JPH01128225A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH01128225A JPH01128225A JP62286079A JP28607987A JPH01128225A JP H01128225 A JPH01128225 A JP H01128225A JP 62286079 A JP62286079 A JP 62286079A JP 28607987 A JP28607987 A JP 28607987A JP H01128225 A JPH01128225 A JP H01128225A
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- JP
- Japan
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- film
- magnetic recording
- hard carbon
- thin film
- layer
- Prior art date
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- Pending
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は高密度磁気記録再生に適する強磁性金属薄膜を
磁気記録層とする磁気記録媒体に関する。
磁気記録層とする磁気記録媒体に関する。
従来の技術
従来よシ、広く磁気記録層として用いられてきているい
わゆる塗布型磁性層は、磁性を担う微粒子を酸化鉄から
純鉄に切シ換えることで大幅な出力増を実現し、現在０
．７μｍ近い記録波長を実用化させている。しかし今後
−層短波長化が進む磁気記録に於て、必要なＣ／Ｎが得
にくくなってきテオリ、ソレニ代ッテ、Ｃ０−ＣｒやＧ
ｏ −Ｎｉ 、 Ｃ。
わゆる塗布型磁性層は、磁性を担う微粒子を酸化鉄から
純鉄に切シ換えることで大幅な出力増を実現し、現在０
．７μｍ近い記録波長を実用化させている。しかし今後
−層短波長化が進む磁気記録に於て、必要なＣ／Ｎが得
にくくなってきテオリ、ソレニ代ッテ、Ｃ０−ＣｒやＧ
ｏ −Ｎｉ 、 Ｃ。
−Ｎｉ−０等の強磁性金属薄膜を磁気記録層とする２
へ−ン 磁気記録媒体の実用化が期待されている〔アイイーイー
イー トランザクションズ オン マグネティクス（Ｉ
Ｒ：ＥＥ ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ ＯＮＭＡＧ
ＮＥＴ［５）Ｖｏｌ、ＭＡＧ−２１，Ｎｏ−３，Ｐ、Ｐ
。
へ−ン 磁気記録媒体の実用化が期待されている〔アイイーイー
イー トランザクションズ オン マグネティクス（Ｉ
Ｒ：ＥＥ ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ ＯＮＭＡＧ
ＮＥＴ［５）Ｖｏｌ、ＭＡＧ−２１，Ｎｏ−３，Ｐ、Ｐ
。
１２１７〜１２２０（１９８５）参照〕。
かかる構成の磁気記録媒体の実用化には、特に合金系の
磁気ヘッドとの高速摺動に於ける耐久性の確保が不可欠
で、その点からの改善提案が数多くなされている〔例え
ば、特開昭５３−８８７０４号公報、同５９−１２１６
３１号公報、同５９−１７１０２６号公報、同６２−１
９７９１７号公報等参照〕。中でも磁気記録層に微細な
凹凸を形成する方法は、耐久性改善効果が大きく注目さ
れている〔アイイーイーイー トランザクションズオン
マグネティクス（ＩＥＥＥ ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮ
ＳＯＮ ＭＡＧＮＥＴＩＣＳ）Ｖｏ、ｄ、ＭＡＧ−２１
、Ｎｏ、５゜Ｐ、Ｐ、１５２４〜１５２６（１９８５）
参照〕。
磁気ヘッドとの高速摺動に於ける耐久性の確保が不可欠
で、その点からの改善提案が数多くなされている〔例え
ば、特開昭５３−８８７０４号公報、同５９−１２１６
３１号公報、同５９−１７１０２６号公報、同６２−１
９７９１７号公報等参照〕。中でも磁気記録層に微細な
凹凸を形成する方法は、耐久性改善効果が大きく注目さ
れている〔アイイーイーイー トランザクションズオン
マグネティクス（ＩＥＥＥ ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮ
ＳＯＮ ＭＡＧＮＥＴＩＣＳ）Ｖｏ、ｄ、ＭＡＧ−２１
、Ｎｏ、５゜Ｐ、Ｐ、１５２４〜１５２６（１９８５）
参照〕。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、高分子フィルム上にｋ１２０３゜ＣａＣ
ｏ ３．ポリエステル球等の微粒子全塗布固定しだ。微
粒子塗布層を配した上に電子ビーム蒸着。
ｏ ３．ポリエステル球等の微粒子全塗布固定しだ。微
粒子塗布層を配した上に電子ビーム蒸着。
スパッタリング、イオンブレーティング等の方法で、強
磁性金属薄膜を配し、従来知られる保護潤滑層を配した
磁気記録媒体は、記録波長が０．５７ｚｍ程度以下にな
るとＣ／Ｈの低下が著しく改善が望壕れて−た。
磁性金属薄膜を配し、従来知られる保護潤滑層を配した
磁気記録媒体は、記録波長が０．５７ｚｍ程度以下にな
るとＣ／Ｈの低下が著しく改善が望壕れて−た。
本発明は上記した事情に鑑みなされたもので、短波長で
もＣ／Ｎの良好な磁気記録媒体を提供するものである。
もＣ／Ｎの良好な磁気記録媒体を提供するものである。
問題点を解決するだめの手段
上記した問題点を解決するため本発明の磁気記録媒体は
、強磁性金属薄膜上に硬質炭素薄膜を配し、部分的にＷ
又はＭｏ注入層を配したものである。
、強磁性金属薄膜上に硬質炭素薄膜を配し、部分的にＷ
又はＭｏ注入層を配したものである。
作用
本発明の磁気記録媒体は、上記した構成により、硬質炭
素薄膜の硬さが部分的に異なることで、合金系の複合ヘ
ッドに対する研磨性かかん和されることで、短波長域で
問題となるスペーシング損失を小さくでき、結果的にＣ
／Ｎ を改善できることになる。
素薄膜の硬さが部分的に異なることで、合金系の複合ヘ
ッドに対する研磨性かかん和されることで、短波長域で
問題となるスペーシング損失を小さくでき、結果的にＣ
／Ｎ を改善できることになる。
実施例
以下、図面を参照し々から本発明の一実施例の磁気記録
媒体について詳しく説明する。図は本発明の磁気記録媒
体の拡大断面図である。図で１は、ポリエチレンテレフ
タレート、ポリエチレンナフタレート、ポリフェニレン
サルファイド、ポリエーテルサルフォン、ポリイミド等
の高分子フィルムで、２はＡｇ２Ｏ３、ＢａＣＯ３，Ｃ
ａＯ、Ｅｕ２Ｏ３、５ｉ０２ 。
媒体について詳しく説明する。図は本発明の磁気記録媒
体の拡大断面図である。図で１は、ポリエチレンテレフ
タレート、ポリエチレンナフタレート、ポリフェニレン
サルファイド、ポリエーテルサルフォン、ポリイミド等
の高分子フィルムで、２はＡｇ２Ｏ３、ＢａＣＯ３，Ｃ
ａＯ、Ｅｕ２Ｏ３、５ｉ０２ 。
ＴｉＯ２、ＺｎＯ、ポリエステル球等の微粒子を塗布固
定した微粒子塗布層で３はＣｏ−Ｎｉ 、 Ｇｏ−Ｆｅ
。
定した微粒子塗布層で３はＣｏ−Ｎｉ 、 Ｇｏ−Ｆｅ
。
Ｃｏ−０、Ｇｏ−Ｏｒ 、 Ｇｏ −Ｂ 、 Ｇｏ−Ｂ
ｉ 、 Ｃｏ −Ｖ 、 Ｇ。
ｉ 、 Ｃｏ −Ｖ 、 Ｇ。
−Ｔａ 、 Ｇｏ −Ｗ 、 Ｇｏ−Ｎｉ −０、Ｃｏ
−Ｃｒ −Ｒｕ 、 Ｇｏ −Ｃｒ−Ｎｂ 、 Ｇｏ−
Ｏｒ−Ｎｂ−Ｔｉ等の強磁性金属薄膜で、電子ビーム蒸
着法、スパッタリング法等により形成されるもので、４
は硬質炭素薄膜で、グラフィイトをターゲットにしてス
パッタリング法で形成するか、炭化水素系気体の放電分
解を利用して形成する等により得られるもので５はＷ又
はＭｏイオンを注入し、硬度を部分的に調整しだイ５１
＼− オン注入部で面積比率で１０チから３３％までの範囲に
注入するのが好ましい。６は脂肪酸、脂肪酸エステル、
パーフルオロアルキルカルボン酸。
−Ｃｒ −Ｒｕ 、 Ｇｏ −Ｃｒ−Ｎｂ 、 Ｇｏ−
Ｏｒ−Ｎｂ−Ｔｉ等の強磁性金属薄膜で、電子ビーム蒸
着法、スパッタリング法等により形成されるもので、４
は硬質炭素薄膜で、グラフィイトをターゲットにしてス
パッタリング法で形成するか、炭化水素系気体の放電分
解を利用して形成する等により得られるもので５はＷ又
はＭｏイオンを注入し、硬度を部分的に調整しだイ５１
＼− オン注入部で面積比率で１０チから３３％までの範囲に
注入するのが好ましい。６は脂肪酸、脂肪酸エステル、
パーフルオロアルキルカルボン酸。
パーフルオロポリエーテル等の潤滑剤層である。
上記構成によシ、硬質炭素薄膜のみで構成した従来技術
と比べて、膜厚が２０〜３５ヴ薄くできるのと、研磨性
の改善効果で、実効的なスペーシングを改良できる度合
は短波長域程顕著である。
と比べて、膜厚が２０〜３５ヴ薄くできるのと、研磨性
の改善効果で、実効的なスペーシングを改良できる度合
は短波長域程顕著である。
以下、更に具体的に実施例について比較例との対比で説
明する。厚み１２μｍのポリエチレンテレフタレートフ
ィルム上に直径１００人のＥｕ２Ｏ３微粒子を１３ケ／
（μＸＩ＋）２配し、その上に直径１ｍの円筒キャンに
沿わせて、５ Ｘ １０ ’（Ｔｏｒｒ ）の酸素中で
最小入射角５０度でＣｏ−Ｎｉ （Ｃｏ ： ８０ｗｔ
％）を電子ビーム蒸着し、０ 、１８７１ ｍのＧ □
−Ｎ ｉ−０膜を形成し、更にグラファイトをターゲ
ットにし、Ａｒ十Ｈ２＝ｏ、０ｓ（Ｔｏｒｒ）、Ａｒ
： Ｈ２＝ １： ４゜１３．５６（Ｍｌ−ｉ□ｌ
１．４（ＫＷ）のグロー放電により、ダイアモンド状硬
質炭素薄膜を８０人形成し、６０ （ｋｅｖ ）のＷイ
オンを、８０μＡ／Ｃｄ で注入し、６へ−７ スポット径１２０μｍのビームで約４００μｍの円形部
分をＷ注入層とし、その処理面積比率を全体の２２チと
した。その上に真空蒸着法でパーフルオロステアリン酸
を４０人蒸着し、８ミリ幅の磁気テープとした。一方比
較例人は、硬質炭素薄膜８０人、パーフルオロステアリ
ンｅ４０Ａ、比較例Ｂは硬質炭素薄膜１５０人、パーフ
ルオロステアリン酸８０八を配したもので、夫々８ミリ
幅の磁気テープとして準備した。
明する。厚み１２μｍのポリエチレンテレフタレートフ
ィルム上に直径１００人のＥｕ２Ｏ３微粒子を１３ケ／
（μＸＩ＋）２配し、その上に直径１ｍの円筒キャンに
沿わせて、５ Ｘ １０ ’（Ｔｏｒｒ ）の酸素中で
最小入射角５０度でＣｏ−Ｎｉ （Ｃｏ ： ８０ｗｔ
％）を電子ビーム蒸着し、０ 、１８７１ ｍのＧ □
−Ｎ ｉ−０膜を形成し、更にグラファイトをターゲ
ットにし、Ａｒ十Ｈ２＝ｏ、０ｓ（Ｔｏｒｒ）、Ａｒ
： Ｈ２＝ １： ４゜１３．５６（Ｍｌ−ｉ□ｌ
１．４（ＫＷ）のグロー放電により、ダイアモンド状硬
質炭素薄膜を８０人形成し、６０ （ｋｅｖ ）のＷイ
オンを、８０μＡ／Ｃｄ で注入し、６へ−７ スポット径１２０μｍのビームで約４００μｍの円形部
分をＷ注入層とし、その処理面積比率を全体の２２チと
した。その上に真空蒸着法でパーフルオロステアリン酸
を４０人蒸着し、８ミリ幅の磁気テープとした。一方比
較例人は、硬質炭素薄膜８０人、パーフルオロステアリ
ンｅ４０Ａ、比較例Ｂは硬質炭素薄膜１５０人、パーフ
ルオロステアリン酸８０八を配したもので、夫々８ミリ
幅の磁気テープとして準備した。
夫々のテープを８ミリビデオを改造し、Ｃ／Ｎと耐久性
を比較した。ギャップ長０．２２μｍ のアモルファス
合金スパッタ積層ヘッドにより、キャリア周波数を７．
５ （Ｍ）ｌＺ） にし、帯域１０（ＭＨｚ ）のＣ
／Ｎ を評価した。実施例と比較個人は比較例Ｂに比べ
て２．９（ｄＢ）良好なＣ／Ｎを示しだ。初期の動摩擦
係数は実施例は０，２２ 、比較個人は０．２４ 、比
較例Ｂは０．２３ テ４０００１０％ＲＨで１６０回走
行後の値は夫々０，２６．０．４９゜０．２８であった
。スチル特性は、初期出力から２（ｄＢ ）出力が低下
するまでの時間で示すと、実施例は５５分、比較例人は
１８分、比較例Ｂは５２分で、ヘッド相性のよさが実施
例の優れた特性を示しているものと考えられる。上記し
た結果より、実施例は従来技術の保護膜よシ薄くでき、
Ｃ／Ｎを改善できることがわかる。
を比較した。ギャップ長０．２２μｍ のアモルファス
合金スパッタ積層ヘッドにより、キャリア周波数を７．
５ （Ｍ）ｌＺ） にし、帯域１０（ＭＨｚ ）のＣ
／Ｎ を評価した。実施例と比較個人は比較例Ｂに比べ
て２．９（ｄＢ）良好なＣ／Ｎを示しだ。初期の動摩擦
係数は実施例は０，２２ 、比較個人は０．２４ 、比
較例Ｂは０．２３ テ４０００１０％ＲＨで１６０回走
行後の値は夫々０，２６．０．４９゜０．２８であった
。スチル特性は、初期出力から２（ｄＢ ）出力が低下
するまでの時間で示すと、実施例は５５分、比較例人は
１８分、比較例Ｂは５２分で、ヘッド相性のよさが実施
例の優れた特性を示しているものと考えられる。上記し
た結果より、実施例は従来技術の保護膜よシ薄くでき、
Ｃ／Ｎを改善できることがわかる。
他にＧｏ −Ｃｒ 垂直磁化膜であっても、硬質炭素
薄膜をやや厚く例えば１００人程度でその保護効果は十
分であることを確認している。
薄膜をやや厚く例えば１００人程度でその保護効果は十
分であることを確認している。
発明の効果
以上のように本発明によれば、短波長域でのＣ／Ｎ
の良好な磁気記録媒体が得られるといったすぐれた効果
がある。
の良好な磁気記録媒体が得られるといったすぐれた効果
がある。
図は本発明の磁気記録媒体の拡大断面図である。
１・・・・高分子フィルム、２・・・・微粒子塗布層、
３・・・・強磁性金属薄膜、４・・・・硬質炭素薄膜、
５・・・・Ｗイオン注入層。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名ｆ−
−−昆イ
３・・・・強磁性金属薄膜、４・・・・硬質炭素薄膜、
５・・・・Ｗイオン注入層。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名ｆ−
−−昆イ
【＋フィノ弘
２− 悄欠救工拳手層
３−孜屓杜藤簿膜
４−扉】Ａ漿簿順
、Ｊ−Ｗ （λソデＬ）Ｊ
Claims (1)
- 強磁性金属薄膜上に硬質炭素薄膜を配し、前記硬質炭素
薄膜に部分的にＷ又はＭｏ注入層を配したことを特徴と
する磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62286079A JPH01128225A (ja) | 1987-11-12 | 1987-11-12 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62286079A JPH01128225A (ja) | 1987-11-12 | 1987-11-12 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01128225A true JPH01128225A (ja) | 1989-05-19 |
Family
ID=17699671
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62286079A Pending JPH01128225A (ja) | 1987-11-12 | 1987-11-12 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01128225A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0325723A (ja) * | 1989-06-22 | 1991-02-04 | Hitachi Ltd | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
-
1987
- 1987-11-12 JP JP62286079A patent/JPH01128225A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0325723A (ja) * | 1989-06-22 | 1991-02-04 | Hitachi Ltd | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
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