JPH0322647B2 - - Google Patents
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- JPH0322647B2 JPH0322647B2 JP59238627A JP23862784A JPH0322647B2 JP H0322647 B2 JPH0322647 B2 JP H0322647B2 JP 59238627 A JP59238627 A JP 59238627A JP 23862784 A JP23862784 A JP 23862784A JP H0322647 B2 JPH0322647 B2 JP H0322647B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- magnetic
- coercive force
- magnetic film
- magnetic recording
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- Expired - Lifetime
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/65—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition
- G11B5/656—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition containing Co
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/68—Record carriers characterised by the selection of the material comprising one or more layers of magnetisable material homogeneously mixed with a bonding agent
- G11B5/70—Record carriers characterised by the selection of the material comprising one or more layers of magnetisable material homogeneously mixed with a bonding agent on a base layer
- G11B5/706—Record carriers characterised by the selection of the material comprising one or more layers of magnetisable material homogeneously mixed with a bonding agent on a base layer characterised by the composition of the magnetic material
- G11B5/70605—Record carriers characterised by the selection of the material comprising one or more layers of magnetisable material homogeneously mixed with a bonding agent on a base layer characterised by the composition of the magnetic material metals or alloys
- G11B5/70621—Record carriers characterised by the selection of the material comprising one or more layers of magnetisable material homogeneously mixed with a bonding agent on a base layer characterised by the composition of the magnetic material metals or alloys containing Co metal or alloys
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、面内記録型のハードデイスク媒体等
に利用される磁気記録体に関する。
に利用される磁気記録体に関する。
（従来の技術）
従来、金属薄膜型磁気記録体が高密度記録可能
な媒体として注目され、実用化されはじめている
が、この中で非磁性基材面上にCr膜を形成した
後、その表面にCo膜をスパツタ法や蒸着法で形
成して成る磁気記録体がある。該磁気記録体は、
面内方向で高い保磁力を示し、面内記録型のハー
ドデイスク媒体等に応用されつゝある。又、最
近、前記の記録体の磁性膜であるCo膜に代え、
Co−Ni膜としたものが公知である。
な媒体として注目され、実用化されはじめている
が、この中で非磁性基材面上にCr膜を形成した
後、その表面にCo膜をスパツタ法や蒸着法で形
成して成る磁気記録体がある。該磁気記録体は、
面内方向で高い保磁力を示し、面内記録型のハー
ドデイスク媒体等に応用されつゝある。又、最
近、前記の記録体の磁性膜であるCo膜に代え、
Co−Ni膜としたものが公知である。
（発明が解決しようとする問題点）
上記のように、非磁性基材面上に形成したCr
膜を介しCo磁性膜を形成した磁気記録体は、そ
のCr膜の厚さを増大すると保磁力が増大するが、
その保磁力が600〜800Oe程度のものを得るには
その膜厚を4000〜8000Åとする必要があり、スパ
ツタ法が蒸着法を用いて量産しようとすると、該
Crの膜厚を4000〜8000Åと厚くする必要がある
ため、ターゲツトの消耗が大きく、又量産速度が
比較的おそい等の問題がある。従つて、Crの膜
厚を薄くしても600〜800Oe程度のものを得られ
ること、換言すれば、4000〜8000Åで上記以上の
保磁力をもつ磁気記録体の製造が望まれる。１
方、この磁性膜がCo膜である磁気記録体は、耐
食性が悪い欠点がある。以上の問題を解決するた
め該Co磁性膜に代え、Co−Ni磁性膜とした磁気
記録体は、保磁力が向上し且つ耐食性も向上した
ものが得られる。即ち、そのCr膜厚が3000Åで
700Oeの保磁力が得られるが、この同じ保磁力を
得るため、更に肉薄のCr膜厚とすることぱでき
れば更に好ましく、又その磁性膜の耐食性も更に
向上したものが得られれば更に好ましい。
膜を介しCo磁性膜を形成した磁気記録体は、そ
のCr膜の厚さを増大すると保磁力が増大するが、
その保磁力が600〜800Oe程度のものを得るには
その膜厚を4000〜8000Åとする必要があり、スパ
ツタ法が蒸着法を用いて量産しようとすると、該
Crの膜厚を4000〜8000Åと厚くする必要がある
ため、ターゲツトの消耗が大きく、又量産速度が
比較的おそい等の問題がある。従つて、Crの膜
厚を薄くしても600〜800Oe程度のものを得られ
ること、換言すれば、4000〜8000Åで上記以上の
保磁力をもつ磁気記録体の製造が望まれる。１
方、この磁性膜がCo膜である磁気記録体は、耐
食性が悪い欠点がある。以上の問題を解決するた
め該Co磁性膜に代え、Co−Ni磁性膜とした磁気
記録体は、保磁力が向上し且つ耐食性も向上した
ものが得られる。即ち、そのCr膜厚が3000Åで
700Oeの保磁力が得られるが、この同じ保磁力を
得るため、更に肉薄のCr膜厚とすることぱでき
れば更に好ましく、又その磁性膜の耐食性も更に
向上したものが得られれば更に好ましい。
（問題点を解決するための技術的手段）
本発明は、上記の要求を満足する面内記録型磁
気記録体を提供するもので、非磁性基材面上に
Cr膜を介してエピタキシヤル成長されHCP相の
ｃ軸が面内方向に配向したCo合金系磁性金属膜
を形成して成る磁気記録体において、該磁性金属
膜は、CoxCryNizで表わされ且つ0.45≦ｘ＜1.0、
０＜ｙ≦0.25、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１の原子比の組成を
もつことを特徴とする。
気記録体を提供するもので、非磁性基材面上に
Cr膜を介してエピタキシヤル成長されHCP相の
ｃ軸が面内方向に配向したCo合金系磁性金属膜
を形成して成る磁気記録体において、該磁性金属
膜は、CoxCryNizで表わされ且つ0.45≦ｘ＜1.0、
０＜ｙ≦0.25、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１の原子比の組成を
もつことを特徴とする。
（実施例）
次に本発明の実施例につき説明する。
発明者は、磁性膜として、Co及びCo−Niに
夫々Crの添加量ｍを変えてその各種の組成割合
のCo−Cr磁性膜及びCo−Cr−Ni磁性膜を、非磁
性基材面に形成したCr膜面上に形成した磁気記
録体を形成し、その夫々につき保磁力と耐食性と
を検討した。
夫々Crの添加量ｍを変えてその各種の組成割合
のCo−Cr磁性膜及びCo−Cr−Ni磁性膜を、非磁
性基材面に形成したCr膜面上に形成した磁気記
録体を形成し、その夫々につき保磁力と耐食性と
を検討した。
第１図及び第２図は、Cr膜厚を3000Å、Co−
Cr又はCo−Cr−Ni磁性膜の厚さ500Åの一定と
した磁気記録体の上記２元又は３元合金成分の配
合比の変化と保磁力との関係を示す。第１図の
Co−Cr磁性膜の曲線Ａ及びCo−Cr−Ni磁性膜の
曲線Ｂに示すように、いずれの場合も、Crの添
加量が約25at％まではCo単独の磁性膜に比し保
磁力は増大することが分る。特に、Co−Cr−Ni
の３元合金の磁性膜ではその最高の保磁力は約
15at％の添加で800Oeが得られ、この値は、仝図
に対照として示した従来公知の中でも最も高い保
磁力を示すCo0.7Ni0.3磁性膜の最高の保磁力
700Oeよりも高い優れたものが得られることが分
る。又第１図示のように、Co単独の磁性膜はそ
の保磁力は400Oeであるに対し、本発明によれ
ば、第２図から明らかなように、保磁力が400Oe
より高い保磁力が得られる本発明のCo−Cr又は
Co−Cr−Niの磁性膜の組成範囲は、
CoxCryNiz、但し0.45≦ｘ＜1.0、Ｏ＜ｙ≦0.25、
ｘ＋ｙ＋ｚ＝１である。
Cr又はCo−Cr−Ni磁性膜の厚さ500Åの一定と
した磁気記録体の上記２元又は３元合金成分の配
合比の変化と保磁力との関係を示す。第１図の
Co−Cr磁性膜の曲線Ａ及びCo−Cr−Ni磁性膜の
曲線Ｂに示すように、いずれの場合も、Crの添
加量が約25at％まではCo単独の磁性膜に比し保
磁力は増大することが分る。特に、Co−Cr−Ni
の３元合金の磁性膜ではその最高の保磁力は約
15at％の添加で800Oeが得られ、この値は、仝図
に対照として示した従来公知の中でも最も高い保
磁力を示すCo0.7Ni0.3磁性膜の最高の保磁力
700Oeよりも高い優れたものが得られることが分
る。又第１図示のように、Co単独の磁性膜はそ
の保磁力は400Oeであるに対し、本発明によれ
ば、第２図から明らかなように、保磁力が400Oe
より高い保磁力が得られる本発明のCo−Cr又は
Co−Cr−Niの磁性膜の組成範囲は、
CoxCryNiz、但し0.45≦ｘ＜1.0、Ｏ＜ｙ≦0.25、
ｘ＋ｙ＋ｚ＝１である。
最も好ましい領域は、Co0.60Cr0.10Ni0.30付近
である。
である。
第３図は、該Co0.60Cr0.10Ni0.30磁性膜と対照
としてCo0.7Ni0.3磁性膜とCo単独の磁性膜の
夫々につき、非磁性基材面に形成されるCo膜厚
を変えた場合の保磁力との関係を検べた結果を示
す。
としてCo0.7Ni0.3磁性膜とCo単独の磁性膜の
夫々につき、非磁性基材面に形成されるCo膜厚
を変えた場合の保磁力との関係を検べた結果を示
す。
この図から明らかなように、同じ保磁力、例え
ば700Oeを得るには、Co磁性膜の場合は、Cr膜
厚を5000Å、該Co−Ni磁性膜の場合はCr膜厚
は、3000Åを夫々必要とするに対し、本発明の該
Co−Cr−Ni磁性膜の場合は、これを2000Åの肉
薄で足りることが分る。更に、本発明のCo−Cr
−Ni磁性膜は、Co−Ni磁性膜及びCo磁性膜に比
し、Cr膜の厚さの変化を問わず、どの点の厚さ
でも、保磁力の向上したものが得られる。
ば700Oeを得るには、Co磁性膜の場合は、Cr膜
厚を5000Å、該Co−Ni磁性膜の場合はCr膜厚
は、3000Åを夫々必要とするに対し、本発明の該
Co−Cr−Ni磁性膜の場合は、これを2000Åの肉
薄で足りることが分る。更に、本発明のCo−Cr
−Ni磁性膜は、Co−Ni磁性膜及びCo磁性膜に比
し、Cr膜の厚さの変化を問わず、どの点の厚さ
でも、保磁力の向上したものが得られる。
又、本発明のCo−Cr磁性膜及びCo−Cr−Ni磁
性膜につき耐食性を、Co単独磁性膜、CoNi磁性
膜と共に検べた結果を第４図に示す。耐食性試験
は、60℃、90％の恒温恒温の条件において、飽和
磁化の減少で評価した。第４図から明らかなよう
に、本発明の磁性膜は、著しく耐食性が増大する
ことが分る。本発明の磁性膜の製造において、そ
の他の元素を微量添加しても差支えない。又この
ように作成した磁性膜の上面に耐摩耗性や耐食性
の有機又は無機の任意の保護膜を形成してもよ
い。
性膜につき耐食性を、Co単独磁性膜、CoNi磁性
膜と共に検べた結果を第４図に示す。耐食性試験
は、60℃、90％の恒温恒温の条件において、飽和
磁化の減少で評価した。第４図から明らかなよう
に、本発明の磁性膜は、著しく耐食性が増大する
ことが分る。本発明の磁性膜の製造において、そ
の他の元素を微量添加しても差支えない。又この
ように作成した磁性膜の上面に耐摩耗性や耐食性
の有機又は無機の任意の保護膜を形成してもよ
い。
本発明の磁気記録体の製造法は、その非磁性基
材面上のCr膜は、スパツタ法や蒸着法などで形
成し、そのCr膜の上面にCo−Cr磁性膜又はCo−
Cr−Ni磁性膜を形成するにもスパツタ法や蒸着
法などで得られるが、Co、Ni、Crの蒸気圧が異
なるので、スパツタ法が好ましく、製造容易であ
る。Cr膜の形成後磁性膜を形成するまでの時間
は、できるだけ短かいことが好ましい。DCマグ
ネトロンスパツタ法による本発明磁気記録体の製
造条件は例えば、次の通りである。基板：スライ
ドガラス、基板温度：室温、到達真空度：８×
10-7トール以下、スパツタ中のArガス圧：１×
10-2トール、磁性膜厚：500Å一定、Cr膜析出速
度：1000Å／min、磁性膜：500Å／min、ター
ゲツト・基板間の距離：100mm．磁性膜のCo、
Cr、Niの組成の変化はCoターゲツト上にCrやNi
のチツプを配置してスパツタを行なつた。生成磁
性膜の組成分析は、蛍光Ｘ線法により行なつて求
めた。
材面上のCr膜は、スパツタ法や蒸着法などで形
成し、そのCr膜の上面にCo−Cr磁性膜又はCo−
Cr−Ni磁性膜を形成するにもスパツタ法や蒸着
法などで得られるが、Co、Ni、Crの蒸気圧が異
なるので、スパツタ法が好ましく、製造容易であ
る。Cr膜の形成後磁性膜を形成するまでの時間
は、できるだけ短かいことが好ましい。DCマグ
ネトロンスパツタ法による本発明磁気記録体の製
造条件は例えば、次の通りである。基板：スライ
ドガラス、基板温度：室温、到達真空度：８×
10-7トール以下、スパツタ中のArガス圧：１×
10-2トール、磁性膜厚：500Å一定、Cr膜析出速
度：1000Å／min、磁性膜：500Å／min、ター
ゲツト・基板間の距離：100mm．磁性膜のCo、
Cr、Niの組成の変化はCoターゲツト上にCrやNi
のチツプを配置してスパツタを行なつた。生成磁
性膜の組成分析は、蛍光Ｘ線法により行なつて求
めた。
（発明の効果）
このように本発明によるときは、非磁性基材面
上に、Cr膜を形成したものの上面にエピタキシ
ヤル成長されHCP相のｃ軸が面内方向に配向し
たCo合金系磁性金属膜を形成して成る面内記録
型磁気記録体の該磁性金属膜をCoxCryNizから
成り且つこれらの成分の原子比を0.45≦ｘ＜1.0、
ｏ＜ｙ≦0.25、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１としたので、その
保磁力を著しく向上できると共に従来のCo磁性
膜、Co−Ni磁性膜の保磁力と同じ保磁力をもつ
磁気記録体を製造するには、そのCr膜を著しく
減少せしめることができるので、ターゲツトの消
耗量を減少できると共に生産性を向上し得られ、
又従来の上記磁気記録体に比し著しく耐食性の向
上した面内記録型磁気記録体が得られる等の効果
を有する。
上に、Cr膜を形成したものの上面にエピタキシ
ヤル成長されHCP相のｃ軸が面内方向に配向し
たCo合金系磁性金属膜を形成して成る面内記録
型磁気記録体の該磁性金属膜をCoxCryNizから
成り且つこれらの成分の原子比を0.45≦ｘ＜1.0、
ｏ＜ｙ≦0.25、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１としたので、その
保磁力を著しく向上できると共に従来のCo磁性
膜、Co−Ni磁性膜の保磁力と同じ保磁力をもつ
磁気記録体を製造するには、そのCr膜を著しく
減少せしめることができるので、ターゲツトの消
耗量を減少できると共に生産性を向上し得られ、
又従来の上記磁気記録体に比し著しく耐食性の向
上した面内記録型磁気記録体が得られる等の効果
を有する。
第１図は本発明実施例の磁性膜の成分組成と保
磁力との関係を示すグラフ、第２図は仝様の関係
の三角図表、第３図はCr膜厚と保磁力との関係
を示すグラフ、第４図は磁性膜の成分組成変化と
耐食性の関係を示すグラフである。
磁力との関係を示すグラフ、第２図は仝様の関係
の三角図表、第３図はCr膜厚と保磁力との関係
を示すグラフ、第４図は磁性膜の成分組成変化と
耐食性の関係を示すグラフである。
Claims (1)
- １ 非磁性基材面上にCr膜を介してエピタキシ
ヤル成長されHCP相のｃ軸が面内方向に配向し
たCo合金系磁性金属膜を形成して成る面内記録
型磁気記録体において、該磁性金属膜は、CoX
CrYNiZで表わされ且つ0.45≦ｘ＜1.0、０＜ｙ≦
0.25、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１の原子比の組成をもつこと
を特徴とする面内記録型磁気記録体。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59238627A JPS61120330A (ja) | 1984-11-14 | 1984-11-14 | 面内記録型磁気記録体 |
| EP85114327A EP0183120B1 (en) | 1984-11-14 | 1985-11-11 | Magnetic recording member |
| DE8585114327T DE3582017D1 (de) | 1984-11-14 | 1985-11-11 | Magnetisches aufzeichnungselement. |
| US07/089,022 US5198309A (en) | 1984-11-14 | 1987-08-24 | Magnetic recording member |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59238627A JPS61120330A (ja) | 1984-11-14 | 1984-11-14 | 面内記録型磁気記録体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61120330A JPS61120330A (ja) | 1986-06-07 |
| JPH0322647B2 true JPH0322647B2 (ja) | 1991-03-27 |
Family
ID=17032953
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59238627A Granted JPS61120330A (ja) | 1984-11-14 | 1984-11-14 | 面内記録型磁気記録体 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0183120B1 (ja) |
| JP (1) | JPS61120330A (ja) |
| DE (1) | DE3582017D1 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3726464A1 (de) * | 1987-08-08 | 1989-02-16 | Basf Ag | Verfahren zur herstellung magnetischer aufzeichnungstraeger |
| US4941920A (en) * | 1987-11-25 | 1990-07-17 | Hitachi Metals, Ltd. | Sintered target member and method of producing same |
| JPH02161617A (ja) * | 1988-03-15 | 1990-06-21 | Ulvac Corp | 面内記録型磁気記録体の製造方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56107506A (en) * | 1980-01-30 | 1981-08-26 | Anelva Corp | Magnetic thin-film |
| JPS578919A (en) * | 1980-06-18 | 1982-01-18 | Toshiba Corp | Manufacture of magnetic recording body |
| JPS5728309A (en) * | 1980-07-28 | 1982-02-16 | Tdk Corp | Magnetic recording medium |
| JPS5812312A (ja) * | 1981-07-16 | 1983-01-24 | Akai Electric Co Ltd | 磁気記録媒体用材料 |
| JPS5961013A (ja) * | 1982-09-29 | 1984-04-07 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気記録媒体 |
-
1984
- 1984-11-14 JP JP59238627A patent/JPS61120330A/ja active Granted
-
1985
- 1985-11-11 DE DE8585114327T patent/DE3582017D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1985-11-11 EP EP85114327A patent/EP0183120B1/en not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0183120A2 (en) | 1986-06-04 |
| DE3582017D1 (de) | 1991-04-11 |
| JPS61120330A (ja) | 1986-06-07 |
| EP0183120A3 (en) | 1988-03-02 |
| EP0183120B1 (en) | 1991-03-06 |
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