JPS63102019A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は磁気記録媒体、さらに詳しくは走行耐久性にす
ぐれる金属薄膜型磁気記録媒体に関する。

〔従来の技術〕

近年、記録媒体の高密度化に伴い、従来の塗布型磁気記
録媒体に替わって、いわゆる金属薄膜型磁気記録媒体が
注目されるようになってきている。

しかし、金属薄膜型磁気記録媒体は、従来の塗布型磁気
記録媒体のように潤滑剤や研磨剤を磁性ｎＬ中に混入さ
せることが困難なので、一般に走行耐久性に劣シ、例え
ばＣｏ−Ｃｒ合金膜を設けた垂直磁気記録ディスクの場
合ｉｏｏ回程度の走行パスで表面の合金ａ先とヘッドと
の間で凝着等が生じて走行不能になることが多い。

そこで、このような問題を解決するために、液体潤滑剤
を磁性層表面に塗布したシ、固体保護ｆｌｕを磁性線２
表面に設けることが提案されている。この中では、固体
潤滑剤であるカーボンを主成分とする保護ｔを磁性層表
面に設けることが特に走行耐久性向上に効果があること
が知られている。

しかしながら、このようなカーボンを主成分とする保護
層を磁性層表面に設けてもなお走行耐久性が充分でない
。これは主にヘッドに生じた付着物が保護層との摩擦係
数を増大させることに原因するものと考えられる。

さらに、はう素、ケイ素、遷移金属元素等をダイアモン
ド状カーボン保護膜に含有させることが提案されている
が（特開昭ｔｏ−λタタ３６号）、潤滑性が劣シ、した
がって十分な耐久性が得られない。

〔発明が解決しようとする問題点〕

本発明は、磁気ヘッドに付着物を生ぜしめない；かつ走
行耐久性の著しく改良された金属薄膜型磁気記録媒体を
提供するにある。

〔問題点を解決するだめの手段〕

本発明は、非磁性基板上に磁性金属薄膜を設けて力る磁
気記録媒体において、該薄膜上にＡｌ、Ｃｒ、Ｔ　ｉ％
Ｐｂ、Ｍｎ、Ｓｎ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａの酸化物お
よび硫化物から選ばれる少なくとも１種を含有するグラ
ファイト状カーボンを主成分とする保護膜が設けられて
いることを特徴とする磁気記録媒体、に関する。

上記グラファイト状カーボンを主成分とする保護膜とは
、真空蒸着法、スパッタリング法等で作成されるグラフ
ァイト様のアモルファス膜を意味する。すなわち、Ｘ線
回折によっては明確なピークが見られず、かつＸ線電子
分光法（ｘｐｓ）によシ求められる炭素のプラズモン損
失エネルギー値がグラファイトのそれを示すような膜で
ある。

上記グラファイト状カーボンを主成分とする保護膜中に
含有される上記の酸化物、および硫化物の重量は１０％
以下であシ、０．３−ｔ％であることが好ましい。

本発明の磁性金属薄膜には、Ｆｅ、Ｃ□、Ｎｉ等の強磁
性金属、あるいはｐｅ−ｃｏ、Ｆ’ｅ−Ｎ　ｉ、Ｃｏ−
Ｎ　Ｉ、Ｆｅ−３１、Ｃｏ−Ｃｒ。

Ｃｏ−Ｖ、Ｃ□　−Ｓ　ｍ、　Ｃ□　−ｐ　ｔ　、　Ｃ
Ｏ−ｐ、Ｃｏ−Ｎ１−Ｐ、Ｆｅ−Ｃｒ−Ｃｏ等の強磁性
合金、あるいまだこれらに微量の金属元素等が添加され
たものが使用される。

非磁性基板としてはポリエチレンテレフタレート、ポリ
イミド、ポリアミド等のフィルム状の高分子材料、ポリ
カーボネイト、ポリメチルメタクリレート等のディスク
状の高分子材料、ガラス等のセラミック、アルミニウム
等の金属等が使用可能である。基板の形状はシート、カ
ード、ディスク、ドラム、テープ等のいずれでも良い。

本発明の磁気記録媒体を作成するには、まず非磁性基板
上に磁性金属薄膜を真空蒸着、スパッタリング、イオン
ブレーティング、メッキ等の方法で被着せしめて形成し
、更にその上に前記酸化物、硫化物のうち少なくとも一
種を含有するグラファイト状カーボンを主成分とする保
護膜を真空蒸着、スパッタリング等で形成すれば良い。

この場合、磁性膜は２種の異なる磁性体を用いて積層　
　しても良いし、下地層を設けた単層型にしても良い。

また、中間層を設けた積層型にしても良い。なお磁性膜
の厚さはいずれの場合でも０、／〜２μｍ程度が適当で
ある。

また、保護膜の厚さは厚すぎると記録、再生時に充分な
出力が得られず、−力落すぎると走行耐久性の向上が見
られないので、／θ〜１０００Ａ、好ましくは！１０−
２００大程度である。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例について説明する。

非磁性基板として厚さ５０μｍのポリイミドフィルムを
用いた。

まず、この基板上にＣｏＣｒをターゲットとしたＡｒガ
ス中のスパッタリングによシ厚さ２！０ＱλのＣｏＣｒ
薄膜を形成した。

次に、グラファイトターゲットと所望の酸化物、硫化物
のターゲットを用いてＡｒガス中で２元同時スパッタリ
ングを行い、上記ＣｏＣｒ薄膜上に上記物質のうち少な
くとも一種を含有するグラファイト状カーボンを主成分
とする厚さ、２００大の保護膜を各種作成した。

これらを直径３．３インチのディスクの形状に加工し、
市販のディスクジャケットに組み込んだ。

市販のフロッピーディスクドライブにより記録を行った
後、再生信号と摩擦係数をモニターしなからＡ　００　
ｒ、ｐ、ｍ、で回転させ、摩擦係数が急激に大きくなる
までのパス数を測定することにより走行耐久性のテスト
を行った。

上記物質の含有量はオージェ電子分光法を用いて測定し
た各々の元素と炭素との微分スペクトルのピーク比より
求めた。なお、膜厚方向で保護膜の構成元素の組成に変
化がないことも同様にして確認した。

比較の為、上記物質を含有しないグラファイト６一 状カーボンを主成分とする厚さ２００大の保護膜を設け
た媒体も作成し、これを比較例とした。

得られた結果を第１表〜第１＋表に示した。表から明ら
かなように、本発明の酸化物および／″！たは硫化物を
適量含有したカーボンを主成分とする保護膜を設けた媒
体は、これらを含有しないカーボンを主成分とする保護
膜を設けた媒体と比較して走行耐久性に優れている。ヘ
ッドを顕微鏡観察した結果、含有した金属の量が多く走
行耐久性が悪かった媒体には付着物はないものの傷が入
り、走行耐久性の優れた媒体には付着物も傷もなく、金
属を含有しない媒体は傷はないものの付着物が発生して
いることを確認した。

第１表 第１表 第３表 第μ表 −ター 第５表 第６表 第７表 第♂表 第り表 第ｉｏ表 一／　ｌ− 第１Ｉ表 第１２表 ｌ　３− 第１３表 第１≠表 −／＋− 〔発明の効果〕 本発明の磁気記録媒体は、走行時磁気ヘッドに付着物を
生ぜしめないと同時に、走行耐久性に顕著にすぐれるも
のである。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 非磁性基板上に磁性金属薄膜を設けてなる磁気記録媒体
   において、該薄膜上にＡｌ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｐｂ、Ｍｎ、
   Ｓｎ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａの酸化物および硫化物か
   ら選ばれる少なくとも１種を１０重量％以下含有するグ
   ラファイト状カーボンを主成分とする保護膜が設けられ
   ていることを特徴とする磁気記録媒体。