JPH01128221A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH01128221A JPH01128221A JP62286075A JP28607587A JPH01128221A JP H01128221 A JPH01128221 A JP H01128221A JP 62286075 A JP62286075 A JP 62286075A JP 28607587 A JP28607587 A JP 28607587A JP H01128221 A JPH01128221 A JP H01128221A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- layer
- magnetic recording
- rare earth
- surface layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は高密度磁気記録に適する垂直磁気記録用の磁気
記録媒体に関する。
記録媒体に関する。
従来の技術
垂直磁気記録は、磁気ヘッドと磁気記録媒体を接触させ
て記録再生する技術にあって、１００ＫＢＰＩを越える
線記録密度になると、長手記録に対する優位性が明白に
なり、特にディジタル記録に適していることから、今後
の高密度化のだめの根幹の技術となると思われるもので
近年研究開発が盛んである。垂直記録には、従来の長手
記録と異なる異方性をもった磁気記録媒体が必要で、現
状では、２、、、−７ ポリイｉド膜上のＣｏ−Ｃｒ垂直磁化膜で、スパッタリ
ング法、電子ビーム蒸着法のいずれの方法に於て製造し
たものでも良いが、結晶配向性が良好で、垂直抗磁力の
大きなものが、比較的優れた高密度記録特性を与えられ
ることができることが知られている〔応用磁気セεす゛
垂直磁気記録方式″（６０年１２月）参照〕。
て記録再生する技術にあって、１００ＫＢＰＩを越える
線記録密度になると、長手記録に対する優位性が明白に
なり、特にディジタル記録に適していることから、今後
の高密度化のだめの根幹の技術となると思われるもので
近年研究開発が盛んである。垂直記録には、従来の長手
記録と異なる異方性をもった磁気記録媒体が必要で、現
状では、２、、、−７ ポリイｉド膜上のＣｏ−Ｃｒ垂直磁化膜で、スパッタリ
ング法、電子ビーム蒸着法のいずれの方法に於て製造し
たものでも良いが、結晶配向性が良好で、垂直抗磁力の
大きなものが、比較的優れた高密度記録特性を与えられ
ることができることが知られている〔応用磁気セεす゛
垂直磁気記録方式″（６０年１２月）参照〕。
一方では、耐久性の向上が実用化にとって重要な課題と
して認識され、保護膜、潤滑剤の検討が盛んであるが、
これらはいずれも短波長になる程大きくなる損失のスペ
ーシング損失の原因となるもので、保護層なしの状態で
Ｃ／Ｈの大きな媒体条件を求めることが重要となってき
ている。
して認識され、保護膜、潤滑剤の検討が盛んであるが、
これらはいずれも短波長になる程大きくなる損失のスペ
ーシング損失の原因となるもので、保護層なしの状態で
Ｃ／Ｈの大きな媒体条件を求めることが重要となってき
ている。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、ポリイミドやポリエチレンテレフタｌ／
−）に連続的にＣｏ−Ｃｒ垂直磁化膜を形成したものは
、フィルムの脱ガス処理や、バックグラウンドの真空度
を改善するなどによりＣ／Ｈの改善が進められているが
、現状では不十分で、耐久性とＣ／Ｎを実用水準に近ず
けられる系は知ら３ ＼ ７ れていないことから改善が望まれていた。
−）に連続的にＣｏ−Ｃｒ垂直磁化膜を形成したものは
、フィルムの脱ガス処理や、バックグラウンドの真空度
を改善するなどによりＣ／Ｈの改善が進められているが
、現状では不十分で、耐久性とＣ／Ｎを実用水準に近ず
けられる系は知ら３ ＼ ７ れていないことから改善が望まれていた。
本発明は上記した事情に鑑み、なされたもので、耐久性
とＣ／Ｎの優れた磁気記録媒体を掃供するものである。
とＣ／Ｎの優れた磁気記録媒体を掃供するものである。
問題点を解決するだめの手段
上記した問題点を解決するだめ本発明の磁気記録媒体は
、Ｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜の表層部に稀土類元素のイオン
注入層を配したものである。
、Ｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜の表層部に稀土類元素のイオン
注入層を配したものである。
作用
本発明の磁気記録媒体は、上記した構成により、表面に
通常形成される酸化層が、磁気的な乱れを生じて雑音の
原因となっていた部分を活性な稀土類元素が酸素と結合
し、Ｃｏ−Ｃｒの純粋な磁気特性が現出し、それは内部
とも同じ特性を示すことから短波長域でＣ／Ｎを改善す
ることになるのである。
通常形成される酸化層が、磁気的な乱れを生じて雑音の
原因となっていた部分を活性な稀土類元素が酸素と結合
し、Ｃｏ−Ｃｒの純粋な磁気特性が現出し、それは内部
とも同じ特性を示すことから短波長域でＣ／Ｎを改善す
ることになるのである。
実施例
以下、図面を参照しながら本発明の一実施例の磁気記録
媒体について詳しく説明する。図は本発明の実施例の磁
気記録媒体の拡大断面図で、図で１は、ポリエチレンテ
レフタレート、ポリエチレンナツタ１／−ト、ポリフエ
ニレンサルフアイド。
媒体について詳しく説明する。図は本発明の実施例の磁
気記録媒体の拡大断面図で、図で１は、ポリエチレンテ
レフタレート、ポリエチレンナツタ１／−ト、ポリフエ
ニレンサルフアイド。
ポリエーテルサルフオン、ポリアミドイミド、ポリイミ
ド等の高分子フィルムで２はＡｊ？ｚＯｓ １Ｅｕ２０
３゜５ｉ０２ 、 Ｔｉｅ、 、 ＺｎＯ、ポリエステ
ル球等ノ微粒子ヲ配した微粒子塗布層で、この層はあら
かじめ、高分子フィルムと複合化されたものであっても
よい。
ド等の高分子フィルムで２はＡｊ？ｚＯｓ １Ｅｕ２０
３゜５ｉ０２ 、 Ｔｉｅ、 、 ＺｎＯ、ポリエステ
ル球等ノ微粒子ヲ配した微粒子塗布層で、この層はあら
かじめ、高分子フィルムと複合化されたものであっても
よい。
３はＣｏ −Ｃｒ垂直磁化膜で必要々らＮｂ、Ｒｕ、Ｔ
ａ、Ｒｈ等を添加してもよいが、高周波スパッタリング
法。
ａ、Ｒｈ等を添加してもよいが、高周波スパッタリング
法。
電子ビーム蒸着法等で形成したもので６００八から３０
００人の範囲の膜厚で、垂直抗磁力は４ｏ○（Ｏｅ）か
ら１６００（Ｏｅ）の範囲が好ましい。４は、Ｐｒ 、
Ｓｍ等の稀土類元素のイオン注入層で、注入層は高々
５０人程の深さまでで表面層の酸素と等量の注入量があ
ればその効果は十分である。５は、硬質炭素薄膜プラズ
マ重合膜、ＭｏＳ２膜等の保護膜で６は脂肪酸、脂肪酸
アミド、バーフロロホリエーテル、パーフロロアルキル
カルボン酸等の潤滑剤層である。上記構成によｐ 、Ｃ
／Ｎが改善される度合は、短波長稈顕著で、以下、更に
具体的に比較例との対比で詳しく説明する。厚み１２μ
ｍのポリエチレンテレフタレートフィルム上に直径１２
０へのＥｕ２０３微粒子を１Ｑケ／（μｍ）２配し、４
Ｘ １０ （Ｔｏｒｒ）のＡｒに１３．５６ （ＭＨ
ｚ ）１．６（ＫＷ）の高周波を投入して住じたグロー
放電によるスパッタリング法でＣｏ−Ｏｒ （Ｃｒ ：
２０，５ｗｔ４）をターゲットにしたＣｏ−Ｃｒ垂直
磁化膜を形成した。このＣｏ−１Ｏｒ垂直磁化膜は、平
均３７０人の粒子径で高さ１４００への柱状微粒子から
成り、表層部は、２３原子係の酸素を含んだ層が３５人
存在したものであシ、８０ ＫｅＶのＰｒ″−イオンを
１２μＡ／−で注入し、この層の酸素が、ＣＯの磁性を
不均一にしているのを、Ｐｒ原子で無視できるようにし
たイオン注入層でおきかえた。その後、グラ７フイトを
ターゲットにしてＡｒ十Ｈ２＝＝ＩＸ１０−２（Ｔｏｒ
ｒ）。
００人の範囲の膜厚で、垂直抗磁力は４ｏ○（Ｏｅ）か
ら１６００（Ｏｅ）の範囲が好ましい。４は、Ｐｒ 、
Ｓｍ等の稀土類元素のイオン注入層で、注入層は高々
５０人程の深さまでで表面層の酸素と等量の注入量があ
ればその効果は十分である。５は、硬質炭素薄膜プラズ
マ重合膜、ＭｏＳ２膜等の保護膜で６は脂肪酸、脂肪酸
アミド、バーフロロホリエーテル、パーフロロアルキル
カルボン酸等の潤滑剤層である。上記構成によｐ 、Ｃ
／Ｎが改善される度合は、短波長稈顕著で、以下、更に
具体的に比較例との対比で詳しく説明する。厚み１２μ
ｍのポリエチレンテレフタレートフィルム上に直径１２
０へのＥｕ２０３微粒子を１Ｑケ／（μｍ）２配し、４
Ｘ １０ （Ｔｏｒｒ）のＡｒに１３．５６ （ＭＨ
ｚ ）１．６（ＫＷ）の高周波を投入して住じたグロー
放電によるスパッタリング法でＣｏ−Ｏｒ （Ｃｒ ：
２０，５ｗｔ４）をターゲットにしたＣｏ−Ｃｒ垂直
磁化膜を形成した。このＣｏ−１Ｏｒ垂直磁化膜は、平
均３７０人の粒子径で高さ１４００への柱状微粒子から
成り、表層部は、２３原子係の酸素を含んだ層が３５人
存在したものであシ、８０ ＫｅＶのＰｒ″−イオンを
１２μＡ／−で注入し、この層の酸素が、ＣＯの磁性を
不均一にしているのを、Ｐｒ原子で無視できるようにし
たイオン注入層でおきかえた。その後、グラ７フイトを
ターゲットにしてＡｒ十Ｈ２＝＝ＩＸ１０−２（Ｔｏｒ
ｒ）。
Ａｒ ：Ｈ２＝１ ： ３の放電ガスを用い、１３．５
６（ＭＨｚ）。
６（ＭＨｚ）。
１．２２ （ＫＷ）の高周波グロー放電によるスパッタ
リング法で厚み８５人のダイアモンド状硬質炭素薄膜を
配し、更にその上に真空蒸着法でパーフロロアラキン酸
を５６人蒸着した潤滑剤層を配し８ミ６ヘー・ り幅の磁気テープとした。一方比較例は、Ｐｒ イオ
ン注入を行わずに他の構成条件は同一とした８ミリ幅の
磁気テープである。両者のテープを改造した８ミリビデ
オにより比較評価した。ギャップ長０．１７μｍのアモ
ルファス合金スパッタ積層型のリングヘッドを用い、ビ
ット長０．２５μ”％）ランク幅７μｍの矩形波信号を
記録し、再生Ｃ／Ｎを比較した。実施例は比較例に対し
、２．１（ｄＢ）Ｃ／Ｎが良好であった。更に短波長化
し、ビット長０．１５μｍでは実施例の方がｓ、５（ｄ
Ｂ）良好なＣ／Ｎを示した。メチル状態でも再生出力は
２（ｄＢ）低下するのに６０分以上と耐久性も良好であ
った。
リング法で厚み８５人のダイアモンド状硬質炭素薄膜を
配し、更にその上に真空蒸着法でパーフロロアラキン酸
を５６人蒸着した潤滑剤層を配し８ミ６ヘー・ り幅の磁気テープとした。一方比較例は、Ｐｒ イオ
ン注入を行わずに他の構成条件は同一とした８ミリ幅の
磁気テープである。両者のテープを改造した８ミリビデ
オにより比較評価した。ギャップ長０．１７μｍのアモ
ルファス合金スパッタ積層型のリングヘッドを用い、ビ
ット長０．２５μ”％）ランク幅７μｍの矩形波信号を
記録し、再生Ｃ／Ｎを比較した。実施例は比較例に対し
、２．１（ｄＢ）Ｃ／Ｎが良好であった。更に短波長化
し、ビット長０．１５μｍでは実施例の方がｓ、５（ｄ
Ｂ）良好なＣ／Ｎを示した。メチル状態でも再生出力は
２（ｄＢ）低下するのに６０分以上と耐久性も良好であ
った。
発明の効果
以上のように本発明によれば、短波長でのＣ／Ｈの良好
な、垂直磁気記録用の磁気記録媒体が得られるといった
すぐれた効果がある。
な、垂直磁気記録用の磁気記録媒体が得られるといった
すぐれた効果がある。
図は本発明の一実施例の磁気記録媒体の拡大断面図であ
る。 １・・・・・・高分子フィルム、２・・・・・・微粒子
塗布層、７７、−７ ３・・・・・・Ｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜、４・・・・・・
稀土類イオン注入層、５・・・・・・硬質炭素薄膜、６
・・・・・・潤滑剤層。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名６−
づ関膚刊層
る。 １・・・・・・高分子フィルム、２・・・・・・微粒子
塗布層、７７、−７ ３・・・・・・Ｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜、４・・・・・・
稀土類イオン注入層、５・・・・・・硬質炭素薄膜、６
・・・・・・潤滑剤層。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名６−
づ関膚刊層
Claims (1)
- Ｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜の表層部に稀土類元素のイオン注
入層を配したことを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62286075A JPH01128221A (ja) | 1987-11-12 | 1987-11-12 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62286075A JPH01128221A (ja) | 1987-11-12 | 1987-11-12 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01128221A true JPH01128221A (ja) | 1989-05-19 |
Family
ID=17699622
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62286075A Pending JPH01128221A (ja) | 1987-11-12 | 1987-11-12 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01128221A (ja) |
-
1987
- 1987-11-12 JP JP62286075A patent/JPH01128221A/ja active Pending
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