JP3141208B2 - ドライエッチング装置のウェハ保持盤 - Google Patents
ドライエッチング装置のウェハ保持盤Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えばウェハの表面
に所定の被膜を被膜形成させるとともに、その被膜の上
に所望のパターンでレジストを被膜形成し、これにアル
ゴンなどの原子を当てることにより、レジスト以外の部
分のエッチングを行うドライエッチング装置における、
ウェハを保持するウェハ保持盤の改良に関するものであ
る。
に所定の被膜を被膜形成させるとともに、その被膜の上
に所望のパターンでレジストを被膜形成し、これにアル
ゴンなどの原子を当てることにより、レジスト以外の部
分のエッチングを行うドライエッチング装置における、
ウェハを保持するウェハ保持盤の改良に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来一般のドライエッチング装置
の概略図、図５は図４をａ−ａ線方向に見た図であり、
１１はアルゴン（Ａｒ）ガスガンで、図示しないＡｒガ
スボンベからのＡｒガスが供給され、チャンバー１２内
に配設されたグリッド１１ａからＡｒイオンが放射され
るようになっている。１３は熱電子を放射させるニュー
トラライザで、これによって放射された熱電子をＡｒイ
オンに結合させてＡｒ原子にする。
の概略図、図５は図４をａ−ａ線方向に見た図であり、
１１はアルゴン（Ａｒ）ガスガンで、図示しないＡｒガ
スボンベからのＡｒガスが供給され、チャンバー１２内
に配設されたグリッド１１ａからＡｒイオンが放射され
るようになっている。１３は熱電子を放射させるニュー
トラライザで、これによって放射された熱電子をＡｒイ
オンに結合させてＡｒ原子にする。
【０００３】１４はウェハ保持盤で、この例においては
４個のウェハ保持盤１４が回転し得る基台１５に回転し
得るように設けられている。各ウェハ保持盤１４には、
図５に示すように、それぞれ３個のウェハＷが保持され
ている。このウェハＷの表面には、所定の被膜が被膜形
成されるとともに、その被膜の上に所望のパターンでレ
ジストが被膜形成されており、このウェハＷの表面にＡ
ｒ原子を当ててレジスト以外の部分のエッチングを行う
ようにしている。
４個のウェハ保持盤１４が回転し得る基台１５に回転し
得るように設けられている。各ウェハ保持盤１４には、
図５に示すように、それぞれ３個のウェハＷが保持され
ている。このウェハＷの表面には、所定の被膜が被膜形
成されるとともに、その被膜の上に所望のパターンでレ
ジストが被膜形成されており、このウェハＷの表面にＡ
ｒ原子を当ててレジスト以外の部分のエッチングを行う
ようにしている。
【０００４】図６は前記ウェハ保持盤１４の正面図、図
７は図６のｂ−ｂ線における断面図、図８は図６のｃ−
ｃ線における断面図であり、このウェハ保持盤１４は、
平面１４ａにウェハＷを嵌入する凹平面部１４ｂが形成
されたウェハホルダートップ１４1 と、このウェハホル
ダートップ１４1 の背面と接合される面に冷却水の流通
溝１４ｃが形成されたウェハホルダーボトム１４2 との
中央部と外周部とが複数の締め付け螺子１４ｄで接合固
定されている。
７は図６のｂ−ｂ線における断面図、図８は図６のｃ−
ｃ線における断面図であり、このウェハ保持盤１４は、
平面１４ａにウェハＷを嵌入する凹平面部１４ｂが形成
されたウェハホルダートップ１４1 と、このウェハホル
ダートップ１４1 の背面と接合される面に冷却水の流通
溝１４ｃが形成されたウェハホルダーボトム１４2 との
中央部と外周部とが複数の締め付け螺子１４ｄで接合固
定されている。
【０００５】図９は前記ウェハホルダートップ１４1 の
平面図であり、前記ウェハＷを嵌入する凹平面部１４ｂ
には、弾性を有し熱伝導性の良いシート１４ｅを真空吸
着する、いわゆる真空キャッチングを形成するための吸
着溝１４ｆが形成されており、この吸着溝１４ｆの上に
シート１４ｅを介してウェハＷを載置し、このウェハＷ
の前面を露出させ、外周縁Ｗ1 を押圧するとともに、前
記凹平面部１４ｂ以外の平面１４ａを覆うシールド板１
４ｇをウェハホルダートップ１４1 の平面に固定螺子１
４ｈで固定して、ウェハＷが固定される。前記凹平面部
１４ｂに嵌入されたウェハＷを取外すときには、前記吸
着溝１４ｆに逆に空気を送ることにより、容易に取外す
ことができる。
平面図であり、前記ウェハＷを嵌入する凹平面部１４ｂ
には、弾性を有し熱伝導性の良いシート１４ｅを真空吸
着する、いわゆる真空キャッチングを形成するための吸
着溝１４ｆが形成されており、この吸着溝１４ｆの上に
シート１４ｅを介してウェハＷを載置し、このウェハＷ
の前面を露出させ、外周縁Ｗ1 を押圧するとともに、前
記凹平面部１４ｂ以外の平面１４ａを覆うシールド板１
４ｇをウェハホルダートップ１４1 の平面に固定螺子１
４ｈで固定して、ウェハＷが固定される。前記凹平面部
１４ｂに嵌入されたウェハＷを取外すときには、前記吸
着溝１４ｆに逆に空気を送ることにより、容易に取外す
ことができる。
【０００６】図１０はウェハホルダーボトム１４2 の平
面図で、図１１は図１０のｄ−ｄ線における断面図であ
り、このウェハホルダーボトム１４2 の平面に形成され
た冷却水の流通溝１４ｃの図１０に示す左回転方向の流
通溝１４ｃ1 が、図７に示す二重パイプ回転軸１６の内
側パイプ１６ａに連通され、右回転方向の流通溝１４ｃ
2 が外側パイプ１６ｂに連通されている。１４ｉは前記
ウェハホルダートップ１４1 をウェハホルダーボトム１
４2 に接合固定する締め付け螺子１４ｄを締め付ける螺
子孔である。
面図で、図１１は図１０のｄ−ｄ線における断面図であ
り、このウェハホルダーボトム１４2 の平面に形成され
た冷却水の流通溝１４ｃの図１０に示す左回転方向の流
通溝１４ｃ1 が、図７に示す二重パイプ回転軸１６の内
側パイプ１６ａに連通され、右回転方向の流通溝１４ｃ
2 が外側パイプ１６ｂに連通されている。１４ｉは前記
ウェハホルダートップ１４1 をウェハホルダーボトム１
４2 に接合固定する締め付け螺子１４ｄを締め付ける螺
子孔である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】前記従来のドライエッ
チング装置のウェハ保持盤においては、内部に冷却水が
流通されて冷却されている金属製のウェハホルダートッ
プ１４1 の上に、チタンなどの硬質金属製のシールド板
１４ｇが直接に接合固定されている。しかし、金属板ど
うしの接合であるために、硬質金属製のシールド板１４
ｇが金属製のウェハホルダートップ１４1 の上に、完全
に密着されないで接合固定される恐れがある。したがっ
て、ドライエッチング装置のチャンバー１２内で、Ａｒ
原子がこのシールド板１４ｇに当たって加熱された熱
（例えば２００℃）がウェハホルダートップ１４1 に逃
げないでウェハＷに伝導され、レジスト焼けのようなウ
ェハＷ上に被膜形成した被膜に悪影響を与える問題があ
った。
チング装置のウェハ保持盤においては、内部に冷却水が
流通されて冷却されている金属製のウェハホルダートッ
プ１４1 の上に、チタンなどの硬質金属製のシールド板
１４ｇが直接に接合固定されている。しかし、金属板ど
うしの接合であるために、硬質金属製のシールド板１４
ｇが金属製のウェハホルダートップ１４1 の上に、完全
に密着されないで接合固定される恐れがある。したがっ
て、ドライエッチング装置のチャンバー１２内で、Ａｒ
原子がこのシールド板１４ｇに当たって加熱された熱
（例えば２００℃）がウェハホルダートップ１４1 に逃
げないでウェハＷに伝導され、レジスト焼けのようなウ
ェハＷ上に被膜形成した被膜に悪影響を与える問題があ
った。
【０００８】また、ウェハホルダートップ１４1 と冷却
水の流通溝１４ｃが形成されたウェハホルダーボトム１
４2 との外周部および中央部とが複数の締め付け螺子１
４ｄで接合固定されているが、外周部と中央部との間は
固定されていないので、前記冷却水の流通溝１４ｃに加
わる水圧によって、ウェハホルダートップ１４1 の平面
１４ａおよび凹平面部１４ｂに歪みが生じ、この凹平面
部１４ｂに取り付けるウェハＷに悪影響を与える問題が
あった。
水の流通溝１４ｃが形成されたウェハホルダーボトム１
４2 との外周部および中央部とが複数の締め付け螺子１
４ｄで接合固定されているが、外周部と中央部との間は
固定されていないので、前記冷却水の流通溝１４ｃに加
わる水圧によって、ウェハホルダートップ１４1 の平面
１４ａおよび凹平面部１４ｂに歪みが生じ、この凹平面
部１４ｂに取り付けるウェハＷに悪影響を与える問題が
あった。
【０００９】この発明は、前記のような課題、すなわ
ち、ウェハを押さえたシールド板およびウェハを異常に
加熱しないようにし、また、ウェハホルダートップの平
面に歪みを与えるようなことをなくした、ドライエッチ
ング装置のウェハ保持盤を提供することを目的としたも
のである。
ち、ウェハを押さえたシールド板およびウェハを異常に
加熱しないようにし、また、ウェハホルダートップの平
面に歪みを与えるようなことをなくした、ドライエッチ
ング装置のウェハ保持盤を提供することを目的としたも
のである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明は、前記目的を
達成するために、図１および図２に示すように、平面１
ａにウェハＷを嵌入する凹平面部１ｂが形成され、内部
に冷却水の流通溝１ｃが形成されたウェハホルダー１
と、前記凹平面部１ｂに嵌入されたウェハＷの前面を露
出させ、外周縁Ｗ1 を押圧してウェハＷを保持するとと
もに、前記凹平面部１ｂ以外の平面１ａを覆うシールド
板２とより構成されたドライエッチング装置のウェハ保
持盤において、前記ウェハホルダー１は、その平面１ａ
に、ウェハＷのオリフラ部に合わせた弦部１ｂ′が互い
に平面１ａの中心に向くようにウェハを嵌入する複数の
凹平面部１ｂが形成され、平面１ａの中心部の肉厚を厚
く形成したウェハホルダートップ１1 と、このウェハホ
ルダートップ１1 の背面と接合される面に冷却水の流通
溝１ｃが形成されたウェハホルダーボトム１2 とが、ウ
ェハホルダートップ１1の平面１ａに歪みが生じないよ
うに、中央部と外周部と、さらに、中央部と外周部との
中間部とを、複数の締め付け螺子４で接合固定するとと
もに、前記シールド板２の背面と前記ウェハホルダー１
の平面１ａとの間に、熱伝導が良く、かつ、弾力性があ
り、シールド板２がウェハホルダー１の平面１ａに密接
し得る弾性部材３を介在させたことを特徴とするドライ
エッチング装置のウェハ保持盤としたものである。
達成するために、図１および図２に示すように、平面１
ａにウェハＷを嵌入する凹平面部１ｂが形成され、内部
に冷却水の流通溝１ｃが形成されたウェハホルダー１
と、前記凹平面部１ｂに嵌入されたウェハＷの前面を露
出させ、外周縁Ｗ1 を押圧してウェハＷを保持するとと
もに、前記凹平面部１ｂ以外の平面１ａを覆うシールド
板２とより構成されたドライエッチング装置のウェハ保
持盤において、前記ウェハホルダー１は、その平面１ａ
に、ウェハＷのオリフラ部に合わせた弦部１ｂ′が互い
に平面１ａの中心に向くようにウェハを嵌入する複数の
凹平面部１ｂが形成され、平面１ａの中心部の肉厚を厚
く形成したウェハホルダートップ１1 と、このウェハホ
ルダートップ１1 の背面と接合される面に冷却水の流通
溝１ｃが形成されたウェハホルダーボトム１2 とが、ウ
ェハホルダートップ１1の平面１ａに歪みが生じないよ
うに、中央部と外周部と、さらに、中央部と外周部との
中間部とを、複数の締め付け螺子４で接合固定するとと
もに、前記シールド板２の背面と前記ウェハホルダー１
の平面１ａとの間に、熱伝導が良く、かつ、弾力性があ
り、シールド板２がウェハホルダー１の平面１ａに密接
し得る弾性部材３を介在させたことを特徴とするドライ
エッチング装置のウェハ保持盤としたものである。
【００１１】
【作用】この発明は、前記のような手段により、すなわ
ち、前記ウェハホルダートップ１1 と、ウェハホルダー
ボトム１2 とが、ウェハホルダートップ１1 の平面１ａ
に歪みが生じないように、中央部と外周部と、さらに、
中央部と外周部との中間部とを、複数の締め付け螺子４
で接合固定したので、前記ウェハホルダートップ１1 の
背面と接合されるウェハホルダーボトム１2 の面に形成
した流通溝１ｃに流す冷却水の水圧によって、ウェハホ
ルダートップ１1 の平面に歪みが生じるようなことがな
くなる。また、前記ウェハホルダートップ１ 1 の平面１
ａには、ウェハＷのオリフラ部に合わせた弦部１ｂ′が
互いに平面１ａの中心に向くように、ウェハＷを嵌入す
る複数の凹平面部１ｂが形成されているので、ウェハＷ
の凹平面部１ｂへの嵌入位置決めが簡単になる。 また、
前記ウェハホルダートップ１ 1 の中心部の肉厚を従来よ
り厚く形成ので、前記ウェハホルダーボトム１ 2 の中心
部に、ウェハホルダーボトム１ 2 に形成した冷却水の流
通溝１ｃに連通するように二重パイプ回転軸５を接続し
た場合に、二重パイプ回転軸５からの水圧が前記ウェハ
ホルダートップ１ 1 の中心部に加わった場合でも、その
水圧によってウェハホルダートップ１ 1 の中心部の平面
に歪みが生じるようなことがなくなる。また、ウェハホ
ルダー１の凹平面部１ｂに嵌入されたウェハＷの前面を
露出させ、外周縁Ｗ1 を押圧してウェハＷをウェハホル
ダー１に保持するとともに、前記凹平面部１ｂ以外のウ
ェハホルダー１の平面１ａを覆うシールド板２が、Ａｒ
原子の衝突によって加熱されようとしても、このシール
ド板２の背面と前記ウェハホルダー１の平面１ａとの間
に、熱伝導が良く、かつ、弾力性があり、シールド板２
がウェハホルダー１の平面１ａに密接し得る弾性部材３
が介在されているので、シールド板２の熱は水冷された
ウェハホルダー１に逃げて、シールド板２の熱がウェハ
Ｗおよびウェハ上の被膜に伝導して、たとえばレジスト
焼けなどの悪影響を与えるようなことがなくなる。
ち、前記ウェハホルダートップ１1 と、ウェハホルダー
ボトム１2 とが、ウェハホルダートップ１1 の平面１ａ
に歪みが生じないように、中央部と外周部と、さらに、
中央部と外周部との中間部とを、複数の締め付け螺子４
で接合固定したので、前記ウェハホルダートップ１1 の
背面と接合されるウェハホルダーボトム１2 の面に形成
した流通溝１ｃに流す冷却水の水圧によって、ウェハホ
ルダートップ１1 の平面に歪みが生じるようなことがな
くなる。また、前記ウェハホルダートップ１ 1 の平面１
ａには、ウェハＷのオリフラ部に合わせた弦部１ｂ′が
互いに平面１ａの中心に向くように、ウェハＷを嵌入す
る複数の凹平面部１ｂが形成されているので、ウェハＷ
の凹平面部１ｂへの嵌入位置決めが簡単になる。 また、
前記ウェハホルダートップ１ 1 の中心部の肉厚を従来よ
り厚く形成ので、前記ウェハホルダーボトム１ 2 の中心
部に、ウェハホルダーボトム１ 2 に形成した冷却水の流
通溝１ｃに連通するように二重パイプ回転軸５を接続し
た場合に、二重パイプ回転軸５からの水圧が前記ウェハ
ホルダートップ１ 1 の中心部に加わった場合でも、その
水圧によってウェハホルダートップ１ 1 の中心部の平面
に歪みが生じるようなことがなくなる。また、ウェハホ
ルダー１の凹平面部１ｂに嵌入されたウェハＷの前面を
露出させ、外周縁Ｗ1 を押圧してウェハＷをウェハホル
ダー１に保持するとともに、前記凹平面部１ｂ以外のウ
ェハホルダー１の平面１ａを覆うシールド板２が、Ａｒ
原子の衝突によって加熱されようとしても、このシール
ド板２の背面と前記ウェハホルダー１の平面１ａとの間
に、熱伝導が良く、かつ、弾力性があり、シールド板２
がウェハホルダー１の平面１ａに密接し得る弾性部材３
が介在されているので、シールド板２の熱は水冷された
ウェハホルダー１に逃げて、シールド板２の熱がウェハ
Ｗおよびウェハ上の被膜に伝導して、たとえばレジスト
焼けなどの悪影響を与えるようなことがなくなる。
【００１２】
【実施例】以下、この発明のドライエッチング装置のウ
ェハ保持盤の実施例を図１乃至図３に従って説明する。
図１はこのドライエッチング装置のウェハ保持盤の一部
の断面図、図２はウェハ保持盤のシールド板を取り外し
た状態のウェハホルダートップの平面図、図３は図２の
ｅ−ｅ線における断面図である。これらの図において、
１はウェハホルダーで、その平面１ａにウェハＷを嵌入
する凹平面部１ｂが形成され、内部に冷却水の流通溝１
ｃが形成されている。
ェハ保持盤の実施例を図１乃至図３に従って説明する。
図１はこのドライエッチング装置のウェハ保持盤の一部
の断面図、図２はウェハ保持盤のシールド板を取り外し
た状態のウェハホルダートップの平面図、図３は図２の
ｅ−ｅ線における断面図である。これらの図において、
１はウェハホルダーで、その平面１ａにウェハＷを嵌入
する凹平面部１ｂが形成され、内部に冷却水の流通溝１
ｃが形成されている。
【００１３】２はシールド板で、前記凹平面部１ｂに嵌
入されたウェハＷの前面を露出させ、外周縁Ｗ1 を押圧
してウェハＷを保持するとともに、前記凹平面部１ｂ以
外の平面１ａを覆うようにしている。３は前記シールド
板２の背面と前記ウェハホルダー１の平面１ａとの間
に、熱伝導が良く、かつ、弾力性があり、シールド板２
がウェハホルダー１の平面１ａに密接し得る弾性部材で
あり、この弾性部材は、たとえば導電性シリコーン製の
シートである。このような弾性部材３をウェハホルダー
１の平面１ａとシールド板２の背面との間に介在させた
ので、シールド板２の背面がウェハホルダー１の平面１
ａに密着し、エッチング時に加熱されたシールド板２の
熱は水冷されたウェハホルダー１に逃げて、従来はエッ
チング時にシールド板２が２００℃にも加熱されたもの
が１／３以下に下がり、ウェハを異常に加熱するような
ことがなくなる。
入されたウェハＷの前面を露出させ、外周縁Ｗ1 を押圧
してウェハＷを保持するとともに、前記凹平面部１ｂ以
外の平面１ａを覆うようにしている。３は前記シールド
板２の背面と前記ウェハホルダー１の平面１ａとの間
に、熱伝導が良く、かつ、弾力性があり、シールド板２
がウェハホルダー１の平面１ａに密接し得る弾性部材で
あり、この弾性部材は、たとえば導電性シリコーン製の
シートである。このような弾性部材３をウェハホルダー
１の平面１ａとシールド板２の背面との間に介在させた
ので、シールド板２の背面がウェハホルダー１の平面１
ａに密着し、エッチング時に加熱されたシールド板２の
熱は水冷されたウェハホルダー１に逃げて、従来はエッ
チング時にシールド板２が２００℃にも加熱されたもの
が１／３以下に下がり、ウェハを異常に加熱するような
ことがなくなる。
【００１４】前記ウェハホルダー１は、平面１ａにウェ
ハＷを嵌入する凹平面部１ｂが形成されたウェハホルダ
ートップ１1 と、このウェハホルダートップ１1 の背面
と接合される面に冷却水の流通溝１ｃが形成されたウェ
ハホルダーボトム１2 とが、ウェハホルダートップ１1
の平面１ａに歪みが生じないように、ウェハホルダート
ップ１1 とウェハホルダーボトム１2 との外周部および
中心部とが複数の締め付け螺子４で締め付けて接合固定
されるとともに、前記外周部と中心部との間も複数の締
めつけ螺子４で締め付けて接合固定し、ウェハホルダー
トップ１1 の平面１ａに歪みが生じないようにしてあ
る。
ハＷを嵌入する凹平面部１ｂが形成されたウェハホルダ
ートップ１1 と、このウェハホルダートップ１1 の背面
と接合される面に冷却水の流通溝１ｃが形成されたウェ
ハホルダーボトム１2 とが、ウェハホルダートップ１1
の平面１ａに歪みが生じないように、ウェハホルダート
ップ１1 とウェハホルダーボトム１2 との外周部および
中心部とが複数の締め付け螺子４で締め付けて接合固定
されるとともに、前記外周部と中心部との間も複数の締
めつけ螺子４で締め付けて接合固定し、ウェハホルダー
トップ１1 の平面１ａに歪みが生じないようにしてあ
る。
【００１５】前記ウェハＷを嵌入する凹平面部１ｂに
は、弾性を有し熱伝導性の良いシート１ｄを真空吸着す
る、いわゆる真空キャッチングを形成するための吸着溝
１ｅが形成されており、この吸着溝１ｅの上にシート１
ｄを介してウェハＷを載置し、このウェハＷの前面を露
出させ、外周縁Ｗ1 を押圧するとともに、前記凹平面部
１ｂ以外の平面１ａを覆うシールド板２をウェハホルダ
ートップ１1 の平面に固定螺子で固定して、ウェハＷが
固定される。前記凹平面部１ｂに嵌入されたウェハＷを
取外すときには、前記吸着溝１ｅに逆に空気を送ること
により、容易に取外すことができる。
は、弾性を有し熱伝導性の良いシート１ｄを真空吸着す
る、いわゆる真空キャッチングを形成するための吸着溝
１ｅが形成されており、この吸着溝１ｅの上にシート１
ｄを介してウェハＷを載置し、このウェハＷの前面を露
出させ、外周縁Ｗ1 を押圧するとともに、前記凹平面部
１ｂ以外の平面１ａを覆うシールド板２をウェハホルダ
ートップ１1 の平面に固定螺子で固定して、ウェハＷが
固定される。前記凹平面部１ｂに嵌入されたウェハＷを
取外すときには、前記吸着溝１ｅに逆に空気を送ること
により、容易に取外すことができる。
【００１６】前記ウェハホルダートップ１1 の平面１ａ
に形成したウェハＷを嵌入する３つの凹平面部１ｂは、
従来のような真円形でなく、ウェハＷのオリフラ部に合
わせた弦部１ｂ′が互いにウェハホルダートップ１1 の
平面１ａの中心に向くように形成されて、このウェハホ
ルダートップ１1 の平面１ａの中心部の肉厚を従来より
厚くしている。この中心部には、図３に示すようにウェ
ハホルダーボトム１2に形成した冷却水の流通溝１ｃに
連通する二重パイプ回転軸５が接続され、この二重パイ
プ回転軸５の内側パイプ５ａからの水圧が前記中心部に
かかるので、この中心部の肉厚を厚くしたことにより、
水圧によってウェハホルダートップ１1の平面１ａに歪
みが生じるようなことがなくなる。
に形成したウェハＷを嵌入する３つの凹平面部１ｂは、
従来のような真円形でなく、ウェハＷのオリフラ部に合
わせた弦部１ｂ′が互いにウェハホルダートップ１1 の
平面１ａの中心に向くように形成されて、このウェハホ
ルダートップ１1 の平面１ａの中心部の肉厚を従来より
厚くしている。この中心部には、図３に示すようにウェ
ハホルダーボトム１2に形成した冷却水の流通溝１ｃに
連通する二重パイプ回転軸５が接続され、この二重パイ
プ回転軸５の内側パイプ５ａからの水圧が前記中心部に
かかるので、この中心部の肉厚を厚くしたことにより、
水圧によってウェハホルダートップ１1の平面１ａに歪
みが生じるようなことがなくなる。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、前記ウェハホルダ
ートップの平面には、ウェハのオリフラ部に合わせた弦
部が互いに平面の中心に向くように、ウェハを嵌入する
複数の凹平面部が形成されているので、ウェハの凹平面
部への嵌入位置決めが簡単になる。 また、前記ウェハホ
ルダートップの中心部の肉厚を従来より厚く形成したの
で、前記ウェハホルダーボトムの中心部に、ウェハホル
ダーボトムに形成した冷却水の流通溝に連通するように
二重パイプ回転軸を接続した場合に、二重パイプ回転軸
からの水圧が前記ウェハホルダートップの中心部に加わ
った場合でも、その水圧によってウェハホルダートップ
の中心部の平面に歪みが生じるようなことがなくなる。
また、平面にウェハを嵌入する凹平面部が形成されたウ
ェハホルダートップと、このウェハホルダートップの背
面と接合される面に冷却水の流通溝が形成されたウェハ
ホルダーボトムとが、ウェハホルダートップの平面に歪
みが生じないように、中央部と外周部と、さらに、中央
部と外周部との中間部とを、複数の締め付け螺子で接合
固定したので、前記冷却水の流通溝に加わる水圧によっ
て、ウェハホルダートップの平面に歪みが生じるような
ことがなくなる。また、ウェハホルダーの凹平面部に嵌
入されたウェハの前面を露出させ、外周縁を押圧してウ
ェハをウェハホルダーに保持するとともに、前記凹平面
部以外のウェハホルダーの平面を覆うシールド板が、ド
ライエッチング装置におけるＡｒ原子の衝突によって加
熱されようとしても、このシールド板の背面と前記ウェ
ハホルダーの平面との間に、熱伝導が良く、かつ、弾力
性があり、シールド板がウェハホルダーの平面に密接し
得る弾性部材が介在されているので、シールド板の熱は
水冷されたウェハホルダーに逃げて下がり、シールド板
の熱がウェハおよびウェハ上の被膜に伝導して、たとえ
ばレジスト焼けなどの悪影響を与えるようなことがなく
なる。
ートップの平面には、ウェハのオリフラ部に合わせた弦
部が互いに平面の中心に向くように、ウェハを嵌入する
複数の凹平面部が形成されているので、ウェハの凹平面
部への嵌入位置決めが簡単になる。 また、前記ウェハホ
ルダートップの中心部の肉厚を従来より厚く形成したの
で、前記ウェハホルダーボトムの中心部に、ウェハホル
ダーボトムに形成した冷却水の流通溝に連通するように
二重パイプ回転軸を接続した場合に、二重パイプ回転軸
からの水圧が前記ウェハホルダートップの中心部に加わ
った場合でも、その水圧によってウェハホルダートップ
の中心部の平面に歪みが生じるようなことがなくなる。
また、平面にウェハを嵌入する凹平面部が形成されたウ
ェハホルダートップと、このウェハホルダートップの背
面と接合される面に冷却水の流通溝が形成されたウェハ
ホルダーボトムとが、ウェハホルダートップの平面に歪
みが生じないように、中央部と外周部と、さらに、中央
部と外周部との中間部とを、複数の締め付け螺子で接合
固定したので、前記冷却水の流通溝に加わる水圧によっ
て、ウェハホルダートップの平面に歪みが生じるような
ことがなくなる。また、ウェハホルダーの凹平面部に嵌
入されたウェハの前面を露出させ、外周縁を押圧してウ
ェハをウェハホルダーに保持するとともに、前記凹平面
部以外のウェハホルダーの平面を覆うシールド板が、ド
ライエッチング装置におけるＡｒ原子の衝突によって加
熱されようとしても、このシールド板の背面と前記ウェ
ハホルダーの平面との間に、熱伝導が良く、かつ、弾力
性があり、シールド板がウェハホルダーの平面に密接し
得る弾性部材が介在されているので、シールド板の熱は
水冷されたウェハホルダーに逃げて下がり、シールド板
の熱がウェハおよびウェハ上の被膜に伝導して、たとえ
ばレジスト焼けなどの悪影響を与えるようなことがなく
なる。
【図１】この発明のドライエッチング装置のウェハ保持
盤の一部の断面図である。
盤の一部の断面図である。
【図２】この発明のウェハ保持盤のウェハホルダートッ
プの平面図である。
プの平面図である。
【図３】図２のｅ−ｅ線における断面図である。
【図４】従来一般のドライエッチング装置の概略図であ
る。
る。
【図５】図４をａ−ａ線方向に見た図である。
【図６】従来のウェハ保持盤の正面図である。
【図７】図６のｂ−ｂ線における断面図である。
【図８】図６のｃ−ｃ線における断面図である。
【図９】従来のウェハ保持盤のウェハホルダートップの
平面図である。
平面図である。
【図１０】従来のウェハ保持盤のウェハホルダーボトム
の平面図である。
の平面図である。
【図１１】図１０のｄ−ｄ線における断面図である。
１ ウェハホルダー １1 ウェハホルダートップ １2 ウェハホルダーボトム １ａ 平面 １ｂ 凹平面部 １ｂ′ 弦部 １ｃ 冷却水の流通溝 １ｄ シート １ｅ 吸着溝 ２ シールド板 ３ 弾性部材 ４ 締め付け螺子 ５ 二重パイプ回転軸 ５ａ 内側パイプ １１ Ａｒガスガン １１ａ グリッド １２ チャンバー １３ ニュートラライザ １４ ウェハ保持盤 １４1 ウェハホルダートップ １４2 ウェハホルダーボトム １４ａ 平面 １４ｂ 凹平面部 １４ｃ 冷却水の流通溝 １４ｄ 締め付け螺子 １４ｅ シート １４ｆ 吸着溝 １４ｇ シールド板 １４ｈ 固定螺子 １４ｉ 螺子孔 １５ 基台 １６ 二重パイプ回転軸 １６ａ 内側パイプ １６ｂ 外側パイプ
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/3065 H01L 21/68 H01L 21/205
Claims (1)
- 【請求項１】平面（１ａ）にウェハ（Ｗ）を嵌入する凹
平面部（１ｂ）が形成され、内部に冷却水の流通溝（１
ｃ）が形成されたウェハホルダー（１）と、前記凹平面
部（１ｂ）に嵌入されたウェハ（Ｗ）の前面を露出さ
せ、外周縁（Ｗ1）を押圧してウェハ（Ｗ）を保持する
とともに、前記凹平面部（１ｂ）以外の平面（１ａ）を
覆うシールド板（２）とより構成されたドライエッチン
グ装置のウェハ保持盤において、 前記ウェハホルダー（１）は、その平面（１ａ）に、ウ
ェハＷのオリフラ部に合わせた弦部（１ｂ′）が互いに
平面（１ａ）の中心に向くようにウェハを嵌入する複数
の凹平面部（１ｂ）が形成され、平面（１ａ）の中心部
の肉厚を厚く形成したウェハホルダートップ（１1 ）
と、このウェハホルダートップ（１1 ）の背面と接合さ
れる面に冷却水の流通溝（１ｃ）が形成されたウェハホ
ルダーボトム（１2 ）とが、ウェハホルダートップ（１
1 ）の平面（１ａ）に歪みが生じないように、中央部と
外周部と、さらに、中央部と外周部との中間部とを、複
数の締め付け螺子（４）で接合固定するとともに、前記
シールド板（２）の背面と前記ウェハホルダー（１）の
平面（１ａ）との間に、熱伝導が良く、かつ、弾力性が
あり、シールド板（２）がウェハホルダー（１）の平面
（１ａ）に密接し得る弾性部材（３）を介在させたこと
を特徴とするドライエッチング装置のウェハ保持盤。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13117291A JP3141208B2 (ja) | 1991-06-03 | 1991-06-03 | ドライエッチング装置のウェハ保持盤 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13117291A JP3141208B2 (ja) | 1991-06-03 | 1991-06-03 | ドライエッチング装置のウェハ保持盤 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04356921A JPH04356921A (ja) | 1992-12-10 |
| JP3141208B2 true JP3141208B2 (ja) | 2001-03-05 |
Family
ID=15051696
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13117291A Expired - Fee Related JP3141208B2 (ja) | 1991-06-03 | 1991-06-03 | ドライエッチング装置のウェハ保持盤 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3141208B2 (ja) |
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-
1991
- 1991-06-03 JP JP13117291A patent/JP3141208B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JPH04356921A (ja) | 1992-12-10 |
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