JP2012169641A5

JP2012169641A5 - 液浸露光装置、液浸露光方法、及びデバイス製造方法

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Publication number: JP2012169641A5
Application number: JP2012078264A
Authority: JP
Filing date: 2012-03-29
Publication date: 2013-07-18
Anticipated expiration: 2024-03-17

Claims

光学アセンブリおよび液浸流体を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光装置において、
前記光学アセンブリの周囲に配置され、前記光学アセンブリの下に液浸流体を供給し、前記光学アセンブリの下から液浸流体を回収する液浸部材と、
前記光学アセンブリの下に配置可能であり、基板を保持する第１ステージ及び第２ステージと、
前記第１ステージ及び前記第２ステージのそれぞれに対して独立して相対移動可能であり、前記光学アセンブリの下から離れることが可能な可動部材と、
前記第１ステージ、前記第２ステージ、及び前記可動部材を駆動する駆動システムと、
前記駆動システムを制御する制御システムと、を備え、
前記制御システムは、第１ステージと第２ステージのうち前記光学アセンブリに対向配置されている一方のステージが他方のステージに置換される際に、前記第１ステージおよび前記第２ステージが前記光学アセンブリの下から離れている間に前記液浸流体が前記光学アセンブリの下に実質的に維持されるように、前記駆動システムを制御して前記可動部材を前記光学アセンブリに対向配置する。
請求項１に記載の液浸露光装置において、
前記一方のステージおよび前記可動部材は、前記光学アセンブリと前記一方のステージとの間に液浸流体が保持される第１状態から、前記前記光学アセンブリと前記可動部材との間に液浸流体が保持される第２状態へ移行する間に、前記光学アセンブリの下に液浸流体が実質的に維持されるように、移動可能である。
請求項２に記載の液浸露光装置において、
前記一方のステージおよび前記可動部材は、前記第１状態から前記第２状態への移行において一体的に移動するように、位置決めされる。
請求項２または３に記載の液浸露光装置において、
前記第１状態から前記第２状態への移行の前に、前記一方のステージと前記可動部材とは互いに隣接して配置可能であり、前記一方のステージの表面と前記可動部材の表面とが実質的に同一平面上に配置される。
請求項２〜４のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記他方のステージおよび前記可動部材は、前記第２状態から、前記光学アセンブリと前記他方のステージとの間に液浸流体が保持される第３状態へ移行する間に、前記光学アセンブリの下に液浸流体が実質的に維持されるように、移動可能である。
請求項１〜５のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記一方のステージまたは前記他方のステージ、及び前記可動部材は、互いに隣接して配置可能であり、実質的に連続した表面を形成する。
請求項１〜６のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記可動部材または前記他方のステージは、前記一方のステージに保持された基板に第１動作が行われる間に、前記光学アセンブリに対向配置される。
請求項７に記載の液浸露光装置において、
前記第１動作は、基板交換動作、アライメント動作、測定動作の少なくとも１つを含む。
請求項１〜８のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記可動部材または前記一方のステージは、前記他方のステージに保持された基板に第２動作が行われる間に、前記光学アセンブリに対向配置される。
請求項９に記載の液浸露光装置において、
前記第２動作は、基板交換動作、アライメント動作、測定動作の少なくとも１つを含む。
請求項１〜１０のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記可動部材は、前記光学アセンブリーに対向して位置決めされる前記一方のステージに隣接するように、前記可動部材に対して相対移動可能であり、
互いに隣接する前記一方のステージと前記可動部材は、前記光学アセンブリの下に液浸流体が実質的に維持されながら前記可動部材が前記一方のステージの代わりに前記光学アセンブリと対向配置されるように、前記光学アセンブリに対して相対移動可能である。
請求項１〜１１のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記一方のステージに保持された基板の露光後に、互いに隣接して配置される前記一方のステージおよび前記可動部材は、前記可動部材が前記一方のステージの代わりに前記光学アセンブリと対向配置されるように、前記光学アセンブリに対して相対移動される。
請求項１〜１２のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
互いに隣接して配置される前記一方のステージおよび前記可動部材は、前記一方のステージと前記可動部材の一方または双方によって前記光学アセンブリの下に液浸流体が実質的に維持されるように、前記光学アセンブリに対して相対移動可能である。
請求項１〜１３のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記第１ステージと前記第２ステージの一方は、他方が前記光学アセンブリの下に配置されている間に、前記光学アセンブリの下から離れて位置決めされる。
請求項１〜１４のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記第一方のステージに保持された基板に対する動作は、前記他方のステージに保持された基板に対する動作と並行して行われる。
請求項１〜１５のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記第１ステージと前記第２ステージの一方は、他方に保持された基板の露光中に、前記光学アセンブリの下から離れて配置可能である。
請求項１〜１６のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記駆動システムは、前記光学アセンブリの下に液浸流体が維持されながら前記一方のステージと前記他方のステージとが置き換えられるように、互いに隣接する前記一方のステージおよび前記可動部材を、前記可動部材が前記第一方のステージの代わりに前記光学アセンブリと対向配置されるように、前記光学アセンブリに対して相対移動し、互いに隣接する前記可動部材および前記他方のステージを、前記他方のステージが前記可動部材の代わりに前記光学アセンブリと対向配置されるように、前記光学アセンブリに対して相対移動する。
請求項１〜１７のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記可動部材は、パッドステージを含む。
請求項１〜１８のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記可動部材は、基板を保持するホルダを備えていないステージである。
デバイス製造方法であって、
請求項１〜１９のいずれか一項に記載の液浸露光装置により基板を露光することを含む。
光学アセンブリおよび液浸流体を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光方法において、
基板が載置された第１ステージを、前記第１ステージと前記光学アセンブリとの間に液浸流体が保持されるように、前記光学アセンブリの下に位置決めすることと、
前記光学アセンブリの下に液浸流体を保持しながら、前記光学アセンブリの下の前記第１ステージを第２ステージに置換することと、
前記第１ステージと前記第２ステージのそれぞれに対して独立して相対移動可能かつ前記光学アセンブリの下から離れることが可能な可動部材は、前記第１ステージおよび前記第２ステージが前記光学アセンブリの下から離れている間に前記光学アセンブリの下に液浸流体が保持されるように、前記第１ステージを第２ステージに置換する際に前記光学アセンブリに対向するように位置決めされる。
請求項２１に記載の液浸露光方法において、
前記第１ステージおよび前記可動部材は、前記光学アセンブリと前記第１ステージとの間に液浸流体が保持される第１状態から、前記前記光学アセンブリと前記可動部材との間に液浸流体が保持される第２状態へ移行する間に、前記光学アセンブリの下に液浸流体が実質的に維持されるように、移動される。
請求項２２に記載の液浸露光方法において、
前記第１ステージおよび前記可動部材は、前記第１状態から前記第２状態への移行において一体的に移動する。
請求項２２または２３に記載の液浸露光方法において、
前記第１状態から前記第２状態への移行の前に、前記第１ステージと前記可動部材とは互いに隣接して配置可能であり、前記第１ステージの表面と前記可動部材の表面とが実質的に同一平面上に配置される。
請求項２２〜２４のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記第２ステージおよび前記可動部材は、前記第２状態から、前記光学アセンブリと前記第２ステージとの間に液浸流体が保持される第３状態へ移行する間に、前記光学アセンブリの下に液浸流体が実質的に維持されるように、移動される。
請求項２１〜２５のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記第１ステージまたは前記第２ステージ、及び前記可動部材は、互いに隣接して配置可能であり、前記置換において実質的に連続した表面を形成する。
請求項２１〜２６のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記可動部材または前記第２ステージは、前記第１ステージに保持された基板に第１動作が行われる間に、前記光学アセンブリに対向配置される。
請求項２７に記載の液浸露光方法において、
前記第１動作は、基板交換動作、アライメント動作、測定動作の少なくとも１つを含む。
請求項２１〜２８のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記可動部材または前記第１ステージは、前記第２ステージに保持された基板に第２動作が行われる間に、前記光学アセンブリに対向配置される。
請求項２９に記載の液浸露光方法において、
前記第２動作は、基板交換動作、アライメント動作、測定動作の少なくとも１つを含む。
請求項２１〜３０のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記可動部材は、前記光学アセンブリーに対向して位置決めされる前記第１ステージに隣接するように、前記可動部材に対して相対移動され、
互いに隣接する前記第１ステージと前記可動部材は、前記光学アセンブリの下に液浸流体が実質的に維持されながら前記可動部材が前記第１ステージの代わりに前記光学アセンブリと対向配置されるように、前記光学アセンブリに対して相対移動される。
請求項２１〜３１のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記第１ステージに保持された基板の露光後に、互いに隣接して配置される前記第１ステージおよび前記可動部材は、前記可動部材が前記第１ステージの代わりに前記光学アセンブリと対向配置されるように、前記光学アセンブリに対して相対移動される。
請求項２１〜３２のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
互いに隣接して配置される前記第１ステージおよび前記可動部材は、前記第１ステージと前記可動部材の一方または双方によって前記光学アセンブリの下に液浸流体が実質的に維持されるように、前記光学アセンブリに対して相対移動される。
請求項２１〜３３のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記第１ステージと前記第２ステージの一方は、他方が前記光学アセンブリの下に配置されている間に、前記光学アセンブリの下から離れて位置決めされる。
請求項２１〜３４のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記第第１ステージに保持された基板に対する動作は、前記第２ステージに保持された基板に対する動作と並行して行われる。
請求項２１〜３５のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記第１ステージと前記第２ステージの一方は、他方に保持された基板の露光中に、前記光学アセンブリの下から離れて配置される。
請求項２１〜３６のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記光学アセンブリの下に液浸流体が維持されながら前記第１ステージと前記第２ステージとが置き換えられるように、互いに隣接する前記第１ステージおよび前記可動部材は、前記可動部材が前記第第１ステージの代わりに前記光学アセンブリと対向配置されるように、前記光学アセンブリに対して相対移動され、互いに隣接する前記可動部材および前記第２ステージは、前記第２ステージが前記可動部材の代わりに前記光学アセンブリと対向配置されるように、前記光学アセンブリに対して相対移動される。
請求項２１〜３７のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記可動部材は、パッドステージを含む。
請求項２１〜３８のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記可動部材は、基板を保持するホルダを備えていないステージである。
デバイス製造方法であって、
請求項２１〜３９のいずれか一項に記載の液浸露光方法により基板を露光することを含む。