JPH01125536U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01125536U JPH01125536U JP2060288U JP2060288U JPH01125536U JP H01125536 U JPH01125536 U JP H01125536U JP 2060288 U JP2060288 U JP 2060288U JP 2060288 U JP2060288 U JP 2060288U JP H01125536 U JPH01125536 U JP H01125536U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- camera
- target object
- mounting table
- respect
- object mounting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す側面図、第２
図は本考案の動作を説明する説明図である。 １……カメラ、２……カメラ保持部、３……カ
メラ上下機構部、４……カメラ上下駆動モーター
、５……モーター制御部、ｂ……被対象物、７…
…段差、８……被対象物載置台、９……回転中心
、１０……絶対回転中心ズレａ、１１……回転中
心ズレ△ｘ、１２……カメラ上下移動距離△ｚ。
図は本考案の動作を説明する説明図である。 １……カメラ、２……カメラ保持部、３……カ
メラ上下機構部、４……カメラ上下駆動モーター
、５……モーター制御部、ｂ……被対象物、７…
…段差、８……被対象物載置台、９……回転中心
、１０……絶対回転中心ズレａ、１１……回転中
心ズレ△ｘ、１２……カメラ上下移動距離△ｚ。
Claims (1)
- 半導体製造装置の被対象物認識用カメラと、該
カメラを被対象物載置台に対して上下動させる上
下機構と、前記カメラの上下動による被対象物載
置台の回転中心に対する相対ズレを補正する演算
処理部とを有することを特徴とする自動位置補正
機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2060288U JPH01125536U (ja) | 1988-02-18 | 1988-02-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2060288U JPH01125536U (ja) | 1988-02-18 | 1988-02-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01125536U true JPH01125536U (ja) | 1989-08-28 |
Family
ID=31237108
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2060288U Pending JPH01125536U (ja) | 1988-02-18 | 1988-02-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01125536U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS618933A (ja) * | 1984-06-25 | 1986-01-16 | Hitachi Tokyo Electronics Co Ltd | 半導体製造装置 |
| JPS62256449A (ja) * | 1986-04-30 | 1987-11-09 | Toshiba Corp | 半導体組立装置 |
-
1988
- 1988-02-18 JP JP2060288U patent/JPH01125536U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS618933A (ja) * | 1984-06-25 | 1986-01-16 | Hitachi Tokyo Electronics Co Ltd | 半導体製造装置 |
| JPS62256449A (ja) * | 1986-04-30 | 1987-11-09 | Toshiba Corp | 半導体組立装置 |