JPH01129835U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01129835U JPH01129835U JP1988024533U JP2453388U JPH01129835U JP H01129835 U JPH01129835 U JP H01129835U JP 1988024533 U JP1988024533 U JP 1988024533U JP 2453388 U JP2453388 U JP 2453388U JP H01129835 U JPH01129835 U JP H01129835U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- upper edge
- radius
- wafer
- utility
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図は本考案によるウエーハ容器の一例を示
す外観図、第２図、第３図は第１図に示すウエー
ハ容器の機能を説明するための側面図及び平面図
、第４図は本考案のウエーハ容器の使用状態を説
明するための図、第５図は本考案のウエーハ容器
の機能を説明する図である。第６図は従来のウエ
ーハ容器を示す図である。 １……ウエーハ容器、２……スプリング、３…
…ウエーハ、４……純水、５……コンベヤーシス
テム、６……ガイド、７……プツシヤー。
す外観図、第２図、第３図は第１図に示すウエー
ハ容器の機能を説明するための側面図及び平面図
、第４図は本考案のウエーハ容器の使用状態を説
明するための図、第５図は本考案のウエーハ容器
の機能を説明する図である。第６図は従来のウエ
ーハ容器を示す図である。 １……ウエーハ容器、２……スプリング、３…
…ウエーハ、４……純水、５……コンベヤーシス
テム、６……ガイド、７……プツシヤー。
Claims (1)
- 容器上縁に、ウエーハ半径よりも大きな半径を
有する円弧状のスプリングを、容器上縁面に対し
て傾斜させて具備してなることを特徴とする半導
体ウエーハ用容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988024533U JPH01129835U (ja) | 1988-02-25 | 1988-02-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988024533U JPH01129835U (ja) | 1988-02-25 | 1988-02-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01129835U true JPH01129835U (ja) | 1989-09-04 |
Family
ID=31244461
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988024533U Pending JPH01129835U (ja) | 1988-02-25 | 1988-02-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01129835U (ja) |
-
1988
- 1988-02-25 JP JP1988024533U patent/JPH01129835U/ja active Pending