JPH01149461U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図イ，ロは本考案の一実施例の溶接・切断
室を示す断面図、第２図は本考案の一実施例の真
空蒸着装置の模式図、第３図は本考案の他の実施
例の溶接・切断室を示す断面図、第４図は第２図
中の線―に沿う断面図、第５図及び第６図は
従来技術の真空蒸着装置の概略図である。 １……コイル材、１ａ……未処理コイル、１ｂ
……処理済コイル、５……真空蒸着室、１１……
真空容器、１２……真空仕切弁、１３……溶接・
切断室、１３ａ……内筒、１３ｂ……外筒、１３
ｃ，１３ｄ，１３ｅ及び１３ｆ……フランジ部、
１４……シール機構、１５……溶接・切断機、１
６……移動機構、１６ａ……台車、１６ｂ……車
輪。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 未処理コイルから処理済コイルまでのコイ
   ル材を真空容器中に納めながらコイル材を連続し
   て真空蒸着処理する装置において、 前記真空容器中に配設された真空蒸着室の前方
   及び後方にそれぞれ真空仕切弁を配設し、さらに
   前記真空仕切弁の前方及び後方にそれぞれ分割構
   造を具備してなる溶接・切断室を配設したことを
   特徴とする連続式真空蒸着装置。 (2) 溶接・切断室は、内筒と外筒とを備え、そ
   の内筒は、一端側に外周方向に周設されたフラン
   ジ部を具備し、その外筒は、一端側に内周方向に
   周設したフランジ部と、他端側にその外周方向に
   周設したフランジ部とを具備し、 その内筒と外筒とは、外筒に内装した内筒のフ
   ランジ部と外筒の一端側の内周方向に周設したフ
   ランジ部とでシール機構を介して係合するととも
   に、外筒の他端側のフランジ部は、対向する位置
   に設けた他のフランジ接合部とシール機構を介し
   て係合する分割構造としたことを特徴とする請求
   項１記載の連続式真空蒸着装置。 (3) 未処理コイルから処理済コイルまでのコイ
   ル材を真空容器中に納めながらコイル材を連続し
   て真空蒸着処理する装置において、 前記真空容器中に配設された真空蒸着室の前方
   及び後方にそれぞれ真空仕切弁を配設し、さらに
   前記真空仕切弁の前方及び後方にそれぞれ分割構
   造を具備してなる溶接・切断室を配設し、その溶
   接・切断室に隣接させて溶接・切断機を付設し、
   該溶接・切断機は、溶接・切断室内に置かれたコ
   イル材と当接する位置まで延出する移動機構を具
   備したことを特徴とする連続式真空蒸着装置。