JPH01104770A - 棒状の磁電管またはスパッタ陰極の配置、スパッタ方法、この方法を実施するための装置並びに管状のターゲット - Google Patents

棒状の磁電管またはスパッタ陰極の配置、スパッタ方法、この方法を実施するための装置並びに管状のターゲット

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JPH01104770A
JPH01104770A JP63184442A JP18444288A JPH01104770A JP H01104770 A JPH01104770 A JP H01104770A JP 63184442 A JP63184442 A JP 63184442A JP 18444288 A JP18444288 A JP 18444288A JP H01104770 A JPH01104770 A JP H01104770A
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Franz Koroschetz
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ヴァゲンドリシュテル　アルフレッド
Herwig Bangert
バンゲルト　ヘルヴィッヒ
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、内部にある冷却された永久磁石システムと担
体管とを備え、好ましくは非磁性鋼からなる棒状の担体
管の上に取付けられた場合により異なるターゲット材料
から構成されるターゲットのための棒状の磁電管−スパ
ッタ陰極配置に関する。この種の配置は特に、少な（と
も一部湾曲した面、あるいは中空の本体または幾つかの
部分からそのように構成された本体の内面、たとえば多
角形またはロゼツト形の内面のシリンダ内面などのスパ
ッタに用いられる。さらに本発明は磁電管またはスパッ
タ陰極の配置のスパッタのための、好ましくは湾曲した
領域を有する面、たとえば中空体の内面をスパッタする
ためのスパッタ方法、およびこの方法を実施するための
装置および管状のターゲットに関する。
〔従来の技術・発明が解決しようとする課題〕ＵＳ−Ｐ
Ｓ　　４５２　１２　８６　　から平行した電極面をも
つ中空陰極を備えるエツチング装置または皮膜装置は公
知であるが、棒状の磁電管−スパッタ陰極配置は存在し
ない。
ＥＰ−Ａ１　７０　８９９から冒頭に挙げた種類の磁電
管−スパッタ陰極配置が公知であり、これは平面のスパ
ッタに使用される。この配置にあってはさらに、スパッ
タされる面が担体管を囲む位置固定した陰極配置の軸に
垂直に、異なるターゲット材料の上に取付られ、動かさ
れ、また担体管がその長軸の周りを特に連続的に回転で
きるように考えられているため、たとえば種々なセクタ
ーに配置されている異なうた材料を、連続的に一定のセ
クターの内部にのみ配置されたＵ字形の冷却された永久
磁石システム前の位置につけることができる。
本発明の目的は、強度上の理由から一体形ターゲットの
製作に適していない材料、およびその他の方法（たとえ
ば電気めっき、融解または粉末金属冶金）では製作でき
ないかまたは困難である任意の材料組み合わせに、高性
能のスパッタプロセスを可能とし、たとえば軸受メタル
の内面上のスパッタした被覆の構造的な構成を改善し、
あるいはこの種の層の付着を高めることにある。さらに
ターゲット材料および担体管の異なる熱膨張と、ターゲ
ット材料からの不十分なことが多い熱放出のために生じ
る諸問題を解決しようとするものである。熱放出におけ
る問題は、小さい直径の棒状陰極の使用の場合に生じる
ことが多い。
〔課題を解決するための手段〕 この目的は冒頭に挙げた種類の棒状磁電管ないしスパッ
タ陰極の配置にあっては、単数または複数の特に交換可
能に担体管の上に取付けたリングからなるターゲットと
担体管との間に少なくとも一つの熱接触層が配置されて
いることによって達成される。
担体管とターゲット材料からなるリングとの間に配置さ
れた金属製の熱接触層は、ガス放出により加熱されたタ
ーゲット材料から担体管への、またそこから担体管と永
久磁石システムの間を流れる冷却材への最適の熱移行を
可能にする。これによってターゲット材料が十分に冷却
され、すなわ　　。
ち対応する高い出力密度では融解しないようにできる。
これによって比較的厚いターゲット材料も使用すること
ができ、このため配置の耐用時間が長くなる。
本発明による方式により、陰極全体をターゲット材料か
ら製作することはもはや必要でなく、任意のターゲット
材料、たとえば一体形ターゲットの製作には適していな
い、機械的強度の少ない材料も、担体管の上に取付ける
ことができる。本発明によるスパッタ陰極配置は、リン
グ状ターゲットの融解または焼結技術上の製作が従来、
不可能であったか、あるいは極めて困難であったような
合金からも、層を棒陰極を用いて製作することを初めて
可能にする。ターゲット材料および担体管の異なる熱膨
張は、熱接触層によって吸収される。
担体管の内部でその長袖の周囲を特に連続して回転可能
であり、且つたとえば回転可能な回転軸によって支持さ
れると共に冷却媒体を周囲に流した永久磁石の場合、磁
石は担体管の長さ方向においてその磁界の方向が交互に
逆向きになる態様で担体管の内部に配置されているのが
好ましい。陰極配置または永久磁石システムのこの構成
は、スパッタ時のターゲット材料の均等な消耗または摩
損と、すなわちターゲット材料のより優れた利用と、ス
パッタされる面のための層の均等な装着を可能とする。
この場合、シリンダ状または多角形状の被覆面を存する
磁石が、電極または回転軸の長さ方向に対して角度をも
って傾斜して延在する平行な末端面を備えているならば
有利であり、その場合、連続する磁石の互いに対向する
末端面は−反発し合う磁極を呈する。
連続作業の間のターゲット表面上での高い出力密度を可
能とするためには、特にターゲット材料の冷却が重要で
ある。このため本発明によれば、磁石が担体管の長さ方
向に管状のくりぬき部を備え、これによって磁石が必要
に応じて回転軸の上に取付けられ、くりぬき部及び中空
軸として構成された回転軸が冷媒流路として構成され、
冷媒供給装置に連結され、磁石が担体管内において間隙
を形成するように配置され、この間隙が担体管と場合に
より被覆管によって包囲された磁石との間の冷媒流路、
特に冷媒還流管として形成されている。これによって生
じる円形の流れ断面は冷却媒体に関して指定の冷却材速
度でレイノルズ数＞ｉｏ、ｏｏｏを生じる。磁石または
被覆管と担体管との間のリング間隙の厚さは、約０．５
１１１ｍとすることができ、圧力１２ｂａｒの冷却水圧
力回路が構成される。中空回転軸の末端領域では、中空
回転軸から出る冷却材のための流れに有利な形をした殻
状の転向部が設けられており、冷却材を冷却間隙へと転
向させる。
ターゲットにおける高いスパッタ出力密度を得るため、
プラズマはターゲット表面の直ぐ近くに磁的に封入され
ていなければならない。このためにはターゲット材料の
シリンダ表面に平行の好ましくは３００ガウスのを効な
磁場の強さが必要である。この磁場は好ましくはＳｍＣ
Ｏ５からなる磁石によって作られる。個別に回転する連
続した磁石の特別な組織のため、時間的中心にターゲッ
ト表面を包囲するシリンダジャケットの上にプラズマの
均等な厚さが得られる。その結果ターゲットの均等な減
少が生じる。このようにしてたとえば本発明による線陰
極により、ターゲット表面から３０鴫の間隔で１μｍの
被覆率を得ることができ、この性能はすでに市販の高性
能平陰極の限界以上にあり、公知の線陰極の性能をはる
かに越えている。
リングと担体管の間に配置された、好ましくは５〜５０
μｍ、特に１０〜２０μｍの厚さの熱接触層は、軟らか
いまたは変形可能な、特に硬度く２０ＭＨＶの、低い温
度で融解する、熱伝導の良い金属またはそのような合金
、たとえば好ましくは担体管の上に設けられたＩｎ、Ｇ
、ａ、Ｓｎなどの合金からなっていれば有利である。熱
接触層が担体管の上に取付けたリングより大′きい膨張
係数を有している場合、陰極加熱の際に熱導出を妨げる
中間空間は生じない。しかし同時に、熱接触層の金属は
、変形により生じる応力を吸収できるために軟らかくな
（すればならない。それぞれのターゲット材料の軟化点
以下の温度、特に融点において融解し、従ってターゲッ
ト材料の局部的過熱の場合、局部的に良くない熱接触の
ため、層の融解と層材料のその領域への補充流れにより
熱接−続を再び作る金属が熱接触層に用いられるならば
、特に有利である。リングは有利にプレスばめによって
担体管の上に取付けであるため、層の金属の優れた変形
性により、融解しなかった金属の場合にも最適の熱移行
が生じる。
幾つかの個別構成要素からなる層の構成のために、担体
管の上に、軸方向に連続して特に予め定めた順序で、場
合により異なるターゲット材料からなり且つ異なる幅の
リングを取付けるならば有利である。
特に本発明によるスパッタ陰極配置のための管状のター
ゲットは、管状のターゲットの担体管とターゲット材料
との間に少なくとも一つの好ましくは５〜５０ｐｍ、特
に１０〜２０μｍの厚さの熱接触層が設けられており、
これが軟らかいあるいは変形可能な、特に硬度＜２０Ｍ
ＨＶの、低い温度で融解する、熱伝導の良い金属あるい
はこれに相当する合金、たとえばＩｎ、Ｇａ５ＰｂＳＳ
ｎ。
ウッド合金などからなっており、担体管の上に軸方向に
おいて、場合により異なるターゲット材料からなり且つ
場合により鐸なる幅を有する少なくとも一つの、好まし
くは複数の連続するリングが取付けられ、こ（れら）の
リングが好ましくは温かい状態で担体管の上に取付けら
れ、冷却後にブレスばめによる操作状態において担体管
または熱接触層の上に位置し、場合により層の金属がタ
ーゲット材料の熱膨張係数よりも大きい熱膨張係数を有
することを特徴とする。
本発明によるスパッタ方式は、特に湾曲した領域を有す
る面、たとえば中空体の内面のスパッタのためであり、
スパッタされる面及び担体管を含む陰極配置をターゲッ
ト材料の上に設け、相対運動を行い、特に陰極配置を位
置堅固に保持し、面または面を支持する本体を移動させ
る方法であり、担体管の上に異なるターゲット材料がら
なり且つ担体管の軸方向に連続する幾つかのリングが取
付けられた陰極配置と、スパッタされる面とを、陰極配
置または担体管の長さ方向に相対運動させることを特徴
とする。しかも陰極配置とスパッタされる面との間の相
対運動が振子運動であり、そのストロークがターゲット
材料からなる特に最も幅の広いリングの幅より大きく選
定されており、あるいは相対運動が移動運動であると共
に、陰極配置の長さ方向に対してスパッタされる面を支
持する本体の前進運動を含み、これに振子運動が重複す
るように構成することができる。このようにしてターゲ
ットのセグメント分けまたは連続して配置された異なる
ターゲット材料からなるリングによって起こる局部的濃
度差は、層構成の際に補整され、均等な成分の希望の合
金の層が得られる。
この方法を実施するための装置は、調節装置を備え、陰
極配置及び／またはスパッタされる面が担体管の長さ方
向に前進運動及び／または往復運動（振子運動）を行う
担体装置によって構成された調節装置〔場合により輸送
装置または駆動装置によって作り可能である〕によって
支持され、或いはこれに連結されている。スパッタされ
る面および（または）面を支える本体のための輸送また
は駆動装置は、たとえば内部でスパッタ過程が進行する
排気鐘の外部に配置された調節装置に連結され、調節袋
ｒは真空密の駆動装置または該調節装置を通じて本体お
よび（または）スパッタされる面の調整をスパッタの間
に行なうことを特徴とする。
本発明のその他の有利な実施例は、以下の記載、図面お
よび特許請求の範囲から知ることができる。
〔実施例〕
以下図面を用いて本発明をさらに詳細に説明する。
本発明による陰極配置と、軸受メタルのスパッタのため
の本発明による方法は軸受層合金により特に優れた用法
となることができる。従って本発明を陰極飛散（「スパ
ッタ」）による軸受金属の成層を例に用いてさらに詳細
に説明する。
その他の用途はたとえば玉軸受ころがり面、管内面など
のスパッタである。
有利に一列でシリンダの中に並んで嵌め込まれた軸受メ
タルは、被膜装置に取付けることができる担体４の中に
挿入される。この種のスパック装置を第１図に略図で示
す。この配置は気密の排気鐘ｌとねじ止めしたカバ一部
ｌ゛を含んでいる。
排気鐘１の中には輸送装置、たとえばガイド２の上を走
行できる担体１８が設けられており、この上を、あるい
はこれによって担体４は軸受メタル３により搬入または
搬出位置（−点鎖線）とスパッタ位置の間を走行するこ
とができ、スパッタ位置ではスパッタ陰極６が軸受メタ
ル３によって包囲される。スパッタ過程の終了後、担体
４は排気鐘１から取り出される。
２０はガス供給管を、２１は真空ポンプへの導管を表わ
している。スパッタ陰極６の電圧接続部（たとえば−６
００Ｖ）は７の記号で表わしである。陰極の冷却水供給
装置は３２を表わす。スパッタは３０〜１００″Ｃ１好
ましくは８０℃のターゲット材料の温度、及び約２・１
０−’ｎ＋ｂａｒの圧力で行われる。
本発明による陰極配置６は、第２図の断面図に長袖を通
って示されているように、中空回転軸３゜の上に配置さ
れた永久磁石３１を含んでいる。磁石はこの場合、シリ
ンダ状に構成されているが、しかし横断面は多角形状で
あってもよい、磁石３１は陰極配置６の長軸に対して角
度αの傾斜で交わっており、従って傾斜した末端面４４
を備えている。角度αは好ましくは４５″〜７５°まで
である。磁石３１は磁化されており、その極は末端面４
４にあり、しかも磁化装置が陰極配置６の長軸に平行に
延在している。さらに連続する磁石３１は、それぞれ互
いに反発し合う磁極が対向するように配置されている。
磁石３１は漂遊磁界を作り、この漂遊磁界は軸受内面１
９の前の長軸に斜めに走るリング状のプラズマ封入物３
９に作用する。磁石の回転によりプラズマゾーンの回転
が起こされ、この時この揺動運動によりターゲット表面
からの均等な飛散が得られる。
磁石は薄い被覆管３５の中に配置されており、ターゲッ
ト担体管３６によって囲まれ、その上にターゲット材料
からなるリング３７．３７°を取付けである。ターゲッ
ト材料からなるリング３７．３７′と担体管３６との間
に、軟らかい、熱伝導の良い、低い温度で融解する変形
可能な材料、たとえばインジウム、ガリウム、鉛などか
らなる熱接触Ｎ３８が配置されている。この材料はさら
にターゲット材料よりも大きい熱膨張係数を有している
６リングの数、材料、幅および厚さは適用例によって決
定される。
斜めに切った磁石３１を備える中空回転軸３０は、担体
管３６の内部に回転可能に配置されている。リング３７
．３７″と、担体４の中に列をなして配置されている軸
受３の内面１９との間では、ガス放出が行われ、ターゲ
ット材料から放出された分子が面１９の上に沈積する。
中空回転輪３０により冷却媒体４１、好ましくは水が、
冷却材供給装置３２に供給され、中空回転輪３０を通っ
て殻状または半トーラス状の転向部４７に達し、これに
よって中空回転輪３０からの冷却媒体４１Ｌま磁石３１
または被覆管３５と担体管３６との間のシリンダ状聞隙
へと導かれる。
水は間隙４３を通って陰極配置６から排出される。
磁石３１の外面、担体管３６の内・外面およびリングの
横断面形は、シリンダ状または出来るだけ多くの角数を
もつ多角形の形状で構成することができる。
第３図は被膜される軸受およびスパッタ陰極配置の中心
を同じくする配置の一部を示す。担体管３６と異なるタ
ーゲット材料からなるリング３７．３７’　、３７”と
の間には好ましくは５〜５０ｕｍ、特にｌ（１〜２０．
ｕｍの厚さの熱接触層３８が設けられており、これは軟
らかい、低い温度で融解する、熱伝導の良い金属、たと
えばｔｎ、Ｇａ。
Ｐｂなどからなる。この層は特に゛＜２０ＭＨＶの硬度
と、それぞれのターゲット材料の軟化温度または融解温
度より小さい融点を存している。場合により異なるター
ゲット材料からなるリング３７．３７°、３７°′は好
ましくは温かい状態で担体管３６の上に取付けられ、冷
却後にプレスばめによって担体管３６または変形可能な
熱接触層３８の上に位置する。リングは種ルな幅をもつ
ことができるが、好ましくは同じ壁厚を有している。第
２図に、より幅の広いアルミリング３７の間に狭い鉛リ
ング３７″が示されており、これによってアルミ・鉛合
金をスパッタすることができる。
複数の熱接触層３８を重ねて設けることができ、あるい
は層３日用の純金属の代わりに、たとえばウッド合金、
錫・鉛合金などのような合金も使用することができる。
ターゲット管３６に唯一つのリングまたはシリンダを取
付けることも可能である。
第４図は種々の材料からなる交互に配置された１Ｊング
３７または３７゛を支持する担体管３６を示し、これは
永久磁石システムを差し込むことができ、保持金具５に
固定される。
第１図において１８は、軸受メタル３を支える担体４が
、案内装置またとえばレール上での担体管３６に対する
相対運動、特に陰極配置の長さ方向の前進運動および（
または）往復運動または振子運動、並びにこの周りの回
転運動に変位させることができる装置を表している。こ
の種の運動により、異なる材料からなる並んだリング３
７．３７′、３７”をもつ合金層のスパッタは均質化す
ることができる。１８“は排気Ｉｌｌの外側に配置され
た駆動装置たとえばモータであり、１８″′はたとえば
ローうによってレール２の上を走行できるキャリッジの
装置１１ｆｆｉ１Ｂのためのたとえばロンド、回転軸な
ど、真空密に案内される動力伝達装置を表わしている。
好ましいのは本発明による陰極配置を中空体、たとえば
強磁性材料からなるものの内部成層のために使用するこ
とであり、これはたとえば陰極の外部で作られる磁場を
用いるスパッタ法では、その遮蔽効果により強磁性材料
に被膜することができないからである。
担体管３６はたとえば１〜１０ｍ＋＋の壁厚さを存する
ことができる。磁石３１を含む被膜管３５は０．５〜２
ＩＩＩＩ１１の厚さとすることができる。冷却間隙の幅
は０．３〜１０ｍｍの間である。Ｔ！１石３１は約５〜
５０ｍｍの直径を存している。磁石の回転は約６０〜１
２００ｒｐｍで行われる。振子運動の全ストロークは約
５０ｍに達することができ、振子周波数はたとえばＩＨ
ｚ、前進速度は約１ｃｍ／ｗｉｎ、である。
注記しなければならないことは、磁石３１が必ずしも中
空回転輪３０により支持され、被膜管３５によって包囲
される必要がないことである。接着し合っていて中空回
転輪３０の代わりにその中空の心部を通って冷却材が導
かれるリング磁石も考えられる。しかしより優れた熱放
出は本発明により記載した場合に達成される。
中間層３８をリング３７．３７’、３７”の内面に設け
、担体管３６をたとえば液体空気中での冷却により収縮
させ、収縮した担体管３６の上に必要に応じて中間層３
８の融点以下まで過熱したリング３７．３７′、３７″
を取付けることも可能である。場合により担体４は軸受
３を包囲する一体の管によって形成することができる。
担体材料は電気的に導体でない材料、たとえばプラスチ
ック、セラミック、ガラスなどが考えられる。「スパッ
タ」という概念は、いわゆる「反応的」スパッタとも、
いわゆるＲＦスパッタとも理解され、これは放出空間に
おけるＲ　Ｆ　（ｒａｄｉ。
ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ）　ｉｆｆ場により行われる。
本発明を要約すれば、次の通りである。即ち、本発明は
内部にある冷却された永久磁石システムと、ターゲット
のための担体管とを備える、棒状のｖＬ電管・スパッタ
陰極配置に関する。本発明によれば、特に交換可能に担
体管（３６）の上に取付けた単数または複数のリング（
３７，３７°、３７”）からなるターゲットと担体管（
３６）どの間に、少なくとも一つの熱接触層（３８）が
配置されている。スパッタの間に陰極（６）およびスパ
ッタされる面は、陰極（６）の縦方向に相互の相対運動
を受けることができ、このために調整装置が設けられて
いる。磁石（３１）は担体管（３６）の縦方向にその磁
場が交替して逆方向となるように担体管（３６）の内部
に配置されている。磁石はシリンダ状または多角形の被
覆面と、電極（６）または動軸の縦方向に角度（α）を
なして傾斜する平行して走る末端面（４４）を備えてい
る。
【図面の簡単な説明】
第１図はスパッタ装置の概略図、第２図は本発明による
スパッタ陰極配置の好ましい実施例を示す縦断面図、第
３図はスパッタ陰極配置における詳細部断面図、第４図
は本発明によるターゲット管の略斜視図である。 ６　　　　　　　　　：ＶＢ石 １８：調節装置 １８′：駆動装置 １９ニスバツタされる面 ３０：回転軸 ３２：冷媒供給装置 ３５：被覆管 ３６：担体管 ３７．３７′、’３７’　　　　：リング３８：熱接触
層 ４３：間隙 ４４：末端面 特許出願人　ミーバ　グライトラーガー第１図 第２図

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）内部にある冷却された永久磁石システムと担体管
    とを備え、好ましくは非磁性鋼からなる棒状の担体管の
    上に取付けられた場合により異なるターゲット材料から
    構成されるターゲットのための棒状の磁電管−スパッタ
    陰極配置であって、単数または複数の特に交換可能に担
    体管（３６）の上に取付けたリング（３７、３７’、３
    ７”）からなるターゲットと担体管（３６）との間に少
    なくとも一つの熱接触層（３８）が配置されていること
    を特徴とする棒状の磁電管−スパッタ陰極配置。
  2. （２）リング（３７、３７’、３７”）と担体管（３６
    ）との間に配置された好ましくは５〜５０μｍ、特に１
    ０〜２０μｍの厚さの熱接触層（３８）が、軟らかいま
    たは変形可能な、特に硬度＜２０ＭＨＶの、低い温度で
    融解する、熱伝導の良い金属またはそのような合金、た
    とえばＩｎ、Ｇａ、Ｐｂ、Ｓｎ、ウッド合金などからな
    り、これらが好ましくは担体管（３６）の上に設けられ
    ていることを特徴とする請求項（１）記載の配置。
  3. （３）熱接触層（３８）の金属または合金の融点が、被
    覆されたターゲット材料の軟化点または融点よりも低い
    ことを特徴とする請求項（１）または（２）記載の配置
    。
  4. （４）熱接触層（３８）の金属がターゲット材料の熱膨
    張係数よりも大きい熱膨張係数を有することを特徴とす
    る請求項（１）〜（３）のいずれかに記載の配置。
  5. （５）場合により温かい状態で担体管（３６）の上に取
    付けられたリング（３７、３７’、３７”）が、プレス
    ばめによる操作状態において担体管（３６）または熱接
    触層（３８）の上に位置することを特徴とする請求項（
    １）〜（４）のいずれかに記載の配置。
  6. （６）担体管（３６）の上に、軸方向に連続して特に予
    め定めた順序で、場合により異なるターゲット材料から
    なり且つ異なる幅のリング（３７、３７’、３７”）が
    取付けられていることを特徴とする請求項（１）〜（５
    ）のいずれかに記載の配置。
  7. （７）担体管の内部に、その長軸の周りを特に連続して
    回転可能であり、且つたとえば回転可能な回転軸によっ
    て支持されると共に冷媒を周囲に流した永久磁石が配置
    されており、磁石（３１）が担体管（３６）の長さ方向
    においてその磁界の方向が交互に逆向きになる態様で担
    体管（３６）の内部に配置されていることを特徴とする
    請求項（１）〜（６）のいずれかに記載の配置。
  8. （８）被覆面を有するシリンダ状または多角形状の磁石
    （３１）が、電極（６）または回転軸（３０）の長さ方
    向に対して角度（α）をもって傾斜して延在する平行な
    末端面（４４）を備え、連続する磁石（３１）の互いに
    対向する末端面（４４）が反発し合う磁極を呈している
    ことを特徴とする請求項（７）記載の配置。
  9. （９）磁石（３１）が担体管（３６）の長さ方向に管状
    のくりぬき部を備え、これによって磁石が必要に応じて
    回転軸（３０）の上に取付けられ、前記くりぬき部及び
    中空軸として構成された回転軸（３０）が冷媒流路とし
    て構成され、冷媒供給装置（３２）に連結され、磁石（
    ３１）が担体管（３６）内において間隙（４３）を形成
    するように配置され、この間隙（４３）が担体管（３６
    ）と場合により被覆管（３目）によって包囲された磁石
    （３１）との間の冷媒流路、特に冷媒還流管として形成
    されていることを特徴とする請求項（１）〜（８）のい
    ずれかに記載の配置。
  10. （１０）特に湾曲した領域を有する面、たとえば中空体
    の内面のスパッタのために用いられ、スパッタされる面
    及び担体管を含む陰極配置をターゲット材料の上に設け
    、相対運動を行い、特に陰極配置を位置堅固に保持し、
    面または面を支持する本体を移動させる方法であり、担
    体管の上に異なるターゲット材料からなり且つ担体管の
    軸方向に連続する幾つかのリングが取付けられた陰極配
    置と、スパッタされる面とを、陰極配置または担体管の
    長さ方向に相対運動させることを特徴とする特に請求項
    （１）〜（９）のいずれかに記載の磁電管−スパッタ陰
    極配置によってスパッタを行う方法。
  11. （１１）陰極配置とスパッタされる面との間の相対運動
    が振子運動であり、そのストロークがターゲット材料か
    らなる特に最も幅の広いリングの幅よりも大きく選定さ
    れていることを特徴とする請求項（１０）記載の方法。
  12. （１２）前記相対運動が移動運動であると共に、陰極配
    置（６）の長さ方向に対してスパッタされる面を支持す
    る本体の前進運動を含み、これに振子運動が重複してい
    ることを特徴とする請求項（１０）記載の方法。
  13. （１３）調節装置を備え、陰極配置（６）及び／または
    スパッタされる面（１９）が担体管（３６）の長さ方向
    に前進運動及び／または往復運動（振子運動）を行う担
    体装置によって構成された調節装置（１８）〔場合によ
    り輸送装置または駆動装置（１８’）によって作動可能
    である〕によって支持され、或いはこれに連結されてい
    ることを特徴とする請求項（１０）〜（１２）のいずれ
    かに記載の方法を実施するための装置。
  14. （１４）管状のターゲットの担体管（３６）とターゲッ
    ト材料との間に、好ましくは５〜５０μｍ、特に１０〜
    ２０μｍの厚さの少なくとも一つの熱接触層（３８）が
    設けられ、この熱接触層（３８）は軟らかいまたは変形
    可能な、特に硬度＜２０ＭＨＶの、低い温度で融解する
    、熱伝導の良い金属またはそれに相当する合金、たとえ
    ばＩｎ、Ｇａ、Ｐｂ、Ｓｎ、ウッド合金などからなり、
    担体管（３６）の上に軸方向において、場合により異な
    るターゲット材料からなり且つ場合により異なる幅を有
    する少なくとも一つの、好ましくは複数の連続するリン
    グ（３７、３７’、３７”）が取付けられ、こ（れら）
    のリングが好ましくは温かい状態で担体管（３６）の上
    に取付けられ、冷却後にプレスばめによる操作状態にお
    いて担体管（３６）または熱接触層（３８）の上に位置
    し、場合により層（３８）の金属がターゲット材料の熱
    膨張係数よりも大きい熱膨張係数を有することを特徴と
    する請求項（１０）〜（１２）のいずれかに記載の方法
    を実施するための、特に請求項（１）〜（９）のいずれ
    かに記載のターゲット材料用の担体管を備えた棒状の磁
    電管またはスパッタ陰極配置のための管状のターゲット
    。
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