JPH01140733A - 接着剤塗布装置 - Google Patents
接着剤塗布装置Info
- Publication number
- JPH01140733A JPH01140733A JP62299588A JP29958887A JPH01140733A JP H01140733 A JPH01140733 A JP H01140733A JP 62299588 A JP62299588 A JP 62299588A JP 29958887 A JP29958887 A JP 29958887A JP H01140733 A JPH01140733 A JP H01140733A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adhesive
- roller
- coated
- prescribed
- spatula
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/01—Manufacture or treatment
- H10W72/011—Apparatus therefor
- H10W72/0113—Apparatus for manufacturing die-attach connectors
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、例えばリードフレームへの半導体素子のボン
ディング等に際して用いられる接着剤塗布装置に関する
ものである。
ディング等に際して用いられる接着剤塗布装置に関する
ものである。
(従来の技術)
従来、このような分野の技術としては、第2図〜第4図
に示すようなものがあった。以下、その構成を図を用い
て説明する。
に示すようなものがあった。以下、その構成を図を用い
て説明する。
第2図は従来の接着剤塗布装置の構成例を示す斜視図、
第3図は従来の他の接着剤塗布装置の斜視図、及び第4
図は第3図の断面図である。これらの接着剤塗布装置は
、いずれも半導体組立工程において、半導体素子を接着
剤によりリードフレームに固着するために用いられてい
るものである。
第3図は従来の他の接着剤塗布装置の斜視図、及び第4
図は第3図の断面図である。これらの接着剤塗布装置は
、いずれも半導体組立工程において、半導体素子を接着
剤によりリードフレームに固着するために用いられてい
るものである。
第2図において、この接着剤塗布装置はスタンプ方式と
称されるもので、供給皿1を有している。
称されるもので、供給皿1を有している。
この供給皿1には、回転軸2によって回転するへら3が
取付けられており、容器4の吐出口5から供給皿1へ吐
出された接着剤6は、へら3によって均一に薄く伸ばさ
れる。
取付けられており、容器4の吐出口5から供給皿1へ吐
出された接着剤6は、へら3によって均一に薄く伸ばさ
れる。
供給皿1上に薄く伸ばされた接着剤6は、図示しない駆
動機構に連動して前後及び上下に移動するスタンプ部7
のスタンプ面に付着し、リードフレーム8のアイランド
9に供給される。リードフレーム8は案内枠10内を搬
送され、その動きは前記スタンプ部7の動きに同期して
いる。
動機構に連動して前後及び上下に移動するスタンプ部7
のスタンプ面に付着し、リードフレーム8のアイランド
9に供給される。リードフレーム8は案内枠10内を搬
送され、その動きは前記スタンプ部7の動きに同期して
いる。
第3図及び第4図において、この接着剤塗布装置は印刷
方式と呼ばれているもので、接着剤11を収容する容器
12を有している。容器12内にはその内壁に沿って回
転するへら13が設けられており、へら13を回転させ
る回転軸14は図示しない駆動装置に接続されている。
方式と呼ばれているもので、接着剤11を収容する容器
12を有している。容器12内にはその内壁に沿って回
転するへら13が設けられており、へら13を回転させ
る回転軸14は図示しない駆動装置に接続されている。
また、容器12の下部には矩形断面を有する吐出口15
が形成されている。
が形成されている。
このように構成された接着剤塗布装置において、容器1
2内の接着剤11は回転するへら13と共に回転し、吐
出口15を通過する。その際、接着剤11はへら13に
よって吐出口15内へ圧入され、その先端部からリード
フレーム16のアイランド17へ吐出される。リードフ
レーム16は案内枠18内を搬送されるが、前記へら1
3の回転と同期しているため、接着剤11はアイランド
17上の所定位置に塗布される。
2内の接着剤11は回転するへら13と共に回転し、吐
出口15を通過する。その際、接着剤11はへら13に
よって吐出口15内へ圧入され、その先端部からリード
フレーム16のアイランド17へ吐出される。リードフ
レーム16は案内枠18内を搬送されるが、前記へら1
3の回転と同期しているため、接着剤11はアイランド
17上の所定位置に塗布される。
(発明が解決しようとする問題点)
しかしながら、上記構成の接着剤塗布装置においては、
次のような問題点があった。
次のような問題点があった。
(1) 第2図のスタンプ方式では、供給皿1の接着剤
6が必ずしもスタンプ面に均一な厚ぎで付着せず、アイ
ランド9に塗布された接着剤の厚さにばらつきを生じる
という問題がおった。また、スタンピングを繰り返す間
に接着剤6がスタンプ面や側面に体積し、アイランド9
の塗布面積が所定寸法より大きくなってしまうというお
それもあった。
6が必ずしもスタンプ面に均一な厚ぎで付着せず、アイ
ランド9に塗布された接着剤の厚さにばらつきを生じる
という問題がおった。また、スタンピングを繰り返す間
に接着剤6がスタンプ面や側面に体積し、アイランド9
の塗布面積が所定寸法より大きくなってしまうというお
それもあった。
(2) 第3図及び第4図の印刷方式では、接着剤11
の安定した吐出量が得られるものの、その吐出構造上接
着剤11はアイランド17上に円形に広がってしまい、
半導体素子に対応した矩形状に均一に広がらないという
問題があった。
の安定した吐出量が得られるものの、その吐出構造上接
着剤11はアイランド17上に円形に広がってしまい、
半導体素子に対応した矩形状に均一に広がらないという
問題があった。
前記(1)、(2)のような問題が生じることにより、
塗布された接着剤の厚さや面積に均一性を欠き、所定の
安定した接着力を得ることが困難となってしまう。
塗布された接着剤の厚さや面積に均一性を欠き、所定の
安定した接着力を得ることが困難となってしまう。
本発明は、前記従来技術がもっていた問題点として、塗
布された接着剤の厚さや面積にばらつきを生じる点、及
び接着剤が均一に広がらない点について解決した接着剤
塗布装置を提供するものである。
布された接着剤の厚さや面積にばらつきを生じる点、及
び接着剤が均一に広がらない点について解決した接着剤
塗布装置を提供するものである。
(問題点を解決するための手段)
本発明は、前記問題点を解決するために、接着剤を収容
し該接着剤を所定量供給するためのへら部材を有する接
着剤切出し部と、前記へら部材に接触する外周面を有し
前記接着剤が付着した該外周面を回転させて該接着剤を
被塗布面に塗布するローラーと、前記ローラーと共に回
転して前記へら部材を前記外周面から離間させ前記接着
剤切出し部内の前記接着剤を前記外周面に所定量付着さ
せるカム部材と、前記ローラーを回転及び移動させる駆
動装置とで、接着剤塗布装置を構成したものである。
し該接着剤を所定量供給するためのへら部材を有する接
着剤切出し部と、前記へら部材に接触する外周面を有し
前記接着剤が付着した該外周面を回転させて該接着剤を
被塗布面に塗布するローラーと、前記ローラーと共に回
転して前記へら部材を前記外周面から離間させ前記接着
剤切出し部内の前記接着剤を前記外周面に所定量付着さ
せるカム部材と、前記ローラーを回転及び移動させる駆
動装置とで、接着剤塗布装置を構成したものである。
(作 用)
本発明によれば、以上のように接着剤塗布装置を構成し
たので、へら部材はローラー外周面との間に一定の間隙
を生じ、接着剤を所定厚さ及び所定面積に切り出す働き
をし、ローラーは接着剤切出し部から前記接着剤を搬出
及び搬送し、被塗布面に塗布する働きをする。また、カ
ム部材はローラーの回転に連動し、前記へら部材の動作
を制御してへら部材に前記間隙を一定時間生じしめる働
きをする。ざらに、駆動装置はローラー及びカム部材に
回転運動を与えると共に、これらを所定の方向に移動さ
せる働きをする。
たので、へら部材はローラー外周面との間に一定の間隙
を生じ、接着剤を所定厚さ及び所定面積に切り出す働き
をし、ローラーは接着剤切出し部から前記接着剤を搬出
及び搬送し、被塗布面に塗布する働きをする。また、カ
ム部材はローラーの回転に連動し、前記へら部材の動作
を制御してへら部材に前記間隙を一定時間生じしめる働
きをする。ざらに、駆動装置はローラー及びカム部材に
回転運動を与えると共に、これらを所定の方向に移動さ
せる働きをする。
上記の働きにより、所定厚さ及び所定面積の接着剤が切
り出され、被塗布面の所定位置に均一かつ精度良く塗布
される。したがって、前記問題点を除去することができ
る。
り出され、被塗布面の所定位置に均一かつ精度良く塗布
される。したがって、前記問題点を除去することができ
る。
(実施例)
第1図(a)〜(C)は本発明の実施例を示す接着剤塗
布装置の構造図であり、同図(a)はその正面図、同図
(b)は側面図、及び同図(C)は同図(b)のA−A
線断面図である。
布装置の構造図であり、同図(a)はその正面図、同図
(b)は側面図、及び同図(C)は同図(b)のA−A
線断面図である。
この接着剤塗布装置は、回転軸21に固定されたローラ
ー22を有している。ローラー22の側部には回転軸2
1に固定されたカム部材23が設けられており、カム部
材23には突起部24が形成されている。
ー22を有している。ローラー22の側部には回転軸2
1に固定されたカム部材23が設けられており、カム部
材23には突起部24が形成されている。
前記回転軸21と平行に設けられた固定軸25には、接
着剤切出し部26が回転自在に取付けられている。接着
剤切出し部26は、その内部に接着剤27、例えばAc
tペーストを収容すると共に、へら部材28と調整ロッ
ド29を有している。接着剤切出し部26には、ばね3
0によって常に矢印B方向の力が作用しており、これに
よりへら部材28は例えば数10gの力でローラー22
の外周面に押え付けられている。
着剤切出し部26が回転自在に取付けられている。接着
剤切出し部26は、その内部に接着剤27、例えばAc
tペーストを収容すると共に、へら部材28と調整ロッ
ド29を有している。接着剤切出し部26には、ばね3
0によって常に矢印B方向の力が作用しており、これに
よりへら部材28は例えば数10gの力でローラー22
の外周面に押え付けられている。
前記調整ロッド29は、それに切られたねじとナツトに
より接着剤切出()部26に固定されており、その先端
部31は接着剤切出し部26から突出してカム部材23
に接触している。このような関係にあるカム部材23と
調整ロッド29において、カム部材23がローラー22
と共に矢印Cの方向に回転すれば、カム部材23の突起
部24は先端部31を押し上げ、接着剤切出し部26を
押し上げる。これによってへら部材28とローラー22
の間には僅かな隙間が形成される。
より接着剤切出()部26に固定されており、その先端
部31は接着剤切出し部26から突出してカム部材23
に接触している。このような関係にあるカム部材23と
調整ロッド29において、カム部材23がローラー22
と共に矢印Cの方向に回転すれば、カム部材23の突起
部24は先端部31を押し上げ、接着剤切出し部26を
押し上げる。これによってへら部材28とローラー22
の間には僅かな隙間が形成される。
前記先端部31の突出量は、調整ロッド29を回転させ
ることにより調整可能な構造となっている。即ち、この
調整により、へら部材28とローラー22間の隙間の調
整を行なうことができる。
ることにより調整可能な構造となっている。即ち、この
調整により、へら部材28とローラー22間の隙間の調
整を行なうことができる。
前記ローラー22及びカム部材23を回転させる回転軸
21は、図示しない駆動装置に連結きれている。この駆
動装置は回転軸21の回転のみならず、ローラー22や
接着剤切出し部26等−式を上下方向及び横方向に移動
させる機能をも有している。
21は、図示しない駆動装置に連結きれている。この駆
動装置は回転軸21の回転のみならず、ローラー22や
接着剤切出し部26等−式を上下方向及び横方向に移動
させる機能をも有している。
なお、ローラー22の材質は、例えば接着剤27にAg
ペーストを用いる場合には、AC7ペーストと密着性の
悪いフッ素樹脂等を用いるとよい。
ペーストを用いる場合には、AC7ペーストと密着性の
悪いフッ素樹脂等を用いるとよい。
以上のように構成された接着剤塗布装置の動作について
、第5図(a)〜(d)の接着剤塗布装置動作図を用い
て説明する。
、第5図(a)〜(d)の接着剤塗布装置動作図を用い
て説明する。
先ず、第5図(a)において、ローラー22は例えばリ
ードフレーム32のアイランド33上方で矢印Cの方向
に回転している。この回転により、カム部材23の突起
部24が調整ロッド29を押し上げ、へら部材28とロ
ーラー22の間に隙間を生じさせる。この隙間から所定
の厚さを有する接着剤27が、ローラー22の外周面に
付着して外部へ引き出される。
ードフレーム32のアイランド33上方で矢印Cの方向
に回転している。この回転により、カム部材23の突起
部24が調整ロッド29を押し上げ、へら部材28とロ
ーラー22の間に隙間を生じさせる。この隙間から所定
の厚さを有する接着剤27が、ローラー22の外周面に
付着して外部へ引き出される。
次に第5図(b)に示すように、ローラー22がさらに
回転すれば調整ロッド29の先端部31は突起部24か
ら外れ、再びへら部材28はローラー22に押し付けら
れて隙間が閉じられる。これにより、接着剤切出し部2
6内の接着剤27が所定の長さに切り出される。
回転すれば調整ロッド29の先端部31は突起部24か
ら外れ、再びへら部材28はローラー22に押し付けら
れて隙間が閉じられる。これにより、接着剤切出し部2
6内の接着剤27が所定の長さに切り出される。
切り出された接着剤34は、ローラー22の回転と共に
下方へ運ばれる。このとき、ローラー22は回転と共に
駆動装置によって矢印りの如く下方へ移動し、接着剤3
4の端部がアイランド33の所定位置に接触する。
下方へ運ばれる。このとき、ローラー22は回転と共に
駆動装置によって矢印りの如く下方へ移動し、接着剤3
4の端部がアイランド33の所定位置に接触する。
次いで第5図(C)に示すように、ローラー22は回転
しながらその回転速度に対応した速度で、リードフレー
ム32に平行な矢’El]Eの方向に移動する。この回
転及び平行移動により接着剤34はアイランド33上に
塗布される。その際、フッ素樹脂から成るローラー22
に対し密着性の悪いActペーストの接着剤34は、ロ
ーラー22から容易に分離して確実にアイランド33に
付着する。
しながらその回転速度に対応した速度で、リードフレー
ム32に平行な矢’El]Eの方向に移動する。この回
転及び平行移動により接着剤34はアイランド33上に
塗布される。その際、フッ素樹脂から成るローラー22
に対し密着性の悪いActペーストの接着剤34は、ロ
ーラー22から容易に分離して確実にアイランド33に
付着する。
その後、第5図(d)に示すように、接着剤34を塗布
したローラー22は、矢印Fの如く上昇及び平行移動し
て元の位置に戻る。
したローラー22は、矢印Fの如く上昇及び平行移動し
て元の位置に戻る。
このようにして、第5図(a)〜(d)の一連の動作を
繰り返すことにより、接着剤34の塗布が連続して行な
われる。これらの一連の動作において、ローラー22の
回転速度と移動速度は同期させる必要がおり、これらの
回転駆動と移動駆動は連動させることが望ましい。
繰り返すことにより、接着剤34の塗布が連続して行な
われる。これらの一連の動作において、ローラー22の
回転速度と移動速度は同期させる必要がおり、これらの
回転駆動と移動駆動は連動させることが望ましい。
本実施例においては、次のような利点を有している
(i) ローラー22の外周面と一定の間隙を形成す
るへら部材28によって、一定の厚さ及び面積の接着剤
34を塗布することができる。それ故、ばらつきの少な
い均一な厚さと所定面積を有する接着剤塗布が容易に可
能となる。
るへら部材28によって、一定の厚さ及び面積の接着剤
34を塗布することができる。それ故、ばらつきの少な
い均一な厚さと所定面積を有する接着剤塗布が容易に可
能となる。
(ii) ローラー22の外周面は接着剤34の付着
する箇所を除いて、外周面に押し付けられたへら部材2
8によって常にクリーンな状態に保たれる。それ故、塗
布される接着剤34の厚さ及び面積は常時一定寸法に維
持される。また、接着剤34を無駄にすることもない。
する箇所を除いて、外周面に押し付けられたへら部材2
8によって常にクリーンな状態に保たれる。それ故、塗
布される接着剤34の厚さ及び面積は常時一定寸法に維
持される。また、接着剤34を無駄にすることもない。
(iii > カム部材23の突起部24の外周長さ
及び調整ロッド29の先端部31突出量等を調整するこ
とにより、接着面積及び厚さを容易かつ確実に調整する
ことができる。
及び調整ロッド29の先端部31突出量等を調整するこ
とにより、接着面積及び厚さを容易かつ確実に調整する
ことができる。
なお、本発明は図示の実施例に限定されず種々の変形が
可能であり、例えば次のような変形例が挙げられる。
可能であり、例えば次のような変形例が挙げられる。
(イ) 第1図(a)〜(C)及び第5図(a)〜(d
)においては、ローラー22が1回転する毎に1回の塗
布を行なうような構造としたが、これに限定されない。
)においては、ローラー22が1回転する毎に1回の塗
布を行なうような構造としたが、これに限定されない。
例えば、ローラー22及びカム部材23の直径を図より
大きくし、カム部材23の突起部24を複数個設けるこ
とにより、ローラー22が1回転する間に複数回の塗布
を行なわせることもできる。
大きくし、カム部材23の突起部24を複数個設けるこ
とにより、ローラー22が1回転する間に複数回の塗布
を行なわせることもできる。
(ロ) 第5図(a)〜(d)においては、接着剤34
塗布時にリードフレーム32は静止しているものとした
が、リードフレーム32は常に連続的に移動するもので
あってもよい。
塗布時にリードフレーム32は静止しているものとした
が、リードフレーム32は常に連続的に移動するもので
あってもよい。
(ハ) 前記実施例の接着剤塗布装置を、ダイスボンダ
ーのリードフレーム搬送レール上におけるホンディング
位置の前に設置し、接着剤塗布装置とダイスボンダーの
リードフレーム搬送機構との間に電気的信号手段等を用
いて同期をとることも可能である。
ーのリードフレーム搬送レール上におけるホンディング
位置の前に設置し、接着剤塗布装置とダイスボンダーの
リードフレーム搬送機構との間に電気的信号手段等を用
いて同期をとることも可能である。
(ニ) 第1図(a)〜((Jに示した構造、形状等に
限定されることなく、種々の変形が可能である。例えば
、カム部材23は円形にせず、突起部24に相当する部
分のみをローラー22に固定して設けてもよい。また、
調整ロッド29の先端部31は常時カム部材23に接触
させる必要はなく、突起部24と接触しさえすればよい
。さらに、固定軸25と接着剤切出し部26とを固定し
、固定軸25を回転自在な構造としてもよい。
限定されることなく、種々の変形が可能である。例えば
、カム部材23は円形にせず、突起部24に相当する部
分のみをローラー22に固定して設けてもよい。また、
調整ロッド29の先端部31は常時カム部材23に接触
させる必要はなく、突起部24と接触しさえすればよい
。さらに、固定軸25と接着剤切出し部26とを固定し
、固定軸25を回転自在な構造としてもよい。
(ホ) 上記実施例で示した材質等に限定されない。例
えばAgペーストの代りに他の接着剤27を用いてもよ
く、またローラー22の材質はフッ素樹脂以外のものと
してもよい。
えばAgペーストの代りに他の接着剤27を用いてもよ
く、またローラー22の材質はフッ素樹脂以外のものと
してもよい。
(へ) 本発明は半導体素子とリードフレーム32との
ホンディング用の接着剤塗布装置に限定されるものでは
なく、例えばテープキャリアやセラミック基板等に対す
る半導体素子のボンディングにも適用できる。また、半
導体素子に限らず、他の電子部品等の接着に対しても本
発明は適用可能である。
ホンディング用の接着剤塗布装置に限定されるものでは
なく、例えばテープキャリアやセラミック基板等に対す
る半導体素子のボンディングにも適用できる。また、半
導体素子に限らず、他の電子部品等の接着に対しても本
発明は適用可能である。
(発明の効果)
以上詳細に説明したように本発明によれば、接着剤塗布
装置を接着剤切出し部、ローラー、カム部材及び駆動装
置によって構成したので、接着剤を被塗布面に均一な厚
さ及び所定面積を有するように精度良く塗布することが
可能となり、ばらつきの少ない安定した接着力を得るこ
とができる。
装置を接着剤切出し部、ローラー、カム部材及び駆動装
置によって構成したので、接着剤を被塗布面に均一な厚
さ及び所定面積を有するように精度良く塗布することが
可能となり、ばらつきの少ない安定した接着力を得るこ
とができる。
また、塗布膜厚及び塗布面積の調整が容易であり、常に
高精度な接着剤塗布を行なえると共に、種々の膜厚や面
積を必要とする接着剤塗布に適用できるという効果もあ
る。
高精度な接着剤塗布を行なえると共に、種々の膜厚や面
積を必要とする接着剤塗布に適用できるという効果もあ
る。
第1図(a)〜(C)は本発明の実施例を示す接着剤塗
布装置の構成図であり、同図(a)はその正面図、同図
(b)は側面図、及び同図(C)は同図(b)のA−A
線断面図、第2図は従来の接着剤塗布装置の構成例を示
す斜視図、第3図は従来の他の接着剤塗布装置の斜視図
、第4図は第3図の断面図、第5図(a)〜(d>は本
発明の接着剤塗布装置の動作図である。 22・・・・・・ローラー、23・・・・・・カム部材
、24・・・・・・突起部、26・・・・・・接着剤取
り出し部、27゜34・・・・・・接着剤、28・・・
・・・へら部材、29・・・・・・調整ロッド、31・
・・・・・先端部。 出願人代理人 柿 本 恭 成第2図
布装置の構成図であり、同図(a)はその正面図、同図
(b)は側面図、及び同図(C)は同図(b)のA−A
線断面図、第2図は従来の接着剤塗布装置の構成例を示
す斜視図、第3図は従来の他の接着剤塗布装置の斜視図
、第4図は第3図の断面図、第5図(a)〜(d>は本
発明の接着剤塗布装置の動作図である。 22・・・・・・ローラー、23・・・・・・カム部材
、24・・・・・・突起部、26・・・・・・接着剤取
り出し部、27゜34・・・・・・接着剤、28・・・
・・・へら部材、29・・・・・・調整ロッド、31・
・・・・・先端部。 出願人代理人 柿 本 恭 成第2図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 接着剤を収容し該接着剤を所定量供給するためのへら
部材を有する接着剤切出し部と、 前記へら部材に接触する外周面を有し前記接着剤が付着
した該外周面を回転させて該接着剤を被塗布面に塗布す
るローラーと、 前記ローラーと共に回転して前記へら部材を前記外周面
から離間させ前記接着剤切出し部内の前記接着剤を前記
外周面に所定量付着させるカム部材と、 前記ローラーを回転及び移動させる駆動装置とを備えた
ことを特徴とする接着剤塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62299588A JPH01140733A (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | 接着剤塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62299588A JPH01140733A (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | 接着剤塗布装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01140733A true JPH01140733A (ja) | 1989-06-01 |
Family
ID=17874574
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62299588A Pending JPH01140733A (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | 接着剤塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01140733A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021186908A (ja) * | 2020-05-27 | 2021-12-13 | 株式会社デンソーウェーブ | ロボットの制御方法、ロボット装置装置 |
-
1987
- 1987-11-27 JP JP62299588A patent/JPH01140733A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021186908A (ja) * | 2020-05-27 | 2021-12-13 | 株式会社デンソーウェーブ | ロボットの制御方法、ロボット装置装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3960646A (en) | Tape tab cutter and applicator | |
| US5281298A (en) | Film transfer device | |
| JPH05337413A (ja) | ロールコータによる基板表面への塗液塗布方法 | |
| US3185130A (en) | Multiple roller coating apparatus | |
| JPH01140733A (ja) | 接着剤塗布装置 | |
| US3881447A (en) | Electrostatic application of thermoplastic adhesive | |
| JP2001180096A (ja) | 捺印装置 | |
| US3926148A (en) | Application of adhesive to a moving web | |
| KR970067779A (ko) | 중공 패키지 제조 방법 및 장치 | |
| JPH0358402A (ja) | ペースト状材料の塗布装置 | |
| JP3508330B2 (ja) | 電子部品のマウント装置 | |
| JPH05146735A (ja) | モルタル塗布装置 | |
| JPH0738500B2 (ja) | 塗布装置 | |
| JPH0134343Y2 (ja) | ||
| JPH04728A (ja) | 半導体チップの固着剤塗布方法及び塗布装置 | |
| JPS6218284Y2 (ja) | ||
| EP0055867A3 (en) | Apparatus for applying a thin layer of a coating material to a substrate | |
| JPH0195002A (ja) | エッジバンディングマシン | |
| US4388071A (en) | Gum applying apparatus | |
| JP3858342B2 (ja) | 塗布装置 | |
| JPS634532Y2 (ja) | ||
| JPS6159188B2 (ja) | ||
| JPH0395045A (ja) | 半導体製造装置 | |
| JPH0632558Y2 (ja) | グリース塗着装置 | |
| JPH0329320B2 (ja) |