ES2268478T3 - Dispositivo de alta presion para cerrar un recipiente. - Google Patents

Abstract

Dispositivo de alta presión para el cierre de un recipiente 8 en sala blanca, cuyo recipiente se compone al menos de una pieza de base y de una pieza de cierre, y presenta una superficie de obturación entre estas dos piezas, para la realización de un proceso con al menos un fluido de proceso, mediante un sistema elevador con simetría de rotación, componiéndose de al menos un pistón 1 móvil de trabajo con simetría de rotación, cada uno con un cilindro 4 de guía y presentando el pistón 1 de trabajo en el extremo del pistón que se encuentra en el cilindro 4 de guía, al menos un refuerzo 3 circular radial en la superficie exterior, de manera que el espacio interior entre cilindro 4 de guía y pistón 1 de trabajo, se divide en al menos un recinto 12 inferior hueco del cilindro y un recinto 13 superior hueco del cilindro, y al menos un taladro 5 y 6 en el cilindro 4 de guía conduce a cada uno de estos recintos 12 y 13 huecos del cilindro, y estos taladros 5 y 6 están unidos directamente o mediantetuberías 24 y 25 con al menos una válvula 20 de ajuste y reglaje, que regula el llenado y vaciado de los recintos 12 y 13 del cilindro 4 de guía, - estando unida la cara frontal del pistón de trabajo al menos parcialmente a la pieza de cierre, o rígidamente con la pieza de cierre del recipiente, y trasladándose esta pieza de cierre asimismo con referencia al pistón de trabajo, en lo esencial a lo largo del eje de rotación, y estando dispuesto el recipiente frente a la superficie frontal del pistón de trabajo, y siendo la superficie del fondo del pistón de trabajo mayor que la superficie de apriete entre la pieza de base y la pieza de cierre del recipiente, caracterizado porque - el fluido para el accionamiento del pistón 1 de trabajo es idéntico con los compo- nentes principales del fluido empleado en el recipiente 8 a presión, y el fluido es o bien un gas supercrítico, o bien un medio fácilmente volátil, - al menos una de las superficies 14, 15 y 16 deslizantes que en las superficiesdel pistón y en las interiores del cilindro, están localizadas en las zonas en las que las superficies del cilindro y del pistón se oponen estando en contacto, y se mueven una respecto a otra paralelamente al eje de rotación, presenta una relación portante superior al 60%, siendo la relación portante la relación de la porción de las protuberancias a la porción de las depresiones en la estructura superficial.

Description

Dispositivo de alta presión para cerrar un recipiente.

La invención se refiere a un dispositivo muy compacto y a un procedimiento para cerrar un recipiente mediante un sistema elevador con simetría de rotación, que contiene un pistón de trabajo y un cilindro de guía, y en lo esencial se acciona con el mismo fluido que se emplea en el recipiente como medio de proceso. La cara frontal del pistón de trabajo forma aquí, al menos en parte, la pieza de cierre del recipiente, o está unida rígidamente con la pieza de cierre. Aquí, como medio de trabajo para el accionamiento del pistón y como medio de proceso, entra en acción en forma ideal, un fluido supercrítico.

En la fabricación de semiconductores, en la industria optoelectrónica y en otras ramas de la industria, se desarrollan siempre más productos que realizan funciones importantes mediante, o sobre la base de micro o nanoestructuras. Estas micro y nanoconstrucciones son extremadamente sensibles a las mínimas impurezas, sobre todo durante su producción. Por consiguiente, a los componentes del procedimiento de fabricación, se imponen las máximas exigencias respecto a las emisiones permisibles. Las etapas necesarias de limpieza para superficies de nanoestructuras ya no son posibles o sólo lo son, en parte con líquidos corrientes de limpieza. Por tanto, desde hace algún tiempo se emplean en gran escala líquidos supercríticos que presentan características mejoradas de humidificación y limpieza. Por ello son necesarias presiones de proceso de 150 a 300 bares, que requieren equipamientos especiales. Hasta ahora, los agregados apropiados mecánicos de alta presión, no eran aptos para sala blanca, o no lo eran directamente. El documento WO 02/084709 A2 describe un dispositivo semejante de limpieza para rodajas, en el que el fondo del recinto del proceso es un pistón de alta presión que lleva las rodajas, y abre o cierra el recinto del proceso. El dispositivo elevador mismo no se describe en detalle en el documento WO 02/084709 A2. La presente invención describe un agregado de alta presión para el empleo en sala blanca, que para un cambio rápido de carga a un alto nivel de presión, sólo produce emisiones mínimas, y está realizado en una forma constructiva muy compacta.

Agregados elevadores para presiones superiores a 150 bares se describen suficientemente en empleo técnico múltiple y en la literatura de patentes y especial. Como medios de trabajo sirven fluidos y gases, empleándose agua para presiones de hasta unos 160 bares, y para más de 160 bares, prioritariamente aceites hidráulicos. Gases inertes y aire son los medios gaseosos corrientes de trabajo. El aceite hidráulico presenta importantes características positivas para la aplicación a alta presión, que consisten entre otras cosas, en la lubricación de las superficies deslizantes, menor compresibilidad y alta resistencia a la temperatura.

Los efectos desventajosos a compensar no totalmente en los sistemas de pistón, son entre otros, la abrasión del material así como la fuga del medio de trabajo. Abrasión del material, condicionada por la fricción y la presión, como por ejemplo, desgaste, vaporización y condensación, acaece a pequeña escala en el mismo material de base y, sobre todo, en el sistema de obturación. La abrasión del material en los agregados elevadores es función, en lo esencial, de la calidad superficial de las superficies deslizantes y de las tolerancias de fabricación de los componentes constructivos, del material de la junta y de la presión radial de apriete de la junta, así como de la temperatura.

La fuga del medio de trabajo que se lleva consigo en ciertas cantidades a cada embolada, es función entre otras cosas, funcionalmente de la calidad superficial, de la viscosidad, de la presión hidrostática en el recinto del cilindro, así como del diseño de la junta y de su presión radial de apriete.

Altas presiones de trabajo exigen un engrase suficiente de las superficies en contacto, y que se mueven una respecto a otra, lo cual conduce a las correspondientes pérdida por fugas. Este efecto puede minimizarse mediante sistemas apropiados de obturación y una mecanización de alta calidad de las superficies. La posibilidad de aumentar la presión de apriete para retener las fugas, está limitada naturalmente porque con la presión creciente también aumenta la destrucción o la abrasión del material de la junta, lo cual da lugar asimismo a una emisión y, en breve plazo, conduce a elevadas pérdidas por fugas. Por lo demás, se alcanzan los límites de la capacidad mecánica de carga y de un funcionamiento económico.

Las impurezas procedentes de la abrasión del material y de la fuga, procedentes de las fuentes arriba citadas, son muy desventajosas en el ámbito de la producción, sobre todo, para procesos en sala blanca. Las clases de pureza se definen, por ejemplo, en la norma DIN 2083 ó en la norma federal 209D. Las emisiones de cualquier tipo influyen directamente la calidad del producto en estos procesos, y se minimizan con gran gasto de aparatos y organizativo, lo cual está vinculado con los correspondientes costes. Especialmente graves y desventajosas son las impurezas por niebla de aceite, puesto que frecuentemente las inmisiones aceitosas son activas químicamente, y solamente pueden quitarse de nuevo con sustancias que contengan disolventes, las cuales a su vez no se desean en la sala blanca, o son muy desventajosas.

Para cadenas más complejas de fabricación, en las que entran en acción componentes aptos para sala blanca y poco apropiados, se realiza una separación espacial. En las llamadas"zonas de mantenimiento" se alojan los equipos no aptos para la sala blanca, y en las llamadas "salas blancas" las partes de los equipos aptos para sala blanca. Semejantes soluciones requieren esclusas costosas y prevenciones organizativas para asegurar la retención de impurezas procedentes de la "zona de mantenimiento".

Se sabe que los sistemas elevadores oleohidráulicos son problemáticos en el empleo en sala blanca, y pueden hacerse aptos para aplicaciones en sala blanca, mediante succión adecuada [SWISS Contamination Control 5 (1992) Nº 5, página 8 y siguientes]. En el empleo de una herramienta de prensa para la producción de discos CD, aparecen adherencias de aceite en el semiproducto. Las investigaciones dedujeron que la fuente de estas impurezas, era el aceite hidráulico. Mediante la aplicación de manguitos cerrados en las bielas de empuje de la herramienta, y la succión del bastidor de la prensa, así como del aire de los manguitos pudo prepararse la deseada aptitud para sala blanca.

Otro artículo técnico hace público un cilindro neumático en una realización sin vástago del pistón [Dr. Ing. E. Fritz; documentos para el primer foro internacional del coloquio sobre fluidos, tomo 2, página 283 y siguientes]. La aptitud para sala blanca se conseguía produciendo un vacío parcial en el espacio entre la cinta protectora y la cinta de obturación. Para ello se instalaron conexiones de vacío en el tubo del cilindro, y se eliminaron las emisiones.

En los agregados elevadores antes citados con succión, es desventajoso que son necesarios sistemas adicionales para el aseguramiento de concentraciones mínimas de partículas, que tienen que instalarse y funcionar permanentemente.

En la solicitud de patente US 5,314,574 se hace público un dispositivo de tratamiento, que encuentra su empleo en el marco de la producción de rodajas. En el citado documento se hace público un sistema elevador que para conseguir la aptitud para sala blanca, separa las bielas y cilindros elevadores necesarios, del recinto del proceso, de modo que estén fijados fuelles metálicos desplegables entre la placa terminal saliente del pistón y la placa del fondo del recipiente del proceso, a cuyo través pasa el pistón elevador. Así los fuelles metálicos envuelven el vástago del pistón y el cilindro del pistón, y se pliegan o despliegan como un acordeón en cada carrera. Un diseño comparable se hace público en la solicitud de patente US 5,259,407. En tales sistemas es desventajoso el gran desplazamiento de aire en la cara exterior de los fuelles metálicos, puesto que por el plegado se genera una superficie relativamente grande que en lo esencial está dispuesta transversal a la dirección del movimiento, y que se acelera a cada carrera. Además, es desventajoso el alto gasto constructivo, y una tendencia esperable a la destrucción del material altamente solicitado del fuelle.

En la solicitud de patente US 5,169,408 se hace público un aparato con simetría de rotación para el tratamiento de discos para rodajas, que comprende entre otras cosas, un sistema elevador neumático y un recipiente de proceso en el que se introducen los discos para rodajas, y discurre el proceso propiamente dicho. El sistema elevador comprende una vez más varios pistones elevadores accionados neumáticamente, estando fijado un pistón neumático centrado en la parte superior del recipiente de proceso, y sirviendo para elevar y descender esta parte del recipiente. En la parte inferior del recipiente de proceso están instalados varios pistones elevadores con simetría de rotación por fuera del eje de rotación, y que sirven para elevar y descender la parte inferior conjunta del recipiente. Los medios de trabajo que entran en acción en el aparato hecho público por la solicitud de patente US 5,169,408, son en lo esencial el nitrógeno y el agua. Es desventajoso en la invención el costoso sistema elevador que para un solo proceso de elevación, siempre prevé varios pistones elevadores que han de funcionar sincronizados entre sí. Sobre todo, para altas presiones, es necesario un funcionamiento absolutamente sincronizado de los pistones elevadores, lo cual exige un gran gasto en mando y control. El empleo de pistones elevadores accionados neumáticamente, limita el empleo del dispositivo y del procedimiento, hechos públicos, a presiones bajas.

El documento US 6,067,728 hace público un dispositivo y un procedimiento para el secado de discos para rodajas mediante CO_{2} supercrítico, representándose un sistema neumático - mecánico de cierre. El cierre de la cubierta del recipiente se realiza mediante un pistón neumático y un dispositivo de palancas, obteniéndose mediante esta disposición una compresión previa. El acerrojado de la cubierta se hace mediante garras. Después del cierre neumático - mecánico del recinto del proceso, se posicionan una o varias garras simétricamente en el borde de la cubierta. Estos cierres de retención se desplazan mecánicamente por el borde de la cubierta del recipiente y del fondo del recipiente, y garantizan con la presión interior creciente, la estanqueidad del recipiente durante el proceso.

En la invención precitada son desventajosas las muchas piezas móviles, que hay que considerar como críticas con respecto a las emisiones, y que por los recorridos exigidos, limitan fuertemente el número de carreras o ciclos posibles del proceso por unidad de tiempo. Los muchos recorridos requieren, además, un mando costoso.

Es misión de la presente invención hacer superfluos sistemas adicionales de succión y aseguramiento, o las subdivisiones espaciales y el empleo de varios o diferentes fluidos de proceso y de trabajo, mediante soluciones constructivas y técnicas de procedimiento en el sistema elevador propiamente dicho. Además, deben de conseguirse formas constructivas que consigan las exigencias de un funcionamiento seguro en sala blanca, con los menores movimientos posibles y pocas piezas móviles posibles.

La presente invención resuelve esta misión según la reivindicación principal, presentando un dispositivo de alta presión para el cierre de un recipiente en condiciones de sala blanca, cuyo recipiente se compone, en lo esencial, al menos de una pieza de base y de una pieza de cierre, y presenta una superficie de obturación entre estas dos piezas, para la realización de un proceso con al menos un fluido de proceso, mediante un sistema elevador con simetría de rotación, componiéndose de al menos un pistón móvil de trabajo con simetría de rotación, cada uno con un cilindro de guía y presentando el pistón de trabajo en el extremo del pistón que se encuentra en el cilindro de guía, al menos un refuerzo circular radial en la superficie exterior, de manera que el espacio interior entre cilindro de guía y pistón de trabajo, se divida en al menos dos recintos del cilindro, y al menos una abertura en el cilindro guía conduzca a cada uno de estos recintos del cilindro, y estos taladros estén unidos directamente o mediante tuberías con al menos una válvula, la cual regula el llenado y vaciado de los recintos del cilindro de guía, caracterizado porque el fluido para el accionamiento del pistón de trabajo es idéntico con los componentes principales del fluido empleado en el recipiente a presión, estando unida la zona de cabeza del pistón de trabajo al menos parcialmente a la pieza de cierre, o rígidamente con la pieza de cierre del recipiente, y trasladándose esta pieza de cierre asimismo con referencia al pistón de trabajo, en lo esencial a lo largo del eje de rotación, y estando dispuesto el recipiente frente a la superficie frontal del pistón de trabajo, y siendo la superficie del fondo del pistón de trabajo, mayor que la superficie de apriete que está dispuesta entre la pieza de base y la pieza de cierre del recipiente.

Además, al menos una de las superficies deslizantes que en las superficies del pistón y en las interiores del cilindro, están localizadas en las zonas en las que las superficies del cilindro y del pistón se oponen estando en contacto, y se mueven una respecto a otra paralelamente al eje de rotación, presenta una relación portante superior al 60%, siendo la relación portante la relación de la porción de las protuberancias a la porción de las depresiones en la estructura superficial y/o estando templada esta superficie deslizante, para impedir un gripado de las superficies deslizantes.

Con ventaja se emplean materiales austeníticos, no estando limitado el dispositivo según la invención a este grupo de materiales.

Los procedimientos para la producción de altas relaciones portantes están descritos ampliamente en la literatura. Como procedimiento posible se dispone, por ejemplo, del bruñido, lapeado o rodado. El temple de las superficies así tratadas, puede realizarse mediante nitruración al plasma, kolsterización [nitrooxidación] o cromado duro. Estos procedimientos se consideran como estado actual de la técnica, y se ofrecen comercialmente por firmas especialistas.

Respecto a una regulación optimizada, existe un acondicionamiento según la invención del dispositivo hecho público en una integración de al menos una etapa de estrangulamiento y/o al menos otra válvula en las conducciones de aprovisionamiento y descarga, y/o desagües. Así se asegura que la presión de apriete del pistón de trabajo en la superficie frontal es siempre mayor que la presión en el recinto del proceso, incluso durante los diferentes pasos de aplicación o distensión que se desencadenan en lo esencial a través de la válvula.

El funcionamiento del dispositivo hecho público se desarrolla de tal manera que mediante la maniobra de la válvula, el espacio hueco por debajo de la superficie del fondo del pistón de trabajo, y el recipiente se llenan con fluido mediante las tuberías a presión y los taladros y, por tanto,

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el pistón de trabajo se traslada desde la posición inicial "recipiente abierto" en la que el recipiente esta abierto, a la posición "recipiente cerrado" en la que el recipiente está cerrado, y cierra el recipiente, y

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después del final del proceso en el recipiente, la válvula se maniobra de tal manera que el fluido se distiende en el recinto hueco inferior del cilindro y en el recinto del proceso, y

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a continuación, mediante otra maniobra de la válvula, se aplica fluido al recinto hueco superior del cilindro en el cilindro de guía, mediante la tubería a presión y el taladro, de manera que el pistón de trabajo se traslade de nuevo a la posición inicial "recipiente abierto".

Como se dijo antes, una conducción ventajosa del procedimiento, consiste en que al aplicar fluido al mismo tiempo, al recinto del proceso y al recinto hueco inferior del cilindro, la afluencia en el recipiente se estrangula o se retrasa en el tiempo, mediante el recorrido en la tubería, de manera que la presión de apriete en la superficie de la junta entre la pieza de base y la de cierre del recipiente, sea siempre mayor que la presión en el recipiente.

Análogamente a la optimización antes citada del procedimiento, se ve un perfeccionamiento en que al distender al mismo tiempo el recipiente y el recinto hueco inferior del cilindro, se estrangula y/o se retrasa en el tiempo la salida del fluido, del recinto hueco inferior del cilindro, de manera que la presión de apriete en la superficie de la junta entre la pieza de base y la de cierre del recipiente, sea siempre mayor que la presión en el recinto del proceso.

Mediante el acoplamiento directo de las presiones en el recinto del proceso y en los recintos huecos del cilindro, así como mediante la variación de las corrientes de fluido en las etapas individuales de la elevación, se simplifica claramente el mando y regulación en comparación con sistemas como los que son conocidos en el estado actual de la técnica, y pueden realizarse altos números de carreras incluso para presiones muy altas.

Una conducción especialmente ventajosa del procedimiento consiste en que se emplee como fluido un fluido supercrítico, y este fluido sea, por ejemplo, dióxido de carbono (CO_{2}), aire comprimido, nitrógeno o un gas inerte, o se componga de una mezcla de ellos. Aquí, al fluido puede agregarse una sustancia de limpieza, en pequeños porcentajes.

Otro acondicionamiento ventajoso del procedimiento consiste en que como fluido se utilice un medio fácilmente volátil del grupo que está formado por el etanol, metanol, isopropanol y sustancias comparables o mezclas de ellas, o un gas que, en lo esencial, se componga de CO_{2}, oxígeno, nitrógeno, un gas noble, o mezcla de ellos. Aquí, al fluido puede agregarse una sustancia de limpieza, en pequeños porcentajes.

El dispositivo y el procedimiento precitado según la invención, son apropiados con ventaja para alcanzar regularmente en la superficie frontal del pistón de trabajo y/o en el recinto del proceso, una presión de trabajo de más de 160 bares, o bien de hacer funcionar el dispositivo y el procedimiento a presiones de más de 160 bares.

Con ventaja, el aparato según la invención se aprovecha para procesos que estén relacionados con una aplicación, producción o con un procedimiento de la industria de los semiconductores y/o de la fabricación de rodajas.

Otros ámbitos ventajosos para el empleo del dispositivo hecho público, son procesos, aplicaciones o procedimientos de fabricación de la industria óptica, de la industria farmacéutica y/o de la médica. Precisamente en la industria médico - farmacéutica son necesarios muchos procesos en autoclave, procesos de envasado o prensado, que pueden simplificarse y mejorarse mediante el dispositivo hecho público.

Con ello se hace público con ventaja en relación con el sistema elevador conocido, un dispositivo que puede emplearse con mucha ventaja en todas las ramas de la industria en las que existan exigencias extraordinariamente altas respecto a la limpieza de los procesos, para una exigencia simultánea de altos rendimientos y altas presiones. Gracias a la supresión de fluidos adicionales de trabajo, y a la forma constructiva descrita, así como a los ciclos minimizados de movimiento, es muy compacto y robusto, de manera que también existen claras ventajas en el aspecto económico respecto al estado actual de la técnica.

Las figuras 1 a 3 muestran el dispositivo en corte longitudinal.

Figura 1: Sistema elevador y unidad de ajuste.

Figura 2: Sistema elevador en la posición inicial ("recipiente abierto").

Figura 3: Sistema elevador ("recipiente cerrado")

De la mano de explicaciones y de un ejemplo, debe de describirse en detalle el dispositivo y el procedimiento. La figura 1 muestra el sistema elevador y una unidad 20 de ajuste, atravesando aquí, a título de ejemplo, todas las tuberías a presión y la de alimentación y salida, esta unidad 20 de ajuste.

La figura 2 y la figura 3 muestran a título de ejemplo la unidad de ajuste como válvula 20, válvula 26 y estrangulamiento 27. Además, muestran la realización del procedimiento hecho público integrando el dispositivo precitado y según la invención. Este funciona de tal manera que mediante la maniobra de la válvula 20, se aplica fluido al recinto hueco por debajo de la superficie 11 del fondo del pistón 1 de trabajo, y al recipiente 8, mediante las tuberías a presión y los taladros, cerrando la válvula 26 la tubería 23 a presión y, por tanto,

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el pistón 1 de trabajo se traslada desde la posición inicial "recipiente abierto" (figura 2) a la posición "recipiente cerrado" (figura 3) y cierra el recipiente

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después del final del proceso, se maniobra la válvula 20 de tal manera que el fluido se distiende en el recinto 12 hueco inferior del cilindro y en el recinto 7 del proceso, y

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a continuación, mediante otra maniobra de la válvula, se aplica fluido al recinto 13 hueco superior del cilindro en el cilindro de guía, mediante la tubería 24 a presión y el taladro 6, de manera que el pistón 1 de trabajo se traslade de nuevo a la posición inicial "recipiente abierto".

De la mano de un ejemplo, debe de explicarse en detalle a continuación el dispositivo y el procedimiento según la invención, para su empleo.

Como se representa en la figura 2, el dispositivo comprende un dispositivo para el cierre de un recipiente que en lo esencial se compone de una pieza estática de base y de una pieza móvil de cierre. Entre las dos piezas está dispuesta una superficie de obturación. En el recinto del proceso que se configura entre las dos piezas, se realizan procesos con al menos un fluido de proceso. El cierre se hace mediante un sistema elevador con simetría de rotación, que se compone de un pistón 1 de trabajo con simetría de rotación, con un cilindro 4 de guía.

El extremo del pistón, que se encuentra en el cilindro 4 de guía, presenta un refuerzo 3 circular radial en la superficie exterior, de manera que el espacio interior entre cilindro de guía y pistón de trabajo, se divide en dos recintos huecos. Sendas aberturas en el cilindro de guía, conducen a cada uno de los dos recintos huecos, estando unidos estos taladros mediante tuberías a presión con una válvula. Mediante una tubería 21 de alimentación se suministra el fluido de proceso y de trabajo, de manera que para el accionamiento del pistón y para el proceso en el recinto 7 del proceso, se utiliza en lo esencial el mismo fluido.

Claims (15)

1. Dispositivo de alta presión para el cierre de un recipiente 8 en sala blanca, cuyo recipiente se compone al menos de una pieza de base y de una pieza de cierre, y presenta una superficie de obturación entre estas dos piezas, para la realización de un proceso con al menos un fluido de proceso, mediante un sistema elevador con simetría de rotación, componiéndose de al menos un pistón 1 móvil de trabajo con simetría de rotación, cada uno con un cilindro 4 de guía y presentando el pistón 1 de trabajo en el extremo del pistón que se encuentra en el cilindro 4 de guía, al menos un refuerzo 3 circular radial en la superficie exterior, de manera que el espacio interior entre cilindro 4 de guía y pistón 1 de trabajo, se divide en al menos un recinto 12 inferior hueco del cilindro y un recinto 13 superior hueco del cilindro, y al menos un taladro 5 y 6 en el cilindro 4 de guía conduce a cada uno de estos recintos 12 y 13 huecos del cilindro, y estos taladros 5 y 6 están unidos directamente o mediante tuberías 24 y 25 con al menos una válvula 20 de ajuste y reglaje, que regula el llenado y vaciado de los recintos 12 y 13 del cilindro 4 de guía,

- estando unida la cara frontal del pistón de trabajo al menos parcialmente a la pieza de cierre, o rígidamente con la pieza de cierre del recipiente, y trasladándose esta pieza de cierre asimismo con referencia al pistón de trabajo, en lo esencial a lo largo del eje de rotación, y estando dispuesto el recipiente frente a la superficie frontal del pistón de trabajo, y siendo la superficie del fondo del pistón de trabajo mayor que la superficie de apriete entre la pieza de base y la pieza de cierre del recipiente,

caracterizado porque

- el fluido para el accionamiento del pistón 1 de trabajo es idéntico con los componentes principales del fluido empleado en el recipiente 8 a presión, y el fluido es o bien un gas supercrítico, o bien un medio fácilmente volátil,

- al menos una de las superficies 14, 15 y 16 deslizantes que en las superficies del pistón y en las interiores del cilindro, están localizadas en las zonas en las que las superficies del cilindro y del pistón se oponen estando en contacto, y se mueven una respecto a otra paralelamente al eje de rotación, presenta una relación portante superior al 60%, siendo la relación portante la relación de la porción de las protuberancias a la porción de las depresiones en la estructura superficial.

2. Dispositivo según la reivindicación 1, caracterizado porque al menos una de las superficies 14, 15 y 16 deslizantes que en las superficies del pistón y en las interiores del cilindro, están localizadas en las zonas en las que las superficies del cilindro y del pistón se oponen estando en contacto, y se mueven una respecto a otra paralelamente al eje de rotación, está templada.

3. Dispositivo según alguna de las reivindicaciones 1 ó 2, caracterizado porque al menos una de las conducciones unidas con los taladros, contiene una etapa de estrangulamiento directamente antes, o directamente después de la válvula.

4. Dispositivo según alguna de las reivindicaciones 1 a 3, caracterizado porque el fluido supercrítico es, por ejemplo, dióxido de carbono (CO_{2}), aire comprimido, nitrógeno o un gas inerte, o se compone de una mezcla de ellos.

5. Dispositivo según alguna de las reivindicaciones 1 a 3, caracterizado porque el medio fácilmente volátil procede del grupo que está formado por el etanol, metanol, isopropanol y sustancias comparables o mezclas de ellas, o se utiliza un gas que, en lo esencial, se compone de CO_{2}, oxígeno, nitrógeno, un gas noble, o mezcla de ellos.

6. Dispositivo según alguna de las reivindicaciones 1 a 5, caracterizado porque en la cara frontal del pistón de trabajo, se alcanza regularmente una presión de trabajo de más de 160 bares.

7. Procedimiento para el empleo del dispositivo según alguna de las reivindicaciones 1 a 6, caracterizado porque mediante

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la maniobra de la válvula, el espacio hueco por debajo de la superficie del fondo del pistón de trabajo, y el recipiente, se llenan con fluido a través de las tuberías a presión y de los taladros y, por tanto,

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el pistón de trabajo se traslada desde la posición inicial "recipiente abierto" en la que el recipiente está abierto, a la posición "recipiente cerrado" en la que el recipiente está cerrado, y cierra el recipiente, y

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después del final del proceso, se maniobra en la válvula de ajuste y reglaje, de tal manera que el fluido se distiende en el recinto hueco por debajo de la superficie del fondo, y en el recinto del proceso, y

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a continuación, mediante otra maniobra de la válvula, se aplica fluido al recinto hueco superior en el cilindro de guía, mediante la tubería a presión y el taladro, de manera que el pistón de trabajo se traslada de nuevo a la posición inicial "recipiente abierto".

8. Procedimiento según la reivindicación 7, caracterizado porque en el recipiente se alcanza regularmente una presión de más de 160 bares.

9. Procedimiento según la reivindicación 7 u 8, caracterizado porque la etapa de ajuste y reglaje comprende al menos una válvula.

10. Procedimiento según alguna de las reivindicaciones 7 a 9, caracterizado porque la etapa de ajuste y reglaje comprende al menos un estrangulamiento estático o dinámico del fluido.

11. Procedimiento según alguna de las reivindicaciones 7 a 10, caracterizado porque al aplicar fluido al mismo tiempo, al recipiente y al recinto hueco del cilindro, la afluencia en el recipiente se estrangula o se retrasa en el tiempo.

12. Procedimiento según alguna de las reivindicaciones 7 a 11, caracterizado porque al distender al mismo tiempo la presión en el recipiente y en el recinto hueco inferior del cilindro, se estrangula y/o se retrasa en el tiempo la salida del fluido, del recinto hueco del cilindro, por debajo de la superficie del fondo del cilindro de trabajo.

13. Utilización del procedimiento o del dispositivo según alguna de las reivindicaciones 1 a 12, caracterizada porque el dispositivo o el procedimiento se emplea en relación con una aplicación, producción o con un procedimiento de la industria de los semiconductores y/o de la fabricación de rodajas.

14. Utilización del procedimiento o del dispositivo según alguna de las reivindicaciones 1 a 12, caracterizada porque el dispositivo o el procedimiento se emplea en relación con una aplicación, producción o con un procedimiento de la industria óptica.

15. Utilización del procedimiento o del dispositivo según alguna de las reivindicaciones 1 a 12, caracterizada porque el dispositivo o el procedimiento se emplea en relación con una aplicación, producción o con un procedimiento de la industria farmacéutica o médico - farmacéutica.