JPH0367440U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0367440U JPH0367440U JP12911289U JP12911289U JPH0367440U JP H0367440 U JPH0367440 U JP H0367440U JP 12911289 U JP12911289 U JP 12911289U JP 12911289 U JP12911289 U JP 12911289U JP H0367440 U JPH0367440 U JP H0367440U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette chamber
- static electricity
- semiconductor manufacturing
- installation stand
- utility
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 2
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図、第２図は、それぞれ本考案による半導
体製造装置のキヤリア出し入れ部を示し、第１図
はカセツト室が大気の状態でウエハを搬送し、第
２図はカセツト室を真空状態にしてウエハを搬送
するカセツト室の図である。 １……キヤリア設置台、２……キヤリア、３…
…ウエハ、８……静電気除去装置、５……フイル
タ、６……大気カセツト室、７……真空カセツト
室。
体製造装置のキヤリア出し入れ部を示し、第１図
はカセツト室が大気の状態でウエハを搬送し、第
２図はカセツト室を真空状態にしてウエハを搬送
するカセツト室の図である。 １……キヤリア設置台、２……キヤリア、３…
…ウエハ、８……静電気除去装置、５……フイル
タ、６……大気カセツト室、７……真空カセツト
室。
Claims (1)
- キヤリア設置台とウエハ搬送系を持つた装置に
おいて、静電気除去装置をカセツト室に設けたこ
とを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12911289U JPH0367440U (ja) | 1989-11-06 | 1989-11-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12911289U JPH0367440U (ja) | 1989-11-06 | 1989-11-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0367440U true JPH0367440U (ja) | 1991-07-01 |
Family
ID=31676771
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12911289U Pending JPH0367440U (ja) | 1989-11-06 | 1989-11-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0367440U (ja) |
-
1989
- 1989-11-06 JP JP12911289U patent/JPH0367440U/ja active Pending