JP2000284822A - 通信異常検出及び／又は対処装置及び真空ポンプ遠隔監視制御装置 - Google Patents
通信異常検出及び／又は対処装置及び真空ポンプ遠隔監視制御装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 データ交信の異常の有無を検出出来、異常を
検出したときにシステム装置への影響を少なくすること
の出来る通信異常検出及び／又は対処装置及び真空ポン
プ遠隔監視制御装置を提供する。 【解決手段】 ステップ１で、動作確認メッセージ５１
をターボ分子ポンプ制御装置２０よりシステム装置３０
側に送信する。ステップ３で、システム装置３０より動
作確認メッセージ５１を受信したことに対する返信メッ
セージ５３が、ターボ分子ポンプ制御装置２０に送信さ
れる。ステップ５で、動作確認メッセージ５１の送信時
刻から返信メッセージ５３の受信時刻までの経過時間を
計測し、この経過時間が予め定めた設定時間を超えたと
き、ステップ６で通信システム異常の警告等を行う。
検出したときにシステム装置への影響を少なくすること
の出来る通信異常検出及び／又は対処装置及び真空ポン
プ遠隔監視制御装置を提供する。 【解決手段】 ステップ１で、動作確認メッセージ５１
をターボ分子ポンプ制御装置２０よりシステム装置３０
側に送信する。ステップ３で、システム装置３０より動
作確認メッセージ５１を受信したことに対する返信メッ
セージ５３が、ターボ分子ポンプ制御装置２０に送信さ
れる。ステップ５で、動作確認メッセージ５１の送信時
刻から返信メッセージ５３の受信時刻までの経過時間を
計測し、この経過時間が予め定めた設定時間を超えたと
き、ステップ６で通信システム異常の警告等を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は通信異常検出及び／
又は対処装置及び真空ポンプ遠隔監視制御装置に係わ
り、特にデータ交信の異常の有無を検出出来、異常を検
出したときにシステム装置への影響を少なくすることの
出来る通信異常検出及び／又は対処装置及び真空ポンプ
遠隔監視制御装置に関する。
又は対処装置及び真空ポンプ遠隔監視制御装置に係わ
り、特にデータ交信の異常の有無を検出出来、異常を検
出したときにシステム装置への影響を少なくすることの
出来る通信異常検出及び／又は対処装置及び真空ポンプ
遠隔監視制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３に磁気浮上式ターボ分子ポンプ１０
の全体構成図を示す。図３において、ロータ１は軸方向
電磁石３により軸浮上され、半径方向電磁石５Ａ，５Ｂ
により半径方向位置制御が行われる。そして、ロータ１
はモータ７により回転される。ロータ１には、回転ブレ
ード９が軸方向に複数段形成されている。回転ブレード
９と空隙をもって複数段の固定ブレード１１が配設され
ている。固定ブレード１１端は、段積みされた複数の固
定翼スペーサ１３間に支持されている。
の全体構成図を示す。図３において、ロータ１は軸方向
電磁石３により軸浮上され、半径方向電磁石５Ａ，５Ｂ
により半径方向位置制御が行われる。そして、ロータ１
はモータ７により回転される。ロータ１には、回転ブレ
ード９が軸方向に複数段形成されている。回転ブレード
９と空隙をもって複数段の固定ブレード１１が配設され
ている。固定ブレード１１端は、段積みされた複数の固
定翼スペーサ１３間に支持されている。
【０００３】このような構成からなるターボ分子ポンプ
１０では、回転する回転ブレード９で気体分子を叩き、
軸方向に移動させることで排気を行っている。この種の
ターボ分子ポンプ１０は、例えば半導体製造のエッチン
グ装置等（以下、システム装置３０という）のチャンバ
ー内の排気に使用され、そのチャンバー内には、半導体
の加工処理のために常に気体が供給され、この供給され
た気体を排気するものである。
１０では、回転する回転ブレード９で気体分子を叩き、
軸方向に移動させることで排気を行っている。この種の
ターボ分子ポンプ１０は、例えば半導体製造のエッチン
グ装置等（以下、システム装置３０という）のチャンバ
ー内の排気に使用され、そのチャンバー内には、半導体
の加工処理のために常に気体が供給され、この供給され
た気体を排気するものである。
【０００４】このターボ分子ポンプ１０をシステム装置
３０側より制御する場合、従来は、ターボ分子ポンプ１
０との入出力信号はリレーを使用したＯＮ／ＯＦＦ信号
によっていた。しかし、リレーを使用する場合には多配
線となり、コストアップ、装置の大型化に繋がる。ま
た、回転数等のアナログ情報の入出力ができない等の問
題がある。
３０側より制御する場合、従来は、ターボ分子ポンプ１
０との入出力信号はリレーを使用したＯＮ／ＯＦＦ信号
によっていた。しかし、リレーを使用する場合には多配
線となり、コストアップ、装置の大型化に繋がる。ま
た、回転数等のアナログ情報の入出力ができない等の問
題がある。
【０００５】そのため、最近は図４に示すように、ＲＳ
２３２ケーブル２１等を用いたシリアル通信による制御
が実施されつつある。図４において、ターボ分子ポンプ
１０は、ドライブ回路２３を介してバス２５に接続され
ている。バス２５には、スイッチＩ／Ｆ回路２７を介し
て、停止スイッチ２９やスタートスイッチ３１等のスイ
ッチ類が接続されている。
２３２ケーブル２１等を用いたシリアル通信による制御
が実施されつつある。図４において、ターボ分子ポンプ
１０は、ドライブ回路２３を介してバス２５に接続され
ている。バス２５には、スイッチＩ／Ｆ回路２７を介し
て、停止スイッチ２９やスタートスイッチ３１等のスイ
ッチ類が接続されている。
【０００６】このバス２５には、また液晶表示３３が接
続されている。バス２５には、更に通信用回路３５が接
続され、ＲＳ２３２ケーブル２１によりシステム装置３
０と接続されている。そして、ドライブ回路２３、スイ
ッチＩ／Ｆ回路２７、液晶表示３３、通信用回路３５等
とＣＰＵ３７を含み、図４中に点線で囲んだターボ分子
ポンプ制御装置２０が形成されている。
続されている。バス２５には、更に通信用回路３５が接
続され、ＲＳ２３２ケーブル２１によりシステム装置３
０と接続されている。そして、ドライブ回路２３、スイ
ッチＩ／Ｆ回路２７、液晶表示３３、通信用回路３５等
とＣＰＵ３７を含み、図４中に点線で囲んだターボ分子
ポンプ制御装置２０が形成されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来のよう
にターボ分子ポンプ制御装置２０とシステム装置３０の
間をＲＳ２３２ケーブル２１等によりデータ交信する場
合、次のような問題点を生ずるおそれがある。
にターボ分子ポンプ制御装置２０とシステム装置３０の
間をＲＳ２３２ケーブル２１等によりデータ交信する場
合、次のような問題点を生ずるおそれがある。
【０００８】図５に、ターボ分子ポンプ制御装置２０と
システム装置３０間のデータ交信の様子を示す。図５
は、通常の運転がされているときのデータ交信の様子で
ある。例えば、システム装置３０より起動指令等のコマ
ンド４１がターボ分子ポンプ制御装置２０に送信され
る。ターボ分子ポンプ制御装置２０では、コマンド４１
を受信したことの確認信号４３（以下、ＡＣＫ４３とい
う）をシステム装置３０に対し返信すると共に、ターボ
分子ポンプ１０を起動する。
システム装置３０間のデータ交信の様子を示す。図５
は、通常の運転がされているときのデータ交信の様子で
ある。例えば、システム装置３０より起動指令等のコマ
ンド４１がターボ分子ポンプ制御装置２０に送信され
る。ターボ分子ポンプ制御装置２０では、コマンド４１
を受信したことの確認信号４３（以下、ＡＣＫ４３とい
う）をシステム装置３０に対し返信すると共に、ターボ
分子ポンプ１０を起動する。
【０００９】次に、システム装置３０で例えば回転数デ
ータが必要となった場合には、システム装置３０より、
データ要求信号４５がターボ分子ポンプ制御装置２０に
送信される。ターボ分子ポンプ制御装置２０では、この
データ要求信号４５に対し、回転数データ４７をシステ
ム装置３０に送信する。システム装置３０では、この回
転数データ４７を受信したことの確認信号であるＡＣＫ
４９をターボ分子ポンプ制御装置２０に送信する。
ータが必要となった場合には、システム装置３０より、
データ要求信号４５がターボ分子ポンプ制御装置２０に
送信される。ターボ分子ポンプ制御装置２０では、この
データ要求信号４５に対し、回転数データ４７をシステ
ム装置３０に送信する。システム装置３０では、この回
転数データ４７を受信したことの確認信号であるＡＣＫ
４９をターボ分子ポンプ制御装置２０に送信する。
【００１０】その後、ターボ分子ポンプ１０が回転して
いる最中に、システム装置３０側のトラブル（プログラ
ム暴走等）や、ケーブルの断線、コネクタ抜け等が生じ
た場合には、通信はハングアップする。このとき、ター
ボ分子ポンプ制御装置２０はスレーブとなっているた
め、マスターであるシステム装置３０との通信状態を確
認できない。このため、本来停止しなければならない場
合でも回転は継続し、無駄なエネルギー消費となってい
た。
いる最中に、システム装置３０側のトラブル（プログラ
ム暴走等）や、ケーブルの断線、コネクタ抜け等が生じ
た場合には、通信はハングアップする。このとき、ター
ボ分子ポンプ制御装置２０はスレーブとなっているた
め、マスターであるシステム装置３０との通信状態を確
認できない。このため、本来停止しなければならない場
合でも回転は継続し、無駄なエネルギー消費となってい
た。
【００１１】また、運転状況によっては、かかるデータ
交信の不能な場合に、直ちにターボ分子ポンプ１０を停
止することは、システム装置３０側のプロセスに障害を
生ずるおそれがある。
交信の不能な場合に、直ちにターボ分子ポンプ１０を停
止することは、システム装置３０側のプロセスに障害を
生ずるおそれがある。
【００１２】本発明はこのような従来の課題に鑑みてな
されたもので、データ交信の異常の有無を検出出来、異
常を検出したときにシステム装置への影響を少なくする
ことの出来る通信異常検出及び／又は対処装置及び真空
ポンプ遠隔監視制御装置を提供することを目的とする。
されたもので、データ交信の異常の有無を検出出来、異
常を検出したときにシステム装置への影響を少なくする
ことの出来る通信異常検出及び／又は対処装置及び真空
ポンプ遠隔監視制御装置を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】このため本発明は、シス
テム装置と、該システム装置との間でデータ交信を行う
制御・表示装置と、該制御・表示装置から周期的に前記
システム装置に対し第１のメッセージを送信する第１の
メッセージ送信手段と、前記システム装置から周期的に
前記制御・表示装置に対し第２のメッセージを送信する
第２のメッセージ送信手段と、前記第１のメッセージ送
信手段による前記第１のメッセージの送信時刻から前記
第２のメッセージ送信手段により送信された前記第２の
メッセージの前記制御・表示装置における受信時刻まで
の経過時間を計測し、該経過時間が予め定めた設定時間
を超えたか否かを判定する通信システム異常判定手段
と、該通信システム異常判定手段で前記計測時間が予め
定めた設定時間を超えたとき、通信システム異常の警告
又は該通信システム異常に対する対処を行う警告・対処
手段とを備え、前記第２のメッセージ送信手段又は前記
第１のメッセージ送信手段の一方は、前記システム装置
と前記制御・表示装置間でデータ交信可能であることを
確認するための動作確認メッセージであり、他方は該動
作確認メッセージを確認したことに対する返信メッセー
ジであることを特徴とする。
テム装置と、該システム装置との間でデータ交信を行う
制御・表示装置と、該制御・表示装置から周期的に前記
システム装置に対し第１のメッセージを送信する第１の
メッセージ送信手段と、前記システム装置から周期的に
前記制御・表示装置に対し第２のメッセージを送信する
第２のメッセージ送信手段と、前記第１のメッセージ送
信手段による前記第１のメッセージの送信時刻から前記
第２のメッセージ送信手段により送信された前記第２の
メッセージの前記制御・表示装置における受信時刻まで
の経過時間を計測し、該経過時間が予め定めた設定時間
を超えたか否かを判定する通信システム異常判定手段
と、該通信システム異常判定手段で前記計測時間が予め
定めた設定時間を超えたとき、通信システム異常の警告
又は該通信システム異常に対する対処を行う警告・対処
手段とを備え、前記第２のメッセージ送信手段又は前記
第１のメッセージ送信手段の一方は、前記システム装置
と前記制御・表示装置間でデータ交信可能であることを
確認するための動作確認メッセージであり、他方は該動
作確認メッセージを確認したことに対する返信メッセー
ジであることを特徴とする。
【００１４】第１のメッセージ送信手段は、制御・表示
装置から周期的にシステム装置に対し第１のメッセージ
を送信する。第２のメッセージ送信手段は、システム装
置から周期的に制御・表示装置に対し第２のメッセージ
を送信する。
装置から周期的にシステム装置に対し第１のメッセージ
を送信する。第２のメッセージ送信手段は、システム装
置から周期的に制御・表示装置に対し第２のメッセージ
を送信する。
【００１５】通信システム異常判定手段では、第１のメ
ッセージ送信手段による第１のメッセージの送信時刻か
ら、第２のメッセージ送信手段により送信された第２の
メッセージの制御・表示装置における受信時刻までの経
過時間を計測する。そして、この経過時間が予め定めた
設定時間を超えたか否かを判定する。
ッセージ送信手段による第１のメッセージの送信時刻か
ら、第２のメッセージ送信手段により送信された第２の
メッセージの制御・表示装置における受信時刻までの経
過時間を計測する。そして、この経過時間が予め定めた
設定時間を超えたか否かを判定する。
【００１６】第１のメッセージ送信手段又は第２のメッ
セージ送信手段の一方は、システム装置と制御・表示装
置間でデータ交信可能であることを確認するための動作
確認メッセージである。そして、他方はこの動作確認メ
ッセージを確認したことに対する返信メッセージであ
る。
セージ送信手段の一方は、システム装置と制御・表示装
置間でデータ交信可能であることを確認するための動作
確認メッセージである。そして、他方はこの動作確認メ
ッセージを確認したことに対する返信メッセージであ
る。
【００１７】通信システム異常判定手段での経過時間
は、データ交信が正常に機能している場合には設定時間
以内ですむ。データ交信に何らかの異常のある場合に
は、制御・表示装置で設定時間を超えても動作確認メッ
セージまたは返信メッセージを受信しない。このとき、
警告・対処手段では、通信システム異常の警告又は通信
システム異常に対する対処を行う。
は、データ交信が正常に機能している場合には設定時間
以内ですむ。データ交信に何らかの異常のある場合に
は、制御・表示装置で設定時間を超えても動作確認メッ
セージまたは返信メッセージを受信しない。このとき、
警告・対処手段では、通信システム異常の警告又は通信
システム異常に対する対処を行う。
【００１８】このときの対処は、システムの内容によっ
て異なるが、例えばフェールセーフやシステムを構成す
る主要部品の停止等である。 以上により、データ交信
の異常の有無を容易に検出出来る。また、ソフトウェア
の追加のみで構成出来るので、安価である。更に、異常
の確認に必要な時間は短いので、通常の運転に支障を生
ずることもない。
て異なるが、例えばフェールセーフやシステムを構成す
る主要部品の停止等である。 以上により、データ交信
の異常の有無を容易に検出出来る。また、ソフトウェア
の追加のみで構成出来るので、安価である。更に、異常
の確認に必要な時間は短いので、通常の運転に支障を生
ずることもない。
【００１９】また、本発明は、前記警告・対処手段は、
前記通信システム異常判定手段で前記計測時間が予め定
めた設定時間を超えたとき、通信システム異常の警告又
は該通信システム異常に対する対処を所定時間経過後に
行うことを特徴とする。
前記通信システム異常判定手段で前記計測時間が予め定
めた設定時間を超えたとき、通信システム異常の警告又
は該通信システム異常に対する対処を所定時間経過後に
行うことを特徴とする。
【００２０】通信システム異常判定手段で計測時間が予
め定めた設定時間を超えたとき、直ちに警告や対処を行
うのでは無く、所定時間分の遅延時間を設ける。そし
て、この所定時間経過後に警告等を行う。以上により、
システム装置の有する特性に合わせた形での通信システ
ム異常処理が行える。
め定めた設定時間を超えたとき、直ちに警告や対処を行
うのでは無く、所定時間分の遅延時間を設ける。そし
て、この所定時間経過後に警告等を行う。以上により、
システム装置の有する特性に合わせた形での通信システ
ム異常処理が行える。
【００２１】更に、本発明は、前記所定時間は、解除可
能としたことを特徴とする。通信システム異常の程度や
種類等によっては警告や対処の不要な場合も存在する。
この場合を想定して、所定時間を解除可能とする。
能としたことを特徴とする。通信システム異常の程度や
種類等によっては警告や対処の不要な場合も存在する。
この場合を想定して、所定時間を解除可能とする。
【００２２】更に、本発明は、真空ポンプ遠隔監視制御
装置の発明であり、回転体を空中に磁気浮上させる磁気
軸受を有する真空ポンプを制御する真空ポンプ制御装置
と、該真空ポンプ制御装置との間でデータ交信を行い、
該真空ポンプ制御装置を含む設備を監視及び／又は制御
するシステム装置と、前記真空ポンプ制御装置から周期
的に前記システム装置に対し第１のメッセージを送信す
る第１のメッセージ送信手段と、前記システム装置から
周期的に前記真空ポンプ制御装置に対し第２のメッセー
ジを送信する第２のメッセージ送信手段と、前記第１の
メッセージ送信手段による前記第１のメッセージの送信
時刻から前記第２のメッセージ送信手段により送信され
た前記第２のメッセージの前記真空ポンプ制御装置にお
ける受信時刻までの経過時間を計測し、該経過時間が予
め定めた設定時間を超えたか否かを判定する通信システ
ム異常判定手段と、該通信システム異常判定手段で前記
計測時間が予め定めた設定時間を超えたとき、通信シス
テム異常の警告又は前記真空ポンプの回転体の停止を行
う警告・対処手段とを備え、前記第２のメッセージ送信
手段又は前記第１のメッセージ送信手段の一方は、前記
システム装置と前記真空ポンプ制御装置間でデータ交信
可能であることを確認するための動作確認メッセージで
あり、他方は該動作確認メッセージを確認したことに対
する返信メッセージであることを特徴とする。
装置の発明であり、回転体を空中に磁気浮上させる磁気
軸受を有する真空ポンプを制御する真空ポンプ制御装置
と、該真空ポンプ制御装置との間でデータ交信を行い、
該真空ポンプ制御装置を含む設備を監視及び／又は制御
するシステム装置と、前記真空ポンプ制御装置から周期
的に前記システム装置に対し第１のメッセージを送信す
る第１のメッセージ送信手段と、前記システム装置から
周期的に前記真空ポンプ制御装置に対し第２のメッセー
ジを送信する第２のメッセージ送信手段と、前記第１の
メッセージ送信手段による前記第１のメッセージの送信
時刻から前記第２のメッセージ送信手段により送信され
た前記第２のメッセージの前記真空ポンプ制御装置にお
ける受信時刻までの経過時間を計測し、該経過時間が予
め定めた設定時間を超えたか否かを判定する通信システ
ム異常判定手段と、該通信システム異常判定手段で前記
計測時間が予め定めた設定時間を超えたとき、通信シス
テム異常の警告又は前記真空ポンプの回転体の停止を行
う警告・対処手段とを備え、前記第２のメッセージ送信
手段又は前記第１のメッセージ送信手段の一方は、前記
システム装置と前記真空ポンプ制御装置間でデータ交信
可能であることを確認するための動作確認メッセージで
あり、他方は該動作確認メッセージを確認したことに対
する返信メッセージであることを特徴とする。
【００２３】真空ポンプは、例えばターボ分子ポンプや
ドラッグポンプである。以上の適用により、通信異常発
生の場合に、真空ポンプを停止させることで無駄なエネ
ルギー消費を防止することが出来る。
ドラッグポンプである。以上の適用により、通信異常発
生の場合に、真空ポンプを停止させることで無駄なエネ
ルギー消費を防止することが出来る。
【００２４】また、真空ポンプ停止までの遅延時間を設
けたことで、例えばチャンバー内の排気の急停止等が避
けられるため、システム装置側のプロセスに対する障害
を極力抑えることが出来る。
けたことで、例えばチャンバー内の排気の急停止等が避
けられるため、システム装置側のプロセスに対する障害
を極力抑えることが出来る。
【００２５】更に、本発明は、前記警告・対処手段は、
前記通信システム異常判定手段で前記計測時間が予め定
めた設定時間を超えたとき、通信システム異常の警告又
は前記真空ポンプの回転体の停止を所定時間経過後に行
うことを特徴とする。
前記通信システム異常判定手段で前記計測時間が予め定
めた設定時間を超えたとき、通信システム異常の警告又
は前記真空ポンプの回転体の停止を所定時間経過後に行
うことを特徴とする。
【００２６】更に、本発明は、前記所定時間は、解除可
能としたことを特徴とする。
能としたことを特徴とする。
【００２７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の第１の実施形態に
ついて説明する。本発明の実施形態の構成図は図３及び
図４と同じである。次に、本発明の実施形態の動作を、
図１のフローチャート及び図２のターボ分子ポンプ制御
装置２０とシステム装置３０間のデータ交信の様子を示
す図に基づき説明する。
ついて説明する。本発明の実施形態の構成図は図３及び
図４と同じである。次に、本発明の実施形態の動作を、
図１のフローチャート及び図２のターボ分子ポンプ制御
装置２０とシステム装置３０間のデータ交信の様子を示
す図に基づき説明する。
【００２８】図１において、ステップ１（図中Ｓ１と略
す。以下、同旨）で動作確認メッセージ５１をターボ分
子ポンプ制御装置２０よりシステム装置３０側に送信す
る。この動作確認メッセージ５１は、任意に行われる運
転指令や運転状態の確認等及びこれらに対する返信等の
ような交信の合間に、図２に示すように、周期的にター
ボ分子ポンプ制御装置２０側より発信する。但し、シス
テム上の優先順位の高い割り込みが存在するような場合
には、優先順位を加味してもよい。
す。以下、同旨）で動作確認メッセージ５１をターボ分
子ポンプ制御装置２０よりシステム装置３０側に送信す
る。この動作確認メッセージ５１は、任意に行われる運
転指令や運転状態の確認等及びこれらに対する返信等の
ような交信の合間に、図２に示すように、周期的にター
ボ分子ポンプ制御装置２０側より発信する。但し、シス
テム上の優先順位の高い割り込みが存在するような場合
には、優先順位を加味してもよい。
【００２９】ステップ２では、タイマーを起動する。
そして、ステップ３で、システム装置３０より動作確認
メッセージ５１を受信したことに対する返信メッセージ
５３が、ターボ分子ポンプ制御装置２０に送信される。
この返信メッセージ５３を確認した場合にはステップ４
に進み、タイマーをリセットする。
そして、ステップ３で、システム装置３０より動作確認
メッセージ５１を受信したことに対する返信メッセージ
５３が、ターボ分子ポンプ制御装置２０に送信される。
この返信メッセージ５３を確認した場合にはステップ４
に進み、タイマーをリセットする。
【００３０】このように、動作確認メッセージ５１に対
する返信を待ち、返信メッセージ５３が確認されれば、
システム装置３０は正常と判断し、次の周期の動作確認
メッセージ送信に備える。そして、再びステップ１に戻
り動作確認メッセージ５１を送信する。
する返信を待ち、返信メッセージ５３が確認されれば、
システム装置３０は正常と判断し、次の周期の動作確認
メッセージ送信に備える。そして、再びステップ１に戻
り動作確認メッセージ５１を送信する。
【００３１】ステップ３で返信メッセージ５３を確認出
来ず、かつステップ５でタイマーが設定時間を超えた
場合には、ステップ６でハングアップであると判断し、
通信システム異常であることを液晶表示３３により警告
する。ステップ５でタイマーが設定時間以内の場合に
は、ステップ３に戻り返信メッセージ５３の確認処理を
行う。
来ず、かつステップ５でタイマーが設定時間を超えた
場合には、ステップ６でハングアップであると判断し、
通信システム異常であることを液晶表示３３により警告
する。ステップ５でタイマーが設定時間以内の場合に
は、ステップ３に戻り返信メッセージ５３の確認処理を
行う。
【００３２】次に、ステップ６で通信システム異常の警
告後ステップ７に進み、タイマーを起動する。そし
て、ステップ８でスイッチＩ／Ｆ回路２７より解除入力
信号が入力されたか否かが判断される。解除入力は、通
信システム異常の警告後の確認作業等でターボ分子ポン
プ１０を停止する必要の無いと判断されるとき、作業員
等がスイッチ操作することで入力される。
告後ステップ７に進み、タイマーを起動する。そし
て、ステップ８でスイッチＩ／Ｆ回路２７より解除入力
信号が入力されたか否かが判断される。解除入力は、通
信システム異常の警告後の確認作業等でターボ分子ポン
プ１０を停止する必要の無いと判断されるとき、作業員
等がスイッチ操作することで入力される。
【００３３】スイッチ操作は、スイッチＩ／Ｆ回路２７
に接続されるスイッチにより直接的に操作してもよい
が、液晶表示３３にメニューや選択ボタン等を表示して
ソフトスイッチ操作としてもよい。この解除入力をステ
ップ９で、予め定めた所定時間まで待つ。この所定時間
内に解除入力が無かったときには、ステップ１０でター
ボ分子ポンプ１０を停止する。
に接続されるスイッチにより直接的に操作してもよい
が、液晶表示３３にメニューや選択ボタン等を表示して
ソフトスイッチ操作としてもよい。この解除入力をステ
ップ９で、予め定めた所定時間まで待つ。この所定時間
内に解除入力が無かったときには、ステップ１０でター
ボ分子ポンプ１０を停止する。
【００３４】一方、ステップ８で解除入力があったとき
には、ステップ１１に進みタイマーを停止する。そし
て、その後にステップ１２で停止スイッチ２９の入力待
ちとなり、停止スイッチ２９が押されたときには、ステ
ップ１０に進みターボ分子ポンプ１０を停止する。
には、ステップ１１に進みタイマーを停止する。そし
て、その後にステップ１２で停止スイッチ２９の入力待
ちとなり、停止スイッチ２９が押されたときには、ステ
ップ１０に進みターボ分子ポンプ１０を停止する。
【００３５】なお、本発明の実施形態では、動作確認メ
ッセージ５１をターボ分子ポンプ制御装置２０よりシス
テム装置３０側に送信したが、この動作確認メッセージ
５１をステップ１でシステム装置３０よりターボ分子ポ
ンプ制御装置２０側に送信してもよい。
ッセージ５１をターボ分子ポンプ制御装置２０よりシス
テム装置３０側に送信したが、この動作確認メッセージ
５１をステップ１でシステム装置３０よりターボ分子ポ
ンプ制御装置２０側に送信してもよい。
【００３６】この場合には、ターボ分子ポンプ制御装置
２０では、動作確認メッセージ５１を受信後、返信メッ
セージ５３をシステム装置３０に送信するとともに、タ
イマーを起動し、設定時間内に次の動作確認メッセー
ジ５１を受信しないとき、タイマーを起動し、ターボ
分子ポンプ１０を停止する。
２０では、動作確認メッセージ５１を受信後、返信メッ
セージ５３をシステム装置３０に送信するとともに、タ
イマーを起動し、設定時間内に次の動作確認メッセー
ジ５１を受信しないとき、タイマーを起動し、ターボ
分子ポンプ１０を停止する。
【００３７】また、ステップ７でタイマーを起動した
後に、再度返信メッセージ５３を確認する処理を継続し
て行い、返信メッセージ５３を確認出来た場合には、タ
イマーをリセットして復帰するようにしてもよい。
後に、再度返信メッセージ５３を確認する処理を継続し
て行い、返信メッセージ５３を確認出来た場合には、タ
イマーをリセットして復帰するようにしてもよい。
【００３８】以上により、通信状態の異常の有無を簡単
なソフト処理で、通常の運転に支障を生じさせない程度
の短い時間を用いて確認出来る。また、通信異常発生の
場合に、真空ポンプを停止させることで無駄なエネルギ
ー消費を防止することが出来る。
なソフト処理で、通常の運転に支障を生じさせない程度
の短い時間を用いて確認出来る。また、通信異常発生の
場合に、真空ポンプを停止させることで無駄なエネルギ
ー消費を防止することが出来る。
【００３９】更に、真空ポンプ停止までの遅延時間を設
けたことで、例えばチャンバー内の排気の急停止等が避
けられるため、システム装置側のプロセスに対する障害
を極力抑えることが出来る。
けたことで、例えばチャンバー内の排気の急停止等が避
けられるため、システム装置側のプロセスに対する障害
を極力抑えることが出来る。
【００４０】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、第
１のメッセージの送信時刻から第２のメッセージの受信
時刻までの経過時間を計測し、この経過時間が予め定め
た設定時間を超えたとき、通信システム異常の警告等を
行うこととしたので、データ交信の異常の有無を容易に
検出出来る。
１のメッセージの送信時刻から第２のメッセージの受信
時刻までの経過時間を計測し、この経過時間が予め定め
た設定時間を超えたとき、通信システム異常の警告等を
行うこととしたので、データ交信の異常の有無を容易に
検出出来る。
【００４１】また、所定時間分の遅延時間を設けたこと
で、システム装置の有する特性に合わせた形での通信シ
ステム異常処理が行える。
で、システム装置の有する特性に合わせた形での通信シ
ステム異常処理が行える。
【図１】 フローチャート
【図２】 ターボ分子ポンプ制御装置とシステム装置間
のデータ交信の様子を示す図
のデータ交信の様子を示す図
【図３】 ターボ分子ポンプの全体構成図
【図４】 シリアル通信による制御の一構成例
【図５】 従来のターボ分子ポンプ制御装置とシステム
装置間のデータ交信の様子を示す図
装置間のデータ交信の様子を示す図
１０ ターボ分子ポンプ ２０ ターボ分子ポンプ制御装置 ２１ ＲＳ２３２ケーブル ３０ システム装置 ３３ 液晶表示 ５１ 動作確認メッセージ ５３ 返信メッセージ
フロントページの続き Ｆターム(参考） 3H076 AA21 BB28 BB43 CC98 CC99 5B083 AA01 AA08 BB01 BB02 CC09 CD03 CE01 DD01 DD13 EE06 EE11 GG04 5H223 AA05 CC08 DD03 DD07 EE05 FF08 9A001 BB02 BB04 CC02 DD10 JJ18 JJ48 KK37 KK54 LL05 LL09
Claims (6)
- 【請求項１】 システム装置と、該システム装置との間
でデータ交信を行う制御・表示装置と、該制御・表示装
置から周期的に前記システム装置に対し第１のメッセー
ジを送信する第１のメッセージ送信手段と、前記システ
ム装置から周期的に前記制御・表示装置に対し第２のメ
ッセージを送信する第２のメッセージ送信手段と、前記
第１のメッセージ送信手段による前記第１のメッセージ
の送信時刻から前記第２のメッセージ送信手段により送
信された前記第２のメッセージの前記制御・表示装置に
おける受信時刻までの経過時間を計測し、該経過時間が
予め定めた設定時間を超えたか否かを判定する通信シス
テム異常判定手段と、該通信システム異常判定手段で前
記計測時間が予め定めた設定時間を超えたとき、通信シ
ステム異常の警告又は該通信システム異常に対する対処
を行う警告・対処手段とを備え、前記第２のメッセージ
送信手段又は前記第１のメッセージ送信手段の一方は、
前記システム装置と前記制御・表示装置間でデータ交信
可能であることを確認するための動作確認メッセージで
あり、他方は該動作確認メッセージを確認したことに対
する返信メッセージであることを特徴とする通信異常検
出及び／又は対処装置。 - 【請求項２】 前記警告・対処手段は、前記通信システ
ム異常判定手段で前記計測時間が予め定めた設定時間を
超えたとき、通信システム異常の警告又は該通信システ
ム異常に対する対処を所定時間経過後に行うことを特徴
とする請求項１記載の通信異常検出及び／又は対処装
置。 - 【請求項３】 前記所定時間は、解除可能としたことを
特徴とする請求項２記載の通信異常検出及び／又は対処
装置。 - 【請求項４】 回転体を空中に磁気浮上させる磁気軸受
を有する真空ポンプを制御する真空ポンプ制御装置と、
該真空ポンプ制御装置との間でデータ交信を行い、該真
空ポンプ制御装置を含む設備を監視及び／又は制御する
システム装置と、前記真空ポンプ制御装置から周期的に
前記システム装置に対し第１のメッセージを送信する第
１のメッセージ送信手段と、前記システム装置から周期
的に前記真空ポンプ制御装置に対し第２のメッセージを
送信する第２のメッセージ送信手段と、前記第１のメッ
セージ送信手段による前記第１のメッセージの送信時刻
から前記第２のメッセージ送信手段により送信された前
記第２のメッセージの前記真空ポンプ制御装置における
受信時刻までの経過時間を計測し、該経過時間が予め定
めた設定時間を超えたか否かを判定する通信システム異
常判定手段と、該通信システム異常判定手段で前記計測
時間が予め定めた設定時間を超えたとき、通信システム
異常の警告又は前記真空ポンプの回転体の停止を行う警
告・対処手段とを備え、前記第２のメッセージ送信手段
又は前記第１のメッセージ送信手段の一方は、前記シス
テム装置と前記真空ポンプ制御装置間でデータ交信可能
であることを確認するための動作確認メッセージであ
り、他方は該動作確認メッセージを確認したことに対す
る返信メッセージであることを特徴とする真空ポンプ遠
隔監視制御装置。 - 【請求項５】 前記警告・対処手段は、前記通信システ
ム異常判定手段で前記計測時間が予め定めた設定時間を
超えたとき、通信システム異常の警告又は前記真空ポン
プの回転体の停止を所定時間経過後に行うことを特徴と
する請求項４記載の真空ポンプ遠隔監視制御装置。 - 【請求項６】 前記所定時間は、解除可能としたことを
特徴とする請求項５記載の真空ポンプ遠隔監視制御装
置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9028499A JP3179441B2 (ja) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | 通信異常検出及び／又は対処装置及び真空ポンプ遠隔監視制御装置 |
| EP00302510A EP1041471A3 (en) | 1999-03-30 | 2000-03-28 | Remote monitor control device |
| US09/537,943 US6204776B1 (en) | 1999-03-30 | 2000-03-29 | Communication abnormality detecting/coping device and vacuum pump remote monitor control device |
| KR1020000016196A KR20000071505A (ko) | 1999-03-30 | 2000-03-29 | 통신이상검출 및/또는 대처장치 및 진공펌프원격감시제어장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9028499A JP3179441B2 (ja) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | 通信異常検出及び／又は対処装置及び真空ポンプ遠隔監視制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000284822A true JP2000284822A (ja) | 2000-10-13 |
| JP3179441B2 JP3179441B2 (ja) | 2001-06-25 |
Family
ID=13994232
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9028499A Expired - Fee Related JP3179441B2 (ja) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | 通信異常検出及び／又は対処装置及び真空ポンプ遠隔監視制御装置 |
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| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6204776B1 (ja) |
| EP (1) | EP1041471A3 (ja) |
| JP (1) | JP3179441B2 (ja) |
| KR (1) | KR20000071505A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006343824A (ja) * | 2005-06-07 | 2006-12-21 | Honda Motor Co Ltd | 生産ライン管理システム |
| JP2016012173A (ja) * | 2014-06-27 | 2016-01-21 | オムロン株式会社 | プログラマブル表示器 |
| CN112566461A (zh) * | 2020-12-03 | 2021-03-26 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | 一种分子泵控制器 |
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|---|---|---|---|---|
| DE602004005154T2 (de) * | 2004-03-15 | 2007-11-08 | Varian S.P.A., Leini | Vakuumpumpenanlage |
| EP3096021B2 (de) | 2015-05-20 | 2025-08-06 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Ferndiagnose von vakuumgeräten |
| GB2555383B (en) * | 2016-10-20 | 2020-02-12 | Jaguar Land Rover Ltd | Method and apparatus having operating mode |
| KR101927985B1 (ko) | 2017-09-29 | 2019-02-26 | 심준우 | 진공펌프시스템의 공정을 위한 무선원격제어시스템 |
| JP7705722B2 (ja) * | 2021-03-19 | 2025-07-10 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ及び真空ポンプの制御装置 |
| CN115929604B (zh) * | 2021-09-22 | 2025-05-02 | 广汽埃安新能源汽车股份有限公司 | 一种车辆的电动油泵控制方法、装置、存储介质及设备 |
| JP7595554B2 (ja) * | 2021-11-26 | 2024-12-06 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ及び制御装置 |
| GB2642854A (en) * | 2024-07-23 | 2026-01-28 | Edwards Ltd | Dynamic display of information for a vacuum or abatement system |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5732450A (en) | 1980-08-04 | 1982-02-22 | Ricoh Co Ltd | Copying machine |
| US5070536A (en) * | 1988-08-04 | 1991-12-03 | Norand Corporation | Mobile radio data communication system and method |
| US5238362A (en) * | 1990-03-09 | 1993-08-24 | Varian Associates, Inc. | Turbomolecular pump |
| KR910020404A (ko) * | 1990-05-11 | 1991-12-20 | 강진구 | 자기 진단 기능을 가진 냉장고 |
| US5229952A (en) * | 1991-01-18 | 1993-07-20 | Cincinnati Milacron Inc. | Control for injection molding machine |
| JP3099663B2 (ja) * | 1995-02-09 | 2000-10-16 | 株式会社デンソー | 通信システム |
| US5825992A (en) * | 1995-06-09 | 1998-10-20 | Ricoh Company, Ltd. | Facsimile device |
| US5815667A (en) * | 1995-11-28 | 1998-09-29 | Ncr Corporation | Circuits and methods for intelligent acknowledgement based flow control in a processing system network |
| US5809090A (en) * | 1996-03-04 | 1998-09-15 | Glenayre Electronics, Inc. | Digital diversity receiver system |
| JPH10283022A (ja) | 1997-04-04 | 1998-10-23 | Mitsubishi Electric Corp | 無線制御システム，無線操作装置及び制御装置 |
-
1999
- 1999-03-30 JP JP9028499A patent/JP3179441B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-03-28 EP EP00302510A patent/EP1041471A3/en not_active Withdrawn
- 2000-03-29 KR KR1020000016196A patent/KR20000071505A/ko not_active Withdrawn
- 2000-03-29 US US09/537,943 patent/US6204776B1/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20000071505A (ko) | 2000-11-25 |
| JP3179441B2 (ja) | 2001-06-25 |
| EP1041471A3 (en) | 2002-10-09 |
| EP1041471A2 (en) | 2000-10-04 |
| US6204776B1 (en) | 2001-03-20 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |