JP2546708B2 - 光ビーム走査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の分野） 本発明は被走査シートを光ビームにより走査して画像
情報の読取りあるいは記録を行なう光ビーム走査装置に
関し、特に詳細には精度の高い読取りあるいは記録を行
なうことのできる光ビーム走査装置に関するものであ
る。

（従来の技術） ある種の蛍光体に放射線（Ｘ線，α線，β線，γ線，
電子線，紫外線等）を照射すると、この放射線エネルギ
ーの一部が蛍光体中に蓄積され、この蛍光体に可視光等
の励起光を照射すると、蓄積されたエネルギーに応じて
蛍光体が輝尽発光を示すことが知られており、このよう
な性質を示す蛍光体は蓄積性蛍光体（輝尽性蛍光体）と
呼ばれる。

この蓄積性蛍光体を利用して、人体等の被写体の放射
線画像情報を一旦シート状の蓄積性蛍光体に記録し、こ
の蓄積性蛍光体シートをレーザ光等の励起光で走査して
輝尽発光光を生ぜしめ、得られた輝尽発光光を光電的に
読み取って画像信号を得、この画像信号に基づき被写体
の放射線画像を写真感光材料等の記録材料、CRT等に可
視像として出力させる放射線画像情報記録再生システム
が本出願人によりすでに提案されている。（特開昭55−
12429号，同56−11395号，同55−163472号，同56−1046
45号，同55−116340号など。） また、上記蓄積性蛍光体シートは上記のような放射線
画像情報記録再生システムにおいて主として医用画像を
記録する手段として用いられる以外に、種々の分野で用
いられるようになっており、例えば、本出願人は電子顕
微鏡において上記蓄積性蛍光体シートを用いた電子顕微
鏡像記録再生方法を先に提案した（特願昭59−150175
号，特願昭59−214680号等）。この電子顕微鏡像記録再
生方法は、基本的に、電子線エネルギーを蓄積する蓄積
性蛍光体シートに、試料を透過した電子線を真空状態で
蓄積記録し、次いで該蓄積性蛍光体シートに励起光照射
等を行なって蓄積されたエネルギーを輝尽発光光として
放出させ、この放出光を光電的に検出して画像信号を
得、この画像信号を用いて試料の透過放射線画像を再生
するものである。

上記電子顕微鏡像記録再生方法において蓄積性蛍光体
シートに励起光を照射して輝尽発光光を検出する読取装
置は、前述した放射線画像記録再生システムにおける読
取装置に比べて高密度で励起光走査を行ない、またより
高精度な画像検出を行なうことが望まれており、従来の
読取装置では必ずしも十分な読取りを行なうことはでき
なかった。すなわち、放射線画像情報記録再生システム
においては、光偏向器により主走査方向に偏向された光
ビームをｆθレンズ等の走査レンズに入射させて集束さ
せ、一定速度で副走査方向に搬送される蓄積性蛍光体シ
ート上において主走査させるのが一般的であり、ｆθレ
ンズの大きさをある程度以下におさえるためには、焦点
距離の比較的長いｆθレンズを用い、このレンズを蓄積
性蛍光体シートから離して設けなくてはならなかった。
従ってｆθレンズの焦点距離が比較的長いことにより蓄
積性蛍光体上における励起光の集束ビーム径は思うよう
に小さく絞ることができない場合が多かった。

そこで本出願人は上記問題点に鑑み、電子顕微鏡像記
録再生方法における読取装置として好適に用いられる光
ビーム走査装置を既に提案した（特願昭62−189539
号）。上記光ビーム走査装置は、蓄積性蛍光体シートを
シート保持手段の内方に凹んだ円筒状の保持面（円筒
面）上に保持せしめるとともに、励起光の光路上に、励
起光を上記円筒面の中心軸上において蓄積性蛍光体シー
トに向けて反射する偏向ミラーと、この偏向ミラーによ
り反射された励起光を蓄積性蛍光体シート上において集
束させる集光レンズとからなり一体的に上記中心軸とを
回転中心として回転して励起光を蓄積性蛍光体シート上
において主走査させるスピナーを設けて、このスピナー
の回転により励起光を蓄積性蛍光体シート上において主
走査せしめ、上記シート保持手段とスピナーとを相対的
に移動させて副走査を行なうものである。

上記読取装置によれば励起光の主走査はスピナーの回
転により行われるので、集光レンズを蓄積性蛍光体シー
トに近接する位置に配してもレンズが大型化することが
ない。従って焦点距離の短いレンズを集束レンズとして
用いることにより、励起光を蓄積性蛍光体シート上にお
いて小さなスポットに集束させ、高密度読取りを行なう
ことができる。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上記読取装置において平坦な蓄積性蛍
光体シートをシート保持手段の円筒面に沿って搬入、搬
出、保持しなければならないため、蓄積性蛍光体シート
が円筒面から浮き上がり易いという問題がある。すなわ
ち、蓄積性蛍光体シートを円筒面上に搬入する場合に、
蓄積性蛍光体シートの厚みが大きかったり環境温度が低
かったりすると蓄積性蛍光体シートの剛性が大きくなる
ので、蓄積性蛍光体シートが円筒面から浮き上がり、装
着不良が発生し易い。この装着不良を防止するためには
蓄積性蛍光体シートを上方から押えるガイドを円筒面上
の両側端部に設けることが考えられるが、この場合には
蓄積性蛍光体シートの副走査方向の端部に励起光を照射
することができないので、蓄積性蛍光体シートの全面を
読取ることができなくなる。また、全面読取りを可能に
するためには所定の位置に装着された蓄積性蛍光体シー
トを吸着手段により円筒面上に吸着させることが考えら
れるが、この方法では蓄積性蛍光体シートが円筒面から
大きく浮き上がった場合には吸着が困難となる他、読取
中に停電等により吸着が急停止すると、蓄積性蛍光体シ
ートが急に浮き上がり、慣性で高速回転を続けるスピナ
ーに接触してスピナーおよび蓄積性蛍光体シートが破傷
するという危険がある。

なお、同様な問題は上述した光ビーム走査装置を蓄積
性蛍光体シートの読取装置に用いた場合に限らず、画像
情報が記録された写真感光材料等の読み取りを行う場
合、また、写真感光材料に画像情報の記録を行う場合に
も同様の問題がある。

本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、
上述した高精度な光ビーム走査を行なう光ビーム走査装
置において、被走査シートの全面走査が可能であるよう
に被走査シートを円筒面に沿って正しく装着させること
ができ、またいかなる場合にも被走査シートとスピナー
の接触を防ぐことができる放射線画像情報読取装置を提
供することを目的とするものである。

（課題を解決するための手段） 本発明の光ビーム走査装置は、 被走査シートを内方に凹である円周面上に保持するシ
ート保持手段、 前記被走査シートを前記円筒面に対して搬入、搬出す
るシート搬送手段、 前記被検査シートを前記円筒面上に吸着させる吸着手
段、 前記被走査シートを照射する光ビームを発する光源、 該光ビームを前記円筒面の中心軸上において前記被走
査シートに向けて反射する偏向ミラーと、該偏向ミラー
により反射された前記光ビームの光路中にあって該光ビ
ームを前記被走査シート上において集束させる集光レン
ズを備え、前記偏向ミラーと前記集束レンズを一体的に
前記中心軸を回転中心として回転させて、前記光ビーム
を前記被走査シート上において主走査させるスピナー、 前記シート保持手段を前記スピナーに対して前記中心
軸と平行な方向に相対的に移動させる副走査手段、およ
び 前記副走査の方向において前記スピナーを挾んで両側
の前記円筒面に近接した位置に該スピナーに対して固定
されて配され、前記副走査の方向に述びた回転軸を中心
として自由に回転可能な一対の押えローラを備えてなる
ことを特徴とするものである。

なお、上記押えローラがスピナーに対して固定されて
いるとは、スピナーが主走査のための回転を行なうのみ
で副走査方向については位置を変えない場合にはその絶
対位置が固定され、スピナーが副走査方向に移動する場
合にはスピナーと一体的に副走査方向に移動することを
意味するものである。また、上記押えローラが円筒面に
近接した位置に配されるとは、押えローラと円筒面とが
被走査シートを進入させることができるように、被走査
シートの厚みよりやや大きい間隔を空けて近接した位置
に配されることを意味する。さらに上記集光レンズは、
必ずしも１つのレンズからなるものに限られず、複数の
レンズを組み合わせることによりレンズ作用を行なうも
のであってもよい。

（作用） 上記装置において被走査シートを円筒面に沿って搬入
する際には、押えローラが被走査シートの位置を上方か
ら規制するため、被走査シートの剛性が強い場合にも被
走査シートは円筒面から大きく浮き上がることが防止さ
れる。従って被走査シートが所定の位置まで搬送された
際に吸着手段により吸着を開始すれば、被走査シートを
円筒面上に確実に吸着させることができる。また、上記
押えローラと吸着手段とを用いて被走査シートを保持面
上に固定するようにすれば被走査シートの全面走査も可
能となる。さらに何らかの原因により吸着手段の作動が
急停止しても、浮き上がった被走査シートは押えローラ
に当接してそれ以上上方に持ち上がることがないので、
スピナーと接触するといった不都合は生じない。

（実 施 例） 以下、図面を参照して本発明の実施例について説明す
る。

第１図は本発明の一実施例による放射線画像情報読取
装置のシート保持手段、シート搬送手段、副走査手段、
および押えローラを示す斜視図である。

図示の装置において、蓄積性蛍光体シート２は内方に
凹である円筒面1aを有するシート保持手段１の該円筒面
1a上に、図中一点鎖線で示すように保持される。このシ
ート保持手段１は、その下端部がスクリューロッド３と
係合しており、モータ４によってこのスクリューロッド
３が回転せしめられることにより、図中実線で示す位置
から図中破線で示す位置までの間を２本のガイドレール
５に沿って一定速度で矢印Ａ方向に移動可能となってい
る。本装置においては上記スクリューロッド３、モータ
４、およびガイドレール５によって副走査手段が構成さ
れている。また上記シート保持手段１の下端部には下部
ローラ６および上部ローラ７が設けられており、これら
のローラ6,7により、蓄積性蛍光体シート２は図中実線
位置にある円筒面1aに対して搬入され、図中一点鎖線に
ある円筒面1aから搬出される。さらに上記シート保持手
段１の上方には、後に詳述する一対の押えローラ20A,20
Bが、円筒面1aと近接した位置に副走査方向に延びて配
設されている。

上記シート保持手段１の上方には、第２図に示すよう
な走査用光学系８が配され、この走査用光学系８により
上記一対の押えローラ20A,20Bの間において励起光が走
査され、前記蓄積性蛍光体シート２に蓄積記録された画
像情報の読取りが行なわれる。以下第２図とともに上記
光学系の正面図である第３図を参照して本装置における
画像情報の読取りについて説明する。

上記の走査用光学系８において、励起光源であるHe−
Neレーザ９からは励起光としてレーザ光10が発せられ
る。このレーザ光10は不要な波長の光をカットするフィ
ルタ11を通過した後、２枚の反射ミラー13,14に入射し
て光路を偏向せしめられる。ミラー14により反射された
レーザ光10は、ビームエキスパンダ16を通過して所定の
ビーム径に拡大された後、レーザ光の波長領域の光を透
過させ、後述する輝尽発光光の波長領域の光を反射する
ダイクロイックミラー17に入射する。このダイクロイッ
クミラー17を透過したレーザ光10は、光路上に配された
スピナー21に入射して反射偏向される。このスピナー21
は、上述した一対の押えローラ20A,20Bの間に配され、
入射するレーザ光10に対して45゜の傾きを有する反射面
22aを備えた偏向ミラー22をスピンドルモータ22Aによっ
て矢印Ｂ方向に連続的に高速回転させるものである。な
お、この偏向ミラー22は前記シート保持手段１の円筒面
1aの中心軸を回転中心として回転して該中心軸上におい
てレーザ光を反射するように配されており、この反射位
置から蓄積性蛍光体シート２上までのレーザ光の光路長
は常に一定になっている。また、ミラー22により反射偏
向されたレーザ光の光路上には、平行光として入射した
該レーザ光10を蓄積性蛍光体シート２上で所望のスポッ
トに集束させる、集光レンズ23が設けられている。この
集光レンズ23は一例として３枚のレンズを組み合わせて
なるものであり、この集光レンズ23から蓄積性蛍光体シ
ート２上の走査位置までの距離は、この集光レンズ23全
体の焦点距離ｆと等しくなっている。またこの集光レン
ズ23は前記スピナー21の一部として、上記偏向ミラー22
と一体的に高速回転せしめられる。レーザ光10は上記ス
ピナー21により反射偏向されて蓄積性蛍光体シート２上
をくり返し矢印Ｂ′方向（第２図）に主走査し、前述の
ようにシート保持手段１が一定速度で矢印Ａ方向に移動
することにより副走査される蓄積性蛍光体シート２上を
２次元的に走査する。なお、上記のような集光レンズ23
を用いれば、集光レンズ23はその径を大型化させること
なく蓄積性蛍光体シート上に近接した位置に配すること
ができるので、焦点距離の短いレンズを集光レンズ23と
して用いて励起光を極めて小さいスポット径に集束さ
せ、蓄積性蛍光体シートの高密度読取りを行なうことが
できる。

レーザ光10が照射された蓄積性蛍光体シート２の部分
からは、その部分に蓄積記録された画像情報に応じた輝
尽発光光24が発せられる。この輝尽発光光24は励起光照
射位置から無指向性の光として発するが、前述のように
励起光照射位置から焦点距離ｆだけ離れて配された集光
レンズ23を通過することにより平行光となる。平行光と
なった輝尽発光光24は、前記スピナーの偏向ミラー22に
反射された後、前記ダイクロイックミラー17に入射して
反射される。このダイクロイックミラー17によって反射
された輝尽発光光24の光路上にはこの輝尽発光光を集束
させる、一例として３枚のレンズからなる検出レンズ25
が設けられており、輝尽発光光はこの検出レンズ25によ
り集束せしめられて光検出器であるフォトマルチプライ
ヤー26に入射せしめられる。また、輝尽発光光24の検出
レンズによる集束位置には、集束した輝尽発光光のみを
通過させる大きさの開口27aを有するアパーチャ27が配
されている。すなわち、前記蓄積性蛍光体シート２に入
射するレーザ光10の一部がシート表面において反射し、
この反射光が集光レンズ等の装置内の部材に当たって再
度反射されて蓄積性蛍光体シートの所定のレーザ光照射
位置以外の部分を励起すると、これらの部分からは輝尽
発光光が発生するが、これらの輝尽発光光は集光レンズ
や検出レンズを経ることによって所定の位置から発せら
れた輝尽発光光とは異なった位置に導かれる。従ってこ
れらの輝尽発光光はアパーチャ27によりカットされてフ
ォトマルチプライヤー26に入射することが防止される。
このようにアパーチャ27を設けたことにより、本装置に
おいては反射励起光や蓄積性蛍光体シートにおける散乱
励起光により生じた輝尽発光光をカットし、精度の高い
画像情報の読取りを行なうことができる。なお、蓄積性
蛍光体シート２上で反射し、集光レンズ23を通過したレ
ーザ光10は、輝尽発光光とともにアパーチャ27の開口27
aを通過してしまうことが考えられるので、フォトマル
チプライヤー26の受光面上には輝尽発光光の波長領域の
光のみを選択的に通過させるカットフィルタ28が設けら
れており、上記開口27aを通過したレーザ光をカットす
るようになっている。上記フォトマルチプライヤー26は
入射した輝尽発光光を光電的に読み取って電気的な読取
信号を出力し、この読取信号は、図示しない画像読取回
路において処理された後、CRT、走査記録装置等の再生
装置に入力され、放射線画像が可視像としてCRTに表示
されたりハードコピーとして再生されたりする。

次に第１図とともに第４図を参照して上記シート保持
手段に対する蓄積性蛍光体シート２の着脱について説明
する。

前記シート保持手段１への蓄積性蛍光体シート２の搬
入は、第１図に実線で示す左端位置に配されたシート保
持手段１に対して行なわれる。シート保持手段１の下端
部には、シート保持手段と一体的に移動可能な下部老ら
６および３本の上部ローラ７が設けられており、蓄積性
蛍光体シート２はシート保持手段１の下端部からこの下
部ローラ６および上部ローラ７により前記円筒面1aに沿
って搬入される（第４図（ａ））。一方、シート保持手
段１には、上下部ローラ6,7によって搬送される蓄積性
蛍光体シート２の先端が当接する円筒面1a上の位置に突
出する爪19が設けられており、この爪19は定圧バネ18に
接続され、円筒面1aに蓄積性蛍光体シート２の搬送方向
に延びて形成された溝1b内を上記定圧バネ18を伸長させ
つつ移動可能となっている。前記下部ローラ６および上
記ローラ７により円筒面1aに沿って搬入される蓄積性蛍
光体シート２は、第４図（ｂ）に示すようにその先端が
上記爪19に当接するとこの爪19を押し上げ、この爪19が
定圧バネ18を伸長させることにより受ける付勢力に抗し
て爪19を徐々に上方に移動させながら搬送される。本実
施例においては上記下部ローラ６、上部ローラ７、定圧
バネ18、爪19によりシート搬送手段が構成されている。

ところで、第１図に示すように、蓄積性蛍光体シート
の搬入を行なう位置において、シート保持手段１の上方
には、押えローラ20Aが円筒面1aと近接して配されてい
る。この押えローラ20Aおよび押えローラ20Bは、それぞ
れ指示手段15によりフリーに回転可能に支持されて、装
置全体が取り付けられる定盤（図示せず）に固定されて
いる。

上述のように蓄積性蛍光体シート２をシート保持手段
１上に搬入する際に蓄積性蛍光体シートの剛性が大きい
と、蓄積性蛍光体シート２は第４図（ｂ）に一点鎖線で
示すように円筒面1aから浮き上がってしまう場合がある
が、本装置においては浮き上がった蓄積性蛍光体シート
は上記押えローラ20Aに当接してその浮上が制限され
る。

上記爪19を押し上げつつ上部ローラ７および下部ロー
ラ６により搬送された蓄積性蛍光体シートは、第４図
（ｂ）に実線で示す、その後端が両ローラの挾持から外
れた位置で停止し、この停止位置が円筒面1a上における
所定位置となる。蓄積性蛍光体シート２はこの所定位置
において前述のような励起光の照射を受けるが、シート
保持手段１には蓄積性蛍光体シート２を円筒面1aに吸着
する吸着手段が設けられており、蓄積性蛍光体シート２
は励起光の走査に先立って円筒面1a上に吸着される。す
なわち、円筒面1aには複数の吸着孔1cが形成されてお
り、また円筒面1aの下方には上端を円筒面に沿って開口
し、エアポンプ等の吸収手段（図示せず）を備えたサク
ションボックス12が設けられている。このサクションボ
ックス12は、前述のように蓄積性蛍光体シート２が所定
位置まで搬入されると吸着を開始し、蓄積性蛍光体シー
ト２を吸着孔1cを介して円筒面1a上に吸着する。サクシ
ョンボックス12による蓄積性蛍光体シートの吸着は、吸
着力のみによって蓄積性蛍光体シートを円筒面1a上の所
定位置に確実に停止させ、また爪19により蓄積性蛍光体
シートが下方に押し戻されることもなく、さらに蓄積性
蛍光体シートが円筒面から浮上している場合にはこれを
円筒面に引き寄せることのできる強度で行なわれる。な
お、円筒面1aから浮上した蓄積性蛍光体シートをサクシ
ョンボックス12により確実に円筒面1a上に引き寄せるた
めには、蓄積性蛍光体シートの浮上量が最大でも1mm程
度となるように、円筒面1aと押えローラ20Aの間隔を1mm
強程度に設定するのが望ましい。

上記のように蓄積性蛍光体シートの吸着が開始される
と、続いて前記上部ローラ７が第４図（ｃ）に示すよう
に図示しない移動手段により図中左方向に移動せしめら
れ、蓄積性蛍光体シート２上から退却する。このように
上部ローラが蓄積性蛍光体シート上から退却すれば、蓄
積性蛍光体シート２はその下端縁にも励起光の照射を受
けることができるようになる。

上記のように蓄積性蛍光体シート２が円筒面1aに吸着
され、上部ローラ７の退却が完了すると、シート保持手
段１は第１図矢印Ａ方向に一定速度で移動せしめられ、
前述のようにレーザ光10による読取りが行なわれる。ま
たシート保持手段１は、第１図に示す実線位置から一点
鎖線位置までのいずれの位置においても少なくとも一部
が押えローラ20A,20Bと重なり合うようになっており、
読取り中に停電が発生してサクションボックス12が吸着
を停止し蓄積性蛍光体シート２が円周面から浮上しても
蓄積性蛍光体シートは押えローラ20A,20Bに当接してさ
らに上方に移動することが防止されるので、回転するス
ピナーに接触してスピナーおよび蓄積性蛍光体シートが
破損するといった不都合が生じない。

読取りが終了すると、シート保持手段１は第１図に一
点鎖線で示す右端位置に移動しており、この位置におい
て読取済の蓄積性蛍光体シート２は、シート保持手段１
上から取り出される。すなわち、読取りが終了すると、
前記上部ローラ７は再び下部ローラ６と対向する位置に
戻され、続いてサクションボックス12は吸着を停止す
る。吸着が停止されると蓄積性蛍光体シート２は前記爪
19により下方に押し戻されるのでその下端が上部ローラ
７と下部ローラ６の間に容易に入り込み、これらのロー
ラはシート搬入時とは逆方向に回転することにより蓄積
性蛍光体シート２を円周面1a上から搬出する。

このように本実施例の読取装置によれば、吸着手段と
ともに一対の押えローラ20A,20Bを備えているので、蓄
積性蛍光体シートの搬入、搬出時の蓄積性蛍光体シート
の浮上をごくわずかに抑えて蓄積性蛍光体シートの装着
不良を防止することができる。これとともに、本装置に
おいては、読取中に吸着手段の作動が停止しても、蓄積
性蛍光体シートの浮上は押えローラ20A,20Bにより制限
されるので、蓄積性蛍光体シートとスピナーが接触する
おそれがない。さらに蓄積性蛍光体シートの浮上を防止
するために蓄積性蛍光体シートの側端をシートの上方か
ら押える手段が不要となるので、副走査方向についてシ
ートの一旦から他端まで励起光を照射することができ、
さらに上述した装置のように読取時に上部ローラをシー
ト上から退却させるようにすれば、主走査方向について
もシートの一端から他端まで励起光を照射することがで
きるようになる。

なお、本発明の装置の各部の具体的な構成は上述した
実施例に示したものに限られるものでないことは言うま
でもない。例えばシートを円筒面に沿って搬送するシー
ト搬送手段は、蓄積性蛍光体シートを上下から挾持して
搬送することのできるものであれば必ずしもローラ対と
付勢手段である必要はなく、上部ローラ、下部ローラの
一方がエンドレスベルト等であってもよいし、付勢手段
の代りに円筒面の上端にニップローラを設けてもよい。

また、走査用光学系において励起光を蓄積性蛍光体シ
ート側に導くとともに輝尽発光光を光検出器側に導く光
学素子としては、ダイクロイックミラーを用いる他に、
励起光、輝尽発光光ともにその発光光量に余裕のある場
合には通常のハーフミラーを用いてもよい。また、副走
査はシート保持手段を移動させて行なう代りに走査用光
学系全体を移動させて行なってもよい。その場合には押
えローラも走査用光学系と一体的に移動させるようにす
ればよい。

更に、上述した実施例は本発明の光ビーム走査装置を
蓄積性蛍光体シートを用いた放射線画像情報読取装置に
適用した例について述べたが、画像情報が記録された記
録シート等の読取を行う読取装置あるいは、写真感光材
料に画像を記録る記録装置にも本発明の光ビーム走査装
置は適用できるものである。

（発明の効果） 以上詳細に説明したように本発明の光ビーム走査装置
によれば、高密度走査を被走査シートの全面に亘って行
なうことができるとともに、被走査シートの円筒面上へ
の装着不良や、被走査シートの大幅な浮上による装置お
よび被走査シートの破損を防止して精度の高い走査を安
定して維持することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例による放射線画像情報読取装
置におけるシート保持手段、シート搬送手段、押えロー
ラ、および副走査手段を示す斜視図、 第２図は上記読取装置の走査用光学系の概略斜視図、 第３図は上記走査用光学系の正面図、 第４図（ａ），（ｂ），（ｃ）はシート保持手段への蓄
積性蛍光体シートの装着状態を示す側断面図である。 １……シート保持手段、1a……円筒面 ２……蓄積性蛍光体シート ３……スクリューロット、４……モータ ６……下部ローラ、７……上部ローラ ８……走査用光学系、９……He−Neレーザ 10……レーザ光 12……サクションボックス 17……ダイクロイックミラー 18……定圧バネ、19……爪 20A,20B……押えローラ 21……スピナー、22……偏向ミラー 22A……スピンドルモータ 23……集光レンズ、24……輝尽発光光 25……検出レンズ 26……フォトマルチプライヤー

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被走査シートを内方に凹である円周面上に
   保持するシート保持手段、 前記被走査シートを前記円筒面に対して搬入、搬出する
   シート搬送手段、 前記被検査シートを前記円筒面上に吸着させる吸着手
   段、 前記被走査シートを照射する光ビームを発する光源、 該光ビームを前記円筒面の中心軸上において前記被走査
   シートに向けて反射する偏向ミラーと、該偏向ミラーに
   より反射された前記光ビームの光路中にあって該光ビー
   ムを前記被走査シート上において集束させる集光レンズ
   を備え、前記偏向ミラーと前記集束レンズを一体的に前
   記中心軸を回転中心として回転させて、前記光ビームを
   前記被走査シート上において主走査させるスピナー、 前記シート保持手段を前記スピナーに対して前記中心軸
   と平行な方向に相対的に移動させる副走査手段、および 前記副走査の方向において前記スピナーを挾んで両側の
   前記円筒面に近接した位置に該スピナーに対して固定さ
   れて配され、前記副走査の方向に述びた回転軸を中心と
   して自由に回転可能な一対の押えローラを備えてなる光
   ビーム走査装置。