JP2000312076A - 電子部品接合方法及びそれを用いた装置 - Google Patents
電子部品接合方法及びそれを用いた装置Info
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- JP2000312076A JP2000312076A JP11119681A JP11968199A JP2000312076A JP 2000312076 A JP2000312076 A JP 2000312076A JP 11119681 A JP11119681 A JP 11119681A JP 11968199 A JP11968199 A JP 11968199A JP 2000312076 A JP2000312076 A JP 2000312076A
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Abstract
試験的な接合を行わず、接合時間に依存しない電子部品
の制御データを容易に作成する。 【解決手段】 所定の接合基準時間における電子部品と
回路基板との接合箇所の基準温度と、温度検出手段の検
出基準温度との間にある基準温度相関を予め測定し、所
定の接合基準設定温度における上記接合箇所の温度と接
合時間との間にある時間相関を予め測定し、上記基準温
度相関と接合基準時間とを初期設定し、上記時間相関と
接合基準設定温度とを初期設定し、上記接合箇所の所望
の接合温度及び接合時間を入力し、初期設定された時間
相関と入力された接合温度及び接合時間と初期設定され
た基準温度相関とに基づき、上記接合箇所が入力された
接合時間後に接合温度になるように、上記発熱体の制御
温度を計算し、上記発熱体がその制御温度になるように
温度制御を行う。
Description
ップ実装や液晶パネルの駆動用IC実装において、IC
などの電子部品に熱を加えて直接回路基板上に接合する
電子部品接合方法及びそれを用いた装置に関する。
するために、ICなどの電子部品を直接に回路基板上に
実装するフリップチップ実装が用いられてきている。か
かる工法としては、電子部品の電極部分にバンプを形成
し、熱又は圧力を加えてバンプを基板電極上に接合する
工法が多く用いられている。また、別の例では、液晶パ
ネルに駆動用ICを実装する工法としても、異方性導電
フィルムを予め貼り付けた液晶パネルに電子部品を実装
した後、熱及び圧力を加えることにより異方性導電フィ
ルムの導電粒子を介して液晶パネルと電子部品との電気
的接続を行い、同時に、異方性導電フィルムを硬化させ
て、電子部品を固定する工法が広く用いられている。
単に説明する。従来の電子部品接合装置は、一般に、電
子部品を移載してステージ上の回路基板に実装する実装
ヘッドを有している。この実装ヘッドには、発熱素子で
あるヒータと熱検出センサである熱電対とが備えられて
おり、この電子部品接合装置では、電子部品の実装に際
して、ヒータの発熱及び熱電対による温度検出が行われ
る。上記電子部品の電極には、回路基板との接合材とし
てのバンプが半田又は金などの材質で形成されている。
電子部品を保持し、それを回路基板上の所定位置に接合
する。この接合作業では、上記電子部品を回路基板上で
位置合わせした状態で、実装ヘッドにおけるヒータの出
力を制御し、電子部品に熱を加えることにより、バンプ
が溶融されて電子部品が回路基板上に接合される。上記
ヒータの発熱に伴ない、上記実装ヘッドの熱電対により
検出された温度が温度制御手段に入力されて、上記ヒー
タへの出力が、実装ヘッドが所定の設定温度になるよう
に制御される。
には、熱伝導・熱消費の状態に差があり、熱電対の検出
温度と接合箇所の温度とは一致しない場合がある。この
ため、熱電対の検出温度と接合箇所の温度との相関を予
め設定しておくことで、接合箇所の温度を設定温度とす
る。一般に、複数の電子部品を接合する装置では、電子
部品の制御データとして、設定温度・設定圧力が予め記
憶されるようになっている。電子部品を接合する場合に
は、電子部品接合装置は、一連の動作において、それら
設定温度・設定圧力を制御手段に自動的に設定して接合
動作を行う。
・材料が多様化するにつれ、電子部品と回路基板との接
合に要する接合時間を各種類毎に設定する必要が生じて
きた。従来の接合方法では、接合箇所の温度を制御デー
タとして扱うが、接合箇所の温度と設定温度との相関が
予め設定された接合時間と大きく異なるような電子部品
を接合する場合には、バンプの接合特性に基づく接合温
度を制御データとする従来の接合方法を用いて実装する
と、接合箇所の設定温度が実際の接合温度との間にずれ
を生じることがある。このずれを補うためには、試験的
な接合作業を行いながら設定温度を調整して入力する必
要があり、接合時間が異なる電子部品の制御データ作成
に際して、それぞれに設定温度を求める必要があるた
め、制御データの作成に相当な労力を要するという問題
があった。
合する設定温度をそれぞれに求めるに際して、試験的な
接合を行わず、接合時間に依存しない電子部品の制御デ
ータを容易に作成することを目的とする。
明(以下、第1の発明という)は、発熱体及び温度検出
手段を用いて温度制御を行いながら熱を加えて電子部品
を回路基板上に接合する電子部品接合方法において、所
定の接合基準時間における上記電子部品と回路基板との
接合箇所の基準温度と、上記温度検出手段の検出基準温
度との間にある基準温度相関を予め測定する基準温度相
関測定ステップと、所定の接合基準設定温度における上
記接合箇所の温度と接合時間との間にある時間相関を予
め測定する時間相関測定ステップと、上記基準温度相関
と接合基準時間とを初期設定する基準温度相関設定ステ
ップと、上記時間相関と接合基準設定温度とを初期設定
する時間相関設定ステップと、上記接合箇所の所望の接
合温度及び接合時間を入力する制御データ入力ステップ
と、上記時間相関設定ステップにおいて初期設定された
時間相関と上記制御データ入力ステップにおいて入力さ
れた接合温度及び接合時間とに基づき、上記接合箇所の
接合時間における接合基準温度を求め、該接合基準温度
と上記基準温度相関設定ステップにおいて初期設定され
た基準温度相関とに基づき、上記接合箇所が制御データ
入力ステップにおいて入力された接合時間後に接合温度
になるように、上記発熱体の制御温度を計算する制御温
度計算ステップと、上記発熱体が制御温度計算ステップ
において計算された制御温度になるように温度制御を行
う温度制御ステップとを有していることを特徴としたも
のである。
第2の発明という)は、上記基準温度相関設定ステップ
が、基準温度相関測定ステップにおいて測定された基準
温度相関を一次関数式で近似して求まる傾き及び切片を
初期設定するステップであるとともに、上記時間相関設
定ステップが、時間相関測定ステップにおいて測定され
た時間相関を一次関数式で近似して求まる傾き及び切片
を初期設定するステップであることを特徴としたもので
ある。
第3の発明という)は、発熱体及び温度検出手段を用い
て温度制御を行いながら熱を加えて電子部品を回路基板
上に接合する電子部品接合装置において、上記発熱体及
び温度検出手段を備えた電子部品接合手段と、上記発熱
体の温度制御を行う温度制御手段と、上記電子部品の所
望の接合温度及び接合時間が入力されるとともに、接合
箇所が接合時間後に接合温度になるように、上記発熱体
の制御温度を計算する主制御手段とを有しており、所定
の接合基準時間における上記電子部品と回路基板との接
合箇所の基準温度と、上記温度検出手段の検出基準温度
との間にある基準温度相関を予め測定するとともに、所
定の接合基準設定温度における上記接合箇所の温度と接
合時間との間にある時間相関を予め測定し、上記基準温
度相関と接合基準時間とを初期設定するとともに、上記
時間相関と接合基準設定温度とを初期設定し、上記接合
箇所の所望の接合温度及び接合時間を入力し、該接合温
度及び接合時間と初期設定された時間相関とに基づき、
上記接合箇所の接合時間における接合基準温度を求め、
該接合基準温度と初期設定された基準温度相関とに基づ
き、上記発熱体が入力された接合時間後に接合温度にな
るように、上記発熱体の制御温度を計算し、上記発熱体
が計算された制御温度になるように温度制御を行うこと
を特徴としたものである。
(以下、第4の発明という)は、発熱体及び温度検出手
段を備えた回路基板加熱手段を有しており、該回路基板
加熱手段に関して、接合温度と上記温度検出手段の検出
温度との間にある温度相関を主制御手段に予め初期設定
することを特徴としたものである。
(以下、第5の発明という)は、上記接合箇所の制御温
度を表示する表示手段を有しており、上記温度制御手段
から主制御手段へ検出温度が通知されることにより、上
記主制御手段が基準温度相関及び時間相関に基づき上記
接合箇所の制御温度を計算して、上記表示手段に表示す
ることを特徴としたものである。
て、添付図面を参照しながら説明する。図1に、本発明
の実施の形態に係る電子部品接合装置を備えた実装シス
テムの構成を概略的に示す。この実装システムは、基本
的には、電子部品接合装置10と、該電子部品接合装置
10の全体的な動作を制御する主制御デバイス6と、該
主制御デバイス6及び電子部品接合装置10の間に設け
られた温度制御デバイス5とを有している。これら各構
成は、互いに電気接続されており、実装作業に際して、
上記主制御デバイス6は、予め設定された温度に関する
情報を温度制御デバイス5へ送り、温度制御デバイス5
は、それらの情報に基づき、接合温度について制御する
ための制御信号を、上記電子部品接合装置10へ送る。
また、上記主制御デバイス6には、表示手段である表示
モニタ7が接続されており、この表示モニタ7には、主
制御デバイス6から温度制御デバイス5へ送られる情報
が表示される。
を回路基板3に実装する実装ヘッド1と、回路基板3が
載置されるステージ4とを有している。上記実装ヘッド
1は、ステージ4の上方で水平方向に自在に可動であ
り、電子部品2を吸着保持しつつ回路基板3上で任意に
位置合わせすることができる。図2及び3は、それぞ
れ、電子部品接合装置10における実装ヘッド1の前方
斜視図及び実装ヘッド1の先端部分を拡大して示す後方
斜視図である。この実装ヘッド1は、発熱素子であるヒ
ータ8と温度検出センサである熱電対9とを備えてお
り、この実装システムでは、実装作業に際して、ヒータ
8による発熱及び熱電対9による温度検出が行われる。
には、回路基板3との接合材としてのバンプ(不図示)
が半田又は金などの材質で形成されている。上記実装ヘ
ッド1は、バンプ面を下方にして電子部品2を吸着して
保持し、それを回路基板3上の所定位置に接合する。こ
の接合プロセスでは、上記電子部品2を回路基板3上に
位置決めした上で、実装ヘッド1におけるヒータ8の出
力を制御し、電子部品2のバンプに熱を加えることによ
り、バンプが溶融されて電子部品2が回路基板3上に接
合される。上記電子部品2のバンプの加熱に伴ない、上
記実装ヘッド1の熱電対9により検出される温度が温度
制御手段5に入力されて、上記ヒータ8への出力が、実
装ヘッド1が所定の設定温度になるように制御される。
上記実装ヘッド1は、電子部品2を吸着保持しながら下
降して回路基板3上に実装する。上記実装ヘッド1に搭
載された熱電対8及びヒータ9は、温度制御デバイス5
に接続されており、電子部品2のバンプに熱を加える。
すなわち、上記温度制御デバイス5は、閉ループによっ
て温度制御を実行することが可能である。
おいてのみ熱電対8及びヒータ9が設けられているが、
これに限定されることなく、上記回路基板3を保持する
ステージ4の内部にも、熱電対及びヒータが設けられて
もよい。これらの熱電対及びヒータは、上記実装ヘッド
1における熱電対8及びヒータ9と同様に、温度制御デ
バイス5に接続される。この場合において、接合温度と
熱電対の検出温度との温度相関を主制御デバイス6に予
め初期設定して、電子部品2側のみならず、回路基板3
側からも接合箇所に熱を加えることにより、電子部品2
を回路基板3に接触させる際の温度降下を防止し、安定
した接合作業を行うことができる。
ら、本発明の実施の形態に係る電子部品接合方法につい
て説明する。この電子部品接合方法は、初期設定(ステ
ップ1〜6)・制御データ作成(ステップ7)・接合
(ステップ8〜13)の三段階で実施される。まず、ス
テップS1において、上記実装ヘッド1の設定温度と接
合箇所の実温度との温度相関を求める。この温度相関
は、ある設定温度における所定の接合基準時間後の接合
箇所の実温度を温度検出用の熱電対で測定し、これを複
数の設定温度について行うことによって求められる。こ
の温度相関を「基準温度相関」とし、ステップS2にお
いて、所定の接合基準時間とともに主制御デバイス6に
初期設定する。
温度と接合箇所の実温度との温度相関を求める。この温
度相関は、ある設定温度における所定の接合基準時間後
の接合箇所の実温度を温度検出用の熱電対で測定し、こ
れを複数の温度について行うことによって求められる。
ステップS4では、この温度相関を主制御デバイス6に
初期設定する。
の実温度と接合時間との時間相関を求める。この時間相
関は、所定の接合基準設定温度における接合箇所の実温
度の時間経過を温度検出用の熱電対で測定することによ
って求められる。ステップS6では、この時間相関及び
接合基準設定温度を主制御デバイス6に初期設定する。
上記ステージ3は、電子部品2の種類に依存することな
く、温度制御を常時行うため、ステップS5における時
間相関を必要としない。一般に、ステップS1,S3及
びS5で求められた温度相関及び時間相関は、熱電対8
及びヒータ9の取付け状態のばらつきなどの差によって
装置毎に異なるため、前述したような初期設定は、電子
部品接合装置10の初期調整段階に必ず行われる。
合するための制御データを作成する場合に、電子部品2
の接合温度及び接合時間を入力する。電子部品2におけ
るバンプの材質として半田を用いた場合には、半田が溶
融する温度及び時間を基準にして、接合温度及び接合時
間を決定する。また、これに限定されることなく、異方
性導電フィルムを介して接合する場合には、上記導電フ
ィルムの硬化温度及び硬化時間を基準にして、接合温度
及び接合時間を決定するようにしてもよい。すなわち、
接合温度及び接合時間は、電子部品2による工法条件に
よって決定することが可能である。
御データに基づき、接合動作を行う。接合動作が開始さ
れると、まず、ステップS8において、上記主制御デバ
イス6が、温度制御デバイス5の制御温度を計算する。
この計算では、ステップS6で初期設定された時間相関
と、ステップS7で入力された接合温度及び接合時間と
に基づき、接合箇所の接合時間における接合基準温度が
求められる。そして、接合基準温度とステップS2にお
いて初期設定された基準温度相関とに基づき、接合箇所
が、接合時間後に接合温度になるような制御温度を求め
る。ステップS9では、主制御デバイス6から温度制御
デバイス5へ制御温度を通知する。
0において、主制御デバイス6から通知された制御温度
で温度制御を実行する。この温度制御は、熱電対8の検
出温度に対してヒータ9の出力を制御し、これを周期的
に行って制御温度を所定の温度に維持するようにする。
ステップS11では、熱電対8の検出温度を主制御デバ
イス6へ通知する。続いて、ステップS12では、主制
御デバイス6が、通知された検出温度及び基準温度相関
に基づき、接合基準検出温度を求める。そして、接合基
準検出温度及び時間相関に基づき、接合検出温度を推算
する。ステップS13では、推算された接合検出温度を
表示モニタ7に表示する。
部品接合方法によれば、作業者は制御データに接合温度
及び接合時間を入力して接合動作を行うだけで、接合箇
所が、接合時間後に接合温度になる制御温度を自動的に
計算し制御すると同時に、推算される接合温度をモニタ
して接合状態を把握することができる。
態における温度相関及び時間相関の導出方法について説
明する。図4は、接合基準時間を10秒とした場合にお
ける、実装ヘッド1の設定温度と接合箇所の温度との関
係を表すグラフである。このグラフを用いて、実装ヘッ
ド1の設定温度と接合箇所の温度との温度相関を求める
(図3のステップS1)。上記実装ヘッド1の設定温度
は、60℃,80℃,100℃,120℃,140℃で
ある。各プロットは、それぞれの温度に設定されたヒー
タ9で接合箇所を10秒間加熱した後、接合箇所の温度
を熱電対8で測定することにより得られる。この温度範
囲においては、グラフを直線近似することができ、この
接合基準時間における接合箇所の温度Yと実装ヘッド1
の設定温度Xとの関係は、次式で表される。 Y = 0.65X + 3.0 (1) この数式(1)の傾き「0.65」及び切片「3.
0」、並びに、接合基準時間「10秒」を上記主制御デ
バイス6に入力して初期設定を行う(図3のステップS
2)。
(つまり接合基準設定温度)を100℃とした場合にお
ける、接合時間と接合箇所の温度との関係を表すグラフ
である。このグラフを用いて、接合時間と接合個所の温
度との時間相関を求める(図3のステップS5)。各プ
ロットは、接合開始後の5秒,10秒,15秒,20
秒,25秒の時点で、各接合箇所の温度を測定すること
により得られる。この時間範囲においては、グラフを直
線近似することができ、この接合基準設定温度における
接合箇所の温度Yと接合時間Zとの関係は、次式で表さ
れる。 Y = 4.8Z + 20.0 (2) この数式(2)の傾き「4.8」及び切片「20.
0」、並びに、接合基準設定時間100℃を上記主制御
デバイス6に入力して初期設定を行う(図3のステップ
S6)。
に際して、主制御デバイス6に接合温度80℃および接
合時間15秒を入力すると、上記温度制御デバイス5の
制御温度は、以下のように求まる。まず、数式(2)
に、接合時間15秒を代入すると、 Y = 4.8×15.0 + 20.0 = 92.0 (3) が得られる。つまり、接合基準設定温度100℃におい
て接合時間が15秒の場合、接合箇所の温度は、92℃
である。
の温度は、68℃である。数式(1)においては、接合
基準時間が10秒と設定されており、従って、接合時間
を10秒から15秒にすることで、接合箇所の温度は、 92.0 − 68.0 = 24.0 (5) から24.0℃上昇することが分かる。これに基づい
て、接合温度を80℃とするために、数式 (1)より、 80.0 − 24.0 = 0.65X+3.0 (6) が得られ、その結果、 X=81.5 (7) が求まる。すなわち、接合箇所は、81.5℃で温度制
御されると、接合時間15秒後に80℃となることが分
かる。このようにして得られた81.5℃は、制御温度
として温度制御デバイス5へ通知され(図3のステップ
S9)、温度制御デバイス5は、81.5℃で上記実装
ヘッド1のヒータ8について温度制御を行うことによ
り、接合温度80℃を実現する(図3のステップS1
0)。
行っている状態にある熱電対9の検出温度が100.0
℃であるとすると、接合検出温度を推算する手順は、以
下の通りである。上記温度制御デバイス5は、検出温度
100.0℃を主制御デバイス6へ通知する(図3のス
テップS11)。主制御デバイス6は、数式(1)に基
づき、接合箇所の接合基準検出温度Yを推算する。 Y=0.65×100.0+3.0 Y=68.0 (8) 数式(8)の68.0℃は、10秒後の接続温度であり、
数式(6)より、24.0℃の温度上昇分を考慮する
と、 68.0+24.0=92.0 (9) となる。これより、接合時の温度は、92.0℃と推算
される。上記表示モニタ7は、(9)式で得られた接合温
度92.0℃を表示する(図3のステップS12)。
限定されるものでなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲
において、種々の改良及び設計上の変更が可能であるこ
とは言うまでもない。
れた時間相関および基準温度相関に基づき、また、入力
された電子部品と回路基板との接合箇所に関する接合温
度及び接合時間に基づき、上記接合箇所が入力された接
合時間後に接合温度になるように、上記発熱体の制御温
度を計算し、上記発熱体がその制御温度になるように温
度制御を行うので、作業者は所望の接合温度及び接合時
間を入力するのみで、電子部品又は回路基板の種類に応
じた制御データを容易に作成して、上記接合箇所に関す
る実際の接合温度および接合時間を実現することができ
る。また、異なる機種で同一の制御データを使用するこ
とができ、制御データの作成に要する時間が短縮する。
更に、上記接合箇所に関する接合時間および接合温度を
互いに依存することなく設定することができるので、工
法に則した制御データを直接扱うことができる。
度相関設定ステップが、温度相関測定ステップにおいて
測定された基準温度相関を一次関数式で近似して求まる
傾き及び切片を初期設定するように構成されるととも
に、上記時間相関設定ステップが、時間相関測定ステッ
プにおいて測定された時間相関を一次関数式で近似して
求まる傾き及び切片を初期設定するように構成されるの
で、基準温度相関測定ステップで求まる3つの数値を入
力するだけで、容易に基準温度相関を設定することがで
き、また、時間相関測定ステップで求まる3つの数値を
入力するだけで、容易に時間相関を設定することができ
る。この結果、初期設定に要する時間を短縮することが
できる。
定された時間相関および基準温度相関に基づき、また、
入力された電子部品と回路基板との接合箇所に関する接
合温度及び接合時間に基づき、上記接合箇所が入力され
た接合時間後に接合温度になるように、上記発熱体の制
御温度を計算し、上記発熱体がその制御温度になるよう
に温度制御を行うので、作業者は所望の接合温度及び接
合時間を入力するのみで、電子部品又は回路基板の種類
に応じた制御データを容易に作成して、上記接合箇所に
関する実際の接合温度および接合時間を実現することが
できる。また、異なる機種で同一の制御データを使用す
ることができ、制御データの作成に要する時間が短縮す
る。更に、上記接合箇所に関する接合時間および接合温
度を互いに依存することなく設定することができるの
で、工法に則した制御データを直接扱うことができる。
発熱体及び温度検出手段を備えた回路基板加熱手段を有
しており、該回路基板加熱手段に関して、接合温度と上
記温度検出手段の検出温度との間にある温度相関を主制
御手段に予め初期設定するので、電子部品と回路基板と
の接合温度を入力し、電子部品側と回路基板側の双方か
ら接合箇所に熱を加えることにより、電子部品を回路基
板に接触する際の温度降下を防止し、安定した接合作業
を行うことができる。
上記接合箇所の制御温度を表示する表示手段を有してお
り、上記温度制御手段から主制御手段へ検出温度が通知
されることにより、上記主制御手段が基準温度相関及び
時間相関に基づき上記接合箇所の制御温度を計算して、
上記表示手段に表示するので、接合箇所の温度状態を作
業者が把握することができ、接合条件に対する異常を検
知して接合異常を未然に防ぐことができる。
を備えた実装システムの構成を概略的に示す説明図であ
る。
方斜視図である。 (b)上記実施の形態に係る実装ヘッドの先端部分を拡
大して示す後方斜視図である。
いて用いられる電子部品接合方法のフローチャートであ
る。
実装ヘッドの設定温度と接合箇所の温度との関係を表す
グラフである。
場合における、接合時間と接合箇所の温度との関係を表
すグラフである。
Claims (5)
- 【請求項1】 発熱体及び温度検出手段を用いて温度制
御を行いながら熱を加えて電子部品を回路基板上に接合
する電子部品接合方法において、 所定の接合基準時間における上記電子部品と回路基板と
の接合箇所の基準温度と、上記温度検出手段の検出基準
温度との間にある基準温度相関を予め測定する基準温度
相関測定ステップと、 所定の接合基準設定温度における上記接合箇所の温度と
接合時間との間にある時間相関を予め測定する時間相関
測定ステップと、 上記基準温度相関と接合基準時間とを初期設定する基準
温度相関設定ステップと、 上記時間相関と接合基準設定温度とを初期設定する時間
相関設定ステップと、 上記接合箇所の所望の接合温度及び接合時間を入力する
制御データ入力ステップと、 上記時間相関設定ステップにおいて初期設定された時間
相関と上記制御データ入力ステップにおいて入力された
接合温度及び接合時間とに基づき、上記接合箇所の接合
時間における接合基準温度を求め、該接合基準温度と上
記基準温度相関設定ステップにおいて初期設定された基
準温度相関とに基づき、上記接合箇所が制御データ入力
ステップにおいて入力された接合時間後に接合温度にな
るように、上記発熱体の制御温度を計算する制御温度計
算ステップと、 上記発熱体が制御温度計算ステップにおいて計算された
制御温度になるように温度制御を行う温度制御ステップ
とを有していることを特徴とする電子部品接合方法。 - 【請求項2】 上記基準温度相関設定ステップが、基準
温度相関測定ステップにおいて測定された基準温度相関
を一次関数式で近似して求まる傾き及び切片を初期設定
するステップであるとともに、 上記時間相関設定ステップが、時間相関測定ステップに
おいて測定された時間相関を一次関数式で近似して求ま
る傾き及び切片を初期設定するステップであることを特
徴とする請求項1記載の電子部品接合方法。 - 【請求項3】 発熱体及び温度検出手段を用いて温度制
御を行いながら熱を加えて電子部品を回路基板上に接合
する電子部品接合装置において、 上記発熱体及び温度検出手段を備えた電子部品接合手段
と、 上記発熱体の温度制御を行う温度制御手段と、 上記電子部品の所望の接合温度及び接合時間が入力され
るとともに、接合箇所が接合時間後に接合温度になるよ
うに、上記発熱体の制御温度を計算する主制御手段とを
有しており、 所定の接合基準時間における上記電子部品と回路基板と
の接合箇所の基準温度と、上記温度検出手段の検出基準
温度との間にある基準温度相関を予め測定するととも
に、所定の接合基準設定温度における上記接合箇所の温
度と接合時間との間にある時間相関を予め測定し、 上記基準温度相関と接合基準時間とを初期設定するとと
もに、上記時間相関と接合基準設定温度とを初期設定
し、 上記接合箇所の所望の接合温度及び接合時間を入力し、
該接合温度及び接合時間と初期設定された時間相関とに
基づき、上記接合箇所の接合時間における接合基準温度
を求め、該接合基準温度と初期設定された基準温度相関
とに基づき、上記発熱体が入力された接合時間後に接合
温度になるように、上記発熱体の制御温度を計算し、 上記発熱体が計算された制御温度になるように温度制御
を行うことを特徴とする電子部品接合装置。 - 【請求項4】 発熱体及び温度検出手段を備えた回路基
板加熱手段を有しており、該回路基板加熱手段に関し
て、接合温度と上記温度検出手段の検出温度との間にあ
る温度相関を主制御手段に予め初期設定することを特徴
とする請求項3記載の電子部品接合装置。 - 【請求項5】 上記接合箇所の制御温度を表示する表示
手段を有しており、上記温度制御手段から主制御手段へ
検出温度が通知されることにより、上記主制御手段が基
準温度相関及び時間相関に基づき上記接合箇所の制御温
度を計算して、上記表示手段に表示することを特徴とす
る請求項3又は4に記載の電子部品接合装置。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP4252666B2 (ja) | 2009-04-08 |
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