JP2000200577A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 荷電粒子源と、該荷電粒子源から発生する荷電粒子線を収束するための対物レンズを内在する荷電粒子線鏡体を備えた荷電粒子線装置において、
   前記荷電粒子線鏡体の側部から挿入され、前記荷電粒子線に照射される試料を支持する試料ホールダと、
   該挿入される試料ホールダの挿入開口を有すると共に、前記試料ホールダを前記荷電粒子線に対して傾斜する傾斜機構を有する試料ホールダ支持筒を備え、
   前記試料ホールダの挿入開口は前記試料ホールダ支持筒の傾斜中心に対し、前記荷電粒子線の照射方向に偏心して設けられることを特徴とする荷電粒子線装置。
2. 荷電粒子源と、該荷電粒子源から発生する荷電粒子線を収束するための対物レンズを内在する荷電粒子線鏡体を備えた荷電粒子線装置において、
   前記荷電粒子線鏡体の側部から挿入され、前記荷電粒子線が照射される試料を支持する試料ホールダと、前記試料ホールダを前記荷電粒子線に対して傾斜する手段を備え、
   前記試料ホールダ傾斜手段は、前記試料ホールダに支持される試料の上端を傾斜中心とするように構成されることを特徴とする荷電粒子線装置。
3. 請求項１または２において、前記試料ホールダは前記対物レンズの上磁極と下磁極の間に配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。
4. 請求項１または２において、
   前記試料ホールダは前記試料を保持するための凹部を備えてなることを特徴とする荷電粒子線装置。
5. 請求項４において、
   前記凹部は半導体ウェハと同じ厚さの試料を挿入可能に形成されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
6. 請求項１乃至４において、
   前記荷電粒子線鏡体或いは試料ホールダ支持筒は、前記試料ホールダを前記荷電粒子線鏡体に対し、前記荷電粒子線の光軸方向，前記荷電粒子線の垂直方向の何れか、または両方に移動するための移動機構を備えてなることを特徴とする荷電粒子線装置。
7. 請求項６において、
   前記傾斜機構の傾斜角度を設定する手段と、当該設定手段で設定された傾斜角度に基づいて前記移動機構の移動範囲を決定する手段を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。
8. 請求項６または７において、
   前記試料ホールダに搭載する試料の高さ、或いは前記試料ホールダの凹部から突出する試料の高さを設定する手段と、当該設定手段で設定された前記高さに基づいて前記移動機構の移動範囲を決定する手段を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。