JPH01149217A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は磁気記録媒体に係わり、さらに詳しくは電磁変
換特性、特に色（クロマ）Ｓ／Ｎ　（シグナル／ノイズ
）および輝度出力に優れた特性を示す連続斜め入射蒸着
により成膜された強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁
気記録媒体に関する。

〔従来の技術〕

Ｃｏ、　Ｎｉ、　Ｆｅ、またはそれらを主成分とする合
金、あるいは、それらの酸化物薄膜を、真空蒸着法、ス
パッタリング法、イオンブレーティング法などのベーパ
デポジション法によって、ポリエステルフィルム、ポリ
イミドフィルムなどの高分子フィルムや、非磁性の金属
薄板などよりなる基体上に形成させた強磁性薄膜型の磁
気記録媒体は。

従来の塗布型の磁気記録媒体に比べて記録密度を飛躍的
に向上させることができ、また記録再生出力も塗布型の
磁気記録媒体を上回る。しかし、この高密度記録化のた
めには、磁気ヘッドとのギャップを可能な限り少なくシ
、併せて磁気記録媒体の表面を平滑化してスペーシング
ロスを極力減少させる必要がある。しかし、あまり表面
を平滑化し過ぎると、ヘッドタッチあるいは走行性の点
で支障をきたす、このため、強磁性金属薄膜層の表面に
、種々の形状および高さや分布を有する微細突起を形成
させたりして表面状態を工夫し走行性を改善する方法が
提案されている（特開昭５９−３０２３１号公報、同５
９−９４２２７号公報）。しかし、これらの方法で磁気
記録媒体の走行性は改善されるものの、例えば、連続斜
め入射蒸着法により形成される強磁性金属薄膜を磁気記
録層とする磁気記録媒体においては、電磁変換特性、特
にクロマＳ／Ｎの値が低く、必ずしも満足のいく特性が
得られなかった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

本発明は、上述した従来技術における磁気記録媒体の電
磁変換特性、特にクロマＳ／Ｎが悪いという問題点を解
消し、連続斜め入射蒸着法によって形成される強磁性金
属薄膜を磁気記録層（磁性層）とする強磁性薄膜型の磁
気記録媒体において。

電磁変換特性、特にクロマＳ／Ｎが高く、輝度出力が良
好で、かつ走行性に優れた信頼性の高い磁気記録媒体を
提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

従来、一般に高密度記録に必要な高保磁力を得るために
、連続斜め入射蒸着の効率を極度に低下させない範囲で
、基体に対する磁性層の柱状粒子の水平成分Ｌ（第２図
参照）ができるだけ大きくなるような構造を持つ磁性層
を形成させていた。

しかし、本発明者らが検討した結果、高保磁力に寄与し
ているのは蒸着初期の高入射角で基体上に蒸着された部
分、すなわち、基体の法線とのなす柱状粒子の傾斜角θ
が９０度〜７５度程度の部分であることを知った。さら
に、第２図に示すごとく。

柱状粒子８の形状を、柱状粒子８の基体１に対する水平
成分りよりも、垂直成分Ωが大きくなるように成膜する
ことにより、保磁力を低下させることなく、クロマＳ／
Ｎを向上できることが判明した。

さらに本発明者らの検討によると、連続斜め入射蒸着に
よって形成させた柱状粒子８の集合体である磁性層にお
いて、柱状粒子８の成長方向における中心線に接する接
線と、基体１の法線９とのなす角度、すなわち、柱状粒
子８の傾斜角θが９０〜７５度の範囲にある磁性層にお
いては、クロマＳ／Ｎは良好であるが再生出力が小さく
なり、また磁気記録媒体としての耐久性が劣化してしま
うことを知った。そこで、上記の傾斜角θが９０〜７５
度（より好ましくは９０〜８０度）以外の部分の柱状粒
子８の水平成分りを調整し、柱状粒子８の垂直成分Ｑを
増加させることにより、再生出力および耐久性を損うこ
となく、クロマＳ／Ｎを向上させることができることを
見い出した。そして、柱状粒子８のＱ／Ｌの比がＱ　／
　Ｌ　＜１．０では、Ｓ／Ｎの劣化を招き、さらにＱ／
Ｌ＜１．５では垂直成分Ｑが大きくなり過ぎて再生出力
および耐久性が低下してしまい、好ましい柱状粒子のＱ
／Ｌの比の範囲は１．０〜１．５であることを実験によ
り確認した。

さらに本発明者らは、磁性層を構成する強磁性柱状粒子
の垂直成分を増加させる方法について鋭意研究を重ねた
結果、第１図に示すごとく、微小突起部３を多数設けた
基体１上に１強磁性金属からなる磁性層２を連続斜め入
射蒸着させて、磁性層２の表面に柱状粒子の集合体から
なる特定形状の突起部を形成させることにより、磁性層
２を構成する柱状粒子８の垂直成分Ｑを増加させること
ができ、電磁変換特性、特にクロマＳ／Ｎならびに輝度
出力が著しく向上し、かつ走行特性の良い磁気記録媒体
が得られることを見い出した。すなわち、一般に連続斜
め入射蒸着によって形成される強磁性金属薄膜からなる
磁性層の柱状粒子の形状は、基体に突起部がある場合に
は、突起部のシャドウィング効果により柱状粒子の成長
方向の水平成分りが垂直成分Ｑよりも大きくなるため１
例えば第１図に示すごとく、磁性層２表面の突起部４の
形状は、突起部４の頂点を通る垂直線によって２分され
る突起部４の底部の水平距離を、それぞれｘｌ、！、　
（ｘ工≧ｘｉ）としたとき、強磁性金属の蒸気流の入射
方向７の影響を受け、ｘｌは大きくなり、ｘｌとｘ２の
比はｘ、／ｘ２）１．５となる。

この場合、通常の磁気記録媒体の走行方向（記録再生方
向）であるノーマル方向５では輝度出力は良好であるが
クロマＳ／Ｈの値は低くなり、逆にリバース方向６では
クロマＳ／Ｎの値は高くなるが、輝度出力は劣化するこ
とを知った。このことは磁性層の構造とクロマＳ／Ｎお
よび輝度出力との相関を示しており、ノーマル方向５で
も、磁気ヘッドがリバース方向６で感するのと似た構造
の磁性層とすることにより、クロマＳ／Ｎの値を高め輝
度出力を良好にすることが可能となる。そのため、磁性
層を構成する柱状粒子の成長方向の水平成分を減らし、
上部から見た磁性層表面の突起部の形状を、磁気記録媒
体の走行方向で、はぼ円形に近いものとすることにより
クロマＳ／Ｎを改善することができ、輝度出力の良好な
磁気記録媒体が得られることになる。

本発明は、強磁性金属の蒸気流を基体上に斜め入射して
形成する強磁性金属の柱状粒子の集合体よりなる磁性層
の表面に、特定の形状および高さを有する突起部を形成
し、該突起部の頂点を通る垂直線によって、基体の水平
方向に２分される突起部の底部の水平距離をＸ１＊　Ｘ
２　（Ｘｌ≧ｘｉ）としたとき、ｘｌおよびｘ２の比が
、１．５≦Ｘユ／ｘｚ≦１．０の範囲にあり、かつ突起
部の高さＨを、１００人≦Ｈ≦６００人の範囲とするこ
とにより、本発明の目的は達成される。そして、上記突
起部の底部の水平距離Ｘ工／ｘ２の比が１．５を超える
とクロマＳ／Ｎが低下するので好ましくなく、Ｘ　１７
　Ｘ　Ｈの比が１．０未満になることは、連続斜め入射
蒸着による磁性層の形成においては理論的にありえない
。

そして上記のＸ□／ｘ２の比のより好ましい範囲は１．
０〜１．３である。また、磁性層の表面の突起部の高さ
は、１００人未満ではクロマＳ／Ｎが悪化するので好ま
しくなく、６００人を超えると再生出力が低下するので
好ましくない。上記突起部の高さのより好ましい範囲は
２００〜４００人である。

さらに本発明は、磁性層を構成する強磁性金属の柱状粒
子の形状を、該柱状粒子の成長方向（長手方向）での基
体に対する水平成分りを、上記柱状粒子の基体に対する
垂直成分Ｑよりも小さくし、Ｑ／Ｌの比が１．０〜１．
５の範囲、より好ましくは１．０〜１．３の範囲とする
ことにより、本発明の目的を達成することができる。

また、本発明の磁性層を構成する強磁性金属の柱状粒子
の基体の法線に対する最高傾斜角を、７５〜９０度、よ
り好ましくは８０〜９０度とし、柱状粒子のｎ／Ｌの比
を１．０〜１．５とすることにより、磁気特性ならびに
クロマＳ／Ｎおよび輝度出力を一層改善することができ
る。

本発明の突起部を有する磁性層の成膜方法は、表面に５
０〜３００人の大きさの微細突起を加工形成した非磁性
の基体、または基体表面に粒径が５０〜３００人程度の
酸化ケイ素（Ｓｉｎ、）などからなる非磁性の無機物を
付着させた基体を用い、Ｃｏ、Ｎｉ、　Ｆｅ、もしくは
それらを主成分とする強磁性金属を連続斜め入射蒸着さ
せることにより、達成される。そして、磁性層の突起部
のＸ□／Ｘ２の比の制御は、連続斜め入射蒸着において
、最低入射角部より導入する酸素（０２）　、アルゴン
（Ａｒ）　。

窒素（Ｎ２）などよりなる酸化性ガスあるいはこれらの
混合ガスの導入量（圧力）および強磁性金属の蒸気流の
最低入射角の大きさを調整することによって行うことが
できる。すなわち、最低入射角部において導入する酸化
性ガスの導入量（例えば０．ｌｔ／ｍｉｎ以上）を極力
多くし、かつ最低入射角（例えば４５度以下）をできる
だけ小さくすることによりＸ　１　／　Ｘ　２の比を１
．０に近付けることができるが、上記Ｘ工／　ｘ　ｚの
比の制御条件は、使用する個々の蒸着装置の形式、容量
などによって異なり、その都度最適条件を具体的に決め
る必要がある。

他方、本発明の磁性層の突起部のＸ工／Ｘ２の比の制御
方法として、連続斜め入射蒸着において、Ｘ　１／　Ｘ
　Ｚの比が大きくなる傾向にあるのは基体上の突起部の
シャドウィング効果によるものであるので、この効果を
抑制するために、まず最初、基体上に所定の方向から斜
め入射蒸着を行い、いったん原反を巻き取った後、再び
蒸着装置にセットし、今度は上記とは逆の方向から蒸着
させることを、少なくとも１回繰返して行い所定の膜厚
を有する磁性層を形成させることによっても達成できる
。

さらに１本発明の磁性層を構成する強磁性金属柱状粒子
の基体に対する水平成分りおよび垂直成分Ｑの調節は、
強磁性金属の蒸発源の位置と円筒状キャンに沿って移動
する基体との位置などを調節して、連続斜め入射蒸着の
初期のステップにおいては、蒸気流の最高入射角が９０
度〜７５度で基体上に蒸着されるようにし、その後の低
い入射角部において入射させる蒸気流をできるだけ少な
くして、基体に対して入射する蒸気流が垂直に近くなる
ように調整して、柱状粒子の垂直成分Ｑを増加させるか
、あるいは最低入射角部において吹き付ける０２、Ａｒ
、Ｎ、などの酸化性ガスの総量を可能な限り多くして、
磁性層の表面部分における柱状粒子の傾斜角を垂直化す
ることにより、柱状粒子のＱ／Ｌの比を１．０〜１．５
の範囲に制御することができる。

〔実施例〕

以下に本発明の一実施例を挙げ、図面に基づいてさらに
詳細に説明する。

（実施例　１） 第３図に示す連続斜め真空蒸着装置を使用し、表面に２
００人高さの微細突起を多数有するポリエチレンテレフ
タレート（ＰＥＴ）フィルムの基体１４を、送り出しロ
ール１５より、ガイドロール１６を介して回転する円筒
状キャン１３の周側面に沿って移動させ、ガイドロール
１７を介して巻き取りロール１８に巻き取るようにセッ
トすると共に１強磁性金属材料の蒸発源１９内にＣｏ　
−２０ｔｚｔ％Ｎｉ合金からなる強磁性金属材料２０を
セットした。ついで、真空排気系１２で真空槽１１内を
約５　Ｘ　１０−’　Ｔｏｒｒにまで真空排気し、Ｃｏ
　−２０ｗｔ％Ｎｉ合金からなる強磁性金属材料２０を
加熱蒸発させて、斜め入射蒸着の入射角θを規制する防
着板２１を調整して、強磁性金属材料２０の蒸気流の最
低入射角を４５度となし、蒸着速度８００人／Ｓで斜め
入射蒸着を開始すると同時に、酸化性ガス導入管２２か
ら最低入射角部Ａの基体１４に対して、酸素６０部、窒
素４０部の組成からなる酸化性ガスを０．８Ｑ／ｍ１ｎ
（酸素０．４８　Ｑ　／ｍｉｎ。

窒素０，３２　Ｑ　／ｍ１ｎ）の割合で吹きつけて、膜
厚が１５００人のＣｏ　−２０ｗｔ％Ｎｉ合金からなる
強磁性金属薄膜層（磁性層）を形成させた。このように
して作製した磁気記録媒体の原反の磁性層の表面に、潤
滑剤としてフッ素系潤滑剤であるフオンブリンＺＤＩＳ
ＯＣ（モンテジソン社製商品名）をフッ素系溶剤ＦＣ−
７７（住人スリーエム社製商品名）にＯ，１ｗｔ％の濃
度に希釈したものを塗布し、乾燥した後、スリットして
８■幅の磁気テープを作製した。

（実施例　２） 実施例１における防着板１１の一部（最低入射角θ＝４
２度に相当する位置）に蒸着孔（スリット）を設けたこ
と、および酸化性ガスとして酸素のみを使用し、その流
量を０．５１２／ｍｉｎとした以外は。

実施例１と同様にして磁気テープを作製した。なお、本
実施例における磁性層の膜厚の増分は、実施例１におけ
るよりも１００人増加した。

（実施例　３） まず、酸化性ガスとして酸素ガスを０．５Ｑ／ｍｉｎ導
入して、実施例１と同様の方法で磁性層の膜厚が１００
０人になるまで蒸着し、いったん巻き取りロールに巻き
取った後、再び同じ蒸着装置にセットして、今度は逆方
向から連続斜め入射蒸着を行い、厚さ１０００人の磁性
層上に、さらに５００人の膜厚に磁性層を形成させ１合
計膜厚１５００人の磁性層を有する磁気テープを実施例
１と同様の方法で作製した。

（実施例　４） 酸化性ガスとして酸素ガスを０．５Ｑ／ｍｉｎ、窒素ガ
スを０．２Ｑ／ｍｉｎ　（合計流量０．７０／ｍ１ｎ）
の混合ガスを導入し、その他は実施例１と同様にして磁
気テープを作製した。

（実施例　５） 酸化性ガスとして酸素ガスを０．５Ｑ／ｍｉｎ、窒素ガ
スを０．Ｉ　Ｑ　／ｍｉｎ　（合計流量０．６Ｑ／ｍ１
ｎ）の混合ガスを導入し、その他は実施例１と同様にし
て磁気テープを作製した。

（比較例　１） 酸化性ガスとして酸素ガスを０．５Ｑ／ｍｉｎ導入した
以外は、実施例１と同様にして磁気テープを作製した。

（比較例　２） 最低入射角を５０度に変えた以外は比較例１と同様の方
法で磁気テープを作製した。

以上の実施例１〜５および比較例１〜２において作製し
た磁気テープについて、０．７５ＭＨｚのクロマ信号に
対するクロマＳ／Ｎｔ洞定し磁気テープの電磁変換特性
を評価した。その結果を第１表に示す。クロマＳ／Ｎは
、市販の塗布型８ｍｍメタルテープをＯｄＢとして示し
た。なお、各磁気テープをテープ走行方向と平行に超薄
切片を採取し。

透過型電子顕微鏡により磁性層の断面をｉ察したところ
、磁性層表面の突起部のＨおよびＸ　１　／　Ｘ　２の
比は第１表に示すとおりであった。Ｈについては、はぼ
同一であったが、Ｘ　１　／　Ｘ　２の比は１．５〜１
．０の範囲内になければクロマＳ／Ｎが悪化することが
判明した。また、Ｈについては本実施例において述べて
いないが、Ｈが６００人を超えると磁気ヘッドとのスペ
ーシングが大きくなり、その場合はＸ工／ｘｚの比が１
．５〜１．０の範囲内にあっても。

クロマＳ／Ｎが悪くなり実用的でないことを確認してい
る。

第　　　１　　　表 第１表から明らかなごとく、本発明の実施例１〜５にお
ける磁気テープは、いずれもクロマＳ／Ｎが良好で、優
れた電磁変換特性を有することが分かる。

（実施例６〜１０、および比較例３〜５）第３図に示す
実施例１において用いたのと同様の連続斜め真空蒸着装
置を使用した。すなわち、真空排気系１２によって排気
された真空槽１１内において、送り出しロール１５より
送り出された厚さ９−の市販のＰＥＴフィルムである基
体１４は、円筒状キャン１３に沿って移動すると共に、
下部に配設された蒸発源１９から発生する強磁性金属材
料２０であるＧ　ｏ　−２０ｗｔ％Ｎｉ合金の蒸気流２
３の基体１４の法線に対する入射角度を防着板２１によ
って、蒸気流２３の最高入射角部（Ｂ部）および最低入
射角部（Ａ部）のそれぞれの入射角を変化させて、蒸気
流２３の入射角度を調節し、基体１４上に斜め入射蒸着
を行った後、巻き取りロール１８によって巻き取られる
。また、蒸着時には酸化性ガス導入管２２より、酸素（
０２）ガスとアルゴン（Ａｒ）ガスとの混合ガスを、最
低入射角部Ａに吹きつけ、酸素ガス分圧Ｐｏ２＝　Ｉ　
Ｘ　１０−’　Ｔｏｒｒとなるように調整し、膜厚が１
５００人のＣｏ−Ｎｉ−０合金からなる磁性層を形成さ
せた。このようにして作製した磁気記録媒体の原反を裁
断して磁気テープを得た。なお。

磁性層を構成する柱状粒子の基体に対する水平成分りお
よび垂直成分０の調整は、Ａｒと０□との混合ガス中の
Ａｒガスの量を変化させ、蒸気流２３に差し向ける混合
ガスの総量を変えることによって柱状粒子の成長方向（
傾斜角）を制御した。本実施例においては酸化性ガスと
してＡｒとｏ２との混合ガスを用いたが、Ａｒの他、Ｈ
ｅ、　Ｎ、などの不活性ガスであってもよく、また柱状
粒子のＱ／Ｌの比の調整は、導入する酸化性ガスの総量
による制御の他、第３図に示すごとく、蒸発源１９を支
持台２４上を水平に移動させ、蒸発源１９と円筒状キャ
ン１３との位置を調整することによっても行うことがで
きる。

本実施例によって得られた各磁、気テープについて、電
磁変換特性は、試作した記録再生装置を用い、０．７５
ＭＨｚの信号を記録再生した時の再生出力およびクロマ
Ｓ／Ｎ　（シグナル／ノイズ）を測定することによって
磁気特性を、スチル寿命により耐久性を、それぞれ評価
した。また、磁性層の柱状粒子のＱ／Ｌの比は、透過型
電子顕微鏡による各磁気テープの断面写真により求めた
。その結果を第２表に示す。

第　　２　　表 第２表から明らかなごとく、磁性層を構成する柱状粒子
のＱ／Ｌの比が１．０〜１．５の範囲で、かつ柱状粒子
の最高傾斜角が９０〜７５度の範囲である本発明の磁気
テープ（実施例６〜１０）はいずれも磁気特性、再生出
力、耐久性を劣化させることなく。

クロマＳ／Ｎを向上させることができる。

なお、本発明の上記実施例において、基体としてポリエ
チレンテレフタレートフィルムを用いたが、その他にポ
リイミド、ポリアミドなどのプラスチックフィルム、あ
るいはこれらのプラスチックフィルムに炭素繊維や無機
物などを混入したり、上塗り層を設けた基体など、一般
に基体として用いられているもの全て適用することが可
能である。

また、磁性層を形成する強磁性材料としてＣ０−Ｎｉ合
金の他、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｆｅなどの単体金属、あるいはＣ
ｏ−Ｃｒ、　Ｇｏ−Ｎｉ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｔｉ、Ｃｏ−Ｐ
、Ｃｏ−Ｍｎ、Ｃｏ−Ｆｅ、Ｎｉ−Ｆｅ、Ｎｉ−Ｆｅ−
Ｃｒ、Ｎｉ−ＣｒなどのＣｏ、ＮｉまたはＦｅを主成分
とする強磁性合金が好適に使用される。

〔発明の効果〕

以上詳細に説明したごとく、連続斜め入射蒸着により、
表面に特定形状ならびに大きさの突起部を形成させた強
磁性金属薄膜からなる磁性層を有する磁気記録媒体は、
磁気特性、耐久性および再生出力を低下させることなく
、特にクロマＳ／Ｎに優れ、輝度出力が良好で、かつ走
行特性が良く、高密度磁気記録に適した信頼性の高い磁
気記録媒体が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例１〜５における磁気テープの断
面構造を示す模式図、第２図は実施例６〜１０における
磁気テープの磁性層を構成する強磁性金属柱状粒子の形
状を示す説明図、第３図は実施例において用いた連続斜
め入射蒸着装置の構造を示す模式図である。 １・・・基体　　　　　　　２・・・磁性層３・・・基
体の微小突起部　４・・・磁性層の突起部５・・・ノー
マル方向　　　６・・・リバース方向７・・・蒸気流の
入射方向　８・・・柱状粒子９・・・基体の法線　　　
　１１・・・真空槽１２・・・真空排気系　　　　１３
・・・円筒状キャン１４・・・基体　　　　　　　１５
・・・送り出しロール１６．１７・・・ガイドロール　
１８・・・巻き取りロール１９・・・蒸発源　　　　　
　２０・・・強磁性金属材料２１・・・防着板　　　　
　　２２・・・酸化性ガス導入管２３・・・蒸気流　　
　　　　２４・・・支持台Ａ・・・最低入射角部　　　
Ｂ・・・最高入射角部θ・・・入射角

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、表面に微細突起部を多数設けた非磁性の基体上に、
   表面に多数の突起部を有する強磁性金属の柱状粒子の集
   合体よりなる磁性層を形成させた磁気記録媒体であって
   、上記磁性層表面の突起部の形状が、該突起部の頂点を
   通る垂直線によって基体の水平方向に２分される上記突
   起部の底部の水平距離を、それぞれｘ＿１およびｘ＿２
   （ただし、ｘ＿１≧ｘ＿２とする）としたとき、上記ｘ
   ＿１およびｘ＿２の比が１．０≦ｘ＿１／ｘ＿２≦１．
   ５の範囲にあり、かつ上記突起部の底部からの突起部の
   頂点までの高さが１００〜６００Åの範囲にあることを
   特徴とする磁気記録媒体。 ２、磁性層表面の突起部の頂点を通る垂直線によって基
   体の水平方向に２分される水平距離の比が１．０≦ｘ＿
   １／ｘ＿２≦１．３の範囲にあり、かつ突起部の底部か
   らの高さが２００〜４００Åの範囲にあることを特徴と
   する特許請求の範囲第１項に記載の磁気記録媒体。 ３、非磁性の基体上に、強磁性金属の蒸気流を斜めに入
   射し蒸着して、強磁性金属の柱状粒子の集合体よりなる
   磁性層を設けた磁気記録媒体であって、上記柱状粒子の
   形状が、該柱状粒子の成長方向における基体に対して水
   平な長さ成分をＬとし、上記柱状粒子の基体に対して垂
   直な長さ成分をｌとしたとき、柱状粒子の上記垂直な長
   さ成分ｌと水平な長さ成分Ｌとの比が１．０≦ｌ／Ｌ≦
   １．５の範囲にあり、かつ上記柱状粒子の成長方向にお
   ける該柱状粒子の中心線の接線と、基体の法線とのなす
   角度である柱状粒子の傾斜角において、その最高傾斜角
   が７５〜９０度の範囲にあることを特徴とする磁気記録
   媒体。 ４、柱状粒子の垂直な長さ成分ｌと水平な長さ成分Ｌと
   の比が１．０≦ｌ／Ｌ≦１．３の範囲にあり、かつ柱状
   粒子の最高傾斜角が８０〜９０度の範囲にあることを特
   徴とする特許請求の範囲第３項に記載の磁気記録媒体。 ５、強磁性金属の蒸気流を斜めに入射し蒸着して形成さ
   せた強磁性金属の柱状粒子の集合体よりなる磁性層であ
   って、上記柱状粒子の形状が、該柱状粒子の成長方向に
   おける基体に対して水平な長さ成分をＬとし、上記柱状
   粒子の基体に対して垂直な長さ成分をｌとしたとき、柱
   状粒子の上記垂直な長さ成分ｌと水平な長さ成分Ｌとの
   比が１．０≦ｌ／Ｌ≦１．５の範囲にあり、かつ上記柱
   状粒子の成長方向における該柱状粒子の中心線の接線と
   、基体の法線とのなす角度である柱状粒子の傾斜角にお
   いて、その最高傾斜角が７５〜９０度の範囲にある磁性
   層を設けたことを特徴とする特許請求の範囲第１項また
   は第２項に記載の磁気記録媒体。