JPH01128224A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH01128224A JPH01128224A JP62286078A JP28607887A JPH01128224A JP H01128224 A JPH01128224 A JP H01128224A JP 62286078 A JP62286078 A JP 62286078A JP 28607887 A JP28607887 A JP 28607887A JP H01128224 A JPH01128224 A JP H01128224A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- magnetic recording
- layer
- oxygen
- recording medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は高密度磁気記録に適する垂直磁気記録用の磁気
記録媒体に関する。
記録媒体に関する。
従来の技術
垂直磁気記録は、磁気ヘッドと磁気記録媒体を接触させ
て記録再生する技術にあって、１００ＫＢＰＩを越える
線記録密度になると、長手記録に対する優位性が明白に
なり、特にディジタル記録に適していることから、今後
の高密度化のための根幹の技術となると思われるもので
近年研究開発が盛んである。垂直記録には、従来の長手
記録と累々る異方性をもった磁気記録媒体が必要で、２
＼− 現状では、ポリイミド膜上のＧｏ−Ｃｒ垂直磁化膜で、
スパッタリング法、電子ビーム蒸着法のいずれの方法に
於て製造したものでも良いが、結晶配向性が良好で、垂
直抗磁力の大きなものが、比較的優れた高密度記録特性
を与えられることができることが知られている〔応用磁
気セミナ゛垂直磁気記録方式”（ｅ２年１２月）参照〕
。
て記録再生する技術にあって、１００ＫＢＰＩを越える
線記録密度になると、長手記録に対する優位性が明白に
なり、特にディジタル記録に適していることから、今後
の高密度化のための根幹の技術となると思われるもので
近年研究開発が盛んである。垂直記録には、従来の長手
記録と累々る異方性をもった磁気記録媒体が必要で、２
＼− 現状では、ポリイミド膜上のＧｏ−Ｃｒ垂直磁化膜で、
スパッタリング法、電子ビーム蒸着法のいずれの方法に
於て製造したものでも良いが、結晶配向性が良好で、垂
直抗磁力の大きなものが、比較的優れた高密度記録特性
を与えられることができることが知られている〔応用磁
気セミナ゛垂直磁気記録方式”（ｅ２年１２月）参照〕
。
一方では、耐久性の向上が実用化にとって重要々課題と
して認識され、保護膜、潤滑剤の検討が盛んであるが、
これらはいずれも短波長になる程大きくなる損失のスペ
ーシング損失の原因となるもので、保護層々しの状態で
ガの犬き々媒体条件を求めることが重要となってきてい
る。
して認識され、保護膜、潤滑剤の検討が盛んであるが、
これらはいずれも短波長になる程大きくなる損失のスペ
ーシング損失の原因となるもので、保護層々しの状態で
ガの犬き々媒体条件を求めることが重要となってきてい
る。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、ポリイミドやポリエチレンテレフタレー
Ｉ・に連続的にＧｏ−Ｃｒ垂直磁化膜を形成シタモのは
、フィルムの脱ガス処理や、バンクグラウンドの真空度
を改善するなどにより（Ｎの改善が進められているが、
現状では不十分で、耐久性とガを実用水準に近ずけられ
る系は知られて３へ一／ い々いことから改善が望まれていた。
Ｉ・に連続的にＧｏ−Ｃｒ垂直磁化膜を形成シタモのは
、フィルムの脱ガス処理や、バンクグラウンドの真空度
を改善するなどにより（Ｎの改善が進められているが、
現状では不十分で、耐久性とガを実用水準に近ずけられ
る系は知られて３へ一／ い々いことから改善が望まれていた。
本発明は上記した事情に鑑み、なされたもので、耐久性
と％の優れた磁気記録媒体を提供するものである。
と％の優れた磁気記録媒体を提供するものである。
問題点を解決するための手段
上記した問題点を解決するため本発明の磁気記録媒体は
、Ｃｏ１ｒ垂直磁化膜の表層部に酸素注入層を形成した
上に硬質炭素薄膜を配したものである。
、Ｃｏ１ｒ垂直磁化膜の表層部に酸素注入層を形成した
上に硬質炭素薄膜を配したものである。
作用
本発明の磁気記録媒体は、上記した構成により、Ｇｏ−
Ｃｒｒ垂直磁化膜の表層部が硬くなるのと、更に硬い硬
質炭素薄膜の形成時に、その雰囲気が最尤性のため、酸
素が失われるが、その酸素は過剰酸素であることから、
硬さの位記は維持されるので、硬質炭素薄膜を薄くして
も耐久性が得られるので、スペーシング損失を小さくシ
カ改善ができるのである。
Ｃｒｒ垂直磁化膜の表層部が硬くなるのと、更に硬い硬
質炭素薄膜の形成時に、その雰囲気が最尤性のため、酸
素が失われるが、その酸素は過剰酸素であることから、
硬さの位記は維持されるので、硬質炭素薄膜を薄くして
も耐久性が得られるので、スペーシング損失を小さくシ
カ改善ができるのである。
実施例
以下、図面を参照しながら本発明の一実施例の磁気記録
媒体について詳しく説明する。図は本発明の一実施例に
係る磁気記録媒体の拡大断面図で、図で１は、ポリエチ
レンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ホリ
フエニレンサルファイド、ポリエーテルサルレフオン、
ポリアミドイミド、ポリイミド等の高分子フィルムで２
はＡｅ２０３、Ｅｕ２Ｏ３，５ｉ０２、ＴｉＯ２、Ｚｎ
Ｏ、ポリエステル球等の微粒子を配した微粒子塗布層で
、この層はあらかじめ高分子フィルムと複合化されたも
のであってもよい。３は、Ｇｏ−Ｏｒ垂直磁化膜で、Ｎ
ｂ、Ｒｕ、Ｒｅ、Ｔａ、Ｒｈ等を添加したものも包含し
ている。垂直磁化膜形成は公知のいずれの方法でもよい
。４は酸素注入層で、３０Ａから１００λの範囲で、酸
素イオン又は中性酸素原子いずれかを注入して得られる
層で、エネルギーは２６〜１００（ｋｅｙ）で注入の粒
子密度は１０７〜１ｏ ＋ ＋ 外各□ｍ ）２の範囲
で最適化するものとする。
媒体について詳しく説明する。図は本発明の一実施例に
係る磁気記録媒体の拡大断面図で、図で１は、ポリエチ
レンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ホリ
フエニレンサルファイド、ポリエーテルサルレフオン、
ポリアミドイミド、ポリイミド等の高分子フィルムで２
はＡｅ２０３、Ｅｕ２Ｏ３，５ｉ０２、ＴｉＯ２、Ｚｎ
Ｏ、ポリエステル球等の微粒子を配した微粒子塗布層で
、この層はあらかじめ高分子フィルムと複合化されたも
のであってもよい。３は、Ｇｏ−Ｏｒ垂直磁化膜で、Ｎ
ｂ、Ｒｕ、Ｒｅ、Ｔａ、Ｒｈ等を添加したものも包含し
ている。垂直磁化膜形成は公知のいずれの方法でもよい
。４は酸素注入層で、３０Ａから１００λの範囲で、酸
素イオン又は中性酸素原子いずれかを注入して得られる
層で、エネルギーは２６〜１００（ｋｅｙ）で注入の粒
子密度は１０７〜１ｏ ＋ ＋ 外各□ｍ ）２の範囲
で最適化するものとする。
５は硬質炭素薄膜で、グラファイトをターゲットにして
スパッタリング法で形成するか、炭化水素系気体のプラ
ズマ加速による方法で形成すればよ５ヘ−ノ く、最適膜厚は５０λから１６０＾の範囲である。
スパッタリング法で形成するか、炭化水素系気体のプラ
ズマ加速による方法で形成すればよ５ヘ−ノ く、最適膜厚は５０λから１６０＾の範囲である。
６は脂肪酸、脂肪酸アミド、パーフルオロポリエーテル
、パーフルオロアルキルカルボン酸等の潤滑剤層である
。以下更に具体的に本発明の一実施例について比較例と
の対比で詳しく説明する。厚み１２μｍのポリエチレン
テレフタレートフィルム上に直径１４０＾のＡｅ２０３
微粒子を６茗ｔｍ）２配して、その上にＣｏ１ｒ−Ｎｂ
（Ｃｏ：Ｃｒ：Ｎｂ＝７９：１５：６．原子％比）をタ
ーゲットにし、Ａｒ分圧０．０１ （Ｔｏｒｒ）で１３
．５６（ＭＨ２）１、ｅ （ＫＷ）の高周波グロー放電
を用いスパッタリングすることで０．１μｍのＣｏ１ｒ
−Ｎｂ垂直磁化膜を形成し、表面に、５０（ｋｅｖ）の
酸素原子を１０９ケ／Ｃｆｉｍ）２の密度で注入してか
ら、グラフマイ１−をターゲットにして、Ａｒ分圧０．
０１ （Ｔｏｒｒ）、Ｈ２分圧０．０４（Ｔｏｒｒ）で
１３．５ ｅ （ＭＨｚ ） １．４（ＫＷ）の高周波
グロー放電によるスパッタリングで硬質炭素薄膜を８０
＾形成し、その上にパーフルオロパルミチン酸を４０＾
真空蒸着し、８ミリ幅の磁気テープとした。一方、比較
例は、酸素性６ ・＼−７ 人を省略したのと、硬質炭素薄膜を２０ｏＸとした以外
は実施例と同じ構成のものを準備した。両者を改造した
８ミリビデオにより、ギャップ長０．１μｍのセンダス
ト合金ヌパソタ膜とフェライトの複合型のリングヘッド
により、ビット長０．２μｍの記録再生を行ってガを比
較した。実施例の方がガは４．６（ｄＢ）良好であった
。尚スチル状態での時間当りの出力低下率は実施例も比
較例も１．２〜１．４ （ｄＢ／ｈ）で耐久性は十分で
あった。
、パーフルオロアルキルカルボン酸等の潤滑剤層である
。以下更に具体的に本発明の一実施例について比較例と
の対比で詳しく説明する。厚み１２μｍのポリエチレン
テレフタレートフィルム上に直径１４０＾のＡｅ２０３
微粒子を６茗ｔｍ）２配して、その上にＣｏ１ｒ−Ｎｂ
（Ｃｏ：Ｃｒ：Ｎｂ＝７９：１５：６．原子％比）をタ
ーゲットにし、Ａｒ分圧０．０１ （Ｔｏｒｒ）で１３
．５６（ＭＨ２）１、ｅ （ＫＷ）の高周波グロー放電
を用いスパッタリングすることで０．１μｍのＣｏ１ｒ
−Ｎｂ垂直磁化膜を形成し、表面に、５０（ｋｅｖ）の
酸素原子を１０９ケ／Ｃｆｉｍ）２の密度で注入してか
ら、グラフマイ１−をターゲットにして、Ａｒ分圧０．
０１ （Ｔｏｒｒ）、Ｈ２分圧０．０４（Ｔｏｒｒ）で
１３．５ ｅ （ＭＨｚ ） １．４（ＫＷ）の高周波
グロー放電によるスパッタリングで硬質炭素薄膜を８０
＾形成し、その上にパーフルオロパルミチン酸を４０＾
真空蒸着し、８ミリ幅の磁気テープとした。一方、比較
例は、酸素性６ ・＼−７ 人を省略したのと、硬質炭素薄膜を２０ｏＸとした以外
は実施例と同じ構成のものを準備した。両者を改造した
８ミリビデオにより、ギャップ長０．１μｍのセンダス
ト合金ヌパソタ膜とフェライトの複合型のリングヘッド
により、ビット長０．２μｍの記録再生を行ってガを比
較した。実施例の方がガは４．６（ｄＢ）良好であった
。尚スチル状態での時間当りの出力低下率は実施例も比
較例も１．２〜１．４ （ｄＢ／ｈ）で耐久性は十分で
あった。
発明の効果
以上のように本発明によれば、短波長での的の優れた磁
気記録媒体が得られるといったすぐれた効果がある。
気記録媒体が得られるといったすぐれた効果がある。
図は、本発明の一実施例に係る磁気記録媒体の拡大断面
図である。 １・・・・高分子フィルム、２・・・・・・微粒子塗布
層、３・・・・・・Ｃｏ−Ｃｒ−Ｎｂ垂直磁化膜、４・
・・・・酸素注入層、５・・・・硬質炭素薄膜、６・・
・・潤滑剤層。
図である。 １・・・・高分子フィルム、２・・・・・・微粒子塗布
層、３・・・・・・Ｃｏ−Ｃｒ−Ｎｂ垂直磁化膜、４・
・・・・酸素注入層、５・・・・硬質炭素薄膜、６・・
・・潤滑剤層。
Claims (1)
- Ｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜の表層部に酸素注入層を形成した
上に硬質炭素薄膜を配したことを特徴とする磁気記録媒
体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62286078A JPH01128224A (ja) | 1987-11-12 | 1987-11-12 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62286078A JPH01128224A (ja) | 1987-11-12 | 1987-11-12 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01128224A true JPH01128224A (ja) | 1989-05-19 |
Family
ID=17699658
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62286078A Pending JPH01128224A (ja) | 1987-11-12 | 1987-11-12 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01128224A (ja) |
-
1987
- 1987-11-12 JP JP62286078A patent/JPH01128224A/ja active Pending
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