JPH01117887U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は第１関節部の縦断面図、第２図は第２
関節部の縦断面図、第３図は多関節アーム型基板
搬送装置の斜視図である。 １……基板、３，７，８，９……回転伝動手段
、４……吸気源連通路、５……吸気源、６，１２
……軸支部材、１１，２１……回転軸、１２，２
２……旋回アーム、１１ａ，２１ａ……軸内吸気
通路、１１ｂ，２１ｂ……連通孔、１２ａ，２２
ａ……アーム内吸気通路、１３，２３……軸孔、
１４，２４……シール用スリーブ、１５，２５…
…軸受具、１６，２６……吸気連通ポート、１７
，２７……外気流入用間隙。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 回転軸の一端部に旋回アームを固定して吸気源
   連通路と連通する軸内吸気通路をアーム内吸気通
   路に連通し、回転軸を軸支部材の軸孔内に挿通し
   軸受具で回転可能に支持し、回転軸の他端部を回
   転伝動手段で回転することにより旋回アームを旋
   回可能に支持する多関節型基板搬送装置の旋回ア
   ーム支持装置において、 軸孔内にシール用スリーブを嵌入してシール用
   スリーブに回転軸を挿通し、当該スリーブの両端
   側で一対の軸受具を介して回転軸を支持し、軸孔
   内の中間に位置する回転軸外周部に環状の吸気連
   通ポートを形成し、回転軸とシール用スリーブの
   内周面との間に外気流入用間隙を形成して吸気連
   通ポートに連通させるとともに、回転軸に吸気連
   通ポートと軸内吸気通路を連通する連通孔を形成
   し、外気を両軸受具の間隙より外気流入用間隙内
   へ導入し、吸気連通ポートを経て吸気源連通路へ
   流通させるように構成したことを特徴とする多関
   節アーム型基板搬送装置の旋回アーム支持装置。