JPH01137552A - 質量分析装置用イオン源 - Google Patents

質量分析装置用イオン源

Info

Publication number
JPH01137552A
JPH01137552A JP62296490A JP29649087A JPH01137552A JP H01137552 A JPH01137552 A JP H01137552A JP 62296490 A JP62296490 A JP 62296490A JP 29649087 A JP29649087 A JP 29649087A JP H01137552 A JPH01137552 A JP H01137552A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
porous member
sample liquid
opening
spacer
cap
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP62296490A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0754691B2 (ja
Inventor
Kiichiro Otsuka
大塚 紀一郎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jeol Ltd
Original Assignee
Jeol Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jeol Ltd filed Critical Jeol Ltd
Priority to JP62296490A priority Critical patent/JPH0754691B2/ja
Publication of JPH01137552A publication Critical patent/JPH01137552A/ja
Publication of JPH0754691B2 publication Critical patent/JPH0754691B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、−次ビームを照射し、その衝撃でイオン化す
る方式の質量分析装置用イオン源に関し、特に液体クロ
マミルグラフからの試料液をイオン化室内′に直接導入
してイオン化する場合に使用して好適なイオン源に関す
る。
[従来技術] 液体クロマトグラフで分離した試料液を質量分析装置に
直接導入する方式のイオン源として、第3図に示づ一構
造のものが実開昭61−116065号に記載されてい
る。
第3図において、1は質量分析装置の質Φ分析部、2は
イオン源、3はイオン化室、4はイオン化室内で生成さ
れたイオンの加速と集束を行なう電極群、5は一次粒子
ビーム発生器、6は液体クロマトグラフ、7は液体クロ
マトグラフ6で分離された試料液をイオン化室3内へ導
入するだの導入管である。この導入管としてはフユーズ
ドシリ力管が用いられる。また、イオン化室内に挿入さ
れた導入管7の先端部には、拡大断面図を第4図に示す
ようにステンレス管8が被せられ、さらに、その外側に
ガラス管(ステンレス等の金属でも良い)9が被せられ
ている。そして、導入管の開口部を塞ぐように円板状の
多孔性部材10が取付けられている。この多孔性部材と
しては、例えばステンレスの粉末を焼結して作成したフ
ィルタ(フリット)が使用される。なお、前記ステンレ
ス管8にはりベラ電源11から適宜な電圧が印加される
かかる構成において、液体クロマトグラフ6で分離され
た試料液は導入管7を介して順次イオン化¥3内に導入
され、導入管先端に取付けられている多孔性部材10の
中を通って表面へ滲出する。
表面に滲出した試料液は、粒子ビーム発生器5からの一
次粒子ビームBの衝撃を受けてイオン化され、生成され
たイオンIは質1分析部1へ導入され質量分析される。
このような装置では、多孔性部材に送られる試料液が順
次完全にイオン化されて多孔性部材表面に残らないよう
な送液速度で試料液を多孔性部材へ供給する必要がある
が、上記構成の装置ではこの適正な送液量が現在の技術
レベルでは正確な制御が困難なほどわずかであるため、
適正な送液速度を越えて多量の試料液が多孔性部材へ送
られてしまうことは避けられない。そうすると、先に送
られた試料成分がイオン化されずに残り、後に送られた
試料成分と一緒にイオン化される所謂メモリ現象が発生
してしまい、分析に悪影響が出てしまう。
そこで、かかる問題を解決するために、第5図に示すよ
うなイオン源が最近提案されている。
このイオン源においては、多孔性部材10の表面におけ
る試料液の滲出領域を規定する開口12を有する包囲体
(キャップ)13をこの多孔性部材に密接して被せ、こ
の開口部に滲出した試料液を一次ビーム照射によりイオ
ン化するようにしている。14は導入管7をキャップ1
3内に固定する位置決め部材である。
このようにすれば、多孔性部材に送られた試料液は開口
部とそれ以外の部分とに分れて滲出し、開口部以外の面
から滲出する試料液はキャップ内部に取出される。その
ため、多量の試料液を多孔性部材に送っても−次ご一ム
Bが照射される開口部の領域に滲出する試料口を抑える
ことができ、メモリ現象の発生を防止することができる
[発明が解決しようとする問題点] ところが、このような提案方式を採用してもメモリ現象
を完全に防止することができなかった。
これはキャップ13の開口12縁部分と多孔性部材10
の一次ビーム照射面とが密接していることに原因がある
ことを究明した。つまり開口部の中央部に滲出した試料
液は表面を伝わって放射状に周辺へ広がり、−旦開口の
周縁部分に溜まった後、再び多孔性部材内部に流入して
キャップ内部に排出されることになるため、前記開口の
周縁部分Aに溜まった試料液に一次ビームが照射され、
それによってメモリ現象が発生するわけである。
そこで、本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり
、簡単な構成によりキャップの開口周縁部分に試料液が
溜まるのを防止することのできるイオン源を提供するこ
とを目的とするものである。
[問題点を解決するための手段] 上記目的を達成するため、本発明のイオン源は外部から
イオン化室内に試料液を導入するための導入管と、該導
入管の先端に取付けられた多孔性部材と、該多孔性部材
を通りその表面に滲出した試料液に照射する一次ビーム
を発生する手段と、前記多孔性部材に被せられ、かつ多
孔性部材の一次ビーム照射面上における試料液の滲出領
域を規定する開口を有する包囲体と、該包囲体の開口縁
部分と前記多孔性部材表面との間に介在され、かつ首記
開口の大きさよりも大きな内径を有するリング状のスペ
ーサとを備え、前記多孔性部材表面に滲出した試料液を
前記キャップの内部に逃すための切欠部を前記スペーサ
あるいは多孔性部材に形成したことを特徴とするもので
ある。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳説する。
[実施例] 第1図は本発明の一実施例の構成を示す部分断面図であ
り、第5図と同一符号は同一構成要素を示すものである
第1図において、15はキャップ13の開口12縁部分
と多孔性部010の一次ビームB@射面とを密接させな
いで隙間Gを形成するためのスペーサで、このスペーサ
はキャップに固定されている。また、このスペーサは第
2図に示すように前記開口12の大きさよりも大きな内
径を有するリング状に形成されており、さらに、このス
ペーサの内側には4個の切欠部16a、6b、16c。
16dが設けである。この各切欠部はその底部が多孔性
部材10の外周よりもはみだすように形成されている。
尚、キャップ13は多孔性部材10を交換し易いように
部材14に螺合されている。
このようにすれば、多孔性部材10の中央部から滲出し
て周辺部へ拡散した試料液はスペーサ15の各切欠部1
6a乃至16dを通ってキャップ13内側に排出される
。そのため、試料液が従来のように開口12の周縁部分
に溜まることがなくなるので、メモリ現象を完全に防止
することができる。ここで、スペーサ15の内側C部分
に試料液が溜まるが、この部分は開口12の縁部分より
奥の方に位首するため、−次ビームBはキャップ13に
より遮られて照射されない。
尚、前述の説明は本発明の一例であり、実施にあたって
は幾多の変形が考えられる。例えばスペーサに形成する
切欠部は4個に限定されることなく、1個あるいは2個
以上形成しても良い。
また、上記実施例では多孔性部材表面に滲出した試料液
をスペーサに形成した切欠部を介してキャップの内側に
逃すようにしたが、これに限定されることなく、例えば
第6図に示すように切欠部17a、17b、17c、1
7dを多孔性部材10に形成しても同様な効果を得るこ
とができる。
この場合、切欠部の底部をスペーサの内径よりも内側に
はみだすように形成することは言うまでもない。
[効果] 以上詳述したように本発明によれば、メモリ現象を完全
に防止することのできる質量分析装置用イオン源が実現
される。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の構成を示す部分断面図、第
2図及び第6図は本発明に使用されるスペーサを示す図
、第3図乃至第5図は従来例を説明するための図である
。 1:質量分析部    2:イオン源 3:イオン化室 5;−次粒子ビーム発生器 6:液体クロマトグラフ 7:導入管      10:多孔性部材12二開口 
     13:キャップ15ニスペーサ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 外部からイオン化室内に試料液を導入するための導入管
    と、該導入管の先端に取付けられた多孔性部材と、該多
    孔性部材を通りその表面に滲出した試料液に照射する一
    次ビームを発生する手段と、前記多孔性部材に被せられ
    、かつ多孔性部材の一次ビーム照射面上における試料液
    の滲出領域を規定する開口を有する包囲体と、該包囲体
    の開口縁部分と前記多孔性部材表面との間に介在され、
    かつ前記開口の大きさよりも大きな内径を有するリング
    状のスペーサとを備え、前記多孔性部材表面に滲出した
    試料液を前記キャップの内部に逃すための切欠部を前記
    スペーサあるいは多孔性部材に形成したことを特徴とす
    る質量分析装置用イオン源。
JP62296490A 1987-11-25 1987-11-25 質量分析装置用イオン源 Expired - Fee Related JPH0754691B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62296490A JPH0754691B2 (ja) 1987-11-25 1987-11-25 質量分析装置用イオン源

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62296490A JPH0754691B2 (ja) 1987-11-25 1987-11-25 質量分析装置用イオン源

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH01137552A true JPH01137552A (ja) 1989-05-30
JPH0754691B2 JPH0754691B2 (ja) 1995-06-07

Family

ID=17834229

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62296490A Expired - Fee Related JPH0754691B2 (ja) 1987-11-25 1987-11-25 質量分析装置用イオン源

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0754691B2 (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0754691B2 (ja) 1995-06-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8288718B2 (en) Ion mobility spectrometer and detecting method using the same
DE112012005182B4 (de) Massenspektrometervakuumschnittstellen-Verfahren und -Vorrichtung
DE112012005173T5 (de) Massenspektrometervakuumschnittstellen-Verfahren und -Vorrichtung
US3783280A (en) Method and apparatus for charged particle spectroscopy
CN106663582A (zh) 用于串列式加速器的偏置电极
JPS5730253A (en) Secondary electron detector for scan type electron microscope
GB853916A (en) Method and apparatus for trapping ions in a magnetic field
GB1440727A (en) Double-focussing mass spectrometers
JPH01137552A (ja) 質量分析装置用イオン源
US4123655A (en) Arrangement for preventing the alteration of the primary beam by unwanted particles, such as sputter products, charged ions and electrons and their secondary processes
JPS6020442A (ja) 質量分析計用熱陰極電子衝撃型イオン源
JPH09147788A (ja) 電荷変換装置
JPH0432148A (ja) 質量分析装置用イオン源
US4205232A (en) Arrangement for preventing the alteration of the primary beam by unwanted particles, such as sputter products, charged ions and electrons and their secondary processes
JPH0422056A (ja) 質量分析装置用イオン源
JPH0626108B2 (ja) 質量分析装置用イオン源
GB1225272A (ja)
JPS63168958A (ja) 質量分析装置用イオン源
JPS6084758A (ja) 熱陰極電子衝撃型イオン源
JPH09293480A (ja) イオン照射装置
GB1242031A (en) An improved multipole mass filter
JPH06243820A (ja) 質量分析計
JPH01134843A (ja) 質量分析装置用イオン源
JPH09180665A (ja) 荷電粒子装置
JPH07169598A (ja) イオン注入装置

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees