JP2012142592A5 - 露光装置、ステージの制御方法 - Google Patents

Description

本発明は、投影光学系と液体とを介して基板にパターンを露光する露光装置及びステージの制御方法に関するものである。
本願は、２００３年８月２９日に出願された特願２００３−３０７０２５号に対し優先権を主張し、その内容をここに援用する。

Claims (20)

1. 投影光学系および液体を介して基板を露光する露光装置において、
   前記基板を保持して前記投影光学系の光軸に垂直な第１方向に移動可能なステージを備え、
   前記ステージには、前記ステージの側面から前記第１方向に平行な方向に突き出した突出部が設けられている露光装置。
2. 前記突出部は、前記ステージの上面に設けられている請求項１記載の露光装置。
3. 前記突出部は、前記ステージに取り付けられている請求項１または２記載の露光装置。
4. 前記突出部は、板状である請求項１〜３のいずれか一項記載の露光装置。
5. 前記ステージには、前記ステージに保持される基板を囲むように、前記ステージの上面に部材が配置されており、
   前記突出部は、前記部材の外側に設けられている請求項１〜４のいずれか一項記載の露光装置。
6. 前記部材の上面は、前記突出部の上面と実質的に同じ高さである請求項５記載の露光装置。
7. 前記突出部と前記部材との間にギャップが形成されている請求項５または６記載の露光装置。
8. 前記突出部の表面は、撥液性を有する請求項１〜７のいずれか一項記載の露光装置。
9. 前記突出部は、フッ素化合物または合成樹脂材料で形成されている請求項１〜８のいずれか一項記載の露光装置。
10. 前記突出部の上面に液体が配置可能である請求項１〜９のいずれか一項記載の露光装置。
11. 投影光学系および液体を介して基板を露光する露光装置に用いられるステージの制御方法において、
    前記基板を保持して前記投影光学系の光軸に垂直な第１方向に移動可能であり、側面から前記第１方向に平行な方向に突き出した突出部が設けられたステージと、前記投影光学系との間に液体を供給することと、
    前記突出部の上で液体が動くように前記ステージを移動することと、を含むステージの制御方法。
12. 前記突出部は、前記ステージの上面に設けられている請求項１１記載のステージの制御方法。
13. 前記突出部は、前記ステージに取り付けられている請求項１１または１２記載のステージの制御方法。
14. 前記突出部は、板状である請求項１１〜１３のいずれか一項記載のステージの制御方法。
15. 前記ステージには、前記ステージに保持される基板を囲むように、前記ステージの上面に部材が配置されており、
    前記突出部は、前記部材の外側に設けられている請求項１１〜１４のいずれか一項記載のステージの制御方法。
16. 前記部材の上面は、前記突出部の上面と実質的に同じ高さである請求項１５記載のステージの制御方法。
17. 前記突出部と前記部材との間にギャップが形成されている請求項１５または１６記載のステージの制御方法。
18. 前記突出部の表面は、撥液性を有する請求項１１〜１７のいずれか一項記載のステージの制御方法。
19. 前記突出部は、フッ素化合物または合成樹脂材料で形成されている請求項１１〜１８のいずれか一項記載のステージの制御方法。
20. 前記突出部の上面に液体が配置可能である請求項１１〜１９のいずれか一項記載のステージの制御方法。