JPH01112043U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01112043U JPH01112043U JP678688U JP678688U JPH01112043U JP H01112043 U JPH01112043 U JP H01112043U JP 678688 U JP678688 U JP 678688U JP 678688 U JP678688 U JP 678688U JP H01112043 U JPH01112043 U JP H01112043U
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- JP
- Japan
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- chamber
- dust collection
- electrostatic dust
- load chamber
- collection device
- Prior art date
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- Pending
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- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案のロード室の斜視図、第２図は
第１図のＡ―Ａ断面図、第３図は同じくＢ―Ｂ断
面図、第４図は静電型ダスト収集装置の構造図、
第５図はロード室に設置した静電型ダスト収集装
置の等価回路図である。 １：処理室、２：ウエハー、３：ウエハーカセ
ツト、６：ロード室、８：静電型ダスト収集装置
。
第１図のＡ―Ａ断面図、第３図は同じくＢ―Ｂ断
面図、第４図は静電型ダスト収集装置の構造図、
第５図はロード室に設置した静電型ダスト収集装
置の等価回路図である。 １：処理室、２：ウエハー、３：ウエハーカセ
ツト、６：ロード室、８：静電型ダスト収集装置
。
Claims (1)
- 半導体ウエハーの加工・形成を行う処理室と大
気圧の作業室との間でウエハーカセツトを搬入搬
出するための気密閉鎖可能なロード室において、
板状の静電型ダスト収集装置を壁面に設けたこと
を特徴とする静電型ダスト収集ロード室。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP678688U JPH01112043U (ja) | 1988-01-21 | 1988-01-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP678688U JPH01112043U (ja) | 1988-01-21 | 1988-01-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01112043U true JPH01112043U (ja) | 1989-07-27 |
Family
ID=31211246
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP678688U Pending JPH01112043U (ja) | 1988-01-21 | 1988-01-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01112043U (ja) |
-
1988
- 1988-01-21 JP JP678688U patent/JPH01112043U/ja active Pending
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