander und weiter weg von dem Systemcontroller 28 als
bei einem herkömmlichen
Niederspannungssystem plaziert werden.
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Spezifische
Komponenten des Systems 22 werden unten beschrieben.
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3A zeigt
ein Schemablockdiagramm des Fernsteuersenders 30. Der Sender 30 enthält die Codierdrehschalter 32,
vier Druckknopfschalter 34, einen 4:2-Demultiplexer 36, einen seriellen
Codierer 38, einen Frequenzmodulator 40 und eine
IR-Ansteuerschaltung 42. Die Drehcodierschalter 32 werden verwendet,
um sieben binäre
Datenleitungen zu erhalten, mit denen die individuellen Emittermodule 24 "adressiert" werden. Mit den
vier Druckknopfschaltern 34 wird Strom an die Schaltungsanordnung
angelegt und ein Signal erzeugt, das durch den 4:2-Demultiplexer 36 hindurchgeht.
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Der
4:2-Demultiplexer 36 umfaßt zwei 2-Eingangs-NAND-Gatter und ein 4-Eingangs-NAND-Gatter.
Im Gegensatz zu einem herkömmlichen
4:2-Demultiplexer, der zwei Ausgangssignale erzeugt, erzeugt der
Demultiplexer 36 drei Ausgangssignale, nämlich zwei
Datenleitungen und eine Freigabeleitung. Das "Freigabe"-Signal (das von einem herkömmlichen
4:2-Demultiplexer nicht erzeugt wird) wird erzeugt, wenn ein beliebiger
der vier Eingänge infolge
des Drückens
eines Druckknopfs auf L gezogen wird. Mit diesem Signal wird eine
LED eingeschaltet und die Codier- und Modulatorausgänge freigegeben.
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Die
sieben binären
Datenleitungen von den Drehcodierschaltern 32 und die beiden
Datenleitungen und die Freigabeleitung von dem Demultiplexer 36 sind
an den seriellen Codierer 38 geführt, wo ein serieller Datenstrom
erzeugt wird. Der Modulator 40 empfängt die Freigabeleitung von
dem Demultiplexer 36 und die seriellen Daten von dem Codierer 38 und erzeugt
ein moduliertes Signal. Das modulierte Signal wird dann zum Übertragen
der IR-Informationen an den IR-Diodentreiber weitergeleitet.
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3B ist ein Schaltungsebenendiagramm von 3A.
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4 zeigt
ein Schemablockdiagramm eines Emittermoduls 24. Das Emittermodul 24 führt mindestens
die folgenden drei Basisfunktionen durch; Erzeugen und Überwachen
von Ionen, Kommunizieren mit dem Systemcontroller 28 und
Empfangen von IR-Daten von dem Sender 30.
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Das
Emittermodul 24 erzeugt Ionen unter Verwendung einer geschlossenen
Schleifentopologie, die drei Eingabewege und zwei Ausgabewege enthält. Zwei
der drei Eingabewege überwachen
den positiven und negativen Ionenstrom und enthalten eine Strommeßschaltung 56 oder 58,
einen Mehrfacheingang-A/D-Umsetzer 60 und den Mikrocontroller 44.
Der dritte Eingabeweg überwacht
das Ionengleichgewicht und enthält
eine Sensorantenne 66, einen Verstärker 68, den Mehrfacheingang-A/D-Umsetzer 60 und
den Mikrocontroller 44. Die beiden Ausgabewege steuern
den Spannungspegel der Hochspannungsstromversorgungen 52 oder 54 und enthalten
den Mikrocontroller 44, ein digitales Potentiometer (oder
D/A-Umsetzer als Substitut dafür),
einen analogen Schalter, eine Hochspanungsstromversorgung 52 oder 54 und
einen Ausgabeemitter 62 oder 64. Das digitale
Potentiometer und der analoge Schalter sind Teil der Pegelsteuerung 48 oder 50.
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Im
Betrieb hält
der Mikrocontroller 44 einen von dem Systemcontroller 28 erhaltenen
Referenzionenausgabestromwert CREF. Der
Mikrocontroller 44 vergleicht dann diesen Wert mit einem
von dem A/D-Umsetzer 60 abgelesenen gemessenen oder tatsächlichen
Wert CMEAS. Dieser gemessene Wert wird durch
Mitteln der positiven und negativen Stromwerte erhalten. Wenn CMEAS von CREF verschieden
ist, dann weist der Mikrocontroller 44 die mit den positiven
und negativen Emittern assoziierten digitalen Potentiometer (oder
D/As) an, ihre Ausgabe um das gleiche oder ungefähr das gleiche Ausmaß zu erhöhen oder
zu verringern. Die analogen Schalter der positiven Pegelsteuerungen 48, 50 werden
von dem Mikrocontroller 44 gesteuert, der sie für eine stationäre Gleichstromionisation
einschaltet oder die Schalter mit variierenden Raten oszilliert,
je nach dem Modus des Emittermoduls. Die Ausgangssignale von den
analogen Schaltern werden dann an die positive und negative Hochspannungsstromversorgung 52, 54 weitergegeben.
Die Hochspannungsstromversorgungen 52, 54 empfangen
die Gleichstromsignale und erzeugen ein Hochspannungspotential an
dem ionisierenden Emitterpunkten 62, 64. Wie oben
angemerkt ist der Rückweg
für das
Hochspannungspotential mit den Meßschaltungen 56, 58 für den positiven oder
negativen Strom verbunden. Die Strommeßschaltungen 56, 58 verstärken die
produzierte Spannung, wenn die Hochspannungsversorgungen 52, 54 einen
Strom durch einen Widerstand ziehen. Die Hochspannungsrück schaltungen
leiten dann dieses Signal an den A/D-Umsetzer 60 weiter (der zu
diesem Zweck vier Eingänge
aufweist). Der A/D-Umsetzer 60 erzeugt nach Aufforderung
durch den Mikrocontroller 44 einen serielle Datenstrom,
der dem von der Hochspannungsrückschaltung
erzeugten Spannungspegel entspricht. Der Mikrocontroller 44 vergleicht
dann diese Werte mit den programmierten Werten und nimmt Justierungen
an den oben erörterten
digitalen Potentiometern vor.
-
Das
Ionengleichgewicht des Emittermoduls 24 wird unter Verwendung
einer Sensorantenne 66, eines Verstärkers 68 (wie etwa
eines mit einem Verstärkungsfaktor
von 34,2), einem nicht gezeigten Pegeljustierer und dem A/D-Umsetzer 60 vorgenommen.
Die Sensorantenne 66 ist zwischen dem positiven und negativen
Emitter 62, 64 plaziert, etwa mit gleicher Entfernung
dazwischen. Falls ein Ungleichgewicht in dem Emittermodul 24 vorliegt,
baut sich auf der Sensorantenne 66 eine Ladung auf. Die
aufgebaute Ladung wird von dem Verstärker 68 verstärkt. Der
Pegel des verstärkten
Signals wird so verschoben, daß er
dem Eingangsbereich des A/D-Umsetzers 60 entspricht, und
das Signal wird dann an den A/D-Umsetzer 60 zur Verwendung
durch den Mikrocontroller 44 weitergeleitet.
-
Eine
zwischen dem Mikrocontroller 44 und dem Systemcontroller 28 angeordnete
Kommunikationsschaltung enthält
eine Fehlverdrahtungsschutzschaltung 70 und einen RS-485-Codierer/Decodierer 72.
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Die
Fehlverdrahtungsschutzschaltung gestattet dem Emittermodul 24,
selbst dann normal zu funktionieren, wenn ein Installierer aus Versehen
die Verdrahtungsverbindungen invertiert (d.h. vertauscht), wenn
er die Stecker an der Kommunikations-/Stromleitung 26 anbringt.
Wenn das Emittermodul 24 zuerst hochgefahren wird, schaltet
der Mikrocontroller zwei Schalter ein und liest die RS-485-Leitung.
Aus dieser anfänglichen Ablesung
bestimmt der Mikrocontroller 44, ob sich die Kommunikations-/Stromleitung 26 in
einem erwarteten Zustand befindet. Wenn sich die Kommunikations-/Stromleitung 26 in
dem erwarteten Zustand befindet und für eine vorbestimmte Zeitperiode
in dem erwarteten Zustand bleibt, dann sind die Kommunikationsleitungen der
Kommunikations-/Stromleitung 26 nicht vertauscht, und das
Programm in dem Mikrocontroller 44 geht zum nächsten Schritt
weiter. Wenn jedoch die Leitung in dem entgegengesetzten von dem
erwarteten Zustand ist, dann werden die mit der Fehlverdrahtungsschutzschaltung 70 assoziierten
Schalter umgekehrt, um die Kommunikationsleitungen der Kommunikations-/Stromleitung 26 elektronisch
in die korrekte Position umzuwechseln. Nachdem die Kommunikations-/Stromleitung 26 korrigiert
ist, ist der Weg für
den Systemcontroller 28 in Betrieb, um mit dem Emittermodul 24 zu
kommunizieren. Eine Vollwellenbrücke
ist vorgesehen, um den ankommenden Strom automatisch zur richtigen
Polarität
zu orientieren.
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5 ist
ein Schaltungsebenendiagramm der Fehlverdrahtungsschutzschaltung 70.
Die vertauschenden Schalter 741 und 742 wechseln elektronisch die Kommunikationsleitung,
und die Vollwellenbrücke 76 wechselt
die Stromleitungen. Bei einem bevorzugten Vier-Ader-Ordnungsverfahren
befinden sich die beiden RS-485-Kommunikationsleitungen auf
der Außenseite
und die beiden Stromleitungen auf der Innenseite.
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Wieder
unter Bezugnahme auf 4 wird, wenn der Systemcontroller 28 mit
einem individuellen Emittermodul 24 zu kommunizieren versucht,
das erste Byte an die "Adresse" geschickt. Zu diesem Zeitpunkt
muß der
Mikrocontroller 44 in dem Emittermodul 24 die "Adresse" von der Emittermoduladreßschaltung
abrufen. Die "Adresse" des Emittermoduls wird
bei der Installation durch Justierung der beiden an dem Emittermodul 24 angeordneten
Drehcodiererschalter 90 gesetzt. Der Mikrocontroller 44 erhält die Adresse
von den Drehco diererschaltern 90 und einem seriellen Schieberegister 92.
Die Drehcodiererschalter 90 liefern sieben binäre Datenleitungen
an das serielle Schieberegister 92. Gegebenenfalls verschiebt
der Mikrocontroller 44 die Schaltereinstellungen seriell
hinein, um die "Adresse" zu bestimmen, und
speichert dies innerhalb seines Speichers.
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Das
Emittermodul 24 enthält
eine IR-Empfangsschaltung 94, die einen IR-Empfänger 96,
einen IR-Decodierer 98 und die beiden Drehcodiererschalter 90 enthält. Wenn
ein Infrarotsignal empfangen wird, trennt der IR-Empfänger 96 die
Trägerfrequenz ab
und läßt nur einen
seriellen Datenstrom übrig,
der an den IR-Decodierer 98 weitergeleitet wird. Der IR-Decodierer 98 empfängt die
Daten und vergleicht die ersten fünf Datenbits mit den fünf wichtigsten
Datenbits an den Drehcodiererschaltern 90. Wenn diese Datenbits übereinstimmen,
erzeugt der IR-Decodierer 98 vier parallele Datenleitungen
und ein gültiges Übertragungssignal,
die in den Mikrocontroller 44 eingegeben werden.
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Das
Emittermodul 24 enthält
außerdem
einen Watchdog-Timer 100,
um den Mikrocontroller 44 zurückzusetzen, falls er verloren
geht.
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Das
Emittermodul 24 enthält
weiterhin eine Schaltstromversorgung 102, die zwischen
20 und 28 VDC von dem Systemcontroller 28 empfängt und
+12 VDC, +5 VDC, –5
VDC und Masse erzeugt. Wie oben erörtert wurde eine Schaltstromversorgung
wegen der Notwendigkeit gewählt,
aufgrund möglicher
langer Drahtlängen,
die große
Spannungsabfälle
verursachen, Leistung zu sparen.
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9 ist
ein sich selbst erklärendes
Flußdiagramm
der mit dem Mikrocontroller 44 des Emittermoduls assoziierten
Software.
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6 ist
ein Schemablockdiagramm des Systemcon trollers 28. Der Systemcontroller 28 führt mindestens
drei Basisfunktionen durch: Kommunizieren mit den Emittermodulen 24,
Kommunizieren mit einem externen Überwachungscomputer (nicht gezeigt)
und Anzeigen von Daten. Der Systemcontroller 28 kommuniziert
mit den Emittermodulen 24 unter Verwendung von RS-485-Kommunikationen 104 und
kann mit dem Überwachungscomputer
unter Verwendung von RS-232-Kommunikationen 106 kommunizieren.
Der Systemcontroller 28 enthält einen Mikrocontroller 110,
der ein Mikroprozessor sein kann. Die Eingänge zu dem Mikrocontroller 10 beinhalten
fünf Druckknopfschalter 112 und
einen Schlüsselschalter 114.
Mit den Druckknopfschaltern 112 wird ein LCD-Display 116 gescrollt
und Einstellungen ausgewählt
und geändert.
Der Schlüsselschalter 114 wird
verwendet, um das System in einen Standby-, Betriebs- oder Setup-Modus zu versetzen.
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Der
Systemcontroller 28 enthält auch einen Speicher 118 und
einen Watchdog-Timer 120 zur Verwendung mit dem Mikrocontroller 110.
Ein Teil des Speichers 118 ist ein EEPROM, der CREF und BREF für die Emittermodule 24 sowie
andere Systemkonfigurationsinformationen speichert, wenn der Strom
abgeschaltet oder unterbrochen wird. Der Watchdog-Timer 120 detektiert,
ob der Systemcontroller 28 stromlos wird und initiiert
sein eigenes Zurücksetzen.
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Um
ein individuelles Emittermodul 24 zu adressieren, enthält der Systemcontroller 28 weiterhin
zwei Drehcodiererschalter 122 und ein serielles Schieberegister 124,
die vom Betrieb her den entsprechenden Elementen des Emittermoduls 24 ähnlich sind.
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Während des
Einrichtens des Systems 22 wird jedes Emittermodul 24 über seine
Drehcodiererschalter 90 auf eine eindeutige Zahl gesetzt.
Als nächstes
fragt der Systemcontroller 28 die Emittermodule 241 -24n ab,
um ihre Statusalarmwerte zu erhalten. Bei einer abfragenden Ausführungsform
prüft der
Systemcontroller 28 die Emittermodule 24, um zu bestimmen,
ob sie ohne Lücken
in einer Reihenfolge numeriert sind. Über das Display 116 zeigt
der Systemcontroller 28 seine Ergebnisse an und fordert
den Operator zur Genehmigung auf. Wenn eine Lücke detektiert wird, kann der
Operator entweder die Emittermodule 24 umnumerieren und
die Abfrage nochmals durchführen
oder eine Genehmigung der existierenden Numerierung signalisieren.
Nachdem der Operator die Genehmigung des Numerierungsverfahrens
signalisiert hat, speichert der Systemcontroller 28 die
Emittermodulnummern für
den nachfolgenden Betrieb und die nachfolgende Steuerung. Bei einer
alternativen Ausführungsform
der Erfindung weist der Systemcontroller 28 den Emittermodulen 24 automatisch
Nummern zu und vermeidet dadurch die Notwendigkeit, Schalter an
jedem Emittermodul 24 einzustellen.
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Wie
oben erörtert
kann der Fernsteuersender 30 Befehle direkt an die Emittermodule 24 senden
oder kann die Befehle durch den Systemcontroller 28 senden.
Dementsprechend enthält
der Systemcontroller 28 zu diesem Zweck einen IR-Empfänger 126 und
einen IR-Decodierer 128.
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Der
Systemcontroller 28 enthält außerdem Synchronisationsverbindungen,
einen Synchronisationseingang 130 und einen Synchronisationsausgang 132.
Diese Verbindungen gestatten, mehrere Systemcontroller 28 auf
synchronisierte Weise miteinander in Reihe zu schalten, so daß die Feuerrate
und Phase von mit mehreren Systemcontrollern 28 assoziierten
Emittermodulen 24 aufeinander synchronisiert werden können. Da
nur eine endliche Anzahl von Emittermodulen 24 von einem
einzelnen Systemcontroller 28 gesteuert werden kann, gestattet dieses
Merkmal den Betrieb von viel mehr Emittermodulen 24 auf
synchronisierte Weise. Bei diesem Verfahren agiert ein Systemcontroller 28 als
der Mastercontroller, und die übrigen
Systemcontroller 28 agieren als Slavecontroller.
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Der
Systemcontroller 28 kann wahlweise Relaisindikatoren 134 enthalten,
um Alarme in einem Lichtturm oder dergleichen abzuspielen. Auf diese Weise
können
spezifische Alarmzustände
visuell einem Operator übermittelt
werden, der möglicherweise
einen eigenständigen
Systemcontroller 28 oder einen Mastersystemcontroller 28 mit
mehreren Slavecontrollern überwacht.
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Der
Systemcontroller 28 beherbergt drei nicht gezeigte universelle
Eingangs-AC-Schaltstromversorgungen. Diese Stromversorgungen erzeugen isolierte
28 VDC von einer beliebigen Netzspannung zwischen 90 und 240 VAC
und 50-60 Hz. Die
28 VDC (die zwischen 20 und 30 VDC variieren können) werden an die abgesetzten
Module 24 verteilt, um die Module zu bestromen. Außerdem empfängt eine
integrierte Schaltstromversorgung 136 in dem Systemcontroller 28 die
28 VDC von der universalen Eingangs-AC-Schaltstromversorgung und erzeugt
+12 VDC, +5 VDC, –5
VDC und Masse. Eine Schaltstromversorgung wird bevorzugt, um Leistung
einzusparen.
-
10 ist
ein sich selbst erläuterndes
Flußdiagramm
der mit dem Mikrocontroller 110 des Systemcontrollers assoziierten
Software.
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7A ist
ein Schemablockdiagramm einer Gleichgewichtssteuerschaltung 138 eines
Emittermoduls 241 . Ein Ionengleichgewichtssensor 140 (der einen
Operationsverstärker
plus einen A/D-Umsetzer enthält)
gibt einen relativ nahe bei den Emittern des Emittermoduls 241 genommenen Gleichgewichtsmeßwert BMEAS aus. Der im Mikrocontroller 44 gespeicherte
Gleichgewichtsreferenzwert 142 BREF1 wird
in einem Vergleicher 144 mit BMEAS verglichen.
Wenn die Werte gleich sind, erfolgt keine Justierung an den positiven
oder negativen Hochspannungsstromversorgungen 146. Wenn
die Werte nicht gleich sind, erfolgen entsprechende Justierungen
an den Stromversorgungen 146, bis die Werte gleich werden.
Dieser Prozeß läuft während des
Betriebs des Emittermoduls 241 kontinuierlich
und automatisch ab. Während
der Kalibrierung oder dem anfänglichen
Setup werden Gleichgewichtsmeßwerte
von einem Geladene-Platte-Monitor
genommen, um einen tatsächlichen
Gleichgewichtsmeßwert
BACTUAL in dem Arbeitsraum in der Nähe des Emittermoduls 241 zu erhalten. Wenn die Ausgabe des
Vergleichers zeigt, daß BREF1 gleich BMEAS ist
und wenn BACTUAL Null ist, dann ist das Emittermodul 241 ausgeglichen und keine weitere Aktion
wird ergriffen. Wenn jedoch die Ausgabe des Vergleichers zeigt,
daß BREF1 gleich BMEAS ist
und wenn BACTUAL nicht Null ist, dann ist
das Emittermodul 241 nicht im Gleichgewicht.
Dementsprechend wird BREF1 unter Verwendung
entweder des Fernsteuersenders 30 oder des Systemcontrollers 28 nach
oben oder unten justiert, bis BACTUAL zurück auf Null
gebracht worden ist. Aufgrund von Herstellungstoleranzen und einer
Systemverschlechterung im Laufe der Zeit ist es wahrscheinlich,
daß jedes
Emittermodul 24 einen anderen BREF-Wert
aufweist.
-
7B ist
ein Verfahren ähnlich 7A,
das für
den Ionenstrom verwendet wird, wie oben bezüglich CREF und
CMEAS erörtert.
In 7B ist CMEAS der tatsächliche
Ionenausgabestrom nach direkter Messung unter Verwendung der in 4 gezeigten Schaltungselemente 56, 58 und 60.
Der Vergleicher 152 vergleicht CREF1 (der
im Speicher 150 im Mikrocontroller 44 gespeichert
ist) mit CMEAS. Wenn die Werte gleich sind,
erfolgt keine Justierung auf die positiven oder negativen Hochspannungsstromversorgungen 146.
Wenn die Werte nicht gleich sind, werden entsprechende Justierungen
an den Stromversorgungen 146 vorgenommen, bis die Werte
gleich werden. Dieser Prozeß läuft während des
Betriebs des Emittermoduls 241 kontinuierlich
und automatisch ab. Während
der Kalibrierung oder während
des anfänglichen
Setups werden Abklingzeitmeßwerte von
einem Geladene-Platte-Monitor 148 genommen, um
eine Anzeige des tatsächlichen
Ionenausgabestroms CMEAS im Arbeitsraum
in der Nähe
des Emittermoduls 241 zu erhalten.
-
Wenn
die Abklingzeit innerhalb eines gewünschten Bereichs liegt, dann
wird keine weitere Aktion ergriffen. Wenn jedoch die Abklingzeit
zu langsam oder zu schnell ist, wird CREF1 von
dem Operator nach oben oder unten justiert. Der Vergleicher 152 zeigt
dann eine Differenz zwischen CMEAS und CREF1, und entsprechende Justierungen werden
automatisch an den Stromversorgungen 146 vorgenommen, bis
diese Werte auf die gleiche Weise wie oben beschrieben gleich werden.
-
Wie
oben erörtert
weisen herkömmliche
automatische Ausgleichssysteme hardwarebasierte Rückkopplungssysteme
auf und sind mit mindestens den folgenden Problemen behaftet:
- (1) Mit solchen Systemen kann man keine sehr feine
Gleichgewichtssteuerung erhalten, da Rückkopplungssteuersignale auf
der Basis von Hardwarekomponentenwerten festgelegt sind.
- (2) Der Gesamtbereich der Gleichgewichtssteuerung ist
- auf der Basis der Hardwarekomponentenwerte begrenzt.
- (3) Schnelle und preiswerte Modifikationen sind schwierig vorzunehmen,
da die individuellen Komponenten für einen ordnungsgemäßen Betrieb
voneinander abhängig
sind. Herkömmliche Ionenstromsteuerschaltungsanordnungen
sind mit den gleichen Problemen behaftet. Im Gegensatz zu herkömmlichen
Systemen sind die softwarebasierten Gleichgewichts- und Ionenstromsteuerschaltungsanordnungen
der vorliegenden Erfindung mit keiner dieser Menge behaftet.
-
8 zeigt
eine Perspektivansicht der Hardwarekomponenten des Systems 22 von 2.
-
Die
Mikrocontroller 44 und 110 gestatten die Implementierung
ausgeklügelter
Merkmale wie etwa der folgenden Merkmale:
- (1)
Der Mikroprozessor überwacht
die Vergleicher, mit denen BREF und BMEAS, und CREF und CMEAS verglichen werden. Wenn die Unterschiede beide
kleiner sind als ein vorbestimmter Wert, wird angenommen, daß das Emittermodul 24 mit
dem normalen Betrieb assoziierte notwendige kleine Justierungen
vornimmt. Wenn jedoch einer oder beide der Unterschiede zu einem
oder mehreren Zeitpunkten größer sind
als ein vorbestimmter Wert, wird angenommen, daß das Emittermodul 24 einer
Wartung bedarf. In diesem Fall wird ein Alarm an den Systemcontroller 28 gesendet.
- (2) Automatische Ionenerzeugungsänderungen und Gleichgewichtsänderungen
für jedes
individuelle Emittermodul 24 können rampenförmig herauf-
oder heruntergefahren werden, um plötzliche Ausschläge oder
Potentialüberschreitungen zu
vermeiden. Wenn beispielsweise der Impuls-Gleichstrommodus verwendet
wird, kann die Impulsrate (d.h. Frequenz) allmählich von einem ersten Wert
auf den Sollwert justiert werden, um den gewünschten Effekt des rampenförmigen Herauf-
oder Herunterfahrens zu erreichen. Wenn entweder der Impuls-Gleichstrommodus
oder der stationäre
Gleichstrommodus verwendet wird, kann die Gleichstromamplitude allmählich von
einem ersten Wert auf den Sollwert justiert werden, um den gewünschten
Effekt des rampenförmigen Herauf-
oder Herunterfahrens zu erreichen.
-
Der
Schutzbereich der vorliegenden Erfindung ist nicht auf die oben
dargelegten bestimmten Implementierungen begrenzt. Beispielsweise
brauchen die Kommunikationen nicht notwendigerweise über RS-485-
oder RS-232-Kommunikations-/Stromleitungen
zu erfolgen. Insbesondere können
die Fehlverdrahtungsschutzschaltungen mit einer beliebigen Art von
Kommunikations-/Stromleitungen verwendet werden, die auf die oben
beschriebene Weise über Schalter
vertauscht werden können.
-
Der
Fachmann versteht, daß an
den oben beschriebenen Ausführungsformen Änderungen
vorgenommen werden könnten,
ohne von dem breiten erfindungsgemäßen Konzept davon abzuweichen. Es
versteht sich deshalb, daß die
vorliegende Erfindung nicht auf die offenbarten bestimmten Ausführungsformen
beschränkt
ist, sondern die vorliegende Erfindung wird durch die beigefügten Ansprüche definiert.