JPH01150220A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH01150220A JPH01150220A JP30774587A JP30774587A JPH01150220A JP H01150220 A JPH01150220 A JP H01150220A JP 30774587 A JP30774587 A JP 30774587A JP 30774587 A JP30774587 A JP 30774587A JP H01150220 A JPH01150220 A JP H01150220A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- protective layer
- film
- recording medium
- magnetic recording
- alloy
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は磁気記録媒体に係わり、更に詳しくはその保護
層の改良に関する。
層の改良に関する。
高密度記録の需要増加にともない、新しい記録媒体の一
つとして薄膜型磁気記録媒体の研究開発が盛んに設けら
れている。そしてこの種の記録媒体の優れた高密度記録
性能は数多くの研究により確認されている。しかし、こ
れらの記録媒体を実用化するには、数多くの問題がある
。中でも、腐食性ガスに対する化学的安定性、そして磁
気ヘッド摺動に対する耐序耗性は特に大きな問題であり
、これらの問題の解決が、薄膜型磁気記録媒体実用化へ
の鍵となっていた。こうした問題に対し、種々の保護膜
の採用が提案されているが、耐食性及び耐久性両面に於
て優れた効果を発揮するという材料は見出されていなか
った。
つとして薄膜型磁気記録媒体の研究開発が盛んに設けら
れている。そしてこの種の記録媒体の優れた高密度記録
性能は数多くの研究により確認されている。しかし、こ
れらの記録媒体を実用化するには、数多くの問題がある
。中でも、腐食性ガスに対する化学的安定性、そして磁
気ヘッド摺動に対する耐序耗性は特に大きな問題であり
、これらの問題の解決が、薄膜型磁気記録媒体実用化へ
の鍵となっていた。こうした問題に対し、種々の保護膜
の採用が提案されているが、耐食性及び耐久性両面に於
て優れた効果を発揮するという材料は見出されていなか
った。
本発明は、上記従来技術が持つ欠点を解決し、以って耐
食性及び耐久性の両面に優れた磁気記録媒体を提供する
ことを目的とする６ 〔問題点を解決するための手段〕 上記目的を達成するために、本発明では磁気記録面上に
、Ｂあるいはその合金から成る第１保護層、酸素ガス雰
囲気中で形成した（ＣＯ，Ｎえ）、□。
食性及び耐久性の両面に優れた磁気記録媒体を提供する
ことを目的とする６ 〔問題点を解決するための手段〕 上記目的を達成するために、本発明では磁気記録面上に
、Ｂあるいはその合金から成る第１保護層、酸素ガス雰
囲気中で形成した（ＣＯ，Ｎえ）、□。
Ｆ １１１１合金膜から第２保護層を積層するようにし
ている。
ている。
このような積層構造の保護膜が優れた耐食性、ｆｌｊ４
久性を示す理由は以下のとおりである。すなわち、Ｂ膜
は若干１ｌｉＩ４摩耗性に問題はあるものの、薄い状匙
でも緻密かつ連続性の良い膜を作りやすい性質があり、
その結果、腐食性ガスを通しにくいという優れた性質を
もつ、また、酸素ガス中で形成した（Ｃｏ、Ｎｔ ）Ｉ
−Ｘ、 Ｆｌｌｍｌ （０＜Ｘ＜０．４）合金膜は金
属やフェライトとの凝着を起こしにくく、かつ硬度が高
いために優れた走行性及び耐摺動性を示す。
久性を示す理由は以下のとおりである。すなわち、Ｂ膜
は若干１ｌｉＩ４摩耗性に問題はあるものの、薄い状匙
でも緻密かつ連続性の良い膜を作りやすい性質があり、
その結果、腐食性ガスを通しにくいという優れた性質を
もつ、また、酸素ガス中で形成した（Ｃｏ、Ｎｔ ）Ｉ
−Ｘ、 Ｆｌｌｍｌ （０＜Ｘ＜０．４）合金膜は金
属やフェライトとの凝着を起こしにくく、かつ硬度が高
いために優れた走行性及び耐摺動性を示す。
このようなことから、第１保護層であるＢあるいはその
合金膜は磁性層への腐食ガス侵入を防ぎ、第２保護層で
ある（Ｃ，、Ｎｉ）＋−Ｘ、 Ｆ−合金膜の優れた耐
摺動性と相まって、記録媒体の耐食性及び耐久性を著る
しく向上することになる。
合金膜は磁性層への腐食ガス侵入を防ぎ、第２保護層で
ある（Ｃ，、Ｎｉ）＋−Ｘ、 Ｆ−合金膜の優れた耐
摺動性と相まって、記録媒体の耐食性及び耐久性を著る
しく向上することになる。
なお、第１保護層の厚さは３０Å以上が好ましく、この
厚さ以上で顕著な防食効果が現われる。
厚さ以上で顕著な防食効果が現われる。
また、第２保護層の厚さはその作製条件にもよるが、大
体に於て５０Å以上が好ましい。これは５０Å以下だと
、膜が島状構造となり第１保護層表面全体を被覆できな
い部分が生じてくるためである。
体に於て５０Å以上が好ましい。これは５０Å以下だと
、膜が島状構造となり第１保護層表面全体を被覆できな
い部分が生じてくるためである。
また、第２保ＷＩ層のＣ６，Ｎ ！ 、Ｆ ｍの組成比
は、Ｆ。
は、Ｆ。
の含有率が４０ａｔ％以下であれば、耐摺動性に優れた
保Ｓ！膜となり、４０ａ ｔ％を越えると耐摺動性は著
るしく劣化する。
保Ｓ！膜となり、４０ａ ｔ％を越えると耐摺動性は著
るしく劣化する。
以丁、本発明を実施例により説明する。
表面にｒＩｇ！厚２５μｍのＮ１−Ｐメツキ層を設けた
Ａｌ板を基板とし、直流マグネトロンスパッタ法により
膜厚３０００人のＣ１層更に膜厚８００人の００．。、
Ｎ、、。層を形成した０次いでこの磁性層上にＢから成
る膜厚１００人の第１保護層、更に酸素ガスを導入しな
がら、膜厚２００人Ｎ、１−ＸＦＩＩＸ合金層を第２保
護層としてスパッタ形式した。
Ａｌ板を基板とし、直流マグネトロンスパッタ法により
膜厚３０００人のＣ１層更に膜厚８００人の００．。、
Ｎ、、。層を形成した０次いでこの磁性層上にＢから成
る膜厚１００人の第１保護層、更に酸素ガスを導入しな
がら、膜厚２００人Ｎ、１−ＸＦＩＩＸ合金層を第２保
護層としてスパッタ形式した。
なお、Ｃ７下地層、Ｃ０Ｎ！記録磁性層、Ｂ第１保護層
の形成にあっては、スパッタリングガスをＡ、とし１０
ｍ Ｔ ｏ−、、の雰囲気とした。また、Ｎｉ＋−ｘ
Ｆ□合金層の形成の際には、スパッタリングガスをＡ、
Ｏ＊（混合ガス１対１）とし２０ｍＴｏｖｖの雰囲気下
で成膜を行なった。また比較のために、保護膜無しの場
合、Ｂ膜単独の場合、ＮｉＩ□Ｆ １１１１合金膜単独
の場合の試料も作製した。
の形成にあっては、スパッタリングガスをＡ、とし１０
ｍ Ｔ ｏ−、、の雰囲気とした。また、Ｎｉ＋−ｘ
Ｆ□合金層の形成の際には、スパッタリングガスをＡ、
Ｏ＊（混合ガス１対１）とし２０ｍＴｏｖｖの雰囲気下
で成膜を行なった。また比較のために、保護膜無しの場
合、Ｂ膜単独の場合、ＮｉＩ□Ｆ １１１１合金膜単独
の場合の試料も作製した。
以上のようにして作成した試料の耐食性及び耐久性は次
のようにして評価した、すなわち耐食性は５ｐｐｍＳＯ
！ガス雰囲気（４０’Ｃ，８０％ＲＨ）中に試料を１０
時間放置し、試験前後の飽和磁化劣化率（Ｍｏ Ｍｈ
ｏ） ／Ｍｏ （Ｍｏ ？初期飽和磁化量、Ｍ、０
：試験後飽和磁化量）で評価した。また記録媒体の耐久
性は、５．２５’磁気デイスクをウィンチエスタ型ヘッ
ドによりＣ３５（Ｃｏｎｔａｃｔ−３ｔａｒｔ−Ｓｔｏ
ｐ）試験で評価した。
のようにして評価した、すなわち耐食性は５ｐｐｍＳＯ
！ガス雰囲気（４０’Ｃ，８０％ＲＨ）中に試料を１０
時間放置し、試験前後の飽和磁化劣化率（Ｍｏ Ｍｈ
ｏ） ／Ｍｏ （Ｍｏ ？初期飽和磁化量、Ｍ、０
：試験後飽和磁化量）で評価した。また記録媒体の耐久
性は、５．２５’磁気デイスクをウィンチエスタ型ヘッ
ドによりＣ３５（Ｃｏｎｔａｃｔ−３ｔａｒｔ−Ｓｔｏ
ｐ）試験で評価した。
その評価結果を下表に示す。
この表より先づ第１に、Ｎｉ１−ｘＦａｘ合金膜の組成
比×が約０３４以下で記録媒体のＣＳＳ強度が大きく向
上し、更にＢ保護膜と組み合わせることにより、腐食性
ガスに対する化学的安定性も著るしく向上することが分
かる。
比×が約０３４以下で記録媒体のＣＳＳ強度が大きく向
上し、更にＢ保護膜と組み合わせることにより、腐食性
ガスに対する化学的安定性も著るしく向上することが分
かる。
以上説明したように本発明では磁気記録面上にＢあるい
はその合金から成る第１保護層、更に酸素ガス雰囲気中
で形成した（Ｃ，、ＮｉＬ□Ｆ ｏｘ（０＜ Ｘ ＜
０．４ ）合金第２保護層を設けることにより、記録媒
体の耐食性及び耐久性を著るしく向上している。
はその合金から成る第１保護層、更に酸素ガス雰囲気中
で形成した（Ｃ，、ＮｉＬ□Ｆ ｏｘ（０＜ Ｘ ＜
０．４ ）合金第２保護層を設けることにより、記録媒
体の耐食性及び耐久性を著るしく向上している。
Claims (1)
- （１）磁気記録面上にＢあるいはその合金から成る第１
保護層、更にその上に（Ｃ＿ｏ、Ｎ＿ｉ）＿ｌ＿−＿ｍ
Ｆ＿■＿ｘ合金膜（０≦×≦０．４）を第２保護層とし
て積層したことを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30774587A JPH01150220A (ja) | 1987-12-07 | 1987-12-07 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30774587A JPH01150220A (ja) | 1987-12-07 | 1987-12-07 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01150220A true JPH01150220A (ja) | 1989-06-13 |
Family
ID=17972756
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30774587A Pending JPH01150220A (ja) | 1987-12-07 | 1987-12-07 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01150220A (ja) |
-
1987
- 1987-12-07 JP JP30774587A patent/JPH01150220A/ja active Pending
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