JP2000202772A - 電解インプロセスドレッシング研削法及び電解インプロセスドレッシング研削装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明はワークにくもりを発生させることな
く、良好な加工面を研削する電解インプロセスドレッシ
ング研削法及び電解インプロセスドレッシング研削装置
を提供する。 【解決手段】電解インプロセスドレッシング研削装置１
は、ワークチャック２にワーク３をチャックさせ、導電
性砥石４をワーク３のワーク面に接触させて、研削液７
をワーク３のワーク面に供給しつつ高速回転させるとと
もに、電源６から電極５に負電位を、導電性砥石４及び
ワークチャック２に正電位を供給させて研削を行うが、
このとき、電源６から導電性のワークチャック２にも導
電性砥石４と同じ正電位を供給して、ワークチャック２
を介して導電性砥石４とワーク３を同電位とする。した
がって、導電性砥石４とワーク３との間に電位差が生じ
ることによりワーク３にくもりが発生することを適切に
防止して、ワーク３を良好な鏡面に研削することができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電解インプロセス
ドレッシング研削法及び電解インプロセスドレッシング
研削装置に関し、詳細には、ワークにくもりを発生させ
ることなく、良好な加工面を研削する電解インプロセス
ドレッシング研削法及び電解インプロセスドレッシング
研削装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、研削加工において、砥石の目つぶ
れや目詰まりによる研削抵抗の増加や被削材との焼き付
き等の現象が問題となる。

【０００３】そこで、近年、導電性砥石に電圧を印加
し、砥石を電解によりドレッシングしながら加工を行う
電解インプロセスドレッシング研削法が実用化されてお
り、この電解インプロセスドレッシング研削法において
は、導電性砥石と電極が相対向する状態で配設されて、
導電性砥石が正に、電極が負になるように電圧が印加さ
れる。

【０００４】そして、この電解インプロセスドレッシン
グ研削法においては、高精度の加工を行うために従来か
ら種々の提案が行われている（特開平６−１４３１３０
号公報、特開平６−１５５２９４号公報及び特開平６−
２７００６３号公報参照）。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の電解インプロセスドレッシング研削法及び電
解インプロセスドレッシング研削装置にあっては、ワー
クが金属等の導電性材料であると、導電性砥石に対して
ワークが電気的に負になると、砥石から電解によって発
生した陽イオンがワーク上に析出してくもりが発生し、
逆に、導電性砥石に対してワークが電気的に正になる
と、ワークが電解によって溶出したり不導体皮膜を生成
してワーク上にくもりが生じるという問題があった。ま
た、電極とワークが近接した状態で電解をかける場合、
電極に対してワークが電気的に正になると、電極とワー
クとの間で電解が起こって、ワークが電解によって溶出
したり不導体皮膜を生成してワーク上にくもりが発生
し、逆に、電極に対してワークが電気的に負になると、
電極から電解によって発生した陽イオンがワークに付着
してワークにくもりが生じるという問題があった。

【０００６】一般的には、電解インプロセスドレッシン
グ研削法においては、導電性砥石に対してワークが電気
的に正となることや電極に対してワークが電気的に負に
なることは、通常、発生しない。

【０００７】ところが、導電性砥石と導電性材料である
ワークとの間、あるいは、電極と導電性材料であるワー
クとの間に電位差が生じることは、多々発生するが、こ
のような現象によっても上述したワークにくもりが発生
するという問題があった。

【０００８】そこで、請求項１記載の発明は、ベース上
に載置されたワークチャックにチャックされた導電性の
ワークを、ワークの加工面に研削液を付与しつつ、導電
性砥石に当該導電性砥石に対向配置された電極から研削
用電源からの電圧を印加して電解によりドレッシングし
ながら導電性砥石で研削加工するに際して、導電性砥石
とワークとを略同電位に設定して、ワークの研削加工を
行うことにより、導電性砥石と導電性のワークとの間で
電解現象が起こることを防止し、ワークの加工面にくも
りを発生させることなく、ワークを精度良く加工するこ
とのできる電解インプロセスドレッシング研削法を提供
することを目的としている。

【０００９】請求項２記載の発明は、ベース上に載置さ
れたワークチャックにチャックされた導電性のワーク
を、ワークの加工面に研削液を付与しつつ、導電性砥石
に当該導電性砥石に対向配置された電極から研削用電源
からの電圧を印加して電解によりドレッシングしながら
導電性砥石で研削加工するに際して、導電性砥石とワー
クとを略同電位に設定して、ワークの研削加工を行うこ
とにより、導電性砥石と導電性のワークとの間で電解現
象が起こることを防止し、ワークの加工面にくもりを発
生させることなく、ワークを精度良く加工することので
きる電解インプロセスドレッシング研削装置を提供する
ことを目的としている。

【００１０】請求項３記載の発明は、研削用電源からワ
ークあるいはワークチャック等の当該ワークと電気的に
接続されている部材に導電性砥石と同極性であって同電
位の電荷を印加して、導電性砥石とワークとを略同電位
に設定することにより、導電性砥石と導電性のワークと
を簡単に略同電位にして、導電性砥石と導電性のワーク
との間で電解現象が起こることを防止し、ワークの加工
面にくもりを発生させることなく、ワークを精度良く加
工することのできる安価な電解インプロセスドレッシン
グ研削装置を提供することを目的としている。

【００１１】請求項４記載の発明は、ワークあるいはワ
ークチャック等のワークと電気的に導通されている部材
と導電性砥石とを電気的に導通し、導電性砥石とワーク
とを略同電位に設定することにより、導電性砥石と導電
性のワークとを簡単に略同電位にして、導電性砥石と導
電性のワークとの間で電解現象が起こることを防止し、
ワークの加工面にくもりを発生させることなく、ワーク
を精度良く加工することのできる安価な電解インプロセ
スドレッシング研削装置を提供することを目的としてい
る。

【００１２】請求項５記載の発明は、ワークチャックを
所定の導電性部材で形成し、当該ワークチャックの搭載
されるベースと導電性砥石とをワークチャックを介して
電気的に導通して、導電性砥石とワークとを略同電位に
設定することにより、導電性砥石と導電性のワークとを
簡単に略同電位にして、導電性砥石と導電性のワークと
の間で電解現象が起こることを防止し、ワークの加工面
にくもりを発生させることなく、ワークを精度良く加工
することのできる安価な電解インプロセスドレッシング
研削装置を提供することを目的としている。

【００１３】請求項６記載の発明は、電極を、少なくと
も研削加工時に、ワークの加工面に供給される研削液の
液面から離れた状態で配置することにより、導電性のワ
ークと電極との間で電位差が生じても、導電性のワーク
と電極との間で電解現象が起こることを防止し、ワーク
の加工面にくもりを発生させることなく、ワークをより
一層精度良く加工することのできる電解インプロセスド
レッシング研削装置を提供することを目的としている。

【００１４】請求項７記載の発明は、ワークの加工面上
に供給される研削液を所定の研削液除去手段で少なくと
も電極部分から離隔する方向に払拭して、電極が研削液
の液面から離れた状態とすることにより、電極をワーク
により一層近づけつつ、電極が研削液の液面と接触する
ことを防止して、導電性のワークと電極との間で電位差
が生じても、導電性のワークと電極との間で電解現象が
起こることを防止し、ワークの加工面にくもりを発生さ
せることなく、ワークをより一層精度良く加工すること
のできる電解インプロセスドレッシング研削装置を提供
することを目的としている。

【００１５】請求項８記載の発明は、研削液除去手段と
して、ワークの加工面上にエアを吹き付けて、当該ワー
クの加工面上に供給される研削液を少なくとも電極部分
から離隔する方向に払拭して、電極を研削液の液面から
離れた状態とすることにより、安価な構成で電極が研削
液の液面と接触することを防止しつつ、電極をワークに
より一層近づけて、導電性のワークと電極との間で電位
差が生じても、導電性のワークと電極との間で電解現象
が起こることを防止し、ワークの加工面にくもりを発生
させることなく、ワークをより一層精度良く加工するこ
とのできる安価な電解インプロセスドレッシング研削装
置を提供することを目的としている。

【００１６】請求項９記載の発明は、研削除去手段から
吹き付けるエアを、室温以下の温度に冷却することによ
り、加工点の冷却を行って、導電性のワークと電極との
間で電位差が生じても、導電性のワークと電極との間で
電解現象が起こることを防止し、ワークの加工面にくも
りを発生させることなく、ワークをより一層精度良く加
工することのできる電解インプロセスドレッシング研削
装置を提供することを目的としている。

【００１７】請求項１０記載の発明は、電極を、導電性
砥石に対向する面以外の面が所定の絶縁物で形成された
ものとすることにより、電極からワーク側に漏れる電流
を防止し、ワークの加工面にくもりを発生させることな
く、ワークをより一層精度良く加工することのできる電
解インプロセスドレッシング研削装置を提供することを
目的としている。

【００１８】請求項１１記載の発明は、電極を、導電性
砥石に対向する面以外の面が所定の絶縁物でコーティン
グされたものとすることにより、電極からワーク側に漏
れる電流を簡単に防止し、ワークの加工面にくもりを発
生させることなく、ワークをより一層精度良くかつ安価
に加工することのできる電解インプロセスドレッシング
研削装置を提供することを目的としている。

【００１９】請求項１２記載の発明は、電極を、導電性
砥石に対向する面以外の部分が所定の絶縁物で形成さ
れ、導電性砥石に対向する面に所定の導電性部材がコー
ティングされたものとすることにより、電極からワーク
側に漏れる電流を簡単に防止し、ワークの加工面にくも
りを発生させることなく、ワークをより一層精度良く加
工することのできる電解インプロセスドレッシング研削
装置を提供することを目的としている。

【００２０】請求項１３記載の発明は、電極を、導電性
砥石に対向する面以外の部分が所定の絶縁物で形成さ
れ、前記導電性砥石に対向する面に所定の導電性部材で
形成された箔あるいは板部材が接着されたものとするこ
とにより、電極からワーク側に漏れる電流を簡単に防止
し、ワークの加工面にくもりを発生させることなく、ワ
ークをより一層精度良く加工することのできる電解イン
プロセスドレッシング研削装置を提供することを目的と
している。

【００２１】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明の電
解インプロセスドレッシング研削法は、所定のベース上
に載置されたワークチャックにチャックされた導電性の
ワークを、導電性砥石で研削加工するに際して、前記ワ
ークの加工面に所定の研削液を付与しつつ、所定の研削
用電源から当該導電性砥石に当該導電性砥石に対向配置
された電極から電圧を印加して電解によりドレッシング
しながら加工する電解インプロセスドレッシング研削法
において、前記導電性砥石と前記ワークとを略同電位に
設定して、前記ワークの研削加工を行うことにより、上
記目的を達成している。

【００２２】上記構成によれば、ベース上に載置された
ワークチャックにチャックされた導電性のワークを、ワ
ークの加工面に研削液を付与しつつ、導電性砥石に当該
導電性砥石に対向配置された電極から研削用電源からの
電圧を印加して電解によりドレッシングしながら導電性
砥石で研削加工するに際して、導電性砥石とワークとを
略同電位に設定して、ワークの研削加工を行うので、導
電性砥石と導電性のワークとの間で電解現象が起こるこ
とを防止することができ、ワークの加工面にくもりを発
生させることなく、ワークを精度良く加工することがで
きる。

【００２３】請求項２記載の発明の電解インプロセスド
レッシング研削装置は、所定のベース上に載置されたワ
ークチャックにチャックされた導電性のワークを、導電
性砥石で研削加工するに際して、前記ワークの加工面に
所定の研削液を付与しつつ、所定の研削用電源から当該
導電性砥石に当該導電性砥石に対向配置された電極から
電圧を印加して電解によりドレッシングしながら加工す
る電解インプロセスドレッシング研削装置において、前
記導電性砥石と前記ワークとを略同電位に設定して、前
記ワークの研削加工を行うことにより、上記目的を達成
している。

【００２４】上記構成によれば、ベース上に載置された
ワークチャックにチャックされた導電性のワークを、ワ
ークの加工面に研削液を付与しつつ、導電性砥石に当該
導電性砥石に対向配置された電極から研削用電源からの
電圧を印加して電解によりドレッシングしながら導電性
砥石で研削加工するに際して、導電性砥石とワークとを
略同電位に設定して、ワークの研削加工を行うので、導
電性砥石と導電性のワークとの間で電解現象が起こるこ
とを防止することができ、ワークの加工面にくもりを発
生させることなく、ワークを精度良く加工することがで
きる。

【００２５】この場合、例えば、請求項３に記載するよ
うに、前記研削用電源から前記ワークあるいは前記ワー
クチャック等の当該ワークと電気的に接続されている部
材に前記導電性砥石と同極性であって同電位の電荷を印
加して、前記導電性砥石と前記ワークとを略同電位に設
定してもよい。

【００２６】上記構成によれば、研削用電源からワーク
あるいはワークチャック等の当該ワークと電気的に接続
されている部材に導電性砥石と同極性であって同電位の
電荷を印加して、導電性砥石とワークとを略同電位に設
定しているので、導電性砥石と導電性のワークとを簡単
に略同電位にして、導電性砥石と導電性のワークとの間
で電解現象が起こることを防止することができ、ワーク
の加工面にくもりを発生させることなく、ワークを精度
良く、かつ、安価に加工することができる。

【００２７】また、例えば、請求項４に記載するよう
に、前記ワークあるいは前記ワークチャック等の前記ワ
ークと電気的に導通されている部材と前記導電性砥石と
が電気的に導通され、前記導電性砥石と前記ワークとが
略同電位に設定されていてもよい。

【００２８】上記構成によれば、ワークあるいはワーク
チャック等のワークと電気的に導通されている部材と導
電性砥石とを電気的に導通し、導電性砥石とワークとを
略同電位に設定しているので、導電性砥石と導電性のワ
ークとを簡単に略同電位にして、導電性砥石と導電性の
ワークとの間で電解現象が起こることを防止することが
でき、ワークの加工面にくもりを発生させることなく、
ワークを精度良く、かつ、安価に加工することができ
る。

【００２９】さらに、例えば、請求項５に記載するよう
に、前記ワークチャックが、所定の導電性部材で形成さ
れ、当該ワークチャックの搭載されるベースと前記導電
性砥石とが前記ワークチャックを介して電気的に導通さ
れて、前記導電性砥石と前記ワークとが略同電位に設定
されていてもよい。

【００３０】上記構成によれば、ワークチャックを所定
の導電性部材で形成し、当該ワークチャックの搭載され
るベースと導電性砥石とをワークチャックを介して電気
的に導通して、導電性砥石とワークとを略同電位に設定
しているので、導電性砥石と導電性のワークとを簡単に
略同電位にして、導電性砥石と導電性のワークとの間で
電解現象が起こることを防止することができ、ワークの
加工面にくもりを発生させることなく、ワークを精度良
く、かつ、安価に加工することができる。

【００３１】また、例えば、請求項６に記載するよう
に、前記電極は、少なくとも前記研削加工時に、前記ワ
ークの加工面に供給される前記研削液の液面から離れた
状態で配置されていてもよい。

【００３２】上記構成によれば、電極を、少なくとも研
削加工時に、ワークの加工面に供給される研削液の液面
から離れた状態で配置しているので、導電性のワークと
電極との間で電位差が生じても、導電性のワークと電極
との間で電解現象が起こることを防止することができ、
ワークの加工面にくもりを発生させることなく、ワーク
をより一層精度良く加工することができる。

【００３３】さらに、例えば、請求項７に記載するよう
に、前記ワークの加工面上に供給される前記研削液を所
定の研削液除去手段で少なくとも前記電極部分から離隔
する方向に払拭して、前記電極が前記研削液の液面から
離れた状態としてもよい。

【００３４】上記構成によれば、ワークの加工面上に供
給される研削液を所定の研削液除去手段で少なくとも電
極部分から離隔する方向に払拭して、電極が研削液の液
面から離れた状態としているので、電極をワークにより
一層近づけつつ、電極が研削液の液面と接触することを
防止して、導電性のワークと電極との間で電位差が生じ
ても、導電性のワークと電極との間で電解現象が起こる
ことを防止することができ、ワークの加工面にくもりを
発生させることなく、ワークをより一層精度良く加工す
ることができる。

【００３５】また、例えば、請求項８に記載するよう
に、前記研削液除去手段は、前記ワークの加工面上にエ
アを吹き付けて、当該ワークの加工面上に供給される前
記研削液を少なくとも前記電極部分から離隔する方向に
払拭して、前記電極を前記研削液の液面から離れた状態
としてもよい。

【００３６】上記構成によれば、研削液除去手段とし
て、ワークの加工面上にエアを吹き付けて、当該ワーク
の加工面上に供給される研削液を少なくとも電極部分か
ら離隔する方向に払拭して、電極を研削液の液面から離
れた状態としているので、安価な構成で電極が研削液の
液面と接触することを防止しつつ、電極をワークにより
一層近づけて、導電性のワークと電極との間で電位差が
生じても、導電性のワークと電極との間で電解現象が起
こることを防止することができ、ワークの加工面にくも
りを発生させることなく、ワークをより一層精度良く、
かつ、安価に加工することができる。

【００３７】さらに、例えば、請求項９に記載するよう
に、前記エアは、室温以下の温度に冷却されていてもよ
い。

【００３８】上記構成によれば、研削除去手段から吹き
付けるエアを、室温以下の温度に冷却しているので、加
工点の冷却を行って、導電性のワークと電極との間で電
位差が生じても、導電性のワークと電極との間で電解現
象が起こることを防止することができ、ワークの加工面
にくもりを発生させることなく、ワークをより一層精度
良く加工することができる。

【００３９】また、例えば、請求項１０に記載するよう
に、前記電極は、前記導電性砥石に対向する面以外の面
が所定の絶縁物で形成されていてもよい。

【００４０】上記構成によれば、電極を、導電性砥石に
対向する面以外の面が所定の絶縁物で形成されたものと
しているので、電極からワーク側に漏れる電流を防止す
ることができ、ワークの加工面にくもりを発生させるこ
となく、ワークをより一層精度良く加工することができ
る。

【００４１】さらに、例えば、請求項１１に記載するよ
うに、前記電極は、前記導電性砥石に対向する面以外の
面が所定の絶縁物でコーティングされていてもよい。

【００４２】上記構成によれば、電極を、導電性砥石に
対向する面以外の面が所定の絶縁物でコーティングされ
たものとしているので、電極からワーク側に漏れる電流
を簡単に防止することができ、ワークの加工面にくもり
を発生させることなく、ワークをより一層精度良く、か
つ、安価に加工することができる。

【００４３】また、例えば、請求項１２に記載するよう
に、前記電極は、前記導電性砥石に対向する面以外の部
分が所定の絶縁物で形成され、前記導電性砥石に対向す
る面に所定の導電性部材がコーティングされていてもよ
い。

【００４４】上記構成によれば、電極を、導電性砥石に
対向する面以外の部分が所定の絶縁物で形成され、導電
性砥石に対向する面に所定の導電性部材がコーティング
されたものとしているので、電極からワーク側に漏れる
電流を簡単に防止することができ、ワークの加工面にく
もりを発生させることなく、ワークをより一層精度良く
加工することができる。

【００４５】さらに、例えば、請求項１３に記載するよ
うに、前記電極は、前記導電性砥石に対向する面以外の
部分が所定の絶縁物で形成され、前記導電性砥石に対向
する面に所定の導電性部材で形成された箔あるいは板部
材が接着されていてもよい。

【００４６】上記構成によれば、電極を、導電性砥石に
対向する面以外の部分が所定の絶縁物で形成され、前記
導電性砥石に対向する面に所定の導電性部材で形成され
た箔あるいは板部材が接着されたものとしているので、
電極からワーク側に漏れる電流を簡単に防止することが
でき、ワークの加工面にくもりを発生させることなく、
ワークをより一層精度良く加工することができる。

【００４７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述
べる実施の形態は、本発明の好適な実施の形態であるか
ら、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本
発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定す
る旨の記載がない限り、これらの態様に限られるもので
はない。

【００４８】図１及び図２は、本発明の電解インプロセ
スドレッシング研削法及び電解インプロセスドレッシン
グ研削装置の第１の実施の形態を適用した電解インプロ
セスドレッシング研削装置１の要部正面図である。

【００４９】図１において、電解インプロセスドレッシ
ング研削装置１は、図示しないベース（テーブル）上に
ワークチャック２が配設され、ワークチャック２は、導
電性材料で形成されている。ワークチャック２には、研
削対象であるワーク３、例えば、ステンレス鋼等が着脱
可能にチャックされる。

【００５０】ワーク３のワーク面（加工面）には、導電
性砥石４が接触して、導電性砥石４によりワーク３の研
削が行われる。この導電性砥石４は、例えば、図２に示
すように、図示しないモータにより回転駆動される砥石
軸４ａの先端に球形の導電性の砥石４ｂが取り付けられ
たものが用いられ、砥石軸４ａが少し傾けられた状態で
球形の砥石４ｂが高速回転されることによりワーク３の
研削を行う。導電性砥石４は、その砥石４ｂがダイヤモ
ンドを砥粒とするダイヤモンドボンド砥石、例えば、♯
４００のダイヤモンド鋳鉄ボンド砥石あるいは♯８００
のダイヤモンド導電性レジンボンド砥石等が用いられて
いる。

【００５１】そして、電解インプロセスドレッシング装
置１は、図示しないが、研削液７（図２参照）を供給す
るノズルが配設されており、ノズルは、ワーク３のワー
ク面に研削液７を供給する。

【００５２】再び、図１において、導電性砥石４には、
導電性砥石４に近接した位置であって対向する状態で電
極５が配設されており、電極５は、具体的には、例え
ば、図２に示すように、研削液７の液面に接触しない位
置に配設されている。

【００５３】そして、図１に示すように、電極５は、電
源６の負極に接続されており、導電性砥石４、特に、砥
石４ｂは、カーボンブラシ（図示略）を介して電源６の
正極に接続されている。また、ワークチャック２は、電
源６の正極に接続されており、電源６は、例えば、印加
電圧が３０Ｖで、最大電流が３Ａの電源を供給して、導
電性砥石４とワーク３のワーク面に所定の電解を付与す
る。したがって、導電性砥石４とワーク３とは、導電性
のワークチャック２を介して正の同電位になっている。

【００５４】次に、本実施の形態の作用を説明する。電
解インプロセスドレッシング研削装置１は、ワーク３の
研削を行う際には、ワーク３をワークチャック２にチャ
ックさせ、導電性砥石４の砥石４ｂをワーク３のワーク
面に接触させて、図示しないノズルから研削液７をワー
ク３のワーク面に供給しつつ、高速回転させるととも
に、電源６から電極５に負電位を、導電性砥石４の砥石
４ｂ及びワークチャック２に正電位を供給する。

【００５５】このように、電極５に負電位を、導電性砥
石４に正電位を、それぞれ付与し、ワーク３のワーク面
に研削液７を供給して、導電性砥石４を高速回転させて
研削を行うと、研削液７を介して電極５と導電性砥石と
４との間で電解が発生して、導電性砥石４がドレッシン
グされ、導電性砥石４によるワーク３の研削を効率的に
行うことができる。

【００５６】また、電解インプロセスドレッシング研削
装置１では、導電性のワークチャック２にも導電性砥石
４と電源６から同じ正電位が供給されているため、ワー
クチャック２を介して導電性砥石４とワーク３とが同電
位となっている。その結果、従来のように、導電性砥石
４とワーク３との間に電位差が生じることによりワーク
３にくもりが発生することを適切に防止することがで
き、ワーク３にくもりを発生させることなく、ワーク３
を良好な鏡面に研削することができる。

【００５７】このように本実施の形態の電解インプロセ
スドレッシング研削装置１は、ベース上に載置されたワ
ークチャック２にチャックされた導電性のワーク３を、
ワーク３の加工面に研削液７を付与しつつ、電源６から
導電性砥石４に当該導電性砥石４に対向配置された電極
５から電圧を印加して電解によりドレッシングしながら
導電性砥石４で研削加工するに際して、導電性砥石４と
ワーク３とを略同電位に設定して、ワーク３の研削加工
を行っている。

【００５８】したがって、導電性砥石４と導電性のワー
ク３との間で電解現象が起こることを防止することがで
き、ワーク３の加工面にくもりを発生させることなく、
ワーク３を精度良く加工することができる。

【００５９】また、電解インプロセスドレッシング研削
装置１は、電源６からワーク３と電気的に接続されてい
るワークチャック２に導電性砥石４と同極性であって同
電位の電荷を印加して、導電性砥石４とワーク３とを略
同電位に設定している。

【００６０】したがって、導電性砥石４と導電性のワー
ク３とを簡単に略同電位にして、導電性砥石４と導電性
のワーク３との間で電解現象が起こることを防止するこ
とができ、ワーク３の加工面にくもりを発生させること
なく、ワーク３を精度良く、かつ、安価に加工すること
ができる。

【００６１】さらに、電極５を、少なくとも研削加工時
に、ワーク３の加工面に供給される研削液７の液面から
離れた状態で配置している。

【００６２】したがって、導電性のワーク３と電極５と
の間で電位差が生じても、導電性のワーク３と電極５と
の間で電解現象が起こることを防止することができ、ワ
ーク３の加工面にくもりを発生させることなく、ワーク
３をより一層精度良く加工することができる。

【００６３】なお、本出願人が上記電解インプロセスド
レッシング研削装置１により、導電性砥石４として、♯
４０００のダイヤモンド鋳鉄ボンド砥石を使用し、電源
６からの印加電圧を２０Ｖ、最大電流を５Ａとして、ス
テンレス鋼のワーク３の表面を研削加工したところ、ワ
ーク３の表面には、くもりが発生せず、良好な鏡面を得
ることができた。

【００６４】図３及び図４は、本発明の電解インプロセ
スドレッシング研削法及び電解インプロセスドレッシン
グ研削装置の第２の実施の形態を適用した電解インプロ
セスドレッシング研削装置１０の要部正面図である。

【００６５】なお、本実施の形態は、上記第１の実施の
形態の電解インプロセスドレッシング研削装置と同様の
電解インプロセスドレッシング研削装置に適用したもの
であり、第１の実施の形態の電解インプロセスドレッシ
ング研削装置と同様の構成部分には、同一の符号を付し
て、その詳細な説明を省略する。

【００６６】図３において、電解インプロセスドレッシ
ング研削装置１０は、上記第１の実施の形態の電解イン
プロセスドレッシング研削装置１と同様に、図示しない
ベース上に導電性材料で形成されたワークチャック２が
配設され、ワークチャック２には、ワーク３が着脱可能
にチャックされる。

【００６７】ワーク３のワーク面には、導電性砥石４が
接触して、導電性砥石４によりワーク３の研削が行わ
れ、導電性砥石４は、例えば、図４に示すように、図示
しないモータにより回転駆動される砥石軸４ａの先端に
球形の導電性の砥石４ｂが取り付けられたものが用いら
れて、砥石軸４ａが少し傾けられた状態で球形の砥石４
ｂが高速回転されることによりワーク３の研削を行う。
導電性砥石４は、その砥石４ｂがダイヤモンドを砥粒と
するダイヤモンドボンド砥石、例えば、♯４００のダイ
ヤモンド鋳鉄ボンド砥石あるいは♯８００のダイヤモン
ド導電性レジンボンド砥石等が用いられている。

【００６８】そして、電解インプロセスドレッシング装
置１は、図示しないが、研削液７（図４参照）を供給す
るノズルが配設されており、ノズルは、ワーク３のワー
ク面に研削液７を供給する。

【００６９】再び、図３において、導電性砥石４には、
導電性砥石４に近接した位置であって対向する状態で電
極５が配設されており、電極５は、具体的には、例え
ば、図４に示すように、研削液７の液面に接触しない位
置に配設されている。

【００７０】また、この電極５の近辺には、エアノズル
（研削液除去手段）１１が配設されており、エアノズル
１１は、加工中にエアを噴射して、ワーク３のワーク面
上に存在する研削液７を電極５が研削液７の液面に接触
しない程度に吹き飛ばす。このエアノズル１１から噴射
されるエアは、所定の温度、例えば、５℃程度に冷却さ
れている。

【００７１】そして、図３に示すように、電極５は、電
源６の負極に接続されており、導電性砥石４、特に、砥
石４ｂは、図示しないカーボンブラシを介して電源６の
正極に接続されているとともに、この導電性砥石４と導
通している箇所とワーク３とが接続されて、ワーク３も
電源６の正極に接続された状態となっている。また、電
源６は、例えば、印加電圧が３０Ｖで、最大電流が３Ａ
の電源を供給し、導電性砥石４とワーク３のワーク面に
所定の電解を付与する。この電極５は、第１の実施の形
態の電極５よりも導電性砥石４に近接して配設されてい
る。

【００７２】次に、本実施の形態の作用を説明する。電
解インプロセスドレッシング研削装置１０は、ワーク３
の研削を行う際には、ワーク３をワークチャック２にチ
ャックさせ、導電性砥石４の砥石４ｂをワーク３のワー
ク面に接触させて、図示しないノズルから研削液７をワ
ーク３のワーク面に供給しつつ、高速回転させ、また、
エアノズル１１からエアを噴射するとともに、電源６か
ら電極５に負電位を、導電性砥石４の砥石４ｂ及びワー
ク３に正電位を供給する。

【００７３】このように、電極５に負電位を、導電性砥
石４に正電位を、それぞれ付与し、ワーク３のワーク面
に研削液７を供給して、エアノズル１１から噴射するエ
アにより電極５が研削液７に接触しないようにしつつ、
導電性砥石４を高速回転させて研削を行うと、研削液７
を介して電極５と導電性砥石と４との間で電解が発生し
て、導電性砥石４がドレッシングされ、導電性砥石４に
よるワーク３の研削を効率的に行うことができる。

【００７４】また、電解インプロセスドレッシング研削
装置１では、エアノズル１１から噴射するエアにより電
極５が研削液に接触しないようにしているため、ワーク
３と電極５との間で電位差は生じているが、ワーク３に
も導電性砥石４と同じ正電位が電源６から供給されてい
るため、導電性のワーク３と電極５とが同電位となって
いる。その結果、従来のように、導電性のワーク３と電
極５との間で電解現象が発生してワーク３にくもりが発
生することを適切に防止することができ、ワーク３にく
もりを発生させることなく、ワーク３を良好な鏡面に研
削することができる。また、エアノズル１１から噴射す
るエアにより研削液７を電極５から離隔する方向に吹き
飛ばしているので、電極５をワーク３により一層近づけ
つつ、電極５が研削液７の液面と接触することを防止し
て、導電性のワーク３と電極５との間で電位差が生じて
も、導電性のワーク３と電極５との間で電解現象が起こ
ることを防止することができ、ワーク３のワーク面にく
もりを発生させることなく、ワーク３をより一層精度良
く加工することができる。

【００７５】このように本実施の形態の電解インプロセ
スドレッシング研削装置１０は、ベース上に載置された
ワークチャック２にチャックされた導電性のワーク３
を、ワーク３の加工面に研削液７を付与しつつ、導電性
砥石４に当該導電性砥石４に対向配置された電極５から
電源６からの電圧を印加して電解によりドレッシングし
ながら導電性砥石４で研削加工するに際して、導電性砥
石４とワーク３とを略同電位に設定して、ワーク３の研
削加工を行うが、このとき、電源６からワーク３に導電
性砥石４と同極性であって同電位の電荷を印加して、導
電性砥石４とワーク３とを略同電位に設定している。

【００７６】したがって、導電性砥石４と導電性のワー
ク３とを簡単に略同電位にして、導電性砥石４と導電性
のワーク３との間で電解現象が起こることを防止するこ
とができ、ワーク３の加工面にくもりを発生させること
なく、ワーク３を精度良く、かつ、安価に加工すること
ができる。

【００７７】また、電解インプロセスドレッシング研削
装置１０は、ワーク３の加工面上に供給される研削液７
を研削液除去手段であるエアノズル１１からエアを吹き
付けて、少なくとも電極５部分から離隔する方向に払拭
して、電極５が研削液７の液面から離れた状態としてい
る。

【００７８】したがって、電極５をワーク３により一層
近づけつつ、電極５が研削液７の液面と接触することを
防止して、導電性のワーク３と電極５との間で電位差が
生じても、導電性のワーク３と電極５との間で電解現象
が起こることを防止することができ、ワーク３の加工面
にくもりを発生させることなく、ワーク３をより一層精
度良く加工することができる。

【００７９】さらに、電解インプロセスドレッシング研
削装置１０は、エアノズル１１から吹き付けるエアを、
室温以下の温度に冷却している。

【００８０】したがって、加工点の冷却を行って、導電
性のワーク３と電極５との間で電位差が生じても、導電
性のワーク３と電極５との間で電解現象が起こることを
防止することができ、ワーク３の加工面にくもりを発生
させることなく、ワーク３をより一層精度良く加工する
ことができる。

【００８１】なお、本出願人が上記電解インプロセスド
レッシング研削装置１０により、導電性砥石４として、
♯４０００のダイヤモンド鋳鉄ボンド砥石を使用し、エ
アノズル１１から約５℃に冷却したエアを噴射させ、電
源６からの印加電圧を３０Ｖ、最大電流を３Ａとして、
ステンレス鋼のワーク３の表面を研削加工したところ、
ワーク３の表面には、くもりが発生せず、良好な鏡面を
得ることができた。

【００８２】また、本出願人は、図５に示すように、電
極６として、その本体部分１２を導電性材料である銅で
作成するとともに、導電性砥石４に対向する面以外の
面、すなわち、導電性砥石４を電解するのに必要な面以
外の面を絶縁物であるシリコンゴム１３でコーティング
したものを使用し、上記条件と同じ条件、すなわち、導
電性砥石４として、♯４０００のダイヤモンド鋳鉄ボン
ド砥石を使用し、エアノズル１１から約５℃に冷却した
エアを噴射させ、上記電源６からの印加電圧を３０Ｖ、
最大電流を３Ａとして、ステンレス鋼のワーク３の表面
を研削加工したところ、ワーク３であるステンレス鋼の
表面には、くもりが発生せず、良好な鏡面を得ることが
できた。

【００８３】さらに、本出願人は、ワーク３を載せるベ
ースを導電性材料で形成し、当該ベースと導電性砥石４
とを電気的に導通させ、ワークチャック２として導電性
材料、例えば、金属製のバイスを使用し、ベースとワー
ク３を電気的に絶縁しないようにした状態、すなわち、
導電性砥石４とワーク３とを導電性のベース及びワーク
チャック２を介して同電位とした状態で、ワーク３とし
ての焼き入れ鋼を鏡面加工した。また、この実験では、
導電性砥石４として、♯８０００のダイヤモンド導電性
レジンボンド砥石を使用し、エアノズル１１から約５℃
に冷却したエアを噴射させ、上記電源６からの印加電圧
を３０Ｖ、最大電流を１０Ａとし、電極６として、図６
に示すように、その本体部分１４を絶縁物である硬質塩
化ビニルで電極形状に形成し、導電性砥石４に対向する
面、すなわち、導電性砥石４を電解するために必要な面
に導電性材料である無電解銅メッキ１５を施したものを
使用して、焼き入れ鋼のワーク３の表面を研削加工した
ところ、ワーク３である焼き入れ銅の表面には、くもり
が発生せず、良好な鏡面を得ることができた。

【００８４】すなわち、この場合、ワークチャック２を
導電性部材で形成し、ワークチャック２の搭載されるベ
ースと導電性砥石４とをワークチャック２を介して電気
的に導通して、導電性砥石４とワーク３とを略同電位に
設定しているので、導電性砥石４と導電性のワーク３と
を簡単に略同電位にして、導電性砥石４と導電性のワー
ク３との間で電解現象が起こることを防止することがで
き、ワーク３の加工面にくもりを発生させることなく、
ワーク３を精度良く、かつ、安価に加工することができ
る。

【００８５】この場合、ワーク３あるいはワークチャッ
ク２等のワーク３と電気的に導通されている部材と導電
性砥石４とを電気的に導通し、導電性砥石４とワーク３
とを略同電位に設定してもよい。このようにすると、導
電性砥石４と導電性のワーク３とを簡単に略同電位にし
て、導電性砥石４と導電性のワーク３との間で電解現象
が起こることを防止することができ、ワーク３の加工面
にくもりを発生させることなく、ワーク３を精度良く、
かつ、安価に加工することができる。

【００８６】また、本出願人は、図６に示した電極６の
無電解銅メッキ１５の代わりに、アルミ箔を接着した電
極６、すなわち、電極６の本体部分１４を絶縁物で電極
形状に形成し、導電性砥石４に対向する面に導電性材料
であるアルミ箔を接着したものを使用して、上記と同様
の条件で焼き入れ鋼のワーク３の表面を研削加工したと
ころ、ワーク３である焼き入れ銅の表面には、くもりが
発生せず、良好な鏡面を得ることができた。

【００８７】以上、本発明者によってなされた発明を好
適な実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は
上記のものに限定されるものではなく、その要旨を逸脱
しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもな
い。

【００８８】

【発明の効果】請求項１記載の発明の電解インプロセス
ドレッシング研削法によれば、ベース上に載置されたワ
ークチャックにチャックされた導電性のワークを、ワー
クの加工面に研削液を付与しつつ、導電性砥石に当該導
電性砥石に対向配置された電極から研削用電源からの電
圧を印加して電解によりドレッシングしながら導電性砥
石で研削加工するに際して、導電性砥石とワークとを略
同電位に設定して、ワークの研削加工を行うので、導電
性砥石と導電性のワークとの間で電解現象が起こること
を防止することができ、ワークの加工面にくもりを発生
させることなく、ワークを精度良く加工することができ
る。

【００８９】請求項２記載の発明の電解インプロセスド
レッシング研削装置によれば、ベース上に載置されたワ
ークチャックにチャックされた導電性のワークを、ワー
クの加工面に研削液を付与しつつ、導電性砥石に当該導
電性砥石に対向配置された電極から研削用電源からの電
圧を印加して電解によりドレッシングしながら導電性砥
石で研削加工するに際して、導電性砥石とワークとを略
同電位に設定して、ワークの研削加工を行うので、導電
性砥石と導電性のワークとの間で電解現象が起こること
を防止することができ、ワークの加工面にくもりを発生
させることなく、ワークを精度良く加工することができ
る。

【００９０】請求項３記載の発明の電解インプロセスド
レッシング研削装置によれば、研削用電源からワークあ
るいはワークチャック等の当該ワークと電気的に接続さ
れている部材に導電性砥石と同極性であって同電位の電
荷を印加して、導電性砥石とワークとを略同電位に設定
しているので、導電性砥石と導電性のワークとを簡単に
略同電位にして、導電性砥石と導電性のワークとの間で
電解現象が起こることを防止することができ、ワークの
加工面にくもりを発生させることなく、ワークを精度良
く、かつ、安価に加工することができる。

【００９１】請求項４記載の発明の電解インプロセスド
レッシング研削装置によれば、ワークあるいはワークチ
ャック等のワークと電気的に導通されている部材と導電
性砥石とを電気的に導通し、導電性砥石とワークとを略
同電位に設定しているので、導電性砥石と導電性のワー
クとを簡単に略同電位にして、導電性砥石と導電性のワ
ークとの間で電解現象が起こることを防止することがで
き、ワークの加工面にくもりを発生させることなく、ワ
ークを精度良く、かつ、安価に加工することができる。

【００９２】請求項５記載の発明の電解インプロセスド
レッシング研削装置によれば、ワークチャックを所定の
導電性部材で形成し、当該ワークチャックの搭載される
ベースと導電性砥石とをワークチャックを介して電気的
に導通して、導電性砥石とワークとを略同電位に設定し
ているので、導電性砥石と導電性のワークとを簡単に略
同電位にして、導電性砥石と導電性のワークとの間で電
解現象が起こることを防止することができ、ワークの加
工面にくもりを発生させることなく、ワークを精度良
く、かつ、安価に加工することができる。

【００９３】請求項６記載の発明の電解インプロセスド
レッシング研削装置によれば、電極を、少なくとも研削
加工時に、ワークの加工面に供給される研削液の液面か
ら離れた状態で配置しているので、導電性のワークと電
極との間で電位差が生じても、導電性のワークと電極と
の間で電解現象が起こることを防止することができ、ワ
ークの加工面にくもりを発生させることなく、ワークを
より一層精度良く加工することができる。

【００９４】請求項７記載の発明の電解インプロセスド
レッシング研削装置によれば、ワークの加工面上に供給
される研削液を所定の研削液除去手段で少なくとも電極
部分から離隔する方向に払拭して、電極が研削液の液面
から離れた状態としているので、電極をワークにより一
層近づけつつ、電極が研削液の液面と接触することを防
止して、導電性のワークと電極との間で電位差が生じて
も、導電性のワークと電極との間で電解現象が起こるこ
とを防止することができ、ワークの加工面にくもりを発
生させることなく、ワークをより一層精度良く加工する
ことができる。

【００９５】請求項８記載の発明の電解インプロセスド
レッシング研削装置によれば、研削液除去手段として、
ワークの加工面上にエアを吹き付けて、当該ワークの加
工面上に供給される研削液を少なくとも電極部分から離
隔する方向に払拭して、電極を研削液の液面から離れた
状態としているので、安価な構成で電極が研削液の液面
と接触することを防止しつつ、電極をワークにより一層
近づけて、導電性のワークと電極との間で電位差が生じ
ても、導電性のワークと電極との間で電解現象が起こる
ことを防止することができ、ワークの加工面にくもりを
発生させることなく、ワークをより一層精度良く、か
つ、安価に加工することができる。

【００９６】請求項９記載の発明の電解インプロセスド
レッシング研削装置によれば、研削除去手段から吹き付
けるエアを、室温以下の温度に冷却しているので、加工
点の冷却を行って、導電性のワークと電極との間で電位
差が生じても、導電性のワークと電極との間で電解現象
が起こることを防止することができ、ワークの加工面に
くもりを発生させることなく、ワークをより一層精度良
く加工することができる。

【００９７】請求項１０記載の発明の電解インプロセス
ドレッシング研削装置によれば、電極を、導電性砥石に
対向する面以外の面が所定の絶縁物で形成されたものと
しているので、電極からワーク側に漏れる電流を防止す
ることができ、ワークの加工面にくもりを発生させるこ
となく、ワークをより一層精度良く加工することができ
る。

【００９８】請求項１１記載の発明の電解インプロセス
ドレッシング研削装置によれば、電極を、導電性砥石に
対向する面以外の面が所定の絶縁物でコーティングされ
たものとしているので、電極からワーク側に漏れる電流
を簡単に防止することができ、ワークの加工面にくもり
を発生させることなく、ワークをより一層精度良く、か
つ、安価に加工することができる。

【００９９】請求項１２記載の発明の電解インプロセス
ドレッシング研削装置によれば、電極を、導電性砥石に
対向する面以外の部分が所定の絶縁物で形成され、導電
性砥石に対向する面に所定の導電性部材がコーティング
されたものとしているので、電極からワーク側に漏れる
電流を簡単に防止することができ、ワークの加工面にく
もりを発生させることなく、ワークをより一層精度良く
加工することができる。

【０１００】請求項１３記載の発明の電解インプロセス
ドレッシング研削装置によれば、電極を、導電性砥石に
対向する面以外の部分が所定の絶縁物で形成され、前記
導電性砥石に対向する面に所定の導電性部材で形成され
た箔あるいは板部材が接着されたものとしているので、
電極からワーク側に漏れる電流を簡単に防止することが
でき、ワークの加工面にくもりを発生させることなく、
ワークをより一層精度良く加工することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の電解インプロセスドレッシング研削法
及び電解インプロセスドレッシング研削装置の第１の実
施の形態を適用した電解インプロセスドレッシング研削
装置の要部正面図。

【図２】図１の電極、導電性砥石及びワーク部分の拡大
正面図。

【図３】本発明の電解インプロセスドレッシング研削法
及び電解インプロセスドレッシング研削装置の第２の実
施の形態を適用した電解インプロセスドレッシング研削
装置の要部正面図。

【図４】図３の電極、導電性砥石及びワーク部分の拡大
正面図。

【図５】図３の電極の他の例を示す電極、導電性砥石及
びワーク部分の拡大正面図。

【図６】図３の電極のさらに他の例を示す電極、導電性
砥石及びワーク部分の拡大正面図。

【符号の説明】

１ 電解インプロセスドレッシング研削装置 ２ ワークチャック ３ ワーク ４ 導電性砥石 ４ａ 砥石軸 ４ｂ 砥石 ５ 電極 ６ 電極 ７ 研削液 １０ 電解インプロセスドレッシング研削装置 １１ エアノズル １２ 本体部分 １３ シリコンゴム １４ 本体部分 １５ 無電解銅メッキ

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】所定のベース上に載置されたワークチャッ
   クにチャックされた導電性のワークを、導電性砥石で研
   削加工するに際して、前記ワークの加工面に所定の研削
   液を付与しつつ、所定の研削用電源から当該導電性砥石
   に当該導電性砥石に対向配置された電極から電圧を印加
   して電解によりドレッシングしながら加工する電解イン
   プロセスドレッシング研削法において、前記導電性砥石
   と前記ワークとを略同電位に設定して、前記ワークの研
   削加工を行うことを特徴とする電解インプロセスドレッ
   シング研削法。
2. 【請求項２】所定のベース上に載置されたワークチャッ
   クにチャックされた導電性のワークを、導電性砥石で研
   削加工するに際して、前記ワークの加工面に所定の研削
   液を付与しつつ、所定の研削用電源から当該導電性砥石
   に当該導電性砥石に対向配置された電極から電圧を印加
   して電解によりドレッシングしながら加工する電解イン
   プロセスドレッシング研削装置において、前記導電性砥
   石と前記ワークとを略同電位に設定して、前記ワークの
   研削加工を行うことを特徴とする電解インプロセスドレ
   ッシング研削装置。
3. 【請求項３】前記研削用電源から前記ワークあるいは前
   記ワークチャック等の当該ワークと電気的に接続されて
   いる部材に前記導電性砥石と同極性であって同電位の電
   荷を印加して、前記導電性砥石と前記ワークとを略同電
   位に設定することを特徴とする請求項２記載の電解イン
   プロセスドレッシング研削装置。
4. 【請求項４】前記ワークあるいは前記ワークチャック等
   の前記ワークと電気的に導通されている部材と前記導電
   性砥石とが電気的に導通され、前記導電性砥石と前記ワ
   ークとが略同電位に設定されていることを特徴とする請
   求項２記載の電解インプロセスドレッシング研削装置。
5. 【請求項５】前記ワークチャックが、所定の導電性部材
   で形成され、当該ワークチャックの搭載されるベースと
   前記導電性砥石とが前記ワークチャックを介して電気的
   に導通されて、前記導電性砥石と前記ワークとが略同電
   位に設定されていることを特徴とする請求項２記載の電
   解インプロセスドレッシング研削装置。
6. 【請求項６】前記電極は、少なくとも前記研削加工時
   に、前記ワークの加工面に供給される前記研削液の液面
   から離れた状態で配置されていることを特徴とする請求
   項２から請求項５のいずれかに記載の電解インプロセス
   ドレッシング研削装置。
7. 【請求項７】前記ワークの加工面上に供給される前記研
   削液を所定の研削液除去手段で少なくとも前記電極部分
   から離隔する方向に払拭して、前記電極が前記研削液の
   液面から離れた状態とすることを特徴とする請求項２か
   ら請求項５のいずれかに記載の電解インプロセスドレッ
   シング研削装置。
8. 【請求項８】前記研削液除去手段は、前記ワークの加工
   面上にエアを吹き付けて、当該ワークの加工面上に供給
   される前記研削液を少なくとも前記電極部分から離隔す
   る方向に払拭して、前記電極を前記研削液の液面から離
   れた状態とすることを特徴とする請求項７記載の電解イ
   ンプロセスドレッシング研削装置。
9. 【請求項９】前記エアは、室温以下の温度に冷却されて
   いることを特徴とする請求項８記載の電解インプロセス
   ドレッシング研削装置。
10. 【請求項１０】前記電極は、前記導電性砥石に対向する
    面以外の面が所定の絶縁物で形成されていることを特徴
    とする請求項２から請求項９のいずれかに記載の電解イ
    ンプロセスドレッシング研削装置。
11. 【請求項１１】前記電極は、前記導電性砥石に対向する
    面以外の面が所定の絶縁物でコーティングされているこ
    とを特徴とする請求項２から請求項９のいずれかに記載
    の電解インプロセスドレッシング研削装置。
12. 【請求項１２】前記電極は、前記導電性砥石に対向する
    面以外の部分が所定の絶縁物で形成され、前記導電性砥
    石に対向する面に所定の導電性部材がコーティングされ
    ていることを特徴とする請求項２から請求項９のいずれ
    かに記載の電解インプロセスドレッシング研削装置。
13. 【請求項１３】前記電極は、前記導電性砥石に対向する
    面以外の部分が所定の絶縁物で形成され、前記導電性砥
    石に対向する面に所定の導電性部材で形成された箔ある
    いは板部材が接着されていることを特徴とする請求項２
    から請求項９のいずれかに記載の電解インプロセスドレ
    ッシング研削装置。