JP2000321594A - Cog型液晶表示装置 - Google Patents

Cog型液晶表示装置

Info

Publication number
JP2000321594A
JP2000321594A JP12859299A JP12859299A JP2000321594A JP 2000321594 A JP2000321594 A JP 2000321594A JP 12859299 A JP12859299 A JP 12859299A JP 12859299 A JP12859299 A JP 12859299A JP 2000321594 A JP2000321594 A JP 2000321594A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid crystal
terminal
pattern
display device
crystal display
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP12859299A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3480697B2 (ja
Inventor
Kazuo Fukuda
和生 福田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nanox Corp
Original Assignee
Nanox Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nanox Corp filed Critical Nanox Corp
Priority to JP12859299A priority Critical patent/JP3480697B2/ja
Publication of JP2000321594A publication Critical patent/JP2000321594A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3480697B2 publication Critical patent/JP3480697B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ガラス基板上に金属配線を有するCOG型
(Chip On Glass)の液晶表示装置の配線
部を金属メッキをするときに、メッキ抜けの起きにく
い、液晶表示装置を提供する。 【解決手段】 ガラス基板2、セグメント側電極6a、
制御側電極6b、入力側電極6c、セグメント表示部3
e、位置合せマーク部4、切断部5、透明絶縁膜の塗布
領域7、端子パターン集合部8(8a、8b、8c)と
で構成し、端子パターン集合部8に延長して接続された
それぞれの電極(6a,6b,6c)にメッキを行い、
メッキ終了後に、延長したそれぞれの電極(6a,6
b,6c)と端子パターン集合部8との間の切断線5の
箇所で切断するCOG型液晶表示装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の技術分野】この発明は、液晶表示装置に関
し、特にガラス基板上に金属配線端子を有するCOG型
(Chip On Glass)の液晶表示装置の配線
端子の金属メッキを、抜けが無いように安定に施す液晶
表示装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、液晶表示装置において、コスト、
工程数や信頼性等からガラス基板上に液晶駆動用LSI
チップを実装するCOG型(Chip On Glas
s)の液晶表示装置が多く用いられている。
【0003】図5にCOG型液晶表示装置の基本的な構
成図を示す。図5においてCOG型液晶表示装置21
は、ガラス基板2、透明導電膜のパターン3a,3b、
液晶14、樹脂等のシール15、外部電極6、偏光フィ
ルタ17、液晶駆動用LSI18、金属メッキ9で構成
し、上下2枚のガラス基板2の位置合せを行い、2枚の
ガラス基板間にギャップを設けてギャップに液晶14を
封入し、周囲に樹脂等のシール15で封止され、ガラス
基板2の表面には、ネサ膜やITO膜(酸化インジウム
膜)等の透明導電膜のパターン3a,3bを形成してい
る。
【0004】さらに、COG型液晶表示装置21の表面
には、偏光フィルタ17が貼られている。また、液晶駆
動用LSI18が液晶14の外部の配線端子に設置され
ており、外部電極6から電源と表示命令信号を取入れ
て、液晶表示装置用の信号を表示部に供給している。
【0005】さらに、外部電極6および液晶駆動用LS
I18のパターン全体を金属メッキ9で覆っている。な
お、透明導電膜のパターン3a,3b等の形成時に同時
に形成された液晶14の外部の部分を外部電極6および
配線端子とする。
【0006】このCOG型液晶表示装置21は、電極部
に液晶駆動用LSI18を設置した小型モジュールであ
り、表示容量が大きい場合に使用する細密パターンで
は、配線端子が細くなり、特に端子部上に設置される液
晶駆動用LSI18の周辺では、配線の線幅は100μ
m以下と細いため配線の抵抗も大きくなる。この抵抗値
を小さくするためには金属配線が有効であり、従来の液
晶表示装置では、細密パターンを金属膜の蒸着やスパッ
タリング等で形成するパターニング法を用いていた。
【0007】また、従来のCOG型液晶表示装置は、透
明導電膜のITO膜上にNi-P、Auを無電界メッキ
する方法であり、ITO膜のみに選択的にNi-Pを付
着させ、その上にAuを置換メッキあるいは自己触媒メ
ッキさせることができ、パターニングが不要であり、I
TO膜の無いガラス上にはメッキを付着させないという
特徴があった。
【0008】さらに、特開平5−53128号公報に
は、ガラス基板上に無電界メッキ法で金属配線を行い、
金属配線のある領域の配線に対してその一番外側を囲む
ようにダミーパターンまたは幅の広い電源線を設けて、
それより内側のメッキ抜けを防ぐ発明が開示されてい
る。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】細密パターンを金属膜
の蒸着やスパッタリング等で形成する従来のCOG型液
晶表示装置は、蒸着やスパッタリング等の工程を行うた
めに蒸着やスパッタリング装置の設備費が高価で製造コ
ストが高くなるという課題がある。
【0010】また、透明導電膜のITO膜上にNi-
P、Auを無電界メッキする従来のCOG型液晶表示装
置は、コストが安く製造できるが、連続したパターンの
うち1つだけのパターンにメッキされないパターンが出
ることがあり、また特に孤立した細かなパターンでメッ
キ抜けすることが多く起こる。1つのパターンの中でメ
ッキされる部分とメッキされない部分が生じるのではな
く、メッキされないパターンは、全ての部分でメッキさ
れないというパターン抜けがおこる課題がある。
【0011】さらに、特開平5−53128号公報に開
示されている、ある領域の配線に対してその一番外側を
囲むようにダミーパターンまたは電源線を設けて内側の
メッキ抜けを防ぐ従来の液晶表示装置は、メッキの電位
に原因があるようで、外側のダミーパターンまたは電源
線だけでなく内側のパターンも同時にメッキ抜けになる
ことがあるという課題がある。
【0012】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
本発明に係るCOG型液晶表示装置のセグメント基板
は、配線端子部の端子からそれぞれ細い導電性のパター
ンを延長して接続する端子パターン集合部と、配線端子
部と端子パターン集合部との間を切断するための切断部
とを備え、配線端子部を同電位としてメッキを施し、メ
ッキ終了後に、配線端子部と端子パターン集合部との間
を切断部で切断したことを特徴とする
【0013】本発明に係るCOG型液晶表示装置のセグ
メント基板は、配線端子部を同電位としたので、安定的
にメッキが施され、メッキ終了後、端子パターン部を分
離する。
【0014】また、本発明に係るセグメント表示部およ
びセグメント表示部に接続した端子パターン集合部は、
透明絶縁膜で覆われメッキが施されない領域であること
を特徴とする。
【0015】本発明に係るセグメント表示部およびセグ
メント表示部に接続した端子パターン集合部は、メッキ
が施されない領域なのでメッキが付着されるのを防ぎ、
また、シール外部の端子間での汚れや結露水によるショ
ートを防ぐことができる。
【0016】さらに、本発明に係る位置合せマーク部
は、細い導電性のパターンにより端子パターン集合部に
接続し、接続されたパターン全部に金属メッキしたこと
を特徴とする。
【0017】本発明に係る位置合せマーク部は、液晶駆
動用LSIを機械で自動的に設置する場合に位置合せマ
ーク部がメッキによりはっきり表示され自動画像認識の
検出マークとして利用できる。
【0018】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を添
付図面に基づいて説明する。図1に、この発明に係るC
OG型液晶表示装置のセグメント基板図を示す。図1に
おいてCOG型液晶表示装置のセグメント基板1は、ガ
ラス基板2、配線端子部(セグメント側電極)6a、配
線端子部(制御側電極)6b、配線端子部(入力側電
極)6c、セグメント表示部3e、位置合せマーク部
4、切断部5、透明絶縁膜の塗布領域7、端子パターン
集合部8(8a、8b、8c)とで構成する。
【0019】ガラス基板2は、ガラス成分としてソーダ
ライムガラスを主成分とする。また、ガラス基板2は、
平坦度に対し、偏肉、反り、うねり、表面粗さ等が少な
く、傷、ピット、汚れ等の点で高品位なガラスから成
り、場合によっては、表面研磨を施すものもある。な
お、このガラス基板2には、無アルカリガラスを用いて
もよい。
【0020】配線端子部(セグメント側電極)6aは、
複数の配線端子からなり、セグメント電極に電位を与え
液晶の表示をする。また、配線端子部(セグメント側電
極)6aは、酸化錫(SnO2)や酸化インジウム(I
23)を主な成分とし、酸化インジウムと酸化錫との
混合物、酸化カドミウム錫(Cd2SnO4)等からなる
化合物を真空、化学蒸着等で透明導電膜を形成する。
【0021】さらに、配線端子部(制御側電極)6b
は、複数の配線端子からなり、コモン電極に電位を与え
液晶の表示をする。また、配線端子部(制御側電極)6
bは、酸化錫や酸化インジウムを主な成分とし、酸化イ
ンジウムと酸化錫との混合物、酸化カドミウム錫等から
なる化合物を真空、化学蒸着等で透明導電膜を形成す
る。
【0022】さらに、配線端子部(入力側電極)6c
は、複数の配線端子からなり、液晶駆動用LSIの電源
供給および接地のための電流の供給を行う。また、配線
端子部(入力側電極)6cは、酸化錫や酸化インジウム
を主な成分とし、酸化インジウムと酸化錫との混合物、
酸化カドミウム錫等からなる化合物を真空、化学蒸着等
で透明導電膜を形成する。
【0023】セグメント表示部3eは、配線端子部(セ
グメント側電極)6aに接続し、そのパターンはセグメ
ント側電極6aよりも面積が大きく、酸化錫や酸化イン
ジウムを主な成分とし、酸化インジウムと酸化錫との混
合物、酸化カドミウム錫等からなる化合物を真空、化学
蒸着等で表示電極を形成し、表示電極の上部を透明絶縁
膜で覆い、その上部に配向膜を配置し、さらにその上に
は液晶を搭載する。
【0024】位置合せマーク部4は、液晶駆動用LSI
を配置する時にその位置と方向とを知らせるためのマー
クで、位置合せマーク部4のパターンを細いパターンで
延長して端子パターン集合部8cおよび配線端子部(入
力側電極)6cに接続したので、位置合せマーク部4に
も金属メッキを同時に行う。
【0025】切断部5は、金属メッキ処理の後、切断部
5の位置でガラス基板2を切断して配線端子部6a,6
b,6cと端子パターン集合部8(8a、8b、8c)
とを電気的に切り離す。
【0026】透明絶縁膜の塗布領域7は、セグメント表
示部3eおよび端子パターン集合部8aの透明導電膜の
上に透明絶縁膜を塗布しているので、メッキがされな
い。また、この透明絶縁膜の塗布によりセグメント表示
部3eにメッキが付着するのを防ぎ、また、セグメント
表示部3eのパターンを延長した細いパターンは、同様
に透明絶縁膜が塗布されているのでパターン間での汚れ
や結露水によるショートを防ぐ。さらに、透明絶縁膜の
塗布領域7のセグメント表示部3eの上部には、配向膜
を介して液晶セルが形成される。
【0027】端子パターン集合部8aは、1本の細い導
電性のパターンで構成し、配線端子部(セグメント側電
極)6aに接続するセグメント表示部3eから延長した
細いパターンに接続し、配線端子部の電位を全て同じに
する。また、端子パターン集合部8bは、1本の細い導
電性のパターンで構成し、配線端子部(制御側電極)6
bのコモン電極パターンの全ての配線端子から延長した
細いパターンに接続し、配線端子部の電位を全て同じに
する。さらに、端子パターン集合部8cは、1本の細い
導電性のパターンで構成し、配線端子部(入力側電極)
6cの全ての配線端子から延長した細いパターンに接続
し、配線端子部の電位を全て同じにする。
【0028】なお、端子パターン集合部8をそれぞれの
電極パターン毎に分けないで全部の配線端子を1本の端
子パターン集合部のパターンに接続して配線端子の全て
の電位が同じになるようにしてもよい。
【0029】図2にこの発明に係るセグメント基板のメ
ッキ処理工程図を示す。図2の(a)は、パターニング
されたITO膜付き基板の状態を示す。ソーダライムシ
リカガラス等からなるガラス基板2にエッチング等によ
り酸化スズや酸化インジウム等で表示電極(図1のセグ
メント基板3eに相当する)領域、表示部への配線端子
部(図1のセグメント側電極6aに相当)および外部電
極6(図1の入力側電極6cに相当)の端子から、それ
ぞれ細いパターンを延長して接続する1本の導電性のパ
ターンを有する端子パターン集合部等にITO膜3によ
る透明導電膜を形成する。また、メッキを付着させない
領域には、透明絶縁膜7を設けておく。
【0030】図2の(b)は、金属メッキ(ニッケル)
9−aを施した状態を示す。図2の(b)において液晶
部への配線部やバンプ部以外に金属メッキを施すため
に、初めに表面の汚れの除去や脱脂等の目的のために、
アルカリ性の溶液でクリーニングを行い、次に塩酸等の
酸でアルカリ性を中和する。
【0031】さらに、触媒化処理を行う。まず、キャタ
リストとして、塩化第一錫と塩化パラジウム等からなる
金属塩化物、および塩酸を同時に含んだ触媒化処理液に
2〜3分間程浸積する。
【0032】さらに、ニッケルイオンを含む塩化ニッケ
ル溶液または硫酸ニッケル溶液のような化学ニッケルメ
ッキ液に浸して無電解ニッケルメッキを生成し、下地の
ニッケルメッキ層9−aを形成する。
【0033】図2の(c)は、金属メッキ(金メッキ)
9−bをニッケルメッキ9−a上に選択的に施した状態
を示す。図2の(b)の処理工程と同様に、始めに表面
の汚れの除去や脱脂等のためにアルカリ性の溶液でクリ
ーニングを行い、次に硫酸等の酸でアルカリ性を中和す
るとともに、ニッケル表面を活性化する。
【0034】さらに、メッキ層の厚さが50nm程度の
フラッシュ金による金メッキを行う。金イオンを含む塩
化物溶液または硫酸塩溶液のような金属塩からなる化学
金メッキ液に室温程度で浸し、さらに金属イオンの還元
剤としてホルムアルデヒドやロッシェル塩等で還元して
無電解金メッキを生成し、下地のニッケルメッキ層9−
a上部に金メッキ層9−bを形成する。これら、ニッケ
ルメッキ層9−aと金メッキ層9−bとの全体で金属メ
ッキ9を形成する。
【0035】このように無電界金属メッキを行う時に、
セグメント表示部および配線端子部の端子からそれぞれ
細い導電性のパターンを延長して1本のパターンで構成
する端子パターン集合部に接続し、配線端子部およびセ
グメント表示部を全て同電位としてメッキを施せば、パ
ターン抜けが無い金属メッキができる。
【0036】図3に切断された後のセグメント基板のパ
ターンと透明絶縁膜の塗布領域図を示す。図3において
切断されたセグメント基板51の基板上の太い実線で囲
んだ部分は、シールが印刷される領域13で、破線で示
す領域が透明絶縁膜の塗布領域7である。
【0037】透明絶縁膜の塗布領域7は、メッキが施さ
れない領域である。セグメント表示部と延長した細いパ
ターンの一部は、透明絶縁膜に覆われている。また、そ
れぞれの端子から延長されたパターンは、切り離されて
独立したパターンになる。透明絶縁膜の塗布領域7の上
部にシールが印刷される領域13があり、シールが印刷
される領域13内に液晶を封入する。
【0038】図4にセグメント基板のパターンをマザー
ガラスに複数多面付けしたパターン図を示す。図4にお
いてマザーガラス41は、セグメント基板のパターンを
製造する時のベースになるガラス基板で、マザーガラス
41にセグメント基板のパターンを多数面付けし、メッ
キをした後パネルを形成し、液晶を注入してその注入口
を封止した後で、切断部5の位置で切断すれば、一度に
多数のセグメント基板のパターンが製造でき生産効率が
向上する。なお、セグメント基板パターンおよびコモン
基板パターンを同一のマザーガラスに多数面付けしてメ
ッキを行うようにしてもよい。
【0039】
【発明の効果】以上のように、本発明に係るCOG型液
晶表示装置のセグメント基板は、配線端子部の端子から
それぞれ細い導電性のパターンを延長して接続する端子
パターン集合部と、配線端子部を同電位としてメッキを
施し、メッキ終了後に、配線端子部と端子パターン集合
部との間を切断し、セグメント基板から分離したのでメ
ッキをする時は、パターンの電位を同じにすることがで
き、メッキ抜けが防止できる。また、液晶駆動用LSI
への電源配線と接地配線および昇圧用配線に金属メッキ
を施したので、端子が低抵抗になり電圧降下することな
く電流を流すことができる。
【0040】本発明に係るセグメント表示部およびセグ
メント表示部に接続した端子パターン集合部は、透明絶
縁膜で覆われているのでセグメント表示部にメッキが付
着するのが防止され、また、シール外部の配線部の汚れ
や結露水によるショートを生じるのが防止される。
【0041】本発明に係る位置合せマーク部は、細い導
電性のパターンにより端子パターン集合部に接続し、接
続されたパターン全部に金属メッキしたので液晶駆動用
LSIを機械で自動的に設置する場合に、位置合せマー
ク部が金属メッキにより鮮明に表示され自動画像認識の
検出マークとして利用できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明に係るCOG型液晶表示装置のセグメ
ント基板図
【図2】この発明に係るセグメント基板のメッキ処理工
程図
【図3】切断された後のセグメント基板のパターンと透
明絶縁膜の塗布領域図
【図4】ガラス基板をマザーガラスに複数多面付けした
パターン図
【図5】COG型液晶表示装置の基本的な構成図
【符号の説明】
1…COG液晶表示装置のセグメント基板、2…ガラス
基板、3a,3b…透明導電膜のパターン、3e…セグ
メント表示部、4…位置合せマーク部、5…切断部、6
…外部電極、6a…セグメント側電極、6b…制御側電
極、6c…入力側電極、7…透明絶縁膜の塗布領域、
8,8a,8b,8c…端子パターン集合部、9…金属
メッキ、9a…ニッケルメッキ(無電解ニッケルメッ
キ)、9b…金メッキ(無電解金メッキ)、10…バン
プ、13…シールが印刷される領域、14…液晶、15
…シール、17…偏向フィルタ、18…液晶駆動用LS
I、21…COG液晶表示装置、41…マザーガラス。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2H092 GA41 GA43 GA44 GA57 GA60 HA19 MA11 MA12 NA15 NA28 PA01 5C094 AA32 AA38 AA42 AA43 BA43 CA14 DA09 DA14 EA04 EA05 EA07 EB02 FB12 GB01 5G435 AA16 AA17 BB12 CC05 EE33 EE37 FF05 GG11 HH12 KK03 KK05

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 液晶セル内に封入した液晶に電圧を印加
    する一方の電極となるセグメント表示部と、前記液晶セ
    ル外部に液晶駆動用LSIを接続する端子を持つ配線端
    子部と、液晶駆動用LSIの方向および位置を合せる位
    置合せマーク部と、を有するセグメント表示電極を有す
    る基板を備えたCOG(チップオンガラス)型液晶表示
    装置において、 前記セグメント基板は、前記配線端子部の端子からそれ
    ぞれ細い導体性のパターンを延長して接続する端子パタ
    ーン集合部と、前記配線端子部と前記端子パターン集合
    部との間を切断するための切断部とを備え、前記配線端
    子部を同電位としてメッキを施し、メッキ終了後に、前
    記配線端子部と前記端子パターン集合部との間を前記切
    断部で切断したことを特徴とするCOG(チップオンガ
    ラス)型液晶表示装置。
  2. 【請求項2】 前記セグメント表示部およびセグメント
    表示部に接続した前記端子パターン集合部は、透明絶縁
    膜で覆われメッキが施されない領域であることを特徴と
    する請求項1記載のCOG(チップオンガラス)型液晶
    表示装置。
  3. 【請求項3】 前記位置合せマーク部は、細い導電性の
    パターンにより端子パターン集合部に接続し、接続され
    たパターン全部に金属メッキしたことを特徴とする請求
    項1または請求項2に記載のCOG(チップオンガラ
    ス)型液晶表示装置。
JP12859299A 1999-05-10 1999-05-10 Cog型液晶表示装置の製造方法 Expired - Lifetime JP3480697B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12859299A JP3480697B2 (ja) 1999-05-10 1999-05-10 Cog型液晶表示装置の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12859299A JP3480697B2 (ja) 1999-05-10 1999-05-10 Cog型液晶表示装置の製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000321594A true JP2000321594A (ja) 2000-11-24
JP3480697B2 JP3480697B2 (ja) 2003-12-22

Family

ID=14988581

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12859299A Expired - Lifetime JP3480697B2 (ja) 1999-05-10 1999-05-10 Cog型液晶表示装置の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3480697B2 (ja)

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002094199A (ja) * 2000-09-13 2002-03-29 Kyocera Corp フレキシブル回路基板および電子デバイス
JP2002189427A (ja) * 2000-12-21 2002-07-05 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 半導体装置およびその作製方法
JP2002202734A (ja) * 2000-12-28 2002-07-19 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 半導体装置及びその作製方法
JP2002318555A (ja) * 2000-12-21 2002-10-31 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 発光装置及びその作製方法
JP2003017818A (ja) * 2001-06-28 2003-01-17 Kyocera Corp フレキシブル回路基板および表示装置
JP2008090322A (ja) * 2000-12-21 2008-04-17 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 発光装置
CN100422804C (zh) * 2000-12-04 2008-10-01 株式会社日立显示器 液晶显示器
US7459352B2 (en) 2000-12-11 2008-12-02 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device, and manufacturing method thereof
US7629618B2 (en) 2000-12-21 2009-12-08 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light emitting device and method of manufacturing the same
WO2012093468A1 (ja) * 2011-01-06 2012-07-12 シャープ株式会社 表示装置用基板及び表示装置
KR20140081668A (ko) * 2012-12-21 2014-07-01 엘지디스플레이 주식회사 표시장치
JP2017142537A (ja) * 2017-05-11 2017-08-17 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置及び電子機器
CN108648625A (zh) * 2018-02-13 2018-10-12 友达光电股份有限公司 显示面板

Cited By (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002094199A (ja) * 2000-09-13 2002-03-29 Kyocera Corp フレキシブル回路基板および電子デバイス
CN100422804C (zh) * 2000-12-04 2008-10-01 株式会社日立显示器 液晶显示器
US7459352B2 (en) 2000-12-11 2008-12-02 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device, and manufacturing method thereof
US10665610B2 (en) 2000-12-11 2020-05-26 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device, and manufacturing method thereof
US9666601B2 (en) 2000-12-11 2017-05-30 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device, and manufacturing method thereof
US9059216B2 (en) 2000-12-11 2015-06-16 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device, and manufacturing method thereof
US8421135B2 (en) 2000-12-11 2013-04-16 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device, and manufacturing method thereof
US9231044B2 (en) 2000-12-21 2016-01-05 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light emitting device and method of manufacturing the same
US8013346B2 (en) 2000-12-21 2011-09-06 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light emitting device and method of manufacturing the same
JP2002189427A (ja) * 2000-12-21 2002-07-05 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 半導体装置およびその作製方法
JP2008090322A (ja) * 2000-12-21 2008-04-17 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 発光装置
US8735909B2 (en) 2000-12-21 2014-05-27 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light emitting device and method of manufacturing the same
US9793335B2 (en) 2000-12-21 2017-10-17 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light emitting device and method of manufacturing the same
US7629618B2 (en) 2000-12-21 2009-12-08 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light emitting device and method of manufacturing the same
JP2002318555A (ja) * 2000-12-21 2002-10-31 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 発光装置及びその作製方法
JP2002202734A (ja) * 2000-12-28 2002-07-19 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 半導体装置及びその作製方法
JP2003017818A (ja) * 2001-06-28 2003-01-17 Kyocera Corp フレキシブル回路基板および表示装置
WO2012093468A1 (ja) * 2011-01-06 2012-07-12 シャープ株式会社 表示装置用基板及び表示装置
KR20140081668A (ko) * 2012-12-21 2014-07-01 엘지디스플레이 주식회사 표시장치
KR102049520B1 (ko) 2012-12-21 2019-11-27 엘지디스플레이 주식회사 표시장치
JP2017142537A (ja) * 2017-05-11 2017-08-17 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置及び電子機器
CN108648625A (zh) * 2018-02-13 2018-10-12 友达光电股份有限公司 显示面板

Also Published As

Publication number Publication date
JP3480697B2 (ja) 2003-12-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100673930B1 (ko) 액정표시소자 및 그 제조방법
JP3480697B2 (ja) Cog型液晶表示装置の製造方法
US6567145B1 (en) Liquid crystal display device having conductive lines formed with amorphous oxide conductive layer on metal layer and method of fabrication thereof
US6770978B2 (en) Metal line, method for fabricating the metal line, thin film transistor employing the metal line and display device
JP2001094238A (ja) 金属配線の製造方法およびその金属配線を備えた配線基板
US6518676B2 (en) Metal interconnections and active matrix substrate using the same
US4478690A (en) Method of partially metallizing electrically conductive non-metallic patterns
KR100385109B1 (ko) 금속 배선의 제조방법
KR20010090726A (ko) 초광폭 평면 스크린용 채널 플레이트에 전극으로서의금속-인쇄 전도체를 부착하는 방법
JPH04232922A (ja) 液晶表示装置の製造方法
CN1310066C (zh) 制作具有低接面阻抗的透明导电板的方法
JPH0434418A (ja) 液晶パネル
JPH0470613B2 (ja)
JPH08271869A (ja) 液晶表示パネルの製造方法
JPS60245781A (ja) 透明導電膜パタ−ン上へのめつき方法
KR102539797B1 (ko) 투명 유리 디스플레이 기판의 제조방법 및 이로부터 제조된 투명 유리 디스플레이 기판
JPH0659267A (ja) 表示装置用基板及びその製造方法
JPH08179338A (ja) 液晶表示パネルのめっき方法
JP2718220B2 (ja) 液晶パネル
JP2001091942A (ja) 液晶装置及び液晶装置の製造方法
JPH1115008A (ja) 表示パネルのめっき方法
JPH08320501A (ja) 液晶表示パネルの製造方法
JPH02250211A (ja) 透明導電膜配線回路基板
JPS58194084A (ja) 表示パネルの製造方法
JPH11167989A (ja) 成膜方法および表示パネルの製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071010

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 5

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081010

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 6

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091010

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 7

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101010

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111010

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 8

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111010

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 9

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121010