ES2320972T3 - Aparato de vacio y metodo. - Google Patents
Aparato de vacio y metodo. Download PDFInfo
- Publication number
- ES2320972T3 ES2320972T3 ES01308428T ES01308428T ES2320972T3 ES 2320972 T3 ES2320972 T3 ES 2320972T3 ES 01308428 T ES01308428 T ES 01308428T ES 01308428 T ES01308428 T ES 01308428T ES 2320972 T3 ES2320972 T3 ES 2320972T3
- Authority
- ES
- Spain
- Prior art keywords
- chamber
- opening
- items
- processing
- articles
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
- H10P72/33—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H10P72/3308—Vertical transfer of a single workpiece
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
- H10P72/0441—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
- H10P72/0451—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
- H10P72/0462—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterised by the construction of the processing chambers, e.g. modular processing chambers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
- H10P72/0451—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
- H10P72/0464—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterised by the construction of the transfer chamber
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
- H10P72/0451—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
- H10P72/0466—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterised by the construction of the load-lock chamber
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
- H10P72/33—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
- H10P72/33—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H10P72/3312—Vertical transfer of a batch of workpieces
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
- H10P72/34—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H10P72/3402—Mechanical parts of transfer devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/70—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping
- H10P72/76—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using mechanical means, e.g. clamps or pinches
- H10P72/7602—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using mechanical means, e.g. clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade or gripped by a gripper for conveyance
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
- Y02A50/00—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE in human health protection, e.g. against extreme weather
- Y02A50/30—Against vector-borne diseases, e.g. mosquito-borne, fly-borne, tick-borne or waterborne diseases whose impact is exacerbated by climate change
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S414/00—Material or article handling
- Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
- Y10S414/139—Associated with semiconductor wafer handling including wafer charging or discharging means for vacuum chamber
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S414/00—Material or article handling
- Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
- Y10S414/14—Wafer cassette transporting
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S414/00—Material or article handling
- Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
- Y10S414/141—Associated with semiconductor wafer handling includes means for gripping wafer
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Transition And Organic Metals Composition Catalysts For Addition Polymerization (AREA)
Abstract
Una cámara de vacío y una cámara de esclusa de carga a través de las cuales se mueven unos artículos hacia dentro y hacia fuera de la cámara de vacío para su procesamiento, que comprende: un alojamiento (11) que circunda un compartimiento que incluye una abertura (29) a través de su pared superior, por la cual se mueven los artículos, una superficie (35) de soporte de artículos situada dentro del compartimiento y que se mueve entre unas posiciones primera y segunda, en donde, cuando ésta está en su primera posición, el soporte de artículos para cubrir y sellar dicha abertura (29), hace contacto con un lado inferior de la pared superior alrededor de la abertura (29) de tal modo que unos artículos (51) se muevan a través de la abertura entre el exterior del alojamiento y dicha superficie; y en donde la segunda posición de la superficie de soporte se retira hacia abajo dentro del compartimiento a cierta distancia de dicha pared superior, una tapa (31) dispuesta en el exterior del compartimiento y que se mueve entre al menos unas posiciones primera y segunda, en donde, cuando ésta está en su primera posición, dicha tapa (31), para cubrir y sellar dicha abertura (29), hace contacto con un lado superior de la pared superior alrededor de la abertura (29), y en donde la segunda posición de la tapa se retira a cierta distancia de la pared superior de tal manera que se hagan pasar artículos a través de la abertura (29), al menos una bomba (19) de vacío conectable (1) para reducir la presión dentro de la cámara de vacío que se forma dentro del compartimiento cuando la superficie (35) de soporte de artículos o la tapa (31) están en sus primeras posiciones, y (2) para reducir la presión dentro de la cámara de esclusa de carga que se forma dentro del compartimiento cuando tanto la superficie (35) de soporte de artículos como la tapa (31) están en sus dichas primeras posiciones, y un mecanismo de transporte (53) dentro del alojamiento (11) que mueve artículos (51) entre la superficie de soporte (35) de artículos cuando esa superficie de soporte está en su dicha segunda posición y un lugar de procesamiento retirado de la segunda posición de la superficie de soporte dentro de la cámara de vacío, caracterizada porque los artículos tienen la configuración de segmentos (107-111) en forma de cuña de un portador (45, 51) de pastillas convexo circular.
Description
Aparato de vacío y método.
La presente invención se refiere en general al
transporte y manipulación de artículos que se someten a procesos de
vacío y, más específicamente, al transporte y manipulación de
pastillas de circuito integrado que se procesan en cámaras de
vacío, tal como por evaporación, deposición de vapor, pulverización
catódica, grabado químico con plasma y similares.
Los circuitos integrados, formados muy
comúnmente sobre sustratos de pastillas silicio semiconductor (Si)
o de arseniuro de galio (GaAs), son sometidos comúnmente a uno o más
pasos de un proceso dentro de una cámara de vacío en el curso de
fabricación de un gran número de réplicas de un circuito integrado
sobre cada pastilla. Con el fin de evitar tener que ventilar la
cámara de procesamiento de vacío cada vez que se cargan o se retiran
una o más pastillas en la cámara de procesamiento y posteriormente
restablecer el vacío antes de que pueda comenzar el procesamiento,
las pastillas se mueven a través de una cámara de esclusa de carga
intermedia. La cámara de esclusa de carga está conectada con la
cámara de vacío a través de una válvula de compuerta y tiene otra
válvula de compuerta que se abre al exterior. La presión dentro de
la cámara de esclusa de carga se puede controlar independientemente
de la que reina en la cámara de procesamiento.
Se cargan pastillas u otros artículos que se van
a procesar en la cámara de procesamiento moviéndolos en primer
lugar hacia la cámara de esclusa de carga a través de su válvula de
compuerta exterior, mientras que la válvula de compuerta que
conecta las dos cámaras permanece cerrada. La cámara de
procesamiento se mantiene a su presión de procesamiento, o muy
cerca de la misma, durante la carga y la descarga. La válvula de
compuerta exterior se cierra a continuación con los artículos
dentro de la cámara de esclusa de carga y la presión dentro de la
cámara de esclusa de carga se reduce hasta un nivel aproximadamente
igual al de la cámara de vacío. La válvula de compuerta entre las
cámaras se abre a continuación y los artículos se mueven hacia la
cámara de procesamiento a través de esa válvula de compuerta. Esta
válvula de compuerta se cierra a continuación y los artículos de la
cámara de procesamiento son procesados. Estos pasos se ejecutan en
orden inverso cuando se sacan al exterior los artículos de la
cámara de procesamiento a través de la cámara de esclusa de carga.
La cámara de esclusa de carga se ventila después de introducir en
la misma los artículos procedentes de la cámara de procesamiento
cuando la cámara de esclusa de carga está a la presión reducida de
la cámara de procesamiento. Algunas máquinas de procesamiento al
vacío tienen dos cámaras de esclusa de carga conectadas por válvulas
de compuerta independientes a la cámara de procesamiento con el fin
de aumentar el rendimiento de pastillas procesadas, usándose una
cámara de esclusa de carga para cargar y la otra para descargar.
En aparatos como los descritos en WO 99/35673 y
US-A-5.391.035 las pastillas se
transfieren desde cámaras de esclusa hacia zonas intermedias o
dispositivos de segundo plano de vacío elevado antes de ser
transportadas a la cámara de procesamiento. En el sistema descrito
en JP11 050253 las pastillas se transfieren hacia una esclusa de
carga mediante un dispositivo de transporte automatizado y luego
directamente hacia la cámara de procesamiento.
En un primer aspecto, la presente invención
proporciona una cámara de vacío y una cámara de esclusa de carga a
través de la cual los artículos se mueven hacia dentro y hacia fuera
de la cámara de vacío para su procesamiento, comprendiendo un
alojamiento (11) que circunda un compartimiento que incluye una
abertura (29) a través de su pared superior, por la cual se mueven
los artículos, una superficie (35) de soporte de artículos situada
dentro del compartimiento y que se mueve entre unas posiciones
primera y segunda, en donde, cuando ésta está en su primera
posición, el soporte de artículos, para cubrir y sellar dicha
abertura (29), hace contacto con un lado inferior de la pared
superior alrededor de la abertura (29) de tal modo que unos
artículos (51) se muevan a través de la abertura entre el exterior
del alojamiento y dicha superficie; y en donde la segunda posición
de la superficie de soporte se retira hacia abajo dentro del
compartimiento a cierta distancia de dicha pared superior, una tapa
(31) dispuesta en el exterior del compartimiento y que se mueve
entre al menos unas posiciones primera y segunda, en donde, esta
tapa cuando está en su primera posición, dicha tapa (31), para
cubrir y sellar dicha abertura (29), hace contacto con un lado
superior de la pared superior alrededor de la abertura (29), y en
donde la segunda posición de la tapa se retira a cierta distancia de
la pared superior de tal manera que se hagan pasar unos artículos a
través de la abertura (29), al menos una bomba (19) de vacío
conectable (1) para reducir la presión dentro de la cámara de vacío
que se forma dentro del compartimiento cuando la superficie (35) de
soporte de artículos o la tapa (31) están en sus primeras
posiciones, y (2) para reducir la presión dentro de la cámara de
esclusa de carga que se forma dentro del compartimiento cuando tanto
la superficie (35) de soporte de artículos como la tapa (31) están
en sus dichas primeras posiciones, y un mecanismo de transporte
(53) dentro del alojamiento (11) que mueve los artículos (51) entre
la superficie de soporte (35) de artículos cuando esa superficie de
soporte esta en su dicha segunda posición de y un lugar de
procesamiento retirado de la segunda posición de la superficie de
soporte dentro de la cámara de vacío, en donde los artículos tienen
la forma de segmentos (107-111) en forma de cuña de
un portador (45, 51) de pastillas convexo circular.
En otro aspecto, la presente invención
proporciona un método de transferencia de artículos hacia dentro y
hacia fuera de una cámara de procesamiento al vacío a través de una
cámara de esclusa de carga, comprendiendo la formación de la cámara
de esclusa de carga alrededor de una abertura (29) a través de una
pared (15) de una envuelta por medio de una superficie (35) de
soporte de artículos que está sellada contra el interior de la
pared alrededor de la abertura (29) y una tapa (31) que está sellada
contra el exterior de la pared (15) alrededor de la abertura (29),
en donde la cámara de procesamiento está formada dentro de porciones
restantes de la envuelta, el movimiento de artículos entre la
cámara de esclusa de carga y el exterior de dicha pared (15)
retirando la tapa (31) de su sello con la pared (15) al tiempo que
la superficie (35) de soporte de artículos permanece sellada contra
la pared (15), la disposición de una abertura (29) entre la cámara
de esclusa de carga y la cámara de procesamiento moviendo la
superficie (35) de soporte de artículos lejos de la pared (15)
mientras la tapa (31) está sellada con el exterior de la pared (15)
alrededor de la abertura (29), y posteriormente el movimiento de
artículos (45, 51) entre la cámara de esclusa de carga y la cámara
de procesamiento a través de dicha abertura, en donde los artículos
primero y segundo (45, 51) son porciones en forma de cuña
(107-111) de bóvedas circulares que alojan una
pluralidad de pastillas de circuito integrado para su
procesamiento.
Una ventaja del mecanismo (53) que intercambia
simultáneamente las posiciones de dos artículos es que aumenta el
rendimiento total del procesamiento al vacío. Cuando se usa para
transferir artículos entre la cámara de esclusa de carga y la
cámara de procesamiento, se mueve un artículo procesado desde la
cámara de procesamiento hacia la cámara de esclusa de carga y se
mueve al mismo tiempo un artículo nuevo desde la cámara de esclusa
de carga hacia la cámara de procesamiento. Puede usarse la misma
técnica con otro mecanismo de transferencia para retirar
simultáneamente un artículo procesado de la cámara de esclusa de
carga hacia el exterior y cargar un artículo nuevo sin procesar
desde el exterior hacia la cámara de esclusa de carga. Según un
aspecto adicional de la presente invención, estas transferencias
simultáneas aumentan el grado de paralelismo del procesamiento de
las pastillas o artículos.
En una aplicación específica de la cámara de
esclusa de carga y del mecanismo de movimiento de artículos, éstos
están incluidos en máquinas que vaporizan material sobre pastillas
dentro de la cámara de procesamiento al vacío. Las pastillas se
mantienen sobre un portador (45, 51) de pastillas en forma de bóveda
durante la evaporación. Dado que las pastillas puede ser muy
frágiles, se prefiere mover el portador (45, 51) de pastillas, con
las pastillas fijadas, hacia dentro y hacia fuera de la cámara de
procesamiento en vez de mover las pastillas individuales. Dado que
tales portadores abovedados (45, 51) pueden ser bastante grandes y
complicados de mover, según un aspecto adicional de la presente
invención, breve y generalmente la superficie abovedada (45, 51)
puede dividirse en segmentos (107-111) con forma de
cuña que se mantienen retirablemente sobre un bastidor circular.
Estos segmentos se mueven uno cada vez entre un bastidor mantenido
en la cámara de procesamiento y otro mantenido en la cámara de
esclusa de carga. Esto mantiene bajos el peso y el tamaño de los
ítems que se estén transfiriendo. Otra característica es que, con
el fin de minimizar adicionalmente el área necesaria para
intercambiar lugares de dos de tales piezas de bóveda, pueden
truncarse sus extremos afilados sin una pérdida significativa de su
capacidad de portar pastillas.
Para situaciones en las que no sea necesario un
gran rendimiento total de los sistemas antes descritos, puede
usarse un mecanismo de transferencia de artículos más sencillo y de
menor coste dentro de la cámara de procesamiento al vacío del tipo
antes descrito. Por tanto, según otro aspecto de la presente
invención un carro se mueve hacia delante y hacia atrás entre
posiciones debajo de la cámara de esclusa de carga y el área de
procesamiento dentro de la cámara de vacío con el fin de transferir
artículos entre estas dos posiciones. El portador (35) para las
pastillas u otros artículos que se van a procesador, que también
sirve como una pared de cámara de esclusa de carga retirable, se
baja sobre el carro y se eleva desde abajo respecto del mismo
mediante una estructura (39) de elevador que atraviesa una abertura
del carro (151). Esta estructura (39) de elevador se retrae debajo
del carro (151) cuando el carro (151) se está moviendo.
Se incluyen características, ventajas y detalles
adicionales de la presente invención en la siguiente descripción de
realizaciones ejemplares de la misma, cuya descripción debe tomarse
en conjunción con los dibujos anexos, en los que:
La figura 1 es un diagrama esquemático de un
aparato de procesamiento al vacío que incluye ciertos aspectos de
la presente invención;
La figura 2 muestra el aparato de la figura 1
con uno de sus elementos movidos hacia una posición diferente;
Las figuras 3A, 3B y 3C ilustran una realización
de un mecanismo de transferencia de artículos que puede usarse en
el aparato de las figuras 1 y 2, así como en otros sitios;
La figura 4 muestra una estructura para elevar
artículos que puede usarse en el mecanismo de transferencia de
artículos de las figuras 3A y 3B;
Las figuras 5A, 5B y 5C ilustran una segunda
realización de un mecanismo de transferencia de artículos que puede
usarse en el aparato de las figuras 1 y 2, así como en otros
sitios;
La figura 6 muestra un portador de pastillas
abovedado segmentado para uso en el aparato de las figuras 1 y 2,
así como en otros sitios;
La figura 7 ilustra una vista en planta del
funcionamiento del aparato de las figuras 1 y 2, o de un aparato de
procesamiento al vacío más convencional, con el portador de
pastillas abovedado segmentado de la figura 6;
La figura 8 es un cronograma que ilustra el
funcionamiento del aparato de procesamiento al vacío tal como se
muestra en la figura 7;
La figura 9 es un diagrama esquemático de un
aparato de procesamiento al vacío similar al ilustrado en las
figuras 1 y 2, pero con un tipo diferente de mecanismo de
transferencia de artículos dentro de la cámara de vacío;
La figura 10 muestra el aparato de la figura 9
con su mecanismo de transferencia de artículos en una posición
diferente;
La figura 11 ilustra esquemáticamente
dispositivos de transferencia de artículos diferentes dentro y fuera
de la cámara de vacío; y
La figura 12 es una vista parcialmente recortada
de una máquina completa para procesar pastillas que incluye
dispositivos para transportar pastillas a su través.
Haciendo referencia inicialmente a las figuras 1
y 2, se ilustra esquemáticamente la estructura de un cámara de
vacío 11. La cámara 11 está rodeada por paredes que incluyen una
pared inferior 13 y una pared superior 15. La presión dentro de la
cámara 11 se reduce retirando aire u otros gases a través de un
pasadizo 17 mediante una bomba de vacío 19. La cámara 11 se ventila
mediante el funcionamiento de una válvula 21 para permitir que un
gas, usualmente un gas inerte tal como nitrógeno, entre en la cámara
11 a través de un pasadizo 23 y del pasadizo 17. Un sistema de
control 25 basado en ordenador controla el funcionamiento de la
bomba de vacío 19, la válvula de ventilación 21 y otros elementos
del aparato de la figura 1 descritos a continuación, según se
muestra en el dibujo. Unos dispositivos 27 de interfaz humana, que
pueden incluir un monitor y un teclado, permiten que el operador
del aparato establezca parámetros de operación y controle de otra
manera su funcionamiento.
Los artículos que se van a procesar en la cámara
de vacío 11, siendo los artículos en este ejemplo específico
pastillas de circuito integrado, se transfieren hacia dentro y hacia
fuera de la cámara 11 a través de una abertura 29 de la pared
superior 15 de dicha cámara. Dos elementos operan en cooperación uno
con otro para mantener la abertura 29 sellada para evitar que
entren aire u otros gases en la cámara de vacío 11 a través de la
abertura 29. Uno de ellos es una tapa 31 que proporciona esta junta
de sellado cuando se coloca frente a un elemento 33 de sellado
alojado en el exterior de la pared 15 alrededor de la abertura 29.
Sin embargo, según se muestra en línea de trazos, la tapa 31 es
retirable de la pared 15 para permitir que las pastillas atraviesen
la abertura 29. El segundo elemento de sellado es un soporte 35 de
pastillas que cierra totalmente la abertura 29 cuando es empujado
hacia arriba contra un elemento de sellado 37 alojado en un lado
inferior de la pared superior 15 de la cámara. El soporte 35 es así
empujado por un mecanismo adecuado 39 y una fuente motriz 41 que
también son operables para bajar la superficie hasta una posición
mostrada en la figura 2 lejos de la pared superior 15. La fuente
motriz 41 puede ser un motor de pasos eléctrico, un servomotor
eléctrico, un dispositivo neumático o cualquier otro dispositivo
convencional que, al cooperar con el mecanismo 39, proporcione un
movimiento vertical lineal al soporte 35. Un ejemplo del mecanismo
39 es un husillo que sea hecho girar por la fuente motriz 41.
Durante el funcionamiento normal del aparato de las figuras 1 y 2,
la tapa 31 o el soporte 35 sella la abertura 29 en todo
momento.
La tapa 31 y el soporte 35 de pastillas forman
conjuntamente entre ellas una cámara 43 de esclusa de carga (figura
1). La tapa 31 funciona como una válvula de compuerta de la cámara
43 de esclusa de carga hacia el exterior. El soporte 35 de
pastillas funciona como una válvula de compuerta de la cámara 43 de
esclusa de carga hacia la cámara de vacío 11. Se mueven
convenientemente a la vez múltiples pastillas a través de la cámara
43 de esclusa de carga sobre un portador 45. Para cargar la cámara
de va-cío 11 con un lote nuevo de pastillas que se
van a procesar, tal portador 45 se coloca dentro de la cámara 43 de
esclusa de carga desde el exterior cuando la tapa 31 está abierta y
el soporte 35 de pastillas se sella contra la pared superior 15.
Preferiblemente, las pastillas se cargan previamente sobre el
portador antes de que éste se coloque sobre el soporte 35 para
proporcionar un rendimiento total incrementado de pastillas a través
de la máquina de procesamiento, pero alternativamente pueden
cargarse sobre un portador mientras están colocadas sobre el soporte
35 en la cámara 43 de esclusa de carga. La tapa se cierra entonces
para sellar la cámara de esclusa de carga respecto del exterior y
se reduce la presión en la cámara 43 de esclusa de carga hasta un
nivel que se aproxime al del interior de la cámara de vacío 11.
Esto se hace a través de un pasadizo 47 por la bomba de vacío 49.
Una vez que se ha reducido la presión, el soporte 35 de pastillas
despega de la pared superior 15 y se baja hasta la posición
mostrada en la figura 2, mientras la tapa 31 permanece sellada
contra el exterior de la pared superior 15. El portador de pastilla
se retira entonces del soporte 35 y se mueve hacia la posición
mostrada para que dicho soporte sea ocupado por otro portador 51 a
fin de procesar las pastillas sobre el portador. Un mecanismo de
movimiento 53 se ilustra generalmente en las figuras 1 y 2 para
lograr esto.
Como un ejemplo específico, el procesamiento de
pastillas que se ilustra es la evaporación de un metal u otro
material sobre las pastillas cuando están sobre el portador 51 que
se mantiene suspendido desde la pared superior 15 de la cámara de
vacío 11. Se ilustra una fuente 55 de material que se está
evaporando sobre las pastillas dentro de la cámara de procesamiento
al vacío 11. Un portador de pastillas que se están procesando de
esta manera tiene típicamente forma de bóveda, tal como la mostrada
para los portadores 45 y 51. Si se está realizando un proceso
distinto del de evaporación dentro de la cámara de vacío 11, puede
usarse un tipo y forma diferentes de portador de pastillas. Existen
otras posibilidades como una placa plana, en donde las pastillas son
transportadas sobre una superficie plana, o una barca, en donde las
pastillas se mantienen erguidas. Además, cada pastilla puede
transferirse y procesarse alternativamente de manera individual,
pero esto es usualmente bastante ineficiente y no adecuado para las
pastillas de arseniuro de galio más frágiles.
Se retira un portador de pastillas de la cámara
de vacío 11, después de haber sometido sus pastillas al
procesamiento en el mismo, mediante una serie de pasos que son la
inversa de los anteriormente descritos para cargar el portador de
pastillas. Un portador, tal como el portador 45 ilustrado en las
figuras 1 y 2, se coloca sobre el soporte 35 por el mecanismo de
transferencia 53, de una manera como la descrita a continuación,
cuando el soporte 35 está en su posición inferior mostrada en la
figura 2. A continuación se eleva el soporte 35 por el mecanismo 39
y 41 hasta una posición en donde sella el lado inferior de la pared
superior, según se ilustra en la figura 1. La tapa 31 permanece
sellada sobre la abertura 29 durante estos pasos. La cámara 43 de
esclusa de carga, que ahora es un compartimiento separado sellado
respecto del exterior y de la cámara de vacío 11, se ventila
entonces a través de una válvula 57 y el pasadizo 47 mediante la
introducción preferiblemente de un gas inserte. Cuando la cámara 43
de esclusa de carga tiene una presión igual o próxima a la del
exterior del aparato, se abre la tapa 31 y el portador de pastillas
se retira del soporte 35 a través de la abertura 29 de la pared. La
cámara de vacío 11 permanece sellada respecto del exterior durante
la retirada del portador por el soporte 35 que está sellado contra
la pared superior 15.
La cámara 43 de esclusa de carga de las figuras
1 y 2 puede verse en un sentido más tradicional observando que el
pasadizo 29 a través de la pared 15 tiene una abertura exterior, que
se cierra y se sella selectivamente por el elemento 31, y una
abertura interior, que se cierra y se sella selectivamente por el
elemento 35. En vez de usar una válvula de compuerta deslizante
tradicional para abrir y cerrar la abertura del pasadizo hacia la
cámara de vacío 11, el elemento 35 se mueve hacia atrás y hacia
delante en una dirección que es sustancialmente perpendicular a un
plano de esa abertura interior. Además, este elemento 35 de válvula
también sirve para mover los artículos parte del camino entre la
cámara 43 de esclusa de carga y la cámara de procesamiento 11, lo
que es bastante diferente de la función realizada por la válvula de
compuerta usual. Aunque esta estructura se forma en una pared
superior del alojamiento, podría formarse una estructura algo
modificada alrededor de un pasadizo a través de una pared de
alojamiento lateral verticalmente orientada, en donde el elemento de
válvula que sella la abertura del pasadizo hacia la cámara de
procesamiento también transporta artículos con él a medida que se
mueva hacia la cámara de procesamiento alejándose de la abertura y
volviendo de nuevo para sellar la abertura interior del
pasadizo.
El mecanismo 53 de transferencia del portador de
pastillas de las figuras 1 y 2 intercambia las posiciones de los
portadores 45 y 51, con el fin de colocar pastillas nuevas dentro de
la cámara de vacío 11 para su procesamiento y coloca pastillas ya
procesadas sobre el soporte 35 para su retirada de la cámara de
vacío 11. El mecanismo 53 puede ser de un tipo que en primer lugar
mueve temporalmente uno de los portadores 45 y 51 hacia una tercera
posición, seguido de la transferencia del otro portador y luego
seguido del movimiento adicional del portador desde la tercera
posición temporal. Una desventaja de este tipo de mecanismo de
movimiento es que lleva cierto tiempo realizar todos los varios
pasos individuales y requiere que la cámara de vacío tenga
suficiente espacio para la tercera posición temporal del portador de
pastillas.
Por tanto, el mecanismo de transferencia 53 es
preferiblemente de un tipo que intercambia simultáneamente las
posiciones del portador de pastillas situado sobre el soporte 35 y
el portador de pastillas que cuelga en la cámara de procesamiento
al vacío. Se ilustra en las figuras 3A, 3B y 3C una realización del
mecanismo de transferencia 53 para hacer esto. Se ilustra el
intercambio de las posiciones de dos portadores 61 y 63 de
pastillas. El mecanismo de transferencia incluye un brazo principal
65 que pivota alrededor de un punto fijo 67. Dos brazos más cortos
69 y 73 están fijados a extremos opuestos del brazo 65 de manera que
sean giratorios con respecto al brazo 65 alrededor de unos puntos
de conexión respectivos 71 y 75. Un único brazo que tiene una
longitud igual a la longitud combinada de los brazos 65, 69 y 73
(según se ilustra mejor en la figura 3A) podría usarse con ventaja
para intercambiar posiciones de los portadores 61 y 63 girando
sencillamente ese brazo 180º alrededor del punto 67. Pero esto
requiere que se disponga para este fin de una gran área dentro del
círculo 77 de trazos. Cuando se está ejecutando dentro de la cámara
de vacío 11 (figuras 1 y 2), esta gran oscilación requiere que la
anchura de la cámara 11 sea mucho mayor de lo que sería necesario de
otro modo para encajar cada vez uno de los portadores 61 o 63.
Por tanto, los portadores 61 y 63 se mueven en
primer lugar lateralmente y de manera conjunta antes de que el
brazo 65 sea hecho girar alrededor del punto 67, según se muestra en
la figura 3B. Los portadores se mueven conjuntamente haciendo girar
simultáneamente cada uno de los brazos 69 y 73 alrededor de sus
puntos 71 y 75 de pivote respectivos sobre el brazo principal 65,
mientras se hace girar el brazo principal 65 en el sentido de las
agujas del reloj alrededor del punto 67 de pivote en un ángulo agudo
que depende del tamaño de los portadores y de otra geometría del
mecanismo. Los portadores se mueven así linealmente uno hacia
otro.
Ahora, cuando los brazos y portadores en las
posiciones de las figura 3B se hacen girar sustancialmente 180º
alrededor del punto 67 de pivote, se requiere para la rotación un
área mucho más pequeña dentro de un círculo 79 de trazos. La figura
3C muestra los portadores y los elementos del mecanismo de
transferencia después de esa rotación en líneas continuas. Un paso
siguiente consiste en mover linealmente los portadores 61 y 63
alejándolos uno de otro mediante una rotación simultánea de los
brazos 65, 69 y 73 alrededor de sus puntos de pivote respectivos
hasta que los brazos están en una línea recta. El brazo principal 65
se hace girar en una dirección contraria a la de las agujas del
reloj alrededor de su punto 67 de pivote. Esto da como resultado que
los portadores 61 y 63 se muevan hacia las posiciones 61' y 63'
mostradas en línea de puntos en la figura 3C. El portador 61 está
entonces en el lugar anteriormente ocupado (figura 3A) por el
portador 63, y el portador 63 está en el lugar anteriormente
ocupada por el portador 61.
Con referencia a la figura 4, se ilustra una
estructura ejemplar 81 para los extremos libres de los brazos 69 y
73 de las figuras 3A-C a fin de elevar y mover
fácilmente un portador de pastillas. Un dispositivo similar a un
gancho se fija el punto medio de cada portador de pastillas de modo
que el portador esté equilibrado cuando sea elevado por la
estructura 81. Tal gancho 77 está fijado al portador 45 de pastillas
y otro gancho 79 está fijado al portador 51 (figuras 1 y 2). Un
ejemplo de este gancho se muestra en la figura 4. Un poste 83 está
fijado al centro del portador para extenderse hacia arriba del
portador. Unos pasadores 85 y 87 se extienden hacia el exterior de
unos lados opuestos del poste 83 cerca de su extremo. La estructura
de elevación 81 incluye dos brazos que están separados uno de otro
para cabalgar sobre el poste 83 a medida que son movidos bajo los
pasadores respectivos 85 y 87 a fin de acoplar los pasadores dentro
de unos rebajos respectivos 89 y 91 de los brazos.
Las fuentes motrices que mueven los brazos
descritos con respecto a las figuras 3A-C y 4 no se
muestran en esos dibujos, pero se comprenderá que están incluidas
como parte del mecanismo de transferencia 53 de las figuras 1 y 2,
y son controladas por el sistema de control 25. Un motor eléctrico
sencillo fijado a un lado inferior de la pared superior 15 de la
cámara de vacío 11 puede hacer girar el brazo principal 65. Unos
motores pequeños fijados a los extremos del brazo 65 pueden hacer
girar los brazos 69 y 73 con respecto al brazo 65 y proporcionar la
pequeña cantidad de movimiento vertical usado por el sistema de
elevación del portador de la figura 4, si se usa éste. Por
supuesto, existen muchos otros dispositivos y técnicas disponibles
que pueden usarse en su lugar para mover los elementos de los
mecanismos de las figuras 3A-C y 4 de la manera
descrita.
Se muestra en las figuras 5A-C
una alternativa al mecanismo de intercambio de posición del portador
de las figuras 3A-C. Se intercambian las posiciones
de dos portadores 93 y 95 tal como se hace dentro de la cámara de
vacío 11 (figuras 1 y 2) por el mecanismo 53. Se hace girar un brazo
oscilante formado por unos segmentos 96 y 98 unidos en un pivote 97
alrededor de un pivote fijo 99 por una fuente motriz apropiada. Un
segundo brazo 101 está fijado pivotadamente en su parte central a
otro extremo del brazo 96, 98 en un punto 103. Como un primer paso
en el intercambio de los portadores 93 y 95, los brazos se mueven
hacia las posiciones mostradas en la figura 5A, en donde un extremo
del brazo 101 se acopla con el gancho de elevación del portador 93.
El conjunto se mueve a continuación, transportando con él al
portador 93, hasta la posición mostrada en la figura 5B, en donde
el otro extremo del brazo 101 se acopla con el gancho del portador
95.
Los dos portadores 93 y 95 se mantienen ahora
muy cercanos uno a otro de modo que la rotación del brazo 101 con
respecto al brazo 96 alrededor del pivote 103 puede tener lugar
dentro de un espacio confinado. Usualmente es preferible mover en
primer lugar el brazo oscilante 96, 98 hacia una posición intermedia
mostrada en la figura 5C. La rotación de 180º del brazo 101 en el
sentido de las agujas del reloj o en sentido contrario a las mismas
coloca entonces los portadores en las posiciones mostradas en la
figura 5C. Los brazos se operan a continuación en el orden inverso
respecto del mostrado en las figuras 5A y 5B para separar los
portadores 93 y 95 uno de otro en la misma distancia que la
mostrada en la figura 5A. Se observará que la rotación se logra
dentro de un área pequeña definida por un círculo 105 de trazos.
Aunque se desea mantener el punto 99 de pivote dentro de ese
círculo a fin de minimizar la anchura de la cámara de vacío en la
que se instala este mecanismo, puede ser preferible en ciertas
circunstancias mover el pivote fuera del círculo. Una circunstancia
en donde esto es preferible es si el pivote 99 y/o una fuente motriz
que acciona el segmento de brazo oscilante estuvieran colocadas en
la trayectoria recorrida por uno de los portadores 93 y 95 cuando se
hace girar el brazo 101. La localización del punto 99 de pivote y
una fuente motriz de accionamiento fuera del círculo 105 eliminan
entonces este obstáculo. El segmento 96 de brazo se mueve con
respecto al segmento 98 de brazo por otra fuente motriz controlada
por separado.
Con el fin de procesar muchas pastillas a la vez
dentro de la cámara de vacío 11 del aparato ilustrad en las figuras
1 y 2, se hace que los portadores (45, 51) de pastillas alojen un
gran número de pastillas. Los portadores pueden hacerse entonces
bastante grandes, pesados y difíciles de mover según la manera antes
expuesta. Por tanto, en ciertas circunstancias, es preferible mover
cada vez sólo parte del portador de pastillas. Se muestra en la
figura 6 un ejemplo de un portador que puede moverse en piezas. La
superficie abovedada se divide en múltiples segmentos en forma de
cuña o tarta, en este caso cinco segmentos 107-111.
Los segmentos se mantienen sujetos por un bastidor que incluye una
pieza circular 113 que define una circunferencia exterior del
portador. Extendiéndose radialmente hacia el exterior entre un buje
central 115 y la pieza circular 113 hay cinco radios, uno entre cada
una de las piezas 107-111 de cuña.
Cada segmento en forma de cuña incluye una serie
de aberturas circulares, tal como la abertura 117 en la cuña 110.
Una pastilla circular que tiene un diámetro ligeramente mayor que el
diámetro de estas aberturas está sujeta de una manera usual en la
parte superior de la superficie abovedada sobre cada una de las
aberturas mediante unas grapas. Cada cuña incluye una estructura de
gancho, tal como el gancho 119, con la que el dispositivo 81
(figura 4) puede usarse para elevar individualmente cada cuña sobre
y fuera del bastidor del portador. Cada gancho está situado en una
posición sobre la superficie de su pieza en forma de cuña de modo
que la cuña se equilibra cuando es elevada por el gancho con una
carga completa de pastillas.
Por tanto, en vez de intercambiar portadores de
pastillas enteros en una operación, el uso del portador segmentado
requiere una serie de operaciones de intercambio del tipo antes
expuesto que iguale el número de segmentos de bóveda, cinco en este
caso. Una facilidad y velocidad mayores al transferir los segmentos
individuales, frente a la transferencia cada vez de un portador
entero, compensa parte del tiempo adicional requiero para realizar
los cinco intercambios separados. Por supuesto, el portador puede
dividirse en algún número de segmentos distinto de cinco
dependiendo de las particularidades de cualquier aplicación
dada.
La figura 7 ilustra, en una vista en planta, el
uso de portadores de pastillas segmentados en un sistema de
procesamiento al vacío para aumentar el rendimiento total del
sistema. Se posiciona un bastidor de portador en cada una de un
área de carga externa fuera del sistema de vacío, una cámara de
esclusa de carga y una cámara de procesamiento, según se muestra.
Los segmentos abovedados en forma de cuña se transfieren entonces
uno cada vez entre estos bastidores. Por ejemplo, pueden
transferirse segmentos entre los bastidores de portador de las
cámaras de esclusa de carga y de procesamiento mediante uno
cualquiera de los mecanismos expuestos anteriormente con respecto a
las figuras 3A-C y 5A-C. Se muestra
mediante líneas de segmentos de trazas en la figura 7 la
realización de un intercambio de dos segmentos 121 y 123 de
bastidores de portador adyacentes que están enfrentados uno a otro.
Estos segmentos opuestos son elevados respecto de sus bastidores de
portador respectivos, se mueven conjuntamente, se hacen girar 180º
alrededor de un punto 125 de pivote fijo, se separan de nuevo y
posteriormente se asientan sobre el bastidor de portador opuesto
desde el cual se pusieron en marcha.
Se hace girar entonces 72º cada uno de los
bastidores de portador de las cámaras de esclusa de carga y de
procesamiento y se intercambian dos nuevos segmentos de portador en
forma de cuña que miran uno hacia otro. Esto acontece cinco veces,
después de lo cual se cierra una válvula de compuerta entre las
cámaras de esclusa de carga y de procesamiento. Posteriormente, se
procesa un lote nuevo de pastillas dentro de la cámara de
procesamiento.
Durante el tiempo en el que se procesan las
pastillas del portador dentro de la cámara de procesamiento, se
abre una válvula de compuerta entre la cámara de esclusa de carga y
un muelle de carga exterior y se intercambian segmentos portadores
de pastillas entre los bastidores de portador en esos dos lugares.
Esto se puede lograr de la misma manera anteriormente descrita para
la transferencia entre los portadores dentro de las cámaras de
esclusa de carga y de procesamiento. Alternativamente, cuando no hay
restricciones de espacio que dicten lo contrario, no es necesario
mover conjunta y separadamente segmentos opuestos antes y después de
la rotación, simplificando así un poco el mecanismo de
transferencia. El mecanismo de transferencia puede ser en entonces
un solo brazo 127 que tenga una longitud que se extienda entre
ganchos de segmento de portador opuestos con rotación alrededor de
un pivote fijo 129.
Como alternativa al brazo 127 de intercambio de
segmentos, puede usarse un mecanismo de brazo robótico disponible
estándar para mover los segmentos uno cada vez entre la cámara de
esclusa de carga y el muelle de carga externo. Esto no requiere que
los bastidores de segmento del muelle de carga externo y la cámara
de esclusa de carga sean hechos girar entre transferencias. El
mismo brazo robotizado también puede usarse para cargar y descargar
pastillas de los segmentos cuando están posicionados sobre el muelle
de carga. En realidad, aunque no se prefiere debido al rendimiento
total reducido que resulta, pueden cargarse y descargarse las
pastillas desde el exterior de la cámara de esclusa de carga
directamente sobre y desde la superficie abovedada de la cámara de
esclusa de carga.
Se puede reducir adicionalmente el tamaño de los
segmentos del portador de pastillas en forma de cuña con el fin de
que ocupen menos espacio para intercambiarlos entre las cámaras de
esclusa de carga y de procesamiento. Esto se ilustra en la figura
7, en donde un extremo afilado del segmento 121 se muestra
alternativamente recortado a lo largo de una línea 131 como una
alternativa a la forma previamente mostrada y comentada.
Similarmente, el segmento 123 se muestra alternativamente truncado
a lo largo de una línea 133. Esto puede reducir el número de
pastillas que pueden ser transportadas individualmente por un
segmento individual, pero tiene la ventaja de ocupar menos espacio
para girar alrededor del punto 125 de pivote, lo cual puede cobrar
importancia en configuraciones específicas del aparato de
procesamiento.
Asimismo, se observará que los ganchos
dispuestos como parte de los segmentos del portador de pastillas
mostrados en la figura 7 son diferentes de los mostrados en la
figura 6. Por ejemplo, un gancho 135 fijado al segmento 123 (figura
7) tiene una forma de lazo que es diferente de la forma del gancho
119 del segmento 110 del portador (figura 6). Muchas formas
alternativas pueden servir para permitir que los segmentos sean
elevados y movidos individualmente.
El sistema de movimiento del portador de
pastillas de la figura 7 puede implementarse en el sistema antes
descrito con respecto a las figuras 1 y 2. Un bastidor de portador
de pastillas está colgado de la pared superior 15 de la cámara de
procesamiento, uno está tendido sobre el soporte 35 y otro está
colocado fuera del aparato en un muelle de carga. Se añade otro
motor para hacer girar independientemente cada uno de estos tres
bastidores durante las transferencias de segmentos del portador.
Este sistema también puede implementarse en un aparato de
procesamiento más tradicional que tenga una válvula de compuerta
vertical entre la cámara de esclusa de carga y la cámara de
procesamiento, y otra válvula de compuerta vertical entre la cámara
de esclusa de carga y el muelle de carga externo.
Una ventaja de las técnicas de transferencia de
pastillas descritas anteriormente es que dan como resultado una
alta productividad de pastillas a procesar dentro de la cámara de
vacío. Por supuesto, esto reduce el coste por pastilla del
procesamiento. Un diagrama de líneas de tiempo de la figura 8
proporciona un resumen del funcionamiento del sistema ilustrado en
la figura 7. Este diagrama ilustra el paralelismo que existe en el
funcionamiento del sistema. Esto da como resultado una productividad
incrementada de pastillas. La curva superior de la figura 8 muestra
las operaciones de transferencia repetitivas del muelle de carga
externo en función del tiempo. La curva del centro de la figura 8
ilustra las operaciones que tienen lugar al mismo tiempo dentro de
la cámara de esclusa de carga. La curva inferior de la figura 8
identifica las operaciones de la cámara de procesamiento. Las tres
curvas están representadas con respecto a una escala temporal
horizontal común.
En un intervalo de tiempo m (figura 8), el
muelle de carga está recibiendo simultáneamente un lote 0 de
pastillas previamente procesadas desde la cámara de esclusa de
carga a través de su válvula de compuerta externa abierta, y está
cargando un lote nuevo 2 de pastillas en la cámara de esclusa de
carga. Este intercambio de pastillas se ilustra entre las curvas
superior y central. Asimismo, durante el intervalo m, un lote 1 de
pastillas está siendo procesado dentro de la cámara de
procesamiento (curva inferior). Dado que la válvula de compuerta
externa de la cámara de esclusa de carga se abre hacia el exterior,
la válvula de compuerta interna entre la cámara de esclusa de carga
y la cámara de procesamiento se cierra con el fin de que se mantenga
un vacío en la cámara de procesamiento.
\newpage
Durante el siguiente intervalo de tiempo n, las
pastillas procesadas del lote 0 son descargadas desde el muelle de
carga externo. La cámara de esclusa de carga se cierra al exterior,
se bombea hasta una presión que es aproximadamente la de la cámara
de procesamiento y se abre entonces la válvula de compuerta entre
las cámaras de esclusa de carga y de procesamiento. El
procesamiento del lote 1 de pastillas continúa durante este tiempo
en la cámara de procesamiento.
Posteriormente, las pastillas se transfieren
entre la cámara de esclusa de carga y la cámara de procesamiento
durante el siguiente intervalo de tiempo p. El lote 1 de pastillas
se mueve hacia fuera de la cámara de procesamiento y durante este
tiempo se mueve un lote nuevo 2 de pastillas hacia el interior de la
cámara de procesamiento.
En el siguiente intervalo de tiempo q, se cierra
la válvula de compuerta entre la cámara de esclusa de carga y la
cámara de procesamiento, se ventila la cámara de esclusa de carga a
aproximadamente la presión atmosférica y se abre posteriormente al
exterior la válvula de compuerta. Durante este tiempo, el lote 2 de
pastillas está siendo procesado dentro de la cámara de
procesamiento y se está cargando un nuevo lote 3 en el muelle de
carga.
Después de los intervalos de tiempo secuenciales
m, n, p y q, se repiten los mismos pasos en el mismo orden durante
intervalos de tiempo subsiguientes con lotes diferentes de
pastillas. Se ejecutan las mismas operaciones durante el intervalo
de tiempo r que las que se hicieron durante el intervalo de tiempo
m, excepto que se intercambian lotes diferentes de pastillas entre
el muelle de carga y la cámara de esclusa de carga. Similarmente,
durante el intervalo s se repiten las operaciones que tienen lugar
durante el intervalo de tiempo n excepto que se está procesando un
lote diferente de pastillas, otro lote está presente en la cámara de
esclusa de carga y un lote diferente está siendo descargado desde
el muelle de carga.
En aplicaciones en las que no es necesario un
mecanismo de transporte por intercambio de artículos, o en donde
éste es más complejo que lo requerido por una aplicación particular,
puede moverse un mecanismo de transporte alternativo más sencillo
pero mejorado ilustrado en las figuras 9 y 10. El aparato de vacío
de las figuras 9 y 10 es el mismo que el descrito anteriormente con
respecto a las figuras 1 y 2, usándose los mismos números de
referencia para identificar características correspondientes. El
mecanismo de transporte 53 de la realización anterior se implementa
en las figuras 9 y 10 mediante un carro 151 que se puede mover
libremente hacia delante y hacia atrás a lo largo de unos carriles
horizontales de soporte 153. Cuando está en una posición bajo la
cámara de esclusa de carga (figura 9), una plataforma 155 fijada a
la parte superior del mecanismo de movimiento vertical 39 puede
hacer contacto con un lado inferior del soporte 35 a través de una
abertura 157 del carro 151. El soporte 35 puede moverse entonces
entre la posición mostrada en la figura 9, en donde el soporte 35
está descansando sobre el carro 151, y una posición en la que el
soporte 35 está sellado con el lado inferior de la pared superior
15 para formar la cámara de esclusa de carga 43 (figura 1).
El carro 151 puede moverse a lo largo de los
carriles 153 mediante cualquier fuerza motriz conveniente. Un
mecanismo de movimiento adecuado es un yugo escocés en el que una
ranura que se extiende a lo largo del lado derecho del carro 35 y
que entra en la página de las figuras 9 y 10 aloja una varilla que
se mueve hacia delante y hacia atrás dentro de la ranura al tiempo
que se hace girar un brazo fijado a la varilla mediante un motor o
alguna otra fuente motriz. Por supuesto, la plataforma 155 y el
mecanismo 39 se retraen hasta una posición mostrada en la figura 10
que está por debajo del carro 151 antes de que el carro sea movido a
lo largo de los carriles. Cuando el carro 151 está en la posición
mostrada en la figura 10, se deja caer un gancho 80 desde el
mecanismo de soporte 78 del portador para acoplarlo con el gancho
conjugado 77 del portador y elevar el portador 45 de pastillas
hacia arriba para su procesamiento y bajar de nuevo el portador 45
sobre el carro después de su procesamiento para transportarlo de
vuelta a la posición mostrada en la figura 9 bajo la cámara de
esclusa de carga.
El funcionamiento cíclico del mecanismo de
transporte ilustrado en las figuras 9 y 10 es como sigue. Se coloca
un portador con pastillas no procesadas a través de la abertura 29
sobre el soporte 35 cuando ésta sellado contra el lado inferior de
la pared superior 15. Se cierra entonces la tapa 31 y se la sella
contra la pared 15, y se reduce la presión dentro de la cámara de
esclusa de carga sellada. Después de rebajar la presión hasta una
presión sustancialmente igual a la del interior de la cámara de
vacío 11, se baja posteriormente la plataforma de soporte 155 para
que sitúe el soporte 35 sobre el carro 151 (figura 9), y la
plataforma 155 se baja adicionalmente entonces para despejar el
carro 151. El carro 151 y el portador de pastillas se mueven
entonces hacia la posición de procesamiento (figura 10) dentro de la
cámara de vacío 11. El gancho 80 se baja entonces para acoplarse
con el gancho 77 del portador de pastillas y eleva el portador 45 de
pastillas por encima del carro 151 (no mostrado), y el carro 151 se
mueve de vuelta hacia el lado izquierdo de la cámara 11 durante el
procesamiento de las pastillas. Después del procesamiento, el carro
151 se mueve de nuevo hacia el lado derecho, bajo el portador de
pastillas, y éste se baja sobre el carro. El carro 151 se devuelve
entonces al lado izquierdo, se eleva la plataforma 155 a través de
la abertura 157 de carro y se levanta el soporte 35 para que se
selle contra el lado inferior de la pared superior 15. La cámara de
esclusa de carga resultante se ventila a continuación, se abre la
tapa 31 y se retira el carro o las pastillas que están sobre él. A
continuación, pueden colocarse nuevas pastillas dentro de la cámara
de esclusa de carga para su transporte a la cámara de
procesamiento.
Aunque la realización que emplea el carro 151 se
muestra en las figuras 9 y 10 para que se implemente con la cámara
de esclusa de carga ilustrada en las figuras 1 y 2, tal carro
también puede usarse con una cámara de esclusa de carga
convencional que tenga una válvula de compuerta vertical entre ella
y la cámara de procesamiento. La manera en la que el portador de
pastillas se carga en el carro y se descarga del mismo dentro de la
cámara de esclusa de carga es, por supuesto, diferente de la
mostrada en las figuras 9 y 10. En primer lugar, el carro se
posiciona dentro de la cámara de esclusa de carga con su válvula de
compuerta, verticalmente orientada hacia la cámara de
procesamiento, cerrada y con una válvula de compuerta, verticalmente
orientada hacia el exterior, abierta. Por ejemplo, un brazo
robotizado situado en el exterior eleva entonces el portador de
pastillas sobre el carro o fuera del mismo desde el exterior de la
cámara de esclusa de carga. Por ejemplo, después de cargar un
portador de pastillas nuevas sobre el carro se cierra la válvula de
compuerta exterior, se bombea la cámara de esclusa de carga, se
abre la válvula de compuerta hacia la cámara de procesamiento y se
mueve el carro hacia la cámara de procesamiento con el portador de
pastillas sobre el mismo. El portador de pastillas se eleva
entonces hasta una posición para su procesamiento y el carro se
mueve hacia fuera desde debajo de las pastillas durante el
procesamiento. Después del procesamiento, se retira el portador de
pastillas colocándolo sobre el carro y retirando el mismo mediante
una inversión de estos pasos.
Se ilustra generalmente por la figura 11 aún
otra técnica de transporte simplificada. Una cámara de procesamiento
al vacío 161 incluye una lugar 163 para el procesamiento de un
artículo y una lugar 165 que está dentro de una cámara de esclusa
de carga o alineada bajo la misma. Esto es similar a lo que se ha
descrito anteriormente. Sin embargo, lo que es diferente en esta
disposición es el uso de otro lugar 167 dentro de la cámara de vacío
para el almacenamiento temporal de un portador de pastillas, una
porción de un portador de pastillas u otro artículo que se esté
moviendo entre los dos lugares 163 y 165. Un brazo robotizado 169
dentro de la cámara 161 mueve un artículo cada vez entre los
lugares 163, 165 y 167. Un procedimiento específico es como sigue.
Un artículo que se ha procesado se mueve por el brazo 169 desde el
lugar 163 hasta el lugar 167 y un artículo que se ha de procesar
que anteriormente ha estado almacenado en el lugar 165 se mueve
desde el lugar 165 hasta el lugar 163. El artículo procesado se
mueve posteriormente desde el lugar 167 hasta el lugar 165. El
artículo del lugar 165 se retira entonces de la cámara de esclusa
de carga y se le sustituye por otro que ha de ser procesado
durante el tiempo en que se está procesando el artículo en el lugar
163. Después de que este procesamiento está completo, termina la
secuencia de movimiento de los artículos. Por supuesto, este
procedimiento puede modificarse moviendo un artículo nuevo hacia
dentro del lugar 167 de intercambio mientras otro está siendo
procesado en el lugar 163, seguido del movimiento del artículo
procesado directamente desde el lugar 163 hasta el lugar 165,
seguido a continuación por el movimiento del artículo nuevo desde el
lugar 167 hasta el lugar 163. Como alternativa adicional, el brazo
robotizado 169 puede reemplazarse por un dispositivo de
transferencia giratorio que funcione de modo similar a la lanzadera
151 del carro lineal de la realización de las figuras 9 y 10,
excepto en que este dispositivo de transferencia gira.
Un mecanismo 171 de brazo robotizado estándar
puede usarse para mover un artículo cada vez entre la cámara de
esclusa de carga 165 y el lugar 173 de carga externo.
Alternativamente, los artículos pueden transferirse entre los
lugares 165 y 173 intercambiándolos simultáneamente, según se
describió previamente. En el caso de que los artículos que se estén
procesando sean pastillas, otro mecanismo robotizado 175 mueve unas
pastillas procesadas desde un portador en la posición 173 hasta
unos cartuchos 177 de pastillas y unas pastillas nuevas desde los
cartuchos 177 hasta un portador en la posición 173.
Tal lugar de intercambio también puede incluirse
en la realización de las figuras 9 y 10 con el fin de aumentar el
rendimiento total de esa máquina de procesamiento. Se incluye otro
mecanismo, no mostrado, dentro de la cámara de vacío 11 para elevar
un portador de pastillas fuera del carro 151 en un lugar de
intercambio. Esto permite entonces que otro portador de pastillas
sea movido entre las dos posiciones mostradas en las figuras 9 y
10, de la misma manera que la descrita con respecto a la figura 11,
pero con un mecanismo diferente.
El dibujo de la figura 12 ilustra una máquina de
evaporación para procesar pastillas que utiliza una combinación
particular de las técnicas de manipulación y transferencia de
pastillas descritas anteriormente. Un bastidor 181 de un soporte de
pastillas abovedado cuelga dentro de una cámara de procesamiento
183, que se muestra con su lado retirado con fines de discusión. El
bastidor 181 transporta segmentos en forma de cuña de la superficie
de portador abovedada, según se describió anteriormente con respecto
a las figuras 6 y 7, no mostrándose pastillas en la figura 12. Otro
bastidor similar 185 está suspendido dentro de una cámara de esclusa
de carga convencional 187, también mostrada con su lado retirado.
Una válvula de compuerta convencional 189 está posicionada entre
las cámaras 183 y 187. Otra válvula de compuerta 191 está
posicionada entre la cámara de esclusa de carga 187 y el
exterior.
Se transfieren segmentos de bóveda del portador
entre las cámaras 183 y 187 mediante un mecanismo 193 que, en este
ejemplo, es un brazo que gira para intercambiar cada vez las
posiciones de dos segmentos del portador de pastillas. Un brazo
robotizado más convencional 195 carga y descarga segmentos del
portador uno a uno entre el bastidor 185 de la cámara de esclusa de
carga 187 y una lugar de carga 187 en el exterior. El mismo brazo
robotizado 195 puede adaptarse para su uso en la transferencia de
pastillas entre segmentos de portador que descansan sobre el lugar
de carga 187 y una pluralidad de cartuchos 197 de pastilla
verticalmente apilados, cuyos cartuchos pueden disponerse
alternativamente en posición horizontal.
Claims (13)
1. Una cámara de vacío y una cámara de esclusa
de carga a través de las cuales se mueven unos artículos hacia
dentro y hacia fuera de la cámara de vacío para su procesamiento,
que comprende:
un alojamiento (11) que circunda un
compartimiento que incluye una abertura (29) a través de su pared
superior, por la cual se mueven los artículos,
una superficie (35) de soporte de artículos
situada dentro del compartimiento y que se mueve entre unas
posiciones primera y segunda, en donde, cuando ésta está en su
primera posición, el soporte de artículos para cubrir y sellar
dicha abertura (29), hace contacto con un lado inferior de la pared
superior alrededor de la abertura (29) de tal modo que unos
artículos (51) se muevan a través de la abertura entre el exterior
del alojamiento y dicha superficie; y en donde la segunda posición
de la superficie de soporte se retira hacia abajo dentro del
compartimiento a cierta distancia de dicha pared superior,
una tapa (31) dispuesta en el exterior del
compartimiento y que se mueve entre al menos unas posiciones primera
y segunda, en donde, cuando ésta está en su primera posición, dicha
tapa (31), para cubrir y sellar dicha abertura (29), hace contacto
con un lado superior de la pared superior alrededor de la abertura
(29), y en donde la segunda posición de la tapa se retira a cierta
distancia de la pared superior de tal manera que se hagan pasar
artículos a través de la abertura (29),
al menos una bomba (19) de vacío conectable (1)
para reducir la presión dentro de la cámara de vacío que se forma
dentro del compartimiento cuando la superficie (35) de soporte de
artículos o la tapa (31) están en sus primeras posiciones, y (2)
para reducir la presión dentro de la cámara de esclusa de carga que
se forma dentro del compartimiento cuando tanto la superficie (35)
de soporte de artículos como la tapa (31) están en sus dichas
primeras posiciones, y
un mecanismo de transporte (53) dentro del
alojamiento (11) que mueve artículos (51) entre la superficie de
soporte (35) de artículos cuando esa superficie de soporte está en
su dicha segunda posición y un lugar de procesamiento retirado de
la segunda posición de la superficie de soporte dentro de la cámara
de vacío,
caracterizada porque los artículos tienen
la configuración de segmentos (107-111) en forma de
cuña de un portador (45, 51) de pastillas convexo circular.
2. La combinación según la reivindicación 1, en
la que el mecanismo de transporte (53) incluye al menos un brazo
pivotante (77) que está diseñado para acoplarse simultáneamente con
dos artículos (51, 45) que están respectivamente sobre la
superficie de soporte de artículos cuando éste está en su segunda
posición y en el lugar de procesamiento, en donde el giro del brazo
pivotante de sustancialmente 180º alrededor de su eje intercambia
las posiciones de los dos artículos (51, 45).
3. La combinación según la reivindicación 2, en
la que el mecanismo de transporte (53) también incluye un mecanismo
subordinado (3) que está diseñado para cooperar con el brazo
pivotante (77) a fin de mover linealmente dos artículos (51, 45)
uno hacia otro y uno alejándose de otro, en donde el giro del brazo
pivotante (77) de sustancialmente 180º alrededor de su eje
intercambia las posiciones de los dos artículos (51, 45) cuando se
mantienen uno hacia otro.
4. La combinación según la reivindicación 3, en
la que el mecanismo subordinado incluye un brazo oscilante (65) al
cual se fija el eje de dicho brazo pivotante (77).
5. La combinación según la reivindicación 3, en
la que el mecanismo subordinado incluye brazos adicionales (69, 73)
montados pivotadamente en los extremos de dicho brazo pivotante
(77).
6. La combinación según la reivindicación 1, en
la que el mecanismo de transporte (53) incluye un carro (151)
diseñado para mover la superficie de soporte (35) de artículos entre
la segunda posición de la superficie de soporte y el lugar de
procesamiento, incluyendo dicho carro (151) una abertura para que un
mecanismo (59) se extienda a su través a fin de mover la superficie
del soporte (35) de artículos entre dichas posiciones primera y
segunda y sea retirado debajo del carro (151) con el fin de permitir
su citado movimiento lateral al tiempo que la superficie de soporte
(35) descansa sobre el mismo.
7. La combinación según la reivindicación 1, en
la que el mecanismo de transporte (53) incluye una tercera posición
dentro de la cámara de vacío para posicionar temporalmente artículos
(51, 45) mientras otros artículos (51, 45) se mueven entre la
segunda posición de la superficie de soporte y el lugar de
procesamiento.
8. La combinación según la reivindicación 1, en
la que los segmentos (107-111) en forma de cuña
están truncados a lo largo de un borde opuesto a un borde
curvado.
9. Un método para transferir artículos hacia
dentro y hacia fuera de una cámara de procesamiento al vacío a
través de una cámara de esclusa de carga, que comprende:
formar la cámara de esclusa de carga alrededor
de una abertura (29) a través de una pared (15) de una envuelta por
medio de una superficie (35) de soporte de artículos que está
sellada contra el interior de la pared alrededor de la abertura
(29) y una tapa (31) que está sellada contra el exterior de la pared
(15) alrededor de la abertura (29), en donde la cámara de
procesamiento está formada dentro de porciones restantes de la
envuelta,
mover artículos entre la cámara de esclusa de
carga y el exterior de dicha pared (15) retirando la tapa (31) de
su sello con la pared (15) al tiempo que la superficie (35) de
soporte de artículos permanece sellada contra la pared (15),
disponer una abertura (29) entre la cámara de
esclusa de carga y la cámara de procesamiento moviendo la superficie
(35) de soporte de artículos lejos de la pared (15) mientras la
tapa (31) está sellada con el exterior de la pared (15) alrededor
de la abertura (29), y
posteriormente mover artículos (45, 51) entre la
cámara de esclusa de carga y la cámara de procesamiento a través de
dicha abertura,
caracterizado porque los artículos
primero y segundo (45, 51) son porciones (107-111)
en forma de cuña de bóvedas circulares portadoras de una pluralidad
de pastillas de circuito integrado para su procesamiento.
10. El método según la reivindicación 9, en el
que la acción de mover los artículos (45, 51) entre la cámara de
esclusa de carga y la cámara de procesamiento incluye intercambiar
simultáneamente las ubicaciones de un primer artículo (45, 51)
dentro de la cámara de esclusa de carga y un segundo artículo (45,
51) dentro de la cámara de procesamiento.
11. El método según la reivindicación 10, en el
que el intercambio de los artículos primero y segundo (45, 51)
incluye mover dichos artículos (45, 51) uno hacia otro, hacerlos
girar luego de manera conjunta sustancialmente 180º y mover después
dichos artículos (45, 51) alejándolos uno de otro.
12. El método según la reivindicación 9, en el
que las porciones (107-111) de bóveda en forma de
cuña están truncadas a lo largo de un lado opuesto a un lado
circular.
13. El método según la reivindicación 9, en el
que las pastillas se procesan depositando material sobre ellas
procedente de evaporación dentro de la cámara de procesamiento.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US679498 | 2000-10-04 | ||
| US09/679,498 US6609877B1 (en) | 2000-10-04 | 2000-10-04 | Vacuum chamber load lock structure and article transport mechanism |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| ES2320972T3 true ES2320972T3 (es) | 2009-06-01 |
Family
ID=24727140
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| ES01308428T Expired - Lifetime ES2320972T3 (es) | 2000-10-04 | 2001-10-02 | Aparato de vacio y metodo. |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US6609877B1 (es) |
| EP (1) | EP1195795B1 (es) |
| JP (1) | JP5209158B2 (es) |
| AT (1) | ATE427557T1 (es) |
| DE (1) | DE60138168D1 (es) |
| ES (1) | ES2320972T3 (es) |
Families Citing this family (39)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6841033B2 (en) * | 2001-03-21 | 2005-01-11 | Nordson Corporation | Material handling system and method for a multi-workpiece plasma treatment system |
| US20030086774A1 (en) * | 2001-11-07 | 2003-05-08 | Schlumberger Technologies, Inc. | System and method for inhibiting motion of semiconductor wafers in a variable-pressure chamber |
| JP4389424B2 (ja) | 2001-12-25 | 2009-12-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理体の搬送機構及び処理システム |
| SG115629A1 (en) | 2003-03-11 | 2005-10-28 | Asml Netherlands Bv | Method and apparatus for maintaining a machine part |
| SG115631A1 (en) | 2003-03-11 | 2005-10-28 | Asml Netherlands Bv | Lithographic projection assembly, load lock and method for transferring objects |
| JP4420380B2 (ja) * | 2003-09-10 | 2010-02-24 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
| US20060249370A1 (en) * | 2003-09-15 | 2006-11-09 | Makoto Nagashima | Back-biased face target sputtering based liquid crystal display device |
| US7500822B2 (en) * | 2004-04-09 | 2009-03-10 | Edwards Vacuum, Inc. | Combined vacuum pump load-lock assembly |
| JP2007537606A (ja) | 2004-05-14 | 2007-12-20 | ザ・ビーオーシー・グループ・インコーポレーテッド | 低圧環境で物品を処理するための装置及び方法 |
| KR100622846B1 (ko) * | 2004-10-06 | 2006-09-19 | 주식회사 에이디피엔지니어링 | 평판표시소자 제조장치 |
| US7585141B2 (en) * | 2005-02-01 | 2009-09-08 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Load lock system for ion beam processing |
| US20070205096A1 (en) * | 2006-03-06 | 2007-09-06 | Makoto Nagashima | Magnetron based wafer processing |
| DE202006007937U1 (de) * | 2006-05-18 | 2007-09-20 | Strämke, Siegfried, Dr.-Ing. | Plasmabehandlungsanlage |
| US8454810B2 (en) | 2006-07-14 | 2013-06-04 | 4D-S Pty Ltd. | Dual hexagonal shaped plasma source |
| US10541157B2 (en) | 2007-05-18 | 2020-01-21 | Brooks Automation, Inc. | Load lock fast pump vent |
| US8272825B2 (en) * | 2007-05-18 | 2012-09-25 | Brooks Automation, Inc. | Load lock fast pump vent |
| US8022372B2 (en) * | 2008-02-15 | 2011-09-20 | Veeco Instruments Inc. | Apparatus and method for batch non-contact material characterization |
| KR20100000146A (ko) * | 2008-06-24 | 2010-01-06 | 주성엔지니어링(주) | 챔버리드를 포함하는 기판처리를 위한 진공챔버 |
| JP5796279B2 (ja) * | 2009-07-10 | 2015-10-21 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | ロードポート装置、並びにその蓋体着脱装置及びマッピング装置の各昇降機構の制御方法 |
| US8445874B2 (en) * | 2010-04-11 | 2013-05-21 | Gatan Inc. | Ion beam sample preparation apparatus and methods |
| DE102010016792A1 (de) * | 2010-05-05 | 2011-11-10 | Aixtron Ag | Bevorratungsmagazin einer CVD-Anlage |
| US9920418B1 (en) | 2010-09-27 | 2018-03-20 | James Stabile | Physical vapor deposition apparatus having a tapered chamber |
| US8958061B2 (en) | 2011-05-31 | 2015-02-17 | Veeco Instruments Inc. | Heated wafer carrier profiling |
| CN103014617B (zh) * | 2011-09-22 | 2014-05-14 | 株式会社新柯隆 | 薄膜形成装置 |
| JPWO2013042247A1 (ja) * | 2011-09-22 | 2015-03-26 | 株式会社シンクロン | 薄膜形成装置 |
| US9082801B2 (en) * | 2012-09-05 | 2015-07-14 | Industrial Technology Research Institute | Rotatable locating apparatus with dome carrier and operating method thereof |
| US9373534B2 (en) | 2012-09-05 | 2016-06-21 | Industrial Technology Research Institute | Rotary positioning apparatus with dome carrier, automatic pick-and-place system, and operating method thereof |
| US20140096483A1 (en) * | 2012-10-04 | 2014-04-10 | Brookhaven Science Associates, Llc | Transfer Chamber for Air-Sensitive Sample Processing |
| US9016998B2 (en) * | 2013-03-14 | 2015-04-28 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | High throughput, low volume clamshell load lock |
| JP6495707B2 (ja) | 2015-03-25 | 2019-04-03 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 露光装置および基板処理装置 |
| JP6493339B2 (ja) * | 2016-08-26 | 2019-04-03 | 村田機械株式会社 | 搬送容器、及び収容物の移載方法 |
| TWI794475B (zh) * | 2018-05-09 | 2023-03-01 | 德商索萊爾有限公司 | 用於接收多個基板以進行處理之保持裝置、處理系統及方法 |
| CN114277353B (zh) * | 2018-09-17 | 2024-06-18 | 先进尼克斯有限公司 | 真空隔离的批处理系统 |
| CN110284114B (zh) * | 2019-06-17 | 2021-02-05 | 福建省福联集成电路有限公司 | 一种晶圆镀膜的真空装置 |
| CN111180375B (zh) * | 2020-01-20 | 2025-04-01 | 烟台职业学院 | 一种双温区避免温度串扰的物料交换装置 |
| CN115279936B (zh) * | 2020-03-18 | 2024-01-09 | 株式会社圣蒂佳 | 蒸镀装置 |
| CN112501574B (zh) * | 2020-10-27 | 2022-10-25 | 东兴华鸿光学科技有限公司 | 太阳镜片镀膜设备 |
| JP2024511280A (ja) * | 2021-02-22 | 2024-03-13 | エヴァテック・アーゲー | 真空処理装置および真空処理された基板を製造する方法 |
| CN113345822B (zh) * | 2021-07-16 | 2023-12-01 | 江苏天芯微半导体设备有限公司 | 批处理用晶圆支撑架和加载互锁真空室 |
Family Cites Families (38)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4226208A (en) * | 1977-08-04 | 1980-10-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Vapor deposition apparatus |
| US4341582A (en) | 1980-12-22 | 1982-07-27 | The Perkin-Elmer Corporation | Load-lock vacuum chamber |
| JPS59206206A (ja) * | 1983-05-11 | 1984-11-22 | Yokohama Rubber Co Ltd:The | 乗用車用空気入りタイヤ |
| US4584045A (en) | 1984-02-21 | 1986-04-22 | Plasma-Therm, Inc. | Apparatus for conveying a semiconductor wafer |
| US4632624A (en) | 1984-03-09 | 1986-12-30 | Tegal Corporation | Vacuum load lock apparatus |
| JPS60238133A (ja) * | 1984-04-16 | 1985-11-27 | Tokuda Seisakusho Ltd | 真空処理装置 |
| US4915564A (en) | 1986-04-04 | 1990-04-10 | Materials Research Corporation | Method and apparatus for handling and processing wafer-like materials |
| US4676884A (en) | 1986-07-23 | 1987-06-30 | The Boc Group, Inc. | Wafer processing machine with evacuated wafer transporting and storage system |
| US4861563A (en) | 1987-05-14 | 1989-08-29 | Spectrum Cvd, Inc. | Vacuum load lock |
| JPH0689442B2 (ja) * | 1987-06-05 | 1994-11-09 | 新明和工業株式会社 | 真空蒸着装置 |
| DE3923237C2 (de) * | 1988-08-03 | 1994-01-27 | Stihl Maschf Andreas | Zündschaltung für einen Verbrennungsmotor |
| DE3921672C2 (de) * | 1989-07-01 | 1996-12-05 | Leybold Ag | Vorrichtung zum Halten und Wenden von Linsen, insbesondere für in einer Hochvakuum-Aufdampfanlage oder -Sputteranlage zu beschichtende Brillenglaslinsen |
| JP3466607B2 (ja) * | 1989-09-13 | 2003-11-17 | ソニー株式会社 | スパッタリング装置 |
| JP3044735B2 (ja) * | 1990-03-30 | 2000-05-22 | ソニー株式会社 | スパッタリング装置 |
| JP2808826B2 (ja) * | 1990-05-25 | 1998-10-08 | 松下電器産業株式会社 | 基板の移し換え装置 |
| JPH0811606B2 (ja) * | 1990-09-20 | 1996-02-07 | 株式会社芝浦製作所 | 搬送装置 |
| JP2868637B2 (ja) * | 1991-02-12 | 1999-03-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 板状体の搬送装置 |
| JPH05275511A (ja) * | 1991-03-01 | 1993-10-22 | Tokyo Electron Ltd | 被処理体の移載システム及び処理装置 |
| JPH0773833B2 (ja) * | 1992-04-23 | 1995-08-09 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | ロボット・アセンブリ |
| JPH063503A (ja) * | 1992-06-18 | 1994-01-14 | Seiko Epson Corp | 眼鏡用レンズの反射防止膜蒸着装置 |
| US5482607A (en) * | 1992-09-21 | 1996-01-09 | Nissin Electric Co., Ltd. | Film forming apparatus |
| KR100302012B1 (ko) | 1992-11-06 | 2001-11-30 | 조셉 제이. 스위니 | 미소-환경 콘테이너 연결방법 및 미소-환경 로드 로크 |
| US5586585A (en) * | 1995-02-27 | 1996-12-24 | Asyst Technologies, Inc. | Direct loadlock interface |
| US6481956B1 (en) * | 1995-10-27 | 2002-11-19 | Brooks Automation Inc. | Method of transferring substrates with two different substrate holding end effectors |
| JPH10303276A (ja) | 1997-04-28 | 1998-11-13 | Toshiba Corp | マルチチャンバ装置 |
| JP3076775B2 (ja) * | 1997-07-31 | 2000-08-14 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 真空処理装置 |
| JPH11150059A (ja) * | 1997-11-19 | 1999-06-02 | Canon Inc | 半導体装置の製造方法及びその装置並びに投影露光装置 |
| JPH11156771A (ja) * | 1997-11-28 | 1999-06-15 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板搬送装置および基板搬送方法 |
| JPH11179649A (ja) * | 1997-12-16 | 1999-07-06 | Speedfam Co Ltd | ワークの取出方法及びワーク取出機構付き平面研磨装置 |
| US6042623A (en) * | 1998-01-12 | 2000-03-28 | Tokyo Electron Limited | Two-wafer loadlock wafer processing apparatus and loading and unloading method therefor |
| JPH11284048A (ja) * | 1998-03-31 | 1999-10-15 | Shibaura Mechatronics Corp | ロボット装置および処理装置 |
| JPH11330196A (ja) * | 1998-05-13 | 1999-11-30 | Tadamoto Tamai | ウエハ搬送装置及び搬送方法 |
| JP2000064042A (ja) * | 1998-08-19 | 2000-02-29 | Shibaura Mechatronics Corp | 回転アーム式スパッタ装置 |
| US6719516B2 (en) * | 1998-09-28 | 2004-04-13 | Applied Materials, Inc. | Single wafer load lock with internal wafer transport |
| US6217272B1 (en) | 1998-10-01 | 2001-04-17 | Applied Science And Technology, Inc. | In-line sputter deposition system |
| JP2000195925A (ja) * | 1998-12-28 | 2000-07-14 | Anelva Corp | 基板処理装置 |
| US6190103B1 (en) * | 1999-03-31 | 2001-02-20 | Gasonics International Corporation | Wafer transfer device and method |
| US6429139B1 (en) * | 1999-12-17 | 2002-08-06 | Eaton Corporation | Serial wafer handling mechanism |
-
2000
- 2000-10-04 US US09/679,498 patent/US6609877B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2001
- 2001-09-28 JP JP2001338593A patent/JP5209158B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2001-10-02 EP EP01308428A patent/EP1195795B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-10-02 DE DE60138168T patent/DE60138168D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-10-02 AT AT01308428T patent/ATE427557T1/de not_active IP Right Cessation
- 2001-10-02 ES ES01308428T patent/ES2320972T3/es not_active Expired - Lifetime
-
2003
- 2003-07-17 US US10/621,700 patent/US7541061B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP1195795A3 (en) | 2006-04-12 |
| US20040083955A1 (en) | 2004-05-06 |
| EP1195795B1 (en) | 2009-04-01 |
| US6609877B1 (en) | 2003-08-26 |
| DE60138168D1 (de) | 2009-05-14 |
| JP5209158B2 (ja) | 2013-06-12 |
| US7541061B2 (en) | 2009-06-02 |
| EP1195795A2 (en) | 2002-04-10 |
| JP2002198413A (ja) | 2002-07-12 |
| ATE427557T1 (de) | 2009-04-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| ES2320972T3 (es) | Aparato de vacio y metodo. | |
| TWI850490B (zh) | 基板搬送裝置及基板處理系統 | |
| ES2229247T3 (es) | Estacion de carga y descarga para instalaciones de tratamiento de semiconductores. | |
| CN108933097B (zh) | 真空输送组件和基片处理装置 | |
| KR100925240B1 (ko) | 진공용기의 내외로 처리대상물을 반출입할 수 있는진공처리장치 | |
| ES2450118T3 (es) | Aparato de tratamiento en vacío | |
| TW409272B (en) | Multiple single-wafer loadlock wafer processing apparatus and loading and unloading method therefor | |
| CN114731104B (zh) | 基板输送装置和基板处理系统 | |
| US6918731B2 (en) | Fast swap dual substrate transport for load lock | |
| US6663340B1 (en) | Wafer carrier transport system for tool bays | |
| KR20150086255A (ko) | Ald 반응기 내에서의 기판 로딩 | |
| ES3010537T3 (en) | Container handling vehicle comprising a container carrying position, associated system and methods | |
| KR20010052583A (ko) | 웨이퍼 운반 장치 및 방법 | |
| JP2003517724A (ja) | 垂直方向に重ねられたロードロック部及び移送ロボット | |
| US8397917B2 (en) | Semiconductor wafer container | |
| US11948822B2 (en) | Substrate transfer device and substrate processing system | |
| JP2017199735A (ja) | 基板の入れ替えシステム、基板の入れ替え方法及び記憶媒体 | |
| CN101246815A (zh) | 立式热处理装置以及立式热处理方法 | |
| TW201735226A (zh) | 容器搬送設備 | |
| JP2004288719A (ja) | 基板搬送装置及び基板処理装置 | |
| ES2268653T3 (es) | Punto de descarga para sistemas de preparacion de expediciones de mercancias. | |
| JPH0294647A (ja) | ウェーハ処理装置 | |
| TWI681490B (zh) | 載體搬送裝置及載體搬送方法 | |
| KR102822951B1 (ko) | Efem을 포함하는 웨이퍼 처리 장치 및 웨이퍼 처리 방법 | |
| CN113169107A (zh) | 装载锁定腔室 |