JP2000260381A - 走査型画像の処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、粒子線などのビームを細く絞って
試料上を面走査して得られた高精細の画像をカラー表示
およびカラー印刷する走査型画像の処理装置に関し、ビ
ームで試料を走査して発生する信号を検出し、千から数
万画素の信号をカラー画像にして表示および印刷して観
察することを目的とする。 【解決手段】 細く絞ったビームを試料に照射する手段
と、ビームで試料を照射した状態で振って平面走査する
走査手段と、ビームを試料面上に走査して発生された信
号あるいは吸収された信号を検出する検出手段と、検出
手段によって検出された信号に対応した、デジタルのカ
ラー信号に変換する手段と、変換されたカラー信号を出
力する手段とを備えるように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、粒子線などのビー
ムを細く絞って試料上を面走査して得られた高精細の画
像をカラー表示およびカラー印刷する走査型画像の処理
装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、試料に細く絞った荷電粒子である
電子やイオンなどを照射しつつ面走査しそのときに発生
する２次電子や２次イオンを検出し、ブラウン管上に輝
度変調して拡大した走査画像を表示したり、ブラウン管
上の画像をポラロイドフィルムで撮影したり、通常のフ
ィルムで撮影して印画紙に焼き付けて当該走査画像を観
察したりしていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ブラウン管では、通常、高々５００から１６００画素程
度の矩形の画像しか当該ブラウン管の解像度がないため
に表示できなく、表示できる走査画像の大きさは、せい
ぜい２０ｃｍ矩形であり、分解能が悪く奇麗に観察でき
ないという問題があった。同様に、ブラウン管上の画像
をフィルムで撮影してから印画紙に焼き付けても、ブラ
ウン管を使う関係で上記と同様にそれほど細かい画素の
走査画像を記録して観察できないという問題があった。

【０００４】このため、走査型顕微鏡でブラウン管など
の表示装置を経由して走査画像を記録することではな
く、走査型顕微鏡などから得られた画像信号を直接にカ
ラー画像にして表示および高精細かつ広視野に印刷して
観察するすることが望まれている。

【０００５】本発明は、これらの問題を解決するため、
ビームで試料を走査して発生する信号を検出し、千から
数万画素の信号をカラー画像にして表示および印刷して
観察することを目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】図１を参照して課題を解
決するための手段を説明する。ここでは、荷電粒子を例
に以下説明する。

【０００７】図１において、照射系１は、例えば荷電粒
子（電子線など）を発生させて集束し試料７上に細く絞
ったビームて照射した状態で平面走査するものであっ
て、偏向コイル３、対物レンズ６、および２次電子検出
器１９などから構成されるものである。

【０００８】偏向コイル３は、試料７上に細く絞って照
射されている電子線ビームを、偏向して平面走査するも
のである。試料７は、電子線ビームを平面走査してその
時に発生する信号を検出する対象の試料である。

【０００９】２次電子検出器１９は、試料７から放射さ
れた２次電子を検出するものである。表示装置２８は、
カラーで２次電子画像などを表示するものである。

【００１０】次に、動作を説明する。照射系１を構成す
る図示外の粒子線源から発生させた粒子線、例えば電子
線を対物レンズ６によって細く絞った電子線ビームを試
料７上に照射した状態で、偏向コイル３によって偏向し
て試料７上で電子線ビームを平面走査し、試料７から発
生した例えば２次電子を２次電子検出器１９によって検
出し、カラー画像に変換して画面上に表示する。

【００１１】この際、倍率あるいは走査線数が変化さ
れ、試料７に電子線ビームで走査する際に、走査線の間
が空くと判明したときに、電子線ビームをほぼ走査線の
間隔にデフォーカスして太くするようにしている。

【００１２】また、倍率あるいは走査線数が変化され、
試料７を電子線ビームで走査する際に、走査線の間が空
くと判明したときに、電子線ビームでほぼ走査線の間隔
の微小領域をそれぞれ平面走査するようにしている。

【００１３】また、試料の所定領域の中央の１部分およ
び周辺の複数の１部分を平面走査して検出された信号を
画面上に拡大した画像として表示し、表示された中央の
拡大した画像、および周辺の複数の拡大した画像毎に上
記ビームの焦点合せを行い、焦点合せされた値をもとに
ビームの焦点補正を行うようにしている。

【００１４】また、試料７を中心に１８０度対称の位置
に、電子線ビームが試料７に照射したときに発生する信
号を検出する、複数組の検出器を設け、１８０度対称の
検出器によって検出されたそれぞれからの信号の差分信
号を、複数組分を生成し、差分信号を走査方向にそれぞ
れ積分して試料のそれぞれの方向の高さ情報を生成し、
生成された試料７のそれぞれの方向の高さ情報をもとに
電子線ビームの焦点合せを行うようにしている。

【００１５】また、試料の所定領域の中央の１部分およ
び周辺の複数の１部分を平面走査して検出された信号を
画面上に拡大した画像として表示し、表示された中央の
拡大した画像、および周辺の複数の拡大した画像毎に上
記ビームの非点合せを行い、非点合せされた値をもとに
ビームの非点補正を行うようにしている。

【００１６】また、検出された信号の階調に対応する、
カラーの階調を登録したテーブルを設け、検出された信
号について、テーブルを参照してカラー信号に変換する
ようにしている。

【００１７】また、検出された信号をカラー信号に変換
する際に、指定されたカラーの２つの色をもとに、検出
された信号の階調に対応するカラー信号の階調を作成し
てて変換するようにしている。

【００１８】また、検出された信号を８ビット以上と
し、カラーの信号がＲＧＢのときにそれぞれ８ビット、
あるいはカラーの信号が印刷用のときに印刷装置で使用
するカラーデータ形式の色と色のビット数とするように
している。

【００１９】従って、ビームで試料を走査して発生する
信号を検出し、千から数万画素の信号をカラー画像にし
て階調良好かつ広視野で表示および印刷して観察するこ
とが可能となる。

【００２０】

【実施例】次に、図１から図１９を用いて本発明の実施
の形態および動作を順次詳細に説明する。ここでは、ビ
ームとして荷電粒子である電子線ビームを例に以下実施
例を詳細に説明する。

【００２１】図１は、本発明のシステム構成図を示す。
図１において、照射系１は、荷電粒子である電子線を発
生させて集束し試料７上に細く絞って照射した状態で平
面走査するものであって、２から６などによって構成さ
れるものでる。

【００２２】集束レンズ２は、図示外の電子銃から発生
されて加速された電子線を集束するものである。偏向コ
イル３は、細く絞って試料７上を照射された電子線ビー
ムを偏向して平面走査するものである。

【００２３】非点補正コイル４は、電子線ビームの非点
を補正するものである。ファインシフトコイル５は、電
子線ビームを水平方向に移動させるものである。

【００２４】ダイナミックフォーカスコイル８は、電子
線ビームが試料７上の中心視野位置から外れた位置を照
射したときでも細い電子線ビームになるようにフォーカ
スするものである。

【００２５】対物レンズ６は、電子線ビームを試料７上
に細く絞って照射するものである。試料７は、電子線ビ
ームを平面走査してその時に発生する信号を検出し、カ
ラー像にして表示および印刷する対象の試料である。

【００２６】任意ステップ走査発生器１１は、任意のス
テップの走査信号（水平、垂直の走査信号）を発生する
ものである。走査発生器１２は、通常の走査型電子顕微
鏡などに用いる低精度（例えば５００画素×５００画
素）の走査信号を発生するものである。

【００２７】走査信号切換装置１３は、任意ステップ
（例えば千から数万画素）の走査信号と、低精度の走査
信号とを任意に、外部からの切換モードに対応して切り
かえるものである。

【００２８】倍率制御回路１４は、走査発生器１２から
供給された低精度の走査信号をもとに指定された倍率の
信号を出力するものである。倍率制御回路１５は、走査
信号切換装置１３から供給された走査信号をもとに指定
された倍率の信号を出力するものである。

【００２９】倍率制御切換器１６は、倍率制御回路１
４、１５あるいは走査信号切換装置１３のいずれかの信
号を切り換えて選択して偏向コイル３に供給し、所定倍
率となる走査電流などを偏向コイル３に供給するもので
ある。

【００３０】ダイナミック非点制御回路１７は、非点補
正コイル４に電流を供給して非点補正するものである。
ファインシフト制御回路５１は、ファインシフトコイル
５に電流を供給して、視野の移動を制御するものであ
る。

【００３１】ダイナミックフォーカス制御回路１８は、
ダイナミックフォーカスコイル８に電流を供給し、ダイ
ナミックフォーカス（電子線ビームが試料７上の視野中
心から偏向されてずれるにしたがい焦点が合わなくなる
ので、これを補正して常に焦点があうように走査信号に
同期して電流を供給して補正）するものである。

【００３２】２次電子検出器１９は、電子線ビームを試
料７の表面に面走査したときに放出される２次電子を検
出して増幅するものである。信号増幅器２０は、２次電
子検出器１９によって検出された信号（画像信号）を増
幅するものである。

【００３３】画像取込装置２１は、信号増幅器２０によ
って増幅された、試料７から放出された２次電子などの
アナログの信号（画像信号）をデジタルの画像信号に変
換（例えば試料７上の全走査範囲を１６，０００×１
６，０００画素となるように水平走査信号および垂直走
査信号に同期してサンプリングし１２ビットのデータに
量子化して画像信号を得るように変換）するものであ
る。

【００３４】Ｉ／Ｏ２３から２７は、ＣＰＵ２９と、任
意ステップ走査発生器１１、倍率制御回路１５、ダイナ
ミック非点制御回路１７、ファインシフト制御回路５
１、ダイナミックフォーカス制御回路１８との間で信号
の授受を行う入出力回路であって、例えばＣＰＵ２９か
らのデジタルの信号をアナログの信号に変換するＤ／Ａ
変換等の信号の制御に使用するものである。

【００３５】プリンタ３０は、高精細のカラーのプリン
タ（プロッタ）である。表示装置２８は、低解像度（５
００ないし１８００ドット）の画像を表示するものであ
って、カラーＣＲＴ、カラー液晶、一般家電のテレビな
どである。

【００３６】ＣＰＵ２９は、プログラムに従い各種処理
を行うものであって、ここでは、プログラムによって動
作する画像編集手段３５、画像変換手段３６などから構
成されるものである。

【００３７】画像編集手段３５は、画像を編集して画面
３３上に表示させるものである。画像変換手段３６は、
モノクロの画像信号を、カラーの画像信号に変換（例え
ばモノクロの画像信号の階調を落とさずにカラーの画像
信号に変換）したりなどするものである。

【００３８】次に、図２から図１９を用いて図１の構成
および動作を順次詳細に説明する。図２は、本発明の説
明図（間引き走査）を示す。これは、走査信号（Ｈ，
Ｖ）を間引いて任意のステップの走査信号（Ｈ，Ｖ）を
生成するときの構成図およびその説明図を示す。

【００３９】図２の（ａ）は、回路構成図を示す。図２
の（ａ）において、クロック発生回路３２は、走査信号
を生成するためのクロックを発生させるものである。

【００４０】ゲート回路３３は、クロック発生回路３２
からのクロック、あるいは間引き回路３５を経由して間
引いた後のクロックのいずれかをカウンタ３６，３７に
供給するように切り換えるものである。

【００４１】ラッチ３４は、ＣＰＵ２９から設定された
間引き値を保持するものである。間引き回路３５は、ラ
ッチ３４に設定された間引き値だけ、ゲート回路３３か
ら供給されたクロックを間引いた後のクロックをカウン
タ３６，３７に供給するものである。例えば８パルス毎
の間引いたクロックをカウンタ３６，３７に供給して図
２の（ｂ）に示す走査信号（Ｈ，Ｖ）を生成させるため
のものである。

【００４２】カウンタ３６，３７は、入力されたクロッ
クをもとに、デジタルの走査信号（Ｈ，Ｖ）を生成する
ものである。Ｄ／Ａ３８，３９は、デジタルの走査信号
（Ｈ，Ｖ）をアナログの走査信号に変換するものであ
る。

【００４３】図２の（ｂ）は、間引かないのときの走査
信号および間引いたときの走査信号をイメージ的に示
す。図２の（ｂ−１）は、間引かないときの走査信号
（Ｈ、Ｖ）の例を示す。この場合には、水平方向（Ｈ）
に１６０００ステップ（画素）、垂直方向（Ｖ）に１６
０００ステップ（画素）の走査信号（Ｈ，Ｖ）となる。

【００４４】図２の（ｂ−２）は、間引いたとき（８パ
ルス毎に間引いたとき）の走査信号（Ｈ、Ｖ）の例を示
す。この場合には、水平方向（Ｈ）に２０００ステップ
（画素）、垂直方向（Ｖ）に２０００ステップ（画素）
の走査信号（Ｈ，Ｖ）となる。

【００４５】以上のように、図２の（ａ）の構成のもと
で、ＣＰＵ２９がラッチ３４に間引き値を任意に設定す
るのみで、当該間引き値に対応したステップ数の走査信
号（Ｈ，Ｖ）を発生させることが可能となる。

【００４６】図３は、本発明の説明図（任意ステップ可
変走査、その１）を示す。これは、任意ステップの走査
信号（Ｈ，Ｖ），走査信号（Ｈ，Ｖ）をシフト（直流分
を付加）させるシフト信号、走査信号（Ｈ，Ｖ）を拡大
する拡大信号をＣＰＵ２９が任意に設定し、任意ステッ
プの走査信号（Ｈ，Ｖ）を生成するものである。

【００４７】図３において、クロック発生回路４１は、
クロックを発生するものである。ゲート回路４２は、ク
ロック発生回路４１からのクロックをカウンタ４３，４
４に供給、あるいは比較器４６，４８に供給するかのい
ずれかに切り換えるものである。

【００４８】カウンタ４３，４４は、クロック発生回路
４１からゲート回路４２を介して供給されたクロックを
計数してデジタルの走査信号（Ｈ，Ｖ）を発生するもの
である。

【００４９】ラッチ４５，４７は、ＣＰＵ２９が走査信
号（Ｈ，Ｖ）の任意のステップ数を設定するラッチであ
る。比較器４６，４８は、クロック発生回路４１からゲ
ート回路４２を介して供給されたクロックが、ラッチ４
６，４７に設定されたステップ数に等しくなるまで計数
し、等しくなったときに０から再計数を開始するもので
ある。これにより、比較器４６，４８の出力からラッチ
４６，４７に設定されたステップ数のデジタルの走査信
号（Ｈ，Ｖ）が出力されることとなる。

【００５０】ラッチ４９，５０は、ＣＰＵ２９がシフト
用の任意のステップ数を設定するものである。ラッチ５
２，５３は、ＣＰＵ２９が拡大用の任意のステップ数を
設定するものである。

【００５１】Ｄ／Ａ５４，５５は、カウンタ４３，４
４、あるいは比較器４６，４８からのデジタルの走査信
号（Ｈ，Ｖ）を、アナログの走査信号（Ｈ，Ｖ）Ａに変
換するものである。

【００５２】Ｄ／Ａ５６，５７は、ラッチ４９，５０に
設定されたデジタルのシフト値をアナログのシフト値
（Ｈ，Ｖ）Ｂに変換するものである。Ｄ／Ａ５８，５９
は、ラッチ５２，５３に設定されたデジタルの拡大値を
アナログの拡大値（Ｈ，Ｖ）Ｃに変換するものである。

【００５３】シフト回路６０，６１は、Ｄ／Ａ５４，５
５からの走査信号（Ｈ，Ｖ）Ａと、Ｄ／Ａ５６，５７か
らのシフト値（Ｈ−Ｖ）Ｂとを加算（Ａ＋Ｂ）するもの
である。

【００５４】演算器６２，６３は、シフト回路６０，６
１で加算された後の走査信号（Ａ＋Ｂ），拡大値（Ｈ，
Ｖ）Ｃとを図示の下記の演算を行い、例えば中央、４隅
の合計５個所の拡大した小さな走査信号（Ｈ，Ｖ）を発
生させるものである。

【００５５】Ｙ＝１０（Ａ＋Ｂ）＊Ｃ 以上の回路構成により、ＣＰＵ２９がラッチ４５，４
７，４９，５０，５２，５３に任意の所定の値を設定す
るのみで、自動的に、例えば１６０００×１６０００画
素の中央と、４隅の拡大した走査信号（Ｈ，Ｖ）を発生
させることが可能となる。

【００５６】図４は、本発明の説明図（任意ステップ可
変走査、その２）を示す。図４の（ａ）は、動作フロー
チャートを示す。図４の（ａ）において、Ｓ１は、ステ
ップ数（Ｈ，Ｖ）をラッチに転送する。これは、既述し
た図３のラッチ４５，４７にＣＰＵ２９が走査信号
（Ｈ，Ｖ）のステップ数を設定する。

【００５７】Ｓ２は、シフト量を算出して、ラッチ（シ
フト、Ｈ，Ｖ）に転送する。これは、ＣＰＵ２９が図４
の（ｂ）の４隅の拡大した走査信号（２５００×２５０
０画素）にするためのシフト量（シフトするステップ
数）を算出し、図３のラッチ４９，５０に設定する。

【００５８】Ｓ３は、拡大率を算出して、ラッチ（拡
大、Ｈ，Ｖ）に転送する。これは、ＣＰＵ２９が図４の
（ｂ）の４隅の拡大した走査信号（２５００×２５００
画素）にするための拡大率を算出し、図３のラッチ５
２、５３に設定する。

【００５９】Ｓ４は、走査開始し、カウンタＨがクロッ
ク毎に増加、およびＤ／Ａ出力する。これは、図３の構
成で、比較器４６がクロック毎にラッチ４５に設定され
た値に等しくなるまで増加し、等しくなったときに、Ｓ
５を実行すると共に、リセットして再度、走査開始す
る。

【００６０】Ｓ５は、Ｓ４で１本の水平走査信号の増加
が終わったときにカウンタＶを＋１する。これは、Ｓ４
で１本の水平走査信号（Ｈ）の増加が終わる毎に、図３
の比較器４８を＋１することを繰り返し、ラッチ４７の
値と等しくなったときにリセットして再度、走査開始す
る。

【００６１】図４の（ｂ）は、図４の（ａ）のフローチ
ャートに従い、走査信号（Ｈ，Ｖ）を生成するときの説
明図を示す。ここでは、１６０００×１６０００画素か
ら、２５００×２５００画素の拡大画像について、中心
および隅に丁度納まる図示のように拡大画像をシフトさ
せる。

【００６２】以上によって、ＣＰＵ２９がラッチ４５，
４７，４９，５０，５２，５３に、拡大画像のステップ
数（画素数）、シフト量（シフトステップ数）、拡大率
を任意に設定するのみで、自動的に、例えば１６０００
×１６０００画素の中央と、４隅の拡大した走査信号
（２５００×２５００画素、Ｈ，Ｖ）を発生させること
が可能となる。

【００６３】図５は、本発明の説明図（走査）を示す。
図５の（ａ−１）は、１６０００×１６０００画素の画
像例を示す。図５の（ｂ−１）は、図５の（ａ−１）の
画像を得るときの走査信号（Ｈ，Ｖ）を示す。

【００６４】図５の（ａ−２）は、５０００×５０００
画素の画像を左上隅に得るときの例を示す。図５の（ｂ
−２）は、図５の（ａ−２）の画像を得るときの走査信
号（Ｈ，Ｖ）を示す。ここでは、図５の（ａ−２）の左
上の隅の拡大画像（５０００×５０００画素）を得るた
めに、中心から上方に所定量（所定ステップ数）だけシ
フトし、かつ５０００画素分の走査信号（Ｈ，Ｖ）を発
生させている。

【００６５】図５の（ａ−３）は、５０００×５０００
画素の画像を中心に得るときの例を示す。図５の（ｂ−
３）は、図５の（ａ−３）の画像を得るときの走査信号
（Ｈ，Ｖ）を示す。ここでは、図５の（ａ−３）の中央
の拡大画像（５０００×５０００画素）を得るために、
シフト量０（ゼロ）とし、５０００画素分の走査信号
（Ｈ，Ｖ）を発生させている。

【００６６】図５の（ａ−４）は、図５の（ａ−３）の
画像を拡大した様子を示す。図５の（ｂ−４）は、図５
の（ａ−４）の画像を得るときの走査信号（Ｈ，Ｖ）を
示す。ここでは、図５の（ａ−４）の中央の拡大画像
（５０００×５０００画素）を全体に拡大したものであ
り、振幅を拡大した５０００画素分の走査信号（Ｈ，
Ｖ）を発生させている。

【００６７】以上のように高精細（例えば１６０００×
１６０００画素）で試料７上を走査する場合に、中央、
左上、左下、右下、右上というように例えば５点の所定
倍率で拡大（図５では５０００×５０００画素）した画
像を順番に表示し、それぞれでフォーカス調整、非点調
整を行って各位置における値をそれぞれ記憶しておき、
それらの間は補完してフォーカス調整および非点調整す
ることで、高精細の全体あるいは一部を抽出して拡大表
示しても常にフォーカスおよび非点が補正されるので、
奇麗な高分解能を画像を表示することが可能となる。ま
た、試料７上を中央、左上、左下、右下、右上というよ
うに順次切り換えて拡大画像を表示してフォーカス調整
および非点調整を行うことではなく、これら５点の拡大
画像を１つの画面上に時系列に順次表示し、それぞれの
画面（上記例でる５つの画面）上でフォーカス調整およ
び非点調整をそれぞれ行うようにすれば、更に、操作性
が改善されることとなる。

【００６８】図６は、本発明の説明図（フォーカス調
整）を示す。図６において、ラッチ７１は、ＣＰＵがフ
ォーカス調整する値を設定するものである。

【００６９】Ｄ／Ａ７２は、ラッチ７２に設定されたデ
ジタルの値をアナログの値（信号）に変換するものであ
る。対物回路７３は、Ｄ／Ａ７２から出力された信号お
よび手動でフォーカス調整された信号を、図示のアンプ
７３を含む回路で加算して対物レンズ６に供給するもの
である。これにより、対物レンズ６の電流を調整し、試
料７を照射する電子線ビームが細く絞られて、奇麗な焦
点のあった２次電子画像を得ることが可能となる。

【００７０】図７は、本発明の説明図（ファインシフト
回路組み込み）を示す。これは、走査信号（Ｈ，Ｖ）を
間引いて走査した場合、例えば１６０００×１６０００
画素で電子線ビームのスポット径が丁度、走査線と走査
線との間隔に等しい場合、この電子線ビームのスポット
径を保持したまま、１０本毎に１本（画素）を抽出（間
引く）した走査信号（Ｈ，Ｂ）を発生させて試料７を走
査して画像を生成すると、９本分（９画素分）の隙間が
できて電子線ビームで走査されない部分がここでは、９
０％にもなってしまうので、走査線の間隔に等しい小さ
な矩形（ここでは、１０×１０画素の矩形）を面走査
（Ｈ方向走査およびＶ方向走査）を行い、モアレなどの
発生を防止すると共に、Ｓ／Ｎ比の改善を図るものであ
る。

【００７１】図７の（ａ）は、回路構成図を示す。図７
の（ａ）において、Ｈ走査発生回路８１は、水平方向の
走査信号を発生するものである。

【００７２】Ｖ走査発生回路８２は、垂直方向の走査信
号を発生するものである。ラッチ８３は、ＣＰＵから電
子線ビームを走査する走査信号の大きさを設定するもの
である。

【００７３】Ｄ／Ａ８４は、ラッチ８３に設定されたデ
ジタルの値をアナログの信号に変換するものである。演
算回路８５，８６は、Ｈ走査発生回路８１、Ｖ走査発生
回路８２からの走査信号ＡにＤ／Ａ８４からの値を乗算
（Ａ×Ｂ）を生成し、Ｈｓｃａｎ（走査信号（Ｈ））お
よびＶｓｃａｎ（走査信号（Ｖ））を出力するものであ
る。

【００７４】図７の（ｂ）は、図７の（ａ）のＨｓｃａ
ｎとＶｓｃａｎを左側から入力し、右側からファインシ
フトコイル５に走査線の間隔に等しい小さな矩形の範囲
を走査（水平および垂直方向に走査）する様子を示す。

【００７５】以上のように、走査線と走査線の間に電子
線ビームで走査されない隙間があるときに、走査線の間
隔に等しい小さな矩形内を水平走査および垂直走査する
ことで、モアレの発生を無くしたり、Ｓ／Ｎ比の改善を
図ることが可能となる。

【００７６】図８は、本発明の説明図（フィルタ）を示
す。これは、図７で走査線の間隔に相当する矩形の範囲
内を面走査してそのときに発生した２次電子信号を検出
したときに、当該矩形の範囲内の信号を１画素の信号に
するために、高速走査フィルタを通過させるものであ
る。

【００７７】図８の（ａ）は、回路構成を示す。ここで
は、２次電子検出器１９からの信号（画像信号）を左側
から入力し、図７の回路が動作時には、切換信号によっ
てスイッチを下側に接続し、画像信号を高速走査フィル
タを介してＡ／Ｄ画像取込装置２１に入力し、デジタル
の画像信号にしてＣＰＵに渡す。

【００７８】図８の（ｂ）は、スポット時の信号の例を
示す。電子線ビームがスポット時（図７の回路を動作さ
せない時）には、図示のように、Ｓ／Ｎ比が若干悪くノ
イズが少し重畳している。

【００７９】図８の（ｃ）は、高速走査時（図７の回路
を動作させた時）には、走査線の間隔の矩形領域を高速
に面走査するので、そのときに発生する信号の様子を示
す。図８の（ｄ）は、フィルタ通過後の信号の様子を示
す。これは、図８の（ｃ）の信号を、図８の（ａ）の高
速走査フィルタを通過させて、走査線の間隔の矩形領域
を平面走査したときに得られた信号について、当該矩形
内の信号を１画素相当に平均化させた信号の様子を示
す。これにより、図７の回路を動作させたときに、走査
線の間隔の矩形を平面走査したときの信号をいわば平均
化して試料７の表面形状を忠実に反映した画像を表示可
能となると共に、平均化などしたことでＳ／Ｎ比を改善
して高画質の画像を表示することが可能となる。

【００８０】図９は、本発明の説明図（走査）を示す。
これは、試料７の走査範囲内で任意の倍率で任意の位置
（場所）を拡大した画像を表示するときの回路構成およ
び動作を説明するものである。

【００８１】図９の（ａ）は、回路構成図を示す。図９
の（ａ）において、走査発生器１２は、走査信号（Ｈ，
Ｖ）を発生するものである。

【００８２】切換スイッチ９１は、走査発生器１２から
の走査信号（Ｈ，Ｖ）を直接に倍率制御回路１５を介し
て偏向コイル３に供給し、試料走査範囲の全体の画像を
表示したり、あるいは走査発生器１２からの走査信号
（Ｈ，Ｖ）の倍率調整および位置調整を行った後に倍率
制御回路１５を介して偏向コイル３に供給し、試料走査
範囲の任意の位置の任意の拡大画像を表示するかを切り
換えるものである。

【００８３】倍率調整は、倍率を調整するものであっ
て、走査信号（Ｈ，Ｖ）の大きさを調整するものであ
る。位置調整は、走査する位置を調整するものであっ
て、走査信号（Ｈ，Ｖ）に直流分を付加するものであ
る。

【００８４】図９の（ｂ）は、倍率調整および位置調整
により変化する試料走査範囲と画面との関係を示す。こ
こで、上段は試料７上における電子線ビームの試料走査
範囲（図９の（ａ）の切換スイッチ９１が下段）を示
し、下段は画面上における画像を示す。

【００８５】図９の（ｂ−１）は、上段の試料走査範囲
のほぼ中央の小さな矩形内を電子線ビームで走査してい
る状態を示す。この状態では、上段の中央の小さな矩形
内から放出された信号が、下段の画面上に一杯に表示さ
れる。

【００８６】図９の（ｂ−２）は、上段の試料走査範囲
のほぼ中央の小さな矩形内を電子線ビームで走査してい
る状態を示す。この状態では、上段の中央の小さな矩形
内から放出された信号（例えば図示の’イ’）が、下段
の画面上に一杯に表示される。

【００８７】図９の（ｂ−３）は、上段の試料走査範囲
のほぼ中央の右の小さな矩形内を電子線ビームで走査し
ている状態を示す。この状態では、上段の中央の右の小
さな矩形内から放出された信号（例えば図示の’ロ’）
が、下段の画面上に一杯に表示される。

【００８８】図９の（ｂ−４）は、上段の試料走査範囲
の右上の小さな矩形内を電子線ビームで走査している状
態を示す。この状態では、上段の右上のさな矩形内から
放出された信号（例えば図示の’ハ’）が、下段の画面
上に一杯に表示される。

【００８９】以上のように、図９の（ａ）の切換スイッ
チ９１、倍率調整、および位置調整を操作することで、
図９の（ｂ−１）から（ｂ−４）に示すように、試料７
上の任意の場所を任意の倍率で画面上に画像を拡大して
表示することが可能となる。

【００９０】図１０は、本発明の説明図（デフォーカ
ス）を示す。これは、走査線の間隔よりも電子線ビーム
のスポット径が小さいときに、対物レンズ６をデフォー
カスして電子線ビームの間隔にほぼ同じようにしたもの
である。

【００９１】図１０において、ラッチ９２は、ＣＰＵが
デフォーカスする値をラッチするものである。Ｄ／Ａ９
３は、ラッチ９２に保持されたデジタルの値をアナログ
の値に変換するものである。

【００９２】フォーカス調整は、電子線ビームで試料７
上を走査するときに、走査線の間隔よりも電子線ビーム
の径が小さいときに、デフォーカスしてほぼ同じにし、
モワレの発生を無くすと共に、Ｓ／Ｎ比を改善するもの
である。

【００９３】図１１は、本発明の説明図（ダイナミック
・フォーカス、その１）を示す。ここで、上段は走査信
号（Ｈ），下段は垂直信号（Ｖ）ダイナミック・フォー
カスである。

【００９４】図１１において、左右分離回路９４は、走
査信号（Ｈ）を左右に分離するものである。上下分離回
路９５は、走査信号（Ｖ）を上下に分離するものであ
る。

【００９５】補正回路９６は、ダイナミック・フォーカ
ス補正を調整する回路である。信号合成回路９８は、信
号を合成し、ダイナミック・フォーカスコイル７に供給
するものである。

【００９６】次に、動作を説明する。左側から入力され
た走査信号（Ｈ）は、左右分離回路９４で分離され、補
正回路９６にそれぞれ入力され補正を行う（Ｈ補正、Ｈ
2補正（Ｈの２乗補正））をそれぞれ行う）。

【００９７】同様に、左側から入力された走査信号
（Ｖ）は、上下分離回路９５で分離され、補正回路９６
にそれぞれ入力され補正を行う（Ｖ補正、Ｖ2補正（Ｖ
の２乗補正））をそれぞれ行う）。

【００９８】以上の調整によって走査信号（Ｈ，Ｖ）に
連動してダイナミック・フォーカスをそれぞれ行うこと
が可能となる。図１２は、本発明の説明図（ダイナミッ
ク・フォーカス、その２）を示す。

【００９９】図１２の（ａ）は、補正信号例を示す。こ
こで、左から走査信号（Ｈ，Ｖ）を入力し、Ｈ2(Ｈの二
乗）発生回路およびーＨ2(Ｈの２乗）発生回路でそれぞ
れＨ２信号およびーＨ２信号を発生して可変設定抵抗の
両端に入力し、当該可設定抵抗を調整し、右側からダイ
ナミック補正信号を、図１のダイナミックフォーカスコ
イル７に供給する。そして、試料７の中央と周辺を電子
線ビームで走査したときに高画質の画像が得られるよう
に、可変設定抵抗を調整する。

【０１００】図１２の（ｂ）は、４方向調整の例を示
す。走査画面上で図示のように左、右，上、下の各位置
で図１２の可変設定抵抗をそれぞれ調整し（ＨとＨ２
（Ｈの二乗）、ＶとＶ２（Ｖの二乗）をそれぞれ調整
し）、ダイナミックフォーカスを行う。

【０１０１】以上のようにして、試料走査範囲の上、
下、左、右でそれぞれダイナミックフォーカス補正の調
整を行い、その間は補完することで、試料７を電子線ビ
ームで走査する範囲が広くなっても、自動的にフォーカ
ス合せを行い、奇麗な画像を表示することが可能とな
る。

【０１０２】図１３は、本発明の説明図（ダイナミック
・フォーカス、その３）を示す。これは、試料７の高さ
を検出し、検出した高さに対応してダイナミック・フォ
ーカスを行うときの構成を示す。

【０１０３】図１３の（ａ）は、試料７の左および右に
反射電子検出器Ａ，Ｂを設けた様子を示す。上から下方
向に電子線ビームが試料７を照射して面走査すると、図
示のように左検出器および右検出器で反射電子がそれぞ
れ検出される。

【０１０４】図１３の（ｂ）は、試料７がここでは、凸
である例を示す。図１３の（ｃ）は、左検出器Ａで検出
される信号例を示す。図１３の（ｄ）は、右検出器Ｂで
検出される信号例を示す。

【０１０５】図１３の（ｅ）は、差（Ａ−Ｂ）を示す。
図１３の（ｆ）は、高さΣ（Ａ−Ｂ）の例を示す。これ
は、図１３の（ｅ）の差（Ａ−Ｂ）を左から右に積分し
た値の例を示す。これにより、試料７の表面の高さ情報
が得られたこととなる。

【０１０６】図１３の（ｇ）は、図１３の（ｆ）を複数
組、求めて立体的な高さ情報を得て表示した様子を示
す。これは、図１３の８（ａ）の検出器の組を複数組設
け、図１３の（ｆ）の高さ情報を複数の方向で求めて立
体的に表示したものである。

【０１０７】図１３の（ｈ）は、斜めから試料７の凹凸
を表示した様子を示す。図１３の（ｉ）は、試料７の高
さ情報をもとにダイナミック・フォーカス補正を行う様
子を示す。これは、試料７の高さ情報が求まったので、
当該高さ情報に対応するダイナミック・フォーカス電流
を、図１のダイナミック・フォーカス・コイル７に供給
し、ダイナミックフォーカスを行う。

【０１０８】図１４は、本発明の説明図（ダイナミック
・フォーカス、その４）を示す。図１４の（ａ）は、分
割した状態を示す。これは、既述した図１３の（ｇ）の
高さ情報について、走査範囲をメッシュに分割したもの
である。

【０１０９】図１４の（ｂ）は、２値化表示を示す。こ
れは、図１４の（ａ）のメッシュに分割した後、高さ情
報を２値化して表示したものである。図１４の（ｃ）
は、図１４の（ｂ）で２値化した値を分かり易くメッシ
ュの矩形の角柱で表した様子を示す。

【０１１０】図１４の（ｄ）は、図１４の（ｃ）の状態
をスムーズ化して滑らかにした状態を示す。図１４の
（ｅ）は、図１４の（ｄ）の高さ情報をもとに、ダイナ
ミック・フォーカス補正を行う状態を示す。

【０１１１】以上によって、試料７の高さ情報を求めて
メッシュ分割し、各メッシュの高さ情報を求めてスムー
ズ化した後、高さに対応したダイナミック・フォーカス
補正を行うことが可能となる。

【０１１２】図１５は、本発明の説明図（ダイナミック
・フォーカス、その５）を示す。図１５の（ａ）は、試
料走査範囲をメッシュ分割した状態を示す。図１５の
（ｂ）は、既述した図１３の（ｇ）で求めた高さ情報を
マッピングした状態を示す。

【０１１３】図１５の（ｃ）は、図１５の（ｂ）の各メ
ッシュの中央に高さを図示のように矢印の長さで設定し
た様子を示す。図１５の（ｄ）は、図１５の（ｃ）の高
さ情報をもとに、曲面に曲げた様子を示す。

【０１１４】図１５の（ｅ）は、図１５の（ｄ）の曲面
に対応する高さのダイナミック・フォーカス補正を行う
状態を示す。以上によって、試料７の高さ情報を求めて
メッシュ分割し、各メッシュの高さ情報を求めて曲面に
した後、当該曲面の高さに対応したダイナミック・フォ
ーカス補正を行うことが可能となる。

【０１１５】図１６は、本発明の説明図（ダイナミック
非点補正、その１）を示す。図１６において、左右分離
回路１０１は、走査信号（Ｈ）を左右に分離するもので
ある。

【０１１６】非点補正回路１０２，１０３は、水平方向
（Ｈ）の非点補正する回路である、上下分離回路１０４
は、垂直信号（Ｖ）を上下分離するものである。非点補
正回路１０５，１０６は、垂直方向（Ｖ）の非点補正す
る回路である中心非点補正回路１０７、９は、視野の中
心の非点を補正するものである。

【０１１７】Ｘ非点補正加算回路１０８は、Ｘ非点補正
信号を生成するものである。Ｙ非点補正加算回路１１０
は、Ｘ非点補正信号を生成するものである。以上の回路
構成で、左側から入力した走査信号（Ｈ，Ｖ）をもと
に、非点補正回路で後述する図１７の（ｂ）の中央、
上、下、左、右の５点で非点補正を行い、その間は補完
することにより、視野の全体で非点の補正された奇麗な
画像ヲ表示することが可能となる。

【０１１８】図１７は、本発明の説明図（ダイナミック
非点補正、その２）を示す。図１７の（ａ）は、走査信
号から非点補正信号を生成する回路例を示す。これは、
図示のように、走査信号（Ｈ，左）を＋増幅器とー増幅
器とで増幅して可変抵抗器の両端に供給し、可変抵抗器
の中点から非点補正信号（左、Ｈ、Ｘと、左Ｈ，Ｙ）を
取り出して非点補正コイル４にそれぞれ供給する。

【０１１９】図１７の（ｂ）は、試料走査範囲上で中
央、上、下、左、右の各点について、非点補正する様子
を示す。この際、図１７の（ａ）の回路で、中央、上、
下、左、右の各位置においてそれぞれ非点補正を行う。

【０１２０】以上のように、試料７の走査範囲の中央、
上、下、左、右の５点でそれぞれダイナミック非点補正
を行い、その間を補完することにより、高範囲に渡って
高画質の画像を得ることが可能となる。

【０１２１】図１８は、本発明の説明図（デジタル走
査）を示す。図１８の（ａ）は、デジタル走査の構成図
を示す。図１８の（ａ）において、コントローラ１１２
がパソコン内などのメモリ１１１からデータを読み込
み、ＦＩＦＯメモリ１１３に格納し、基準クロックに同
期してＦＩＦＯメモリから読み出したＨデータおよびＶ
データをラッチにそれぞれ設定し、ラッチに設定したデ
ータをＤ／Ａ変換器でそれぞれアナログの走査信号
（Ｈ，Ｖ）に変換して出力するようにしている。

【０１２２】以上のように、メモリ１１１から読み出し
てＦＩＦＯメモリ１１３に格納してＨデータおよびＶデ
ータを読み出してラッチに設定し、ラッチに設定したデ
ータをＤ／Ａによってアナログの走査信号（Ｈ，Ｖ）に
して任意のステップ数で走査することが可能となる。

【０１２３】図１８の（ｂ）は、ＶおよびＨ内のデータ
構成例を示す。ここでは、Ｈデータ，Ｖデータは、２バ
イトで表現し、１５ビット目はラッチのチップセレクト
として使用し、残りの１５ビットで座標データを表して
いる。

【０１２４】以上のように構成することで、座標データ
の各ビット１５でチップセレクト、即ち直接に切り換え
て水平走査信号用の座標データ（上記例ではビット０か
ら１４）を水平走査信号用のＤ／Ａに転送してアナログ
の水平走査信号を得て水平走査用の偏向コイル３を駆動
したり、垂直走査信号用の座標データ（上記例ではビッ
ト０から１４）を垂直走査信号用のＤ／Ａに転送してア
ナログの垂直走査信号を得て垂直走査用の偏向コイル３
を駆動したりすることができ、その結果、メモリ上の座
標データをビット１５の０あるいは１で直接に切り換え
て水平走査信号用のＤ／Ａあるいは垂直走査信号用のＤ
／Ａに極めて高速に転送してそれぞれの走査信号を独立
に発生させることが可能となる。同様に、非点補正コイ
ル４、ファインシフトコイル５、ダイナミックフォーカ
スコイル８などにも、メモリ上の座標データを高速に水
平用（Ｘ用）の信号および垂直用（Ｙ用）の信号を発生
させ、それぞれ独立に高速に制御することが可能とな
る。このように、メモリ上の座標データにより、各コイ
ルに供給する水平および垂直の信号をそれぞれ独立に制
御することができるので、表示アプリケーションなどか
らメモリ上の任意の座標データを指定することで、任意
の信号を発生させることが可能となる。

【０１２５】尚、図１８の構成では、１組（水平走査信
号と垂直走査信号）を得たが、座標データ中に既述した
中央、左上、左下、右下、右上の５点の拡大画像を発生
するように値を設定したり、あるいは図１８のＤ／Ａの
出力側に演算回路を設けて座標データからの指示（中
央、左上、左下、右下、右上の５点の拡大画像を生成す
る信号の発生指示）をもとに、拡大率とシフト量を入力
して高精細（例えば１６０００×１６０００画素）の中
央、左上、左下、右下、右上の５個所で拡大画像（例え
ば１０００×１０００画素）の走査信号を順次得て、そ
のときの画像を１つの表示装置の画面上にそれぞれ表示
（５つの拡大画像をそれぞれ表示）し、フォーカス調整
および非点補正をそれぞれで行い、記憶して間を補完し
て走査することで、全画面（１６０００×１６０００画
素）のいずれでも奇麗な画像を表示できるようにする。

【０１２６】図１９は、本発明の説明図（１２ビットの
ＲＧＢ変換テーブル）を示す。このＲＧＢ変換テーブル
は、１２ビットの画素値（階調）を、１画素のＲＧＢ各
８ビットの階調に変換するときのテーブル例である。左
側の０から４０９５（１２ビットで表現される数値範
囲）について、８ビット（０から２５５で表現される数
値範囲）の各ＲＧＢにデータ変換したときの値として、
実験して求めた値が設定されている。このため、モノク
ロの１２ビットの画像（１６，０００×１６，０００）
を、ＲＧＢ各８ビットの画像（１６，０００×１６，０
００）に階調を保持しかつ同一画素数でデータ変換する
ことが可能となる。

【０１２７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ビームで試料を走査して発生する信号を検出し、千から
数万画素の信号をカラー画像にして階調良好かつ広視野
で表示および印刷して観察することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のシステム構成図である。

【図２】本発明の説明図（間引き走査）である。

【図３】本発明の説明図（任意ステップ可変走査、その
１）である。

【図４】本発明の説明図（任意ステップ可変走査、その
２）である。

【図５】本発明の説明図（走査）である。

【図６】本発明の説明図（フォーカス調整）である。

【図７】本発明の説明図（ファインシフト回路組み込
み）である。

【図８】本発明の説明図（フィルタ）である。

【図９】本発明の説明図（走査）である。

【図１０】本発明の説明図（デフォーカス）である。

【図１１】本発明の説明図（ダイナミック・フォーカ
ス、その１）である。

【図１２】本発明の説明図（ダイナミック・フォーカ
ス、その２）である。

【図１３】本発明の説明図（ダイナミック・フォーカ
ス、その３）である。

【図１４】本発明の説明図（ダイナミック・フォーカ
ス、その４）である。

【図１５】本発明の説明図（ダイナミック・フォーカ
ス、その５）である。

【図１６】本発明の説明図（ダイナミック非点補正、そ
の１）である。

【図１７】本発明の説明図（ダイナミック非点補正、そ
の２）である。

【図１８】本発明の説明図（デジタル走査）である。

【図１９】本発明の説明図（１２ビットのＲＧＢ変換テ
ーブル）である。

【符号の説明】

１：照射系 ２：集束レンズ ３：偏向コイル ４：非点補正コイル ５：ファインシフトコイル ６：対物レンズ ７：試料 ８：ダイナミックフォーカスコイル １１：任意ステップ走査発生器 １２：走査発生器 １３：走査信号切換装置 １４：倍率制御回路 １５：倍率制御回路 １６：倍率制御切換器 １７：ダイナミック非点補正制御回路 １８：ダイナミックフォーカス制御回路 １９：２次電子検出器 ２０：信号増幅器 ２１：画像取込装置 ２３から２７：Ｉ／Ｏ ２８：表示装置 ２９：ＣＰＵ ３０：プリンタ ３５：画像編集手段 ３６：画像変換手段 ５１：ファインシフト制御回路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平野 豊 東京都新宿区百人町２丁目24−12 サンユ ー電子株式会社内 (72)発明者 手島 寛之 東京都新宿区百人町２丁目24−12 サンユ ー電子株式会社内 Ｆターム(参考） 2G001 AA03 AA05 BA06 BA07 BA11 CA03 CA05 DA06 FA06 GA01 GA04 GA06 GA08 GA11 HA01 HA07 HA13 JA02 JA03 JA11 JA13 JA16 5C033 JJ01 MM05 5C072 AA03 BA19 CA06 DA02 HA02 HA11 HB10 QA14 RA10 UA18 XA05

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】細く絞ったビームを試料に照射する手段
   と、 上記ビームで試料を照射した状態で振って平面走査する
   走査手段と、 上記ビームを試料面上に走査して発生された信号あるい
   は吸収された信号を検出する検出手段と、 上記検出手段によって検出された信号に対応した、デジ
   タルのカラー信号に変換する手段と、 上記変換されたカラー信号を出力する手段とを備えたこ
   とを特徴とする走査型画像の処理装置。
2. 【請求項２】荷電粒子を細く絞って荷電粒子ビームにし
   て試料に照射する対物レンズと、 上記荷電粒子ビームで試料を照射した状態で、当該荷電
   粒子ビームを偏向して試料面上を平面走査する走査手段
   と、 上記試料面上を走査される細く絞った荷電粒子ビームに
   発生する非点を補正する非点補正手段と、 上記荷電粒子ビームを試料面上に走査して発生された信
   号あるいは吸収された信号を検出する検出手段と、 上記検出手段によって検出された信号に対応した、デジ
   タルのカラー信号に変換する手段と、 上記変換されたカラー信号を出力する手段とを備えたこ
   とを特徴とする走査型画像の処理装置。
3. 【請求項３】倍率あるいは走査線数が変化され、上記走
   査手段によって試料を上記ビームで走査する際に、走査
   線の間が空くと判明したときに、当該ビームをほぼ走査
   線の間隔にデフォーカスして太くしたことを特徴とする
   請求項１あるいは請求項２記載の走査型画像の処理装
   置。
4. 【請求項４】倍率あるいは走査線数が変化され、上記走
   査手段によって試料を上記ビームで走査する際に、走査
   線の間が空くと判明したときに、当該ビームでほぼ走査
   線の間隔の微小領域をそれぞれ平面走査したことを特徴
   とする請求項１あるいは請求項２記載の走査型画像の処
   理装置。
5. 【請求項５】試料の所定領域の中央の１部分および周辺
   の複数の１部分を平面走査して検出された信号を画面上
   に拡大した画像として表示する手段と、 上記表示された中央の拡大した画像、および周辺の複数
   の拡大した画像毎に上記ビームの焦点合せを行う手段
   と、 上記焦点合せされた値をもとに上記ビームの焦点補正を
   行う手段とを備えたことを特徴とする請求項１から請求
   項４のいずれかに記載の走査型画像の処理装置。
6. 【請求項６】上記試料を中心に１８０度対称の位置に、
   上記ビームが試料に照射したときに発生する信号を検出
   する、複数組の検出器と、 上記１８０度対称の検出器によって検出されたそれぞれ
   からの信号の差分信号を、複数組分を生成する手段と、 上記差分信号を走査方向にそれぞれ積分して試料のそれ
   ぞれの方向の高さ情報を生成する手段と、 上記生成された試料のそれぞれの方向の高さ情報をもと
   に、上記ビームの焦点合せを行う手段とを備えたことを
   特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の走
   査型画像の処理装置。
7. 【請求項７】試料の所定領域の中央の１部分および周辺
   の複数の１部分を平面走査して検出された信号を画面上
   に拡大した画像として表示する手段と、 上記表示された中央の拡大した画像、および周辺の複数
   の拡大した画像毎に上記ビームの非点合せを行う手段
   と、 上記非点合せされた値をもとに上記ビームの非点補正を
   行う手段とを備えたことを特徴とする請求項２から請求
   項６のいずれかに記載の走査型画像の処理装置。
8. 【請求項８】上記検出された信号の階調に対応する、カ
   ラーの階調を登録したテーブルを設け、 上記検出された信号について、上記テーブルを参照して
   カラー信号に変換することを特徴とする請求項１あるい
   は請求項２に記載の走査型画像の処理装置。
9. 【請求項９】上記検出された信号をカラー信号に変換す
   る際に、指定されたカラーの２つの色をもとに、当該検
   出された信号の階調に対応するカラー信号の階調を作成
   してて変換することを特徴とする請求項１あるいは請求
   項２に記載の走査型画像の処理装置。
10. 【請求項１０】上記検出された信号を８ビット以上と
    し、上記カラーの信号がＲＧＢのときにそれぞれ８ビッ
    ト、あるいは上記カラーの信号が印刷用のときに印刷装
    置で使用するカラーデータ形式の色と当該色のビット数
    としたことを特徴とする請求項１あるいは請求項２に記
    載の走査型画像の処理装置。